专利名称:紫外辐射综合测试装置的制作方法
技术领域:
本发明属于光学测试领域,主要涉及一种紫外辐射测试装置,尤其涉及一种能够 测量紫外光谱辐射亮度、紫外光谱辐射照度及紫外光谱响应度三个参数的紫外辐射综合测
I式^ ^Μ O
背景技术:
紫外光谱辐射亮度、紫外光谱辐射照度及紫外光谱响应度是紫外辐射测试领域的 三个基本参数,通常采用如下方法分别对上述参数进行测试。(1)紫外光谱辐射亮度测试装置紫外光谱辐射亮度的测试一般采用标准灯与被测灯相互比较的方式来完成。其测 试系统如图1所示,主要由紫外辐亮度标准灯2、紫外辐亮度被测灯3、一维移动平台1、含 有两块平面反射镜5和第一球面聚光镜6的输入光学系统、电子快门7、滤光组件8、斩波器 9、紫外单色仪10、含有两块平面反射镜11和第二球面聚光镜6'的输出光学系统、紫外探 测器12及数据处理系统等组成,紫外辐亮度标准灯2和紫外辐亮度被测灯3发出的光信号 经过输入光学系统、紫外单色仪10后,分别由紫外探测器采集信号经由数据处理系统处理 后给出测量结果。该装置的优点是测试简单,操作方便,只需要更换紫外辐亮度标准灯2和紫外辐 亮度被测灯3即可,然而,由于其输入光学系统中使用了两块反射镜5,使紫外光信号的衰 减增大,导致信噪比减小;另外,由于需要足够的空间来安装电子快门7和滤光组件8,必须 加长输入光学系统的焦距,从而进一步增加了紫外光学系统的衰减,使测量精度降低。目 前,紫外光谱辐射亮度测试装置的测量不确定度为15%。(2)紫外光谱辐射照度测试装置紫外光谱辐射照度的测试一般也采用标准灯与被测灯相互比较的方式来完成。其 测试系统如图2所示,主要由紫外辐照度标准灯14、紫外辐照度被测灯15、积分球16、一维 移动平台13、紫外单色仪、含有两块平面反射镜11和第二球面聚光镜6'的输出光学系统、 紫外探测器12及数据处理系统等组成数据处理系统等组成,紫外辐照度标准灯和紫外辐 照度被测灯发出的光信号经过积分球16、紫外单色仪10后,分别由紫外探测器12采集信号 再由数据处理系统处理后给出测量结果。该装置的优点是没有光学成像系统,测试简单,信噪比高,缺点是由于积分球16 直接对紫外单色仪10,没有杂散光屏蔽系统,因而杂散光进入测量系统,干扰测量结果,使 测量精度降低。目前,紫外光谱辐射照度测试装置的测量不确定度为18%。(3)紫外光谱响应度测试装置紫外光谱响应度的测试一般采用标准探测器与被测探测器相互比较的方式来完 成。其测试系统如图3所示,主要由紫外辐亮度标准灯2、含有两块平面反射镜5和球面聚 光镜6的输入光学系统、电子快门7、滤光组件8、斩波器9、紫外单色仪10、含有两块平面反 射镜11和第二球面聚光镜6'的输出光学系统、紫外标准探测器12、紫外被测探测器17、一维移动平台18及数据处理系统等组成。当紫外辐亮度标准灯发出的光信号经过输入光学 系统、紫外单色仪10和输出光学系统后,分别由紫外标准探测器12和紫外被测探测器17 进行数据采集,经由数据处理系统处理后给出测量结果。该方法的优点和缺点与紫外光谱辐射亮度类似,测试简单,操作方便,只需要更换 紫外标准探测器和紫外被测探测器即可,缺点是由于输入和输出光学系统均使用了两块反 射镜,对紫外光信号的衰减增大,使信噪比减小;另外由于需要足够的空间来安装电子快门 7和滤光组件8,必须加长输入光学系统的焦距,从而增加了紫外光学系统的衰减,使测量 精度降低,目前紫外光谱响应度测试装置的测量不确定度为15%。从上述三个测试装置可以看出,三个参数的测试具有共性的部分即紫外标准光 源、紫外单色仪、输出光学系统、紫外标准探测器及数据处理系统等,如果应用单位为完成 上述三个参数测量而同时建立三个对应的独立测试装置,需要花费巨大的人力和物力。
