专利名称：探针单元及检查装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种液晶面板等点亮检查所使用的探针单元及检查装置。
背景技术：
在液晶面板等的制造工序中，要进行该面板是否具有说明书中那样的性能等的检 查。在该检查中，通常使用具有包括多个探针的探针单元的检查装置。在该情况下，在使检 查装置的各探针与检查对象面板的端子全接触(full contact)的状态下，通过施加检查信 号将其点亮来进行检查。 在这样的检查装置中，当在点亮检查时产生线缺陷等的不良情况时，为了判断该 不良情况是由面板引起的还是由探针单元引起的，要额外进行与该点亮检查工序不同的检 查。具体而言，采用使用了简易点亮检查用探针单元(使用了导电性橡胶)的检查方法或 使用了 1G1D检查用探针单元的检查方法判断上述问题是由面板引起的还是由探针单元引 起的。作为这样的检查方法的例子，有专利文献l。 专利文献1 :日本特开平9-138442号公报 但是，在上述检查装置中，由于额外进行与通常的点亮检查工序不同的检查，因此 需要两种检查工序，存在检查效率差这样的问题。

发明内容本实用新型是为了解决上述问题而作成的，其目的在于提供一种能够在通常的点 亮检查工序中判断上述不良情况是由面板引起的还是由探针单元引起的探针单元及检查 装置。 为了解决上述问题，本实用新型的探针单元的特征在于，该探针单元包括探针部 件，其通过使多个探针分别与设于检查对象面板上的多个端子相接触来进行点亮检查；短 路装置，其在使上述各探针分别与上述各端子相接触而进行点亮检查时使各端子短路，上 述短路装置包括短路构件，其与上述各端子相对设置，与上述各端子同时接触而使所有端 子短路；按压机构，其在被支承于上述探针部件侧的状态下支承该短路构件并使该短路构 件与上述各端子相接触。 本实用新型的检查装置是用于检查检查对象面板的检查装置，其特征在于，该检 查装置包括面板配置部，其用于在对从外部插入的检查对象面板检查结束后将该检查对 象面板向外部搬出；测量部，其用于支承并检验从该面板配置部接过来的检查对象面板，使 用上述探针单元作为上述测量部的探针单元。 在上述结构中，在上述检查对象面板上产生线缺陷等不良情况时，通过上述按压 机构使上述短路构件与上述各端子相接触而对所有端子施加检查信号。由此，能容易地 判断上述检查对象面板的不良情况是由面板引起的还是由探针单元引起的，提高了检查效率。
图1是表示本实用新型的实施方式的探针单元的局部剖切侧视图。 图2是表示检查装置的立体图。 图3是表示本实用新型的实施方式的探针单元的立体图。 图4是表示使本实用新型的实施方式的探针单元的短路装置转动的状态的立体 图。 图5是以局部剖切的状态表示本实用新型的实施方式的探针单元的短路装置的 主要部分放大图。 图6是表示本实用新型的实施方式的探针单元的短路装置的分解立体图。 图7是以拆下了该短路装置的状态表示本实用新型的实施方式的探针单元的俯视图。 图8是表示第1变形例的立体图。 图9是表示第2变形例的立体图。
具体实施方式以下，参照附图说明本实用新型的实施方式的探针单元及检查装置。 如图2所示，本实施方式的检查装置1主要由面板配置部2和测量部3构成。 面板配置部2是用于将从外部插入的液晶面板5向测量部3输送、并将检查结束
后的液晶面板5向外部输送的装置。面板配置部2在开口部6的深处具有面板交接装置7，
利用该面板交接装置7从外部接收液晶面板5，利用输送臂8支承并向测量部3输送该液晶
