专利名称：90°外角棱镜激光干涉测量仪的制作方法
技术领域：
本实用新型以激光干涉仪为基础，再配以高精度的工装，检测各类高精度90。外 角棱镜的激光干涉测量仪。
背景技术：
目前，高精度棱镜90°角的检测，在激光干涉仪上一般采用内测法，这种检测方法 受到光学材料折射率的影响，对测角精度影响很大。

发明内容针对以上不足，本实用新型的目的在于提供一种90。外角棱镜激光干涉测量仪， 是基于激光干涉仪的光学测角方法，在原来的激光干涉测量仪中加入一组高精度的工装设 备，减少各种影响测量结果的因素，得到高精确的测量结果。 本实用新型的技术方案是通过以下方式实现的90°外角棱镜激光干涉测量仪， 包括2块高精度反射镜和l块高精度平板玻璃，反射镜和平板玻璃之间互相垂直，90。待测 棱镜置于平板玻璃上面，其特征在于所述的反射镜一面为抛光面，另一面为磨砂面，抛光 面与平板玻璃的两端面胶合接触。 所述的反射镜抛光面的光圈要求0. 2f，表面要求60-40，镀膜区域需镀银反光 膜R>= 95%。 所述的平板玻璃和反射镜胶合面需抛光，抛光面光圈要求；0.5f，平行差〈二 0. 5。 本实用新型，光的折射不受到光学材料折射率的影B向，测量结果准确，操作灵活， 简单易行。

图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
由图1知，本实施例的90°外角棱镜激光干涉测量仪，由2块高精度反射镜1和一 块高精度平板玻璃3，反射镜l和平板玻璃3之间互相垂直，90。待测棱镜2置于平板玻璃 3上面，将反射镜1 ，平板玻璃3的工作面处理清洁，然后利用光学玻璃之间相互吸引的原理 将两个反射镜1光胶上平板玻璃3，并保证了它们的抛光面之间的平行差<=0. 5，将被测 棱镜2置于平板玻璃3上。 激光干涉仪发出二路激光光源，分别在90。棱镜2的1个直角面产生反射，因为棱 镜的工作面镀有反射膜，故光线在棱镜上发生反射，又回头入射到棱镜直角面时，再次产生 反射，并入射进激光干涉仪，被接收。二路被激光干涉仪接收的光线，在系统中产生2路干 涉条纹，系统软件自动进行对比，并转化成角度误差数据，显示在电脑上，从而得出所需要的结果。
权利要求90°外角棱镜激光干涉测量仪，包括2块高精度反射镜(1)和1块高精度平板玻璃(3)，反射镜(1)和平板玻璃(3)之间互相垂直，90°待测棱镜(2)置于平板玻璃上面，其特征在于所述的反射镜(1)一面为抛光面，另一面为磨砂面，抛光面与平板玻璃(3)的两端面胶合接触。
2. 根据权利要求1所述的90。外角棱镜激光干涉测量仪，其特征在于所述的反射镜(1)抛光面的光圈要求0. 2f，表面要求60-40，镀膜区域需镀银反光膜R >= 95%。
3. 根据权利要求1所述的90。外角棱镜激光干涉测量仪，其特征在于所述的平板玻 璃(3)和反射镜(1)胶合面需抛光，抛光面光圈要求；0. 5^平行差<=0. 5。
专利摘要90°外角棱镜激光干涉测量仪，包括2块高精度反射镜(1)和1块高精度平板玻璃(3)，反射镜(1)和平板玻璃(3)之间互相垂直，90°待测棱镜(2)置于平板玻璃上面，其特征在于所述的反射镜(1)一面为抛光面，另一面为磨砂面，抛光面与平板玻璃(3)的两端面胶合接触。本实用新型，光的折射不受到光学材料折射率的影响，测量结果准确，操作灵活，简单易行。
文档编号G01M11/02GK201527335SQ200920235820
公开日2010年7月14日 申请日期2009年9月25日 优先权日2009年9月25日
发明者周卫华, 陈华, 陈文宇 申请人:丹阳弘业电子有限公司