发明内容
本发明要解决的技术问题是,为了实现资源共享和高精度的紫外辐射参数测量, 对已有技术中的三个测试系统进行有机集成,从而提供一种能够完成紫外辐射三种参数测 试的紫外辐射综合测试装置。为解决上述技术问题,本发明提供的紫外辐射综合测试装置包括包括光源组件、 输入光学系统、多功能滤光组件、斩波器、紫外单色仪、输出光学系统、紫外探测器组件、数 据处理系统,输入光学系统、多功能滤光组件、斩波器、紫外单色仪和输出光学系统依次排 列构成测量光路;所述光源组件含有紫外标准辐亮度灯、He-Ne激光器、紫外标准辐照度 灯、第一移动平台、第二移动平台、输入和输出端口互成90°的积分球,紫外辐亮度标准灯 和积分球通过第一光学支架安装在第一移动平台上,第一光学支架上还留有安装紫外辐亮 度被测灯、He-Ne激光器的孔位;紫外辐照度标准灯通过第二光学支架安装在第二移动平 台上,第二光学支架上还留有安装紫外辐照度被测灯和He-Ne激光器的孔位;第一移动平 台与第二移动平台的运动方向垂直;第一移动平台在所述数据处理系统的控制下运动,并 带动所述He-Ne激光器或紫外辐亮度标准灯或紫外辐亮度被测灯或积分球的输出端口依 次进入所述测量光路的输入端,第二移动平台在所述数据处理系统的控制下运动,并带动 所述紫外辐照度标准灯或紫外辐照度被测灯或He-Ne激光器依次对准积分球的输入端口 ; 所述输入光学系统是由球面反射镜和平面反射镜构成的成像系统,入射光束依次经球面反 射镜和平面反射镜的反射后出射;所述多功能滤光组件含有转轮、支撑架、电子快门、多个 波段不同的滤光片和步进电机,电子快门和多个滤光片布置在转轮盘面的一个圆周上且该 圆周的中心设置与步进电机转轴相连的轴孔,转轮安装在支撑架上且在在步进电机的驱动 下带动各滤光片或电子快门分别切入到所述测量光路中;所述紫外探测器系统包括紫外标 准探测器、紫外被测探测器和第三移动平台,紫外标准探测器和紫外被测探测器通过第三 光学支架安装在第三移动平台上,其中,第三光学支架上还留有安装He-Ne激光器的孔位, 第三移动平台的运动方向与第一移动平台的运动方向平行,第三移动平台在所述数据处理 系统的控制下运动,并带动紫外标准探测器或紫外被测探测器或He-Ne激光器进入测量光 路的输出端;位于测量光路输入端的标准光源或被测光源发射出的光束直接或经积分球积 分后依次经所述输入光学系统、多功能滤光组件和斩波器后成像在所述紫外单色仪的入射狭缝,紫外单色仪出射的光束经所述输出光学系统成像在其中一个探测器的光敏面上,且 该探测器将光信号转换成电信号后送入所述的数据处理系统;所述数据处理系统包括与所 述斩波器配合使用的锁相放大器、装有数据采集卡和测量软件包的计算机,测量软件包分 为参数设置模块、控制模块、紫外辐射亮度测量模块、紫外光谱辐射照度测量模块和紫外光 谱响应度测量模块;参数设置模块的功能是,通过计算机屏幕选择测量类型并根据所选择 的测量类型设置所述紫外单色仪、多功能滤光组件的相关测量参数,控制模块的功能是根 据参数模块中设置的相关测量参数,向所述紫外单色仪的波长控制器发送控制指令,使紫 外单色仪按照选择的参数设置工作参数;同时,向所述滤光组件的步进电机发出驱动指令, 使相应波段的滤光片进入测量光路中;此外,当接到测量命令后,根据参数设置模块中设置 的测量类型调用对应的一种测量模块来完成测量中的数据采集、处理和计算任务,并给出 测量结果。