面板5。另外，面板交接装置7接收通过测量部3检查结束后的液晶面板5并将其向外部输送。 测量部3是用于支承并检验从面板配置部2接过来的液晶面板5的装置。测量部 3包括工件台10、探针单元11等。 工件台10是用于支承液晶面板5并调整XYZ e方向的装置。工件台10支承由输 送臂8输送来的液晶面板5，并使液晶面板5与探针单元11准确地对位地与探针单元11相 接触。如图7所示，液晶面板5由用于显示图像的面板显示部5A、面板显示部5A周围的面 板端子部5B、设于面板端子部5B上且向面板显示部5A传递信号的端子5C构成。探针单元 11相对于端子5C准确地对位。 探针单元11是与液晶面板5的端子5C相接触并对其施加检查信号、为了检查液 晶面板5而将其点亮的装置。如图1、3 7所示，探针单元11包括探针基部12、探针装置 13、校准摄像机14和短路装置15。 探针基部12是用于一体地支承探针装置13、校准摄像机14的板材。该探针基部 12在被固定于装置主体侧的状态下使探针装置13、校准摄像机14等与工件台10上的液晶 面板5相对地支承探针装置13、校准摄像机14等。 探针装置13是用于进行通常的全接触的点亮检查的装置。如图1、4所示，该探针 装置13由支承部16、探针组装体17构成。 上述支承部16是在其基端侧支承于上述探针基部12的状态下用其顶端侧支承上 述探针组装体17的构件。该支承部16包括直接安装于上述探针基部12上且用于支承整体的悬架块19、借助导轨20能滑动地支承在该悬架块19的前端部的滑块21、一体地安装 于该滑块21的下侧面上的探针板22。通过调整螺栓23来调整滑块21相对于悬架块19的 高度。 探针组装体17是用于与液晶面板5的电路的端子5C相接触而对其施加检查信号 的构件。探针组装体17安装于探针板22的下侧面。该探针组装体17包括探针部件24和 探针25。探针部件24直接安装于探针板22的下侧面。在该探针部件24上安装有探针25。 探针25是用于与液晶面板5的电路的端子5C相接触而施加用于点亮检查的检查信号的针 构件。探针25设于探针部件24的前端侧，与液晶面板5的端子5C直接接触。如图1所示， 探针25经由TCP27、连接FPC28、中继基板29和缆线30与信号产生器31相连接。信号产 生器31是用于产生检查信号的装置。信号产生器31逐个地制成检查信号后通过TCP27等 发送到各探针25。 如图3所示，校准摄像机14是在探针装置13的探针部件24的各探针25与液晶 面板5的端子5C进行对位时用于拍摄设于液晶面板5的表面上的对准标记的照相机。校 准摄像机14分别设于3个探针装置13的两侧。 短路装置15是用于在液晶面板5上产生线缺陷等不良情况时进行短路检查的装 置。即，短路装置15是在使探针部件24的各探针25分别与液晶面板5的各端子5C相接触 而进行液晶面板5的点亮检查时、在该液晶面板5上产生不良情况时用于使液晶面板5的 各端子5C短路的装置。如图1、4 7所示，短路装置15由短路构件33和按压机构34构 成。 短路构件33是用于使上述液晶面板5的各端子5C同时接触而使所有端子5C短 路的构件。短路构件33在被按压机构34支承的状态下与上述液晶面板5的各端子5C相 对设置。短路构件33由直立板部33A和上部横板部33B构成，截面为L字形。短路构件33 的长度被设定为与探针部件24的宽度大致相同的尺寸。短路构件33由导电性橡胶构成。 由此，具有柔软性且较薄的导电性橡胶制的直立板部33A覆盖各端子5C整体，同时且可靠 地与各端子5C接触(图7的状态)，从而能可靠地使所有端子5C短路。 按压机构34是支承短路构件33并在液晶面板5上产生不良情况时使短路构件33 的直立板部33A与上述各端子5C相接触的机构。按压机构34由基板部35、支承臂部36、 滑板部37、支架部38和移动支承部39构成。 基板部35是用于支承支承臂部36等的构件。基板部35固定于支承部16的悬架 块19的上侧面上。在基板部35上设有多个螺孔35A。在悬架块19的与该基板部35的螺 孔35A相对应的上侧面上也设有螺孔19A。在这些螺孔35A、 19A中拧入螺钉40，从而将基 板部35固定于悬架块19的上侧面上。 在基板部35的上侧面上设有铰链41和支承台部42。铰链41是用于将构成按压 机构34的支承臂部36等能转动地支承在上述探针部件24侧的悬架块19上的转动机构。 