本发明的技术效果体现在以下几个方面1)本发明集紫外光谱辐射亮度、紫外光谱辐射照度和紫外光谱响应度三种测量功 能为一体,同时,针对三种测量功能配备了均属于定期送检和校准的三种标准器具,即光谱 辐射亮度标准灯、紫外光谱辐射照度标准灯和紫外标准探测器,因此,本发明与现有技术相 比,具有资源共享,节约成本的特点;而且三种标准器具可对测量结果相互验证,使本发明 具有高测量精度。2)在本发明中,输入光学系统选用一个球面反射镜和一个平面反射镜构成的成像 系统,与现有技术相比,减少了一个平面反射镜,从而减少了光学成像系统对紫外信号的衰 减,提高了测量中的信噪比。3)与现有技术相比,本发明将电子快门集成在滤光组件上,不仅节约了安装空间, 而且缩短了测量光路的长度,为减少大气对紫外信号的衰减,提高测量中的信噪比做出了贝献。4)经过分析和计算,本发明紫外辐射综合测试装置中的光谱辐射亮度测量不确定 度达到7%,紫外光谱辐射照度测量不确定度达到7%,紫外光谱响应度测量不确定度达到 6%,三项测量功能实现的测量精度均比现有技术中的三个单项测量装置的测量精度提高 了 1.2倍以上。
图1是现有紫外光谱辐射亮度测试装置组成示意图。
图2是现有紫外光谱辐射照度测试装置组成示意图。图3是现有紫外光谱响应度测试装置组成示意图。图4是本发明紫外辐射综合测试装置组成示意图。图5是图4中所示的多功能滤光组件组成示意图。图6是图4中所示数据处理系统的工作流程图。
具体实施例方式下面结合附图及优选实施例对本发明作进一步的详述。根据图4所示,本发明紫外辐射综合测试装置优选实施例包括光源组件、输入光学系统、多功能滤光组件8、斩波器9、紫外单色仪、输出光学系统、紫外探测器组件、数据处 理系统,能够完成紫外光谱辐射亮度、紫外光谱辐射照度及紫外光谱响应度的多参数测试。斩波器9、紫外单色仪和输出光学系统均为现有技术。紫外单色仪10含有波长控 制器,紫外单色仪10位于多功能滤光组件6和输出光学系统之间的光路中。斩波器9含有 调制盘和电机,调制盘的叶片插在输入光学系统和多功能滤光组件8之间的光路中并在电 击驱动下旋转,其作用是对光信号进行调制,并将调制的光信号送入数据处理系统中的锁 相放大器。输出光学系统由两块平面反射镜11和第二球面聚光镜6'组成。光源组件含有紫外标准辐亮度灯2、He-Ne激光器4、紫外标准辐照度灯14、第一移 动平台1、第二移动平台13、积分球16。紫外标准辐亮度灯2选用美国CrownTech公司的 30W氙灯,紫外标准辐照度灯14选用美国CrownTech公司的150W氘灯,第一、第二移动平台
1、13均为现有技术中的一维运动平台。积分球16为通用积分球。He-Ne激光器4用于进 行测试前调整标准光源和被测光源的光路。紫外辐亮度标准灯2和积分球16通过第一光 学支架安装在第一移动平台1上,第一光学支架上还留有安装紫外辐亮度被测灯3、He-Ne 激光器4的孔位;紫外辐照度标准灯14通过第二光学支架安装在第二移动平台13上,第二 光学支架上还留有安装紫外辐照度被测灯15和He-Ne激光器4的孔位;紫外辐亮度标准灯
2、紫外辐亮度被测灯3、紫外辐照度标准灯14、紫外辐照度灯15和He-Ne激光器4安装到 位后,其光轴均位于同一水平面内。第一移动平台1和第二移动平台13的运动方向垂直, 随着第一移动平台1的一维运动,安装在第一光学支架上的He-Ne激光器4、紫外辐亮度标 准灯2、紫外辐亮度被测灯3和积分球16的输出端口依次对准输入光学系统;随着第二移 动平台13的一维运动,安装在第二光学支架上的紫外辐照度标准灯14、紫外辐照度被测灯 15和He-Ne激光器4依次对准积分球16的输入端口。输入光学系统包括球面反射镜6和平面反射镜5。位于测量光路起始点的标准光 源或被测光源发射出的光束或积分球输出的光束依次经球面反射镜6和平面反射镜5的反 射后成像在分光系统10的入射狭缝。根据图5所示,多功能滤光组件8含有转轮、支撑架、步进电机、电子快门7和一 组滤光片。在本优选实施例中,共有三个滤光片,其滤光波段分别为180 300nm,300 500nm, 500 900nm。转轮中心带有轴孔且在与轴孔的一个同心圆上均布安装电子快门7 和三个滤光片。支撑架上带有水平轴,转轮的轴孔与支撑架上的水平轴通过轴承连接。转 轮在步进电机的驱动下可以使各滤光片或电子快门7分别切入到测量光路中,当其中一个 滤光片进入测量光路中,可以对成像光学系统的成像光束进行相应波段的滤光即滤掉相应 的多级谱线,当电子快门7进入测量光路中,通过电子快门7的关闭作用扣除测量背景。紫外探测器系统包括紫外标准探测器12、紫外被测探测器17和第三移动平台18, 紫外标准探测器选用的是美国CrownTech公司的UV-100硅光电二极管。紫外标准探测器 12和紫外被测探测器17通过第三光学支架安装在第三移动平台18上,其中,第三光学支 架上还留有安装He-Ne激光器4的孔位。紫外标准探测器12、紫外被测探测器17和He-Ne 激光器4安装到位后,各光轴均位于同一水平面内。第三移动平台18的运动方向与第一移 动平台1的运动方向平行,随着第三移动平台18的一维运动,安装在第三光学支架上的紫 外标准探测器12、紫外被测探测器17或He-Ne激光器可以分别进入测量光路的输出端,即 各探测器的光敏面位于输出光学系统的像面上。
数据处理系统主要包括锁相放大器、装有数据采集卡和测量软件包的计算机。锁 相放大器用于和斩波器9配合使用,以提高测量中的信噪比。测量软件包分为参数设置模 块、控制模块、紫外辐射亮度测量模块、紫外光谱辐射照度测量模块和紫外光谱响应度测量 模块,其主工作流程参见图6。参数设置模块的功能是,通过计算机屏幕选择测量类型并根据所选择的测量类型 设置紫外单色仪、多功能滤光组件8的相关测量参数,相关测量参数包括紫外单色仪10的 波长范围、波长间隔和采样次数,多功能滤光组件8相应波段的滤光片。波长范围是通过选 择初始波长和截止波长两个下拉式选择框中的任一整数限定。由于光源的原因,初始波长 一般设为ISOnm以上,截止波长一般设为450nm以下。波长间隔根据需要在选项框中键入 一个整数。控制模块的功能是根据参数模块中设置的相关测量参数,向紫外单色仪10的波 长控制器发送控制指令,使其按照参数设置模块中选择的参数设置工作参数;同时向多功 能滤光组件8的步进电机发出驱动指令,使相应波段的滤光片进入测量光路中;此外,当接 到测量命令后,根据参数设置模块中设置的测量类型调用对应的测量模块。紫外辐射亮度 测量模块、紫外光谱辐射照度测量模块和紫外光谱响应度测量模块用于分别执行三个参数 的测量。