具体而言，铰链41是用于将后述的支承臂部36的水平板部45的基端部能转动地支承在悬 架块19上的构件。支承台部42是用于将支承臂部36的水平板部45支承在水平状态的构 件。支承台部42的上侧面形成为平坦面状，该支承台部42的上侧面与支承臂部36的水平 板部45的侧面(图1中的下侧面)相抵接。并且，在支承臂部36的水平板部45的基端部 被铰链41支承的状态下，水平板部45的中间部与支承台部42相抵接，通过上述铰链41和支承台部42水平地支承支承臂部36的水平板部45。在支承台部42上设有螺孔42A。并 且，通过在该螺孔42A和后述的支承臂部36的水平板部45的螺孔45A中拧入螺钉43，而将 支承臂部36固定于基板部35上。 支承臂部36支承于上述探针装置13的支承部16侧，是用于使滑板部37与上述 探针25所接触的液晶面板5的多个端子5C侧相面对、且能滑动地支承滑板部37的构件。 支承臂部36能滑动地支承滑板部37且能在设定位置对滑板部37进行固定。支承臂部36 主要由水平板部45和垂直板部46构成。水平板部45是水平配置的构件，其使滑板部37 与液晶面板5的多个端子5C侧相面对地支承滑板部37。水平板部45的基端部能转动地 支承于上述基板部35的铰链41，其一侧面(图1中的下侧面)与基板部35的支承台部42 相抵接，从而水平板部45被水平地支承。在水平板部45的与上述支承台部42的螺孔42A 相对的位置设有与该支承台部2的螺孔42A同样的螺孔45A。 垂直板部46是用于能滑动地支承滑板部37的构件。垂直板部46与水平板部45 设置为一体。垂直板部46从被水平地支承的水平板部45向垂直下方垂下地形成。在垂直 板部46上沿垂直方向(在水平板部45水平配置的状态下的垂直方向)设有导轨57。 滑板部37在使短路构件33与液晶面板5的端子5C相面对地支承短路构件33的 状态下滑动，是用于使短路构件33相对于端子5C进行适当装卸的构件。滑板部37由平板 状的构件构成，在其一侧面上设有引导件58。通过使该引导件58能滑动地与上述垂直板部 46的导轨57相嵌合，将滑板部37能沿上下方向滑动地支承在垂直板部46上。 在滑板部37的基端部(图1的上端部)设有供后述的推杆49的螺杆部54拧入 的螺孔37A。通过在该螺孔37A中拧入推杆49的螺杆部54来适当旋转该推杆49，从而调 整滑板部37的位置。滑板部37的前端部(图1的下端部)扩大形成为凸缘状，安装有支 架部38。 支架部38是用于支承短路构件33的构件。支架部38的基端部支承于滑板部37 的前端部，支架部38的前端部以使短路构件33与液晶面板5的端子5C相面对的状态支承 短路构件33。 移动支承部39是用于在设定位置(待机位置和短路位置)支承滑板部37的机 构。如图5、6所示，该移动支承部39设于水平板部45的前端部。该移动支承部39由推杆 49和限制器50构成。 推杆49是用于通过滑板部37等将短路构件33按压于端子5C上的构件。在水平 板部45的前端部设有在该水平板部45被水平地支承的状态下沿垂直方向贯通水平板部 45的推杆支承孔51。推杆49能滑动地支承于该推杆支承孔51中。推杆49在上端设有头 部49A，在下端设有凸缘部49B，能避免其从推杆支承孔51中脱落。另外，在推杆49的头部 49A侧设有弹簧52。该弹簧52对推杆49向上方(支承臂部36的水平板部45为水平的状 态下的上方)施力。另外，弹簧52也具有避免支承于推杆支承孔51中的推杆49自由旋转 的止转功能。这是为了避免在使推杆49旋转、通过后述的螺杆部54微调滑板部37的高度 后，推杆49旋转而使滑板部37的高度改变。 在推杆49的中间部设有供限制器50嵌合的嵌合槽53。该嵌合槽53在推杆49的 中间部形成为环状。嵌合槽53设于在限制器50与该嵌合槽53相嵌合而定位支承推杆49 的状态下、借助滑板部37的支架部38支承的短路构件33可靠地与液晶面板5的多个端子5C相接触的位置(短路位置)。在推杆49的下端部设有螺杆部54，该螺杆部54拧入滑板 部37中。由此，推杆49通过限制器50与嵌合槽53相嵌合而被支承在短路位置，在液晶面 板5的端子5C与探针25相接触时，通过滑板部37等将短路构件33按压于端子5C上。 限制器50是用于切换推杆49的待机位置和短路位置的构件。该限制器50设于 水平板部45的前端部。在水平板部45的前端部沿水平方向(水平板部45为水平的状态 下的水平方向)设有限制器支承孔55。该限制器支承孔55被设置成从水平板部45的前 端部贯穿到推杆支承孔51中。在限制器支承孔55的内壁上形成有螺纹牙，供限制器50拧 入。限制器50由嵌合爪部50A、螺纹部50B、把手部50C构成。嵌合爪部50A是通过与推杆 49的嵌合槽53相嵌合而将推杆49支承在短路位置的部分。螺纹部50B是用于拧入到限 制器支承孔55中的部分。把手部50C是使限制器50旋转而在限制器支承孔55内移动、从 而使嵌合爪部50A相对于推杆49的嵌合槽53出入的部分。转动该把手部50C而从嵌合槽 53中拔出嵌合爪部50A，从而利用弹簧52使推杆49移动到待机位置，按下推杆49而使嵌 合爪部50A与嵌合槽53相嵌合，从而将推杆49支承在短路位置。 以上那样构成的探针单元11具有如下所述的作用。另外，由于检查装置整体的作 用与以往的检查装置相同，因此，在此以探针单元11的作用为中心进行说明。 通过使支承于工件台10上的液晶面板5准确地对位，而使液晶面板5的端子5C 与探针部件24的探针25相互接触。 接着，将由信号产生器31产生的检查信号通过缆线30等从探针25施加给液晶面 板5的端子5C来进行液晶面板5的点亮检查。 此时，当发生不良情况时，探针单元11的与产生该不良情况的位置相对应的短路 装置15从待机模式切换为进行短路检查的短路模式。 通常为待机模式。S卩，限制器50的嵌合爪部50A从推杆49的嵌合槽53脱离，滑 板部37被弹簧52向上方拉起而成为在待机位置待机的待机模式。由此，短路构件33被支 承在从端子5C离开的位置。从该待机模式切换为短路模式。 在短路模式下，按下推杆49，使推杆49的嵌合槽53和限制器50的嵌合爪部50A 的位置对齐而拧入限制器50，使嵌合爪部50A与嵌合槽53相嵌合。由此，短路构件33的顶 端部(下端部)被支承在与探针25的顶端相同高度的位置或比探针25的顶端低的位置。 在该状态下，使工件台10动作，使液晶面板5的端子5C与探针25相接触时，同时 使短路构件33与探针25所接触的所有端子5C相接触，使这些端子5C全部都短路。 在该状态下，在由信号产生器31产生检查信号时，即使是在不良情况是由探针单 元引起的情况下，被发送到各探针25上的检查信号也能施加给被短路构件33短路了的状 态下的所有端子5C。 S卩，将检查信号可靠地施加给各端子5C。 在该短路模式下，在液晶面板5上产生不良情况时，可知是由面板引起的不良情 况。另一方面，在短路模式下，在液晶面板5上未产生不良情况下时，可知是由探针单元引 起的不良情况。基于此进行以后的处理。 在探针单元11中，放松限制器50而使嵌合爪部50A从嵌合槽53脱离，使滑板部 37回复到待机位置。 在维修时，如图4所示，拆下螺钉43，使短路装置15以作为转动机构的铰链41为 中心转动。在该状态下，进行探针部件24等的维修。也进行短路装置15自身的维修。[0055] 如上所述，在探针装置13上设置短路装置15，能切换待机模式和短路模式，因此， 在点亮检查工序中产生不良情况时，能容易且可靠地判断该不良情况是由面板引起的还是 由探针单元引起的。 由此，不需要另外设置与点亮检查工序不同的检查工序，能谋求检查作业的效率 化。 另外，由于短路装置15以作为转动机构的铰链41为中心进行转动，因此能容易地 进行维修。 由于短路构件33是由覆盖液晶面板5的多个端子5C的整体、并同时与液晶面板 5的多个端子5C相接触的导电性橡胶构成，因此，能容易且可靠地使所有端子5C短路。 