三个模块的结构和功能基本一致,所不同的是三个测量模块在计算结果参数时对 应调入的是标准灯的辐射亮度和辐射照度以及标准探测器的光谱响应度数据。三个测量模 块均由功能命令、移动平台控制、采集计算、结果显示、存储输出五个单元构成。功能命令单 元包括“开始测试”、“停止测试”、“退出,,和“打印”按钮。移动平台控制单元的功能是,根 据时序控制相应的第一移动平台或第二移动平台或第三移动平台移动到位,使标准灯2或 14、被测灯3或15、积分球16、探测器12或17进入测量光路中的相应位置。采集计算子单元的功能是,根据时序控制采集卡采集相应的测量数据,即在所设 波长范围内以所设波长间隔记录每一个波长下紫外光谱辐亮度标准灯2 (或紫外光谱辐照 度标准灯14或标准探测器12)和紫外光谱辐亮度被测灯14 (或紫外光谱辐亮度被测灯15 或被测探测器17)分别对应的测量电压值,并根据下列三式可分别计算对应的测量参数 (1)式中,La測灯为被测灯在波长λ下的光谱辐射亮度值;SA _灯为被测灯进入 光路后在波长λ下探测器输出的电压值为光谱辐射亮度标准灯进入光路后在波 长λ下探测器输出的电压值光谱辐射亮度标准灯在波长λ下的光谱辐射亮度 值,该值为已知值,事先已存入计算机中。 (2)式中,Ελ測灯为被测灯在波长λ下的光谱辐射照度值;SA _灯为被测灯进入 光路后在波长λ下探测器输出的电压值为光谱辐射照度标准灯进入光路后在波 长λ下探测器输出的电压值光谱辐射照度标准灯在波长λ下的光谱辐射照度 值,该值为已知值,事先已存入计算机中。
Λ/ 被测探测器―;Λ/ 标准探测器
标准探测器(3)式中,Ra被测探测器是在波长λ下被测探测器的光谱响应度值;SA測探测器为在波 长λ下被测探测器输出的电压值;在波长λ下标准探测器输出的电压值;Ra 8 是在波长λ下标准探测器的光谱响应度值,该值为已知值,事先已存入计算机中。结果显示单元分为曲线显示区域和数据显示栏。曲线显示区域显示测量结果的二 维曲线,即被测灯的光谱辐射亮度或光谱辐射照度随波长的变化曲线或被测探测器的光谱 响应度随波长的变化曲线。数据显示栏以excel表格形式显示测量数据,即被测灯与波长 对应的光谱辐射亮度值或光谱辐射照度值,或被测探测器与波长对应的光谱响应度值。存 储输出单元以excel表格形式保存计算结果,根据打印按钮命令则可实现对测量曲线和测 量数据的打印。本发明的工作过程是进行紫外光谱辐射亮度测量时,进入计算机软件界面,点击 紫外光谱辐亮度测试模块,计算机自动移动第一移动平台1,使紫外辐亮度标准灯2进入测 量光路的起始点,计算机移动第三移动平台18,使紫外标准探测器12移入测量光路中;紫 外辐亮度标准灯2发出的光束相继经过输入光学系统、相应波段的滤光片、斩波器9、紫外 单色仪10后,到达紫外标准探测器12的光敏面上,计算机中的测量软件包自动采集紫外标 准探测器12输出的电压值Sa ;之后,计算机自动移动第一移动平台1,使紫外辐亮度被 测灯3进入测量光路的起始输入光学系统、相应波段的滤光片、斩波器9、紫外单色仪10后, 到达紫外标准探测器12的光敏面上,计算机中的测量软件包自动采集紫外标准探测器12 输出的电压值Sa ;计算机中的测量软件包自动计算并给出测量结果La w。