按压机构34包括滑板部37和移动支承部39，该滑板部37在使短路构件33与液 晶面板5的端子5C相对地支承短路构件33的状态下滑动，并使短路构件33能相对于端子 5C装卸，该移动支承部39使该滑板部37在待机位置和短路位置之间移动地支承该滑板部 37，因此，在产生不良情况时，能通过手动容易地切换成短路模式，能谋求检查作业的效率 化。 移动支承部39包括推杆49和限制器50，该推杆49借助滑板部37将短路构件33 按压于各端子5C上，该限制器50将该推杆49支承在上述滑板部37的待机位置和短路位 置，因此，能通过手动容易地切换短路模式和待机模式。 第1变形例 在上述实施方式中，将移动支承部39构成为由推杆49和限制器50构成的手动式 的移动支承部，但也可以为自动式的移动支承部。具体而言，也可以为如图8所示地构成。 图8是仅设置一个驱动缸的例子。由于检查装置的整体结构与上述实施方式相 同，因此，在此以探针单元的短路装置为中心进行说明。在图8的探针单元中，短路装置59 包括支承臂部60、滑板部61、驱动缸62和控制部63。 支承臂部60能转动地支承于探针基部12。该支承臂部60形成为较宽的板状，能 覆盖5个探针部件24。支承臂部60的基端部通过铰链65能转动地支承于探针基部12。在 铰链65的端部设有限制器66。该限制器66形成为销状，安装于固定在铰链65的旋转轴 上的长方体状的销座67上。在销座67上沿垂直方向设有两个销孔68。在与该销孔68相 对应的探针基部12上设有销支承孔69。限制器66贯穿销座67的销孔68，通过与探针基 部12的销支承孔69相嵌合而被固定，将支承臂部60固定为无法转动。然后，通过拔下限 制器66而使支承臂部60转动，从而能进行维修等。 支承臂部60的侧面形状形成为L字形，其直立板部60A配置为覆盖各探针部件 24。在直立板部60A上沿纵向设有导轨71。 滑板部61由1张板材构成，设有分别与5个探针部件24相对应的5个支部61A。 在滑板部61的背面设有引导件(图未示)，通过使引导件与导轨71相嵌合而使滑板部61 能上下滑动地支承滑板部61。 在各支部61A的顶端(下端)设有与上述实施方式相同的支架部38，在该支架部 38上安装有短路构件33。由此，用1个滑板部61同时支承所有短路构件33。 驱动缸62是用于使滑板部61沿上下方向移动的驱动装置。驱动缸62将滑板部 61支承在伸出位置和拉入位置这两个位置，使滑板部61在短路位置和待机位置之间移动。在利用该驱动缸62使滑板部61伸出而位于短路位置的状态下，利用工件台IO使液晶面板 5的端子5C与探针25相接触，从而将短路构件33按压于各端子5C。 控制部63是用于控制驱动缸62而使滑板部61在待机位置和短路位置之间移动 的装置。控制部63利用控制检查装置1的整体的控制部或设置驱动缸62专用的控制部。 采用以上构成，当在液晶面板5上产生不良情况时，控制部63使驱动缸62动作而 使滑板部61从待机状态移动到短路状态。在该状态下，利用工件台10使液晶面板5的端 子5C与探针25相接触，与上述实施方式同样地进行判断。 由此，能起到与上述实施方式相同的作用、效果，并且在液晶面板5的检查线中，
能自动地判断产生不良情况的原因。结果，能谋求检查作业的高效率化。 第2变形例 在上述第1变形例中，仅设置1个驱动缸62，驱动1个滑板部61而使所有短路构 件33同时移动，但也可以与各探针部件24相对应地设置多个驱动缸。本变形例的探针单 元的整体结构与上述第l变形例的探针单元大致相同，因此，在此以短路装置为中心进行 说明。 本变形例的短路装置是每个探针部件24都设置驱动缸的结构。 分别与各探针部件24相对应地设置5个滑板部73。借助导轨71能滑动地支承在
支承臂部60的直立板部60A上。 驱动缸74分别设于上述各滑板部73上而分别驱动各滑板部73。各驱动缸74分