进行紫外辐照度测量时,进入计算机软件界面,点击紫外光谱辐照度测试模块,计 算机自动移动第一移动平台1,使积分球16进入测量光路,计算机移动第三移动平台18,使 紫外标准探测器12移入测量光路的终点;随后,移动第二移动平台13,使紫外辐照度标准 灯14正对积分球16的输入端,紫外辐照度标准灯14发出的光束经过积分球16积分后,相 继通过输入光学系统、相应波段的滤光片、斩波器9、紫外单色仪10到达紫外标准探测器12 的光敏面上,计算机中的测量软件包自动采集紫外标准探测器12输出的电压值Sa ;之 后,移动第二移动平台13,使紫外辐照度标被测灯15正对积分球16的输入端,紫外辐照度 被测灯15发出的光束经过积分球16积分后,相继通过输入光学系统、相应波段的滤光片、 斩波器9、紫外单色仪10到达紫外标准探测器12的光敏面上,计算机中的测量软件包自动 采集紫外标准探测器12输出的电压值Saww ;计算机中的测量软件包自动计算并给出测
Μ π^ Ελ被测灯。进行紫外光谱响应度时,进入计算机软件界面,点击紫外光谱响应度测试模块,计 算机自动移动第一移动平台1,使紫外辐亮度标准灯2进入测量光路中,计算机移动第三移 动平台18,使紫外标准探测器12移入测量光路的终点;紫外辐亮度标准灯2发出的光束相 继经过输入光学系统、相应波段的滤光片、斩波器9、紫外单色仪10后,到达紫外标准探测 器12的光敏面上,计算机中的测量软件包自动采集紫外标准探测器12输出的电压值Sa β
;之后,计算机自动移动第三移动平台18,使紫外被测探测器17进入测量光路的终点,紫 外辐亮度标准灯2发出的光束相继经过输入光学系统、相应波段的滤光片、斩波器9、紫外
9单色仪10后,到达紫外被测探测器17的光敏面上,计算机中的测量软件包自动采集紫外被 测探测器17输出的电压值Sx ;计算机中的测量软件包自动计算并给出测量结果Ra
探测器。
权利要求
一种紫外辐射综合测试装置,包括光源组件、输入光学系统、斩波器[9]、多功能滤光组件[8]、紫外单色仪[10]、输出光学系统、紫外探测器组件、数据处理系统,输入光学系统、多功能滤光组件[8]、斩波器[9]、紫外单色仪和输出光学系统依次排列构成测量光路;其特征在于所述光源组件含有紫外标准辐亮度灯[2]、He Ne激光器[4]、紫外标准辐照度灯[14]、第一移动平台[1]、第二移动平台[13]、输入和输出端口互成90°的积分球[16],紫外辐亮度标准灯[2]和积分球[16]通过第一光学支架安装在第一移动平台[1]上,第一光学支架上还留有安装紫外辐亮度被测灯[3]、He Ne激光器[4]的孔位;紫外辐照度标准灯[14]通过第二光学支架安装在第二移动平台[13]上,第二光学支架上还留有安装紫外辐照度被测灯[15]和He Ne激光器[4]的孔位;第一移动平台[1]与第二移动平台[13]的运动方向垂直;第一移动平台[1]在所述数据处理系统的控制下运动,并带动所述He Ne激光器[4]或紫外辐亮度标准灯[2]或紫外辐亮度被测灯[3]或积分球16]的输出端口依次进入所述测量光路的输入端,第二移动平台[13]在所述数据处理系统的控制下运动,并带动所述紫外辐照度标准灯[14]或紫外辐照度被测灯[15]或He