别与控制部63(参照图8)相连接，并由控制部63分别控制。并且，利用控制部63仅驱动
各驱动缸74中的与产生不良情况的位置相对应的驱动缸74，进行短路检查。 在该情况下，也能起到与上述实施方式及第1变形例相同的作用、效果。另外，在
本变形例中，由于利用各驱动缸74使各短路构件33分别与端子5C相接触，因此，能迅速地
进行检查作业。 另一变形例 具有上述实施方式的探针单元11的检查装置1并不限于上述检查装置l，本实用 新型能适用于能设置探针单元11的所有检查装置。
权利要求一种探针单元，其特征在于，该探针单元包括探针部件，其通过使多个探针分别与设于检查对象面板上的多个端子相接触来进行点亮检查；短路装置，其在使上述各探针分别与上述各端子相接触而进行点亮检查时使各端子短路，上述短路装置包括短路构件，其与上述各端子相对设置，与上述各端子同时接触而使所有端子短路；按压机构，其在被支承于上述探针部件侧的状态下支承该短路构件并使该短路构件与上述各端子相接触。
2. 根据权利要求l所述的探针单元，其特征在于，上述短路构件由覆盖上述检查对象面板的多个端子整体、并同时与上述检查对象面板 的多个端子相接触的导电性橡胶构成。
3. 根据权利要求l所述的探针单元，其特征在于，上述按压机构包括滑板部和移动支承部，该滑板部在使上述短路构件与上述检查对象 面板的端子相对地支承上述短路构件的状态下滑动，并使上述短路构件能相对于上述端子 装卸；该移动支承部使该滑板部在待机位置和短路位置之间移动地支承该滑板部。
4. 根据权利要求3所述的探针单元，其特征在于，上述移动支承部包括推杆和限制器，该推杆借助上述滑板部将上述短路构件按压于上 述端子；该限制器将该推杆支承在上述滑板部的待机位置和短路位置。
5. 根据权利要求3所述的探针单元，其特征在于，上述移动支承部包括驱动缸和控制部，该驱动缸借助上述滑板部将上述短路构件按压 于上述端子；该控制部控制该驱动缸而使上述滑板部在待机位置和短路位置之间移动。
6. 根据权利要求5所述的探针单元，其特征在于，该探针单元仅设置1个上述滑板部，并且具有分别与配置多个的上述探针部件相对应 的支部，同时支承所有短路构件，仅设置1个上述驱动缸，驱动上述滑板部而使所有短路构件同时移动。
7. 根据权利要求5所述的探针单元，其特征在于， 分别与配置多个的上述探针部件相对应地设置多个上述滑板部，上述驱动缸分别设于上述多个滑板部上并分别驱动各滑板部，仅驱动各驱动缸中的与 产生不良情况的位置相对应的驱动缸。
8. 根据权利要求l所述的探针单元，其特征在于，该探针单元还包括将上述按压机构能转动地支承在上述探针部件侧的转动机构。
9. 一种检查装置，其用于检查检查对象面板，其特征在于，该检查装置包括面板配置部，其用于在对从外部插入的检查对象面板检查结束后将 该检查对象面板向外部搬出；测量部，其用于支承并检验从该面板配置部接过来的检查对 象面板，使用权利要求1 8中任一项所述的探针单元作为上述测量部的探针单元。
专利摘要本实用新型提供一种探针单元及检查装置。能谋求检查作业的效率化。该探针单元包括探针部件，其通过使多个探针分别与设于检查对象面板上的多个端子相接触来进行点亮检查；短路装置，其在使上述各探针分别与上述各端子相接触而进行点亮检查时，在上述检查对象面板上产生线缺陷等的不良情况下使各端子短路，上述短路装置包括短路构件，其与上述各端子相对设置，与上述各端子同时接触而使所有端子短路；按压机构，其在被支承于上述探针部件侧的状态下支承该短路构件并在产生上述不良情况时使该短路构件与上述各端子相接触。利用被按压机构支承的短路构件与各端子相接触来判断上述不良情况是由面板引起的还是由探针单元引起的。
文档编号G01R1/073GK201535789SQ20092021963
公开日2010年7月28日 申请日期2009年10月30日 优先权日2008年11月26日
发明者三浦一佳, 安斋正行, 小山内康晃, 齐藤裕树 申请人:日本麦可罗尼克斯股份有限公司