Ne激光器[4]依次对准积分球[16]的输入端口;所述输入光学系统是由球面反射镜[6]和平面反射镜[5]构成的成像系统,入射光束依次经球面反射镜[6]和平面反射镜[5]的反射后出射;所述多功能滤光组件[8]含有转轮、支撑架、电子快门[7]、多个波段不同的滤光片和步进电机,电子快门[7]和多个滤光片布置在转轮盘面的一个圆周上且该圆周的中心设置与步进电机转轴相连的轴孔,转轮安装在支撑架上且在在步进电机的驱动下带动各滤光片或电子快门[7]分别切入到所述测量光路中;所述紫外探测器系统包括紫外标准探测器[12]、紫外被测探测器[17]和第三移动平台[18],紫外标准探测器[12]和紫外被测探测器[17]通过第三光学支架安装在第三移动平台[18]上,其中,第三光学支架上还留有安装He Ne激光器[4]的孔位,第三移动平台[18]的运动方向与第一移动平台[1]的运动方向平行,第三移动平台[18]在所述数据处理系统的控制下运动,并带动紫外标准探测器[12]或紫外被测探测器[17]或He Ne激光器进入测量光路的输出端;位于测量光路输入端的标准光源[2或4]或被测光源[3或15]发射出的光束直接或经积分球[16]积分后依次经所述输入光学系统、多功能滤光组件[8]和斩波器[9]后成像在所述紫外单色仪[10]的入射狭缝,紫外单色仪[10]出射的光束经所述输出光学系统成像在其中一个探测器[12或17]的光敏面上,且该探测器[12或17]将光信号转换成电信号后送入所述的数据处理系统;所述数据处理系统包括与所述斩波器[9]配合使用的锁相放大器、装有数据采集卡和测量软件包的计算机,测量软件包分为参数设置模块、控制模块、紫外辐射亮度测量模块、紫外光谱辐射照度测量模块和紫外光谱响应度测量模块;参数设置模块的功能是,通过计算机屏幕选择测量类型并根据所选择的测量类型设置所述紫外单色仪[10]、多功能滤光组件[8]的相关测量参数,控制模块的功能是根据参数模块中设置的相关测量参数,向所述紫外单色仪[10]的波长控制器发送控制指令,使紫外单色仪[10]按照选择的参数设置工作参数;向所述滤光组件[8]的步进电机发出驱动指令,使相应波段的滤光片进入测量光路中;当接到测量命令后,根据参数设置模块中设置的测量类型调用对应的一种测量模块来完成测量中的数据采集、处理和计算任务,并给出测量结果。
2.根据权利要求1所述的紫外辐射综合测试装置,其特征在于所述紫外标准辐亮度 灯[2]选用30W氙灯,紫外标准辐照度灯[14]选用150W氘灯,所述紫外标准探测器选用UV-100硅光电二极管。
3.根据权利要求1或2所述的紫外辐射综合测试装置,其特征在于所述滤光片为三 个,其滤光波段分别为180 300nm,300 500nm,500 900nm。
全文摘要
本发明公开了一种紫外辐射综合测试装置,属于光学测试与计量领域。该装置在现有光谱响应度测试装置的基础上,简化了输入光学系统,增加了积分球和安装在第二移动平台上的紫外辐照度标准灯,并将积分球和电子快门对应集成在装有紫外辐亮度标准灯的第一移动平台和滤光组件上;第一移动平台与装有紫外标准探测器的第三移动平台方向一致,而与第二移动平台垂直;在数据处理系统的控制下,各标准灯或标准探测器以及被测灯或被测探测器分别切入测量光路中,从而实现紫外光谱辐射亮度、光谱辐射照度及光谱响应度的测量与标定。本发明解决了紫外辐射测量中的资源共享、节约成本的问题,而且具有操作简单、测量精度高的特点。
文档编号G01J3/02GK101915612SQ201010248150
公开日2010年12月15日 申请日期2010年8月5日 优先权日2010年8月5日
发明者刘建平, 刘瑜, 占春连, 卢飞, 李正琪, 李燕, 陈超 申请人:中国兵器工业第二〇五研究所