专利名称：透明板状体的缺陷检查方法及装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及透明板状体的缺陷检查方法及装置，特别涉及各种显示器 (LCD(Liquid Crystal Display 液晶显示器)、PDP(Plasma Display Panel :等离子显示面板)、EL (Electroluminescence 电致发光)、FED (Field Emission Display 场致发射显示器)或者液晶投影电视机等)用的玻璃基板、汽车及其它车辆等用玻璃的原板、建筑用平板玻璃的缺陷检查方法及装置。
背景技术：
目前，在透明板状体的缺陷检查中，要求区分气泡、异物或者伤痕等缺陷和对透明板状体的品质没有影响的灰尘及污点等疑似缺陷。另外，有时根据存在缺陷的透明板状体的部位(主表面、内部或者背面的某个部位)及位于内部时缺陷的深度，所要求的品质等级不同。因此，不仅要求检测出缺陷，还要求确定透明板状体的厚度方向上的缺陷的位置。除了这些检测性能的要求以外，对于缺陷检查方法，还有如下产业应用上的要求 检查性能不依赖于透明板状体的尺寸而劣化；对多种厚度的透明板状体也能适用；对以平板玻璃的浮法为代表的透明板状体的连续成型过程(on line 联机)也能适用等。作为区分缺陷和疑似缺陷的方法，如日本特开平8-201313号公报所公开的那样， 存在使用组合有棒状光源和遮光罩的透射暗场光学系统的方法。在该方法中，利用缺陷和疑似缺陷的光散射方向性的差异，区分缺陷和疑似缺陷。但是，因缺陷的种类不同光散射方向性不同，而疑似缺陷也呈现多种光散射方向性，因此，仅利用光散射方向性难以区分缺陷和疑似缺陷。另外，由于使用透射光学系统，日本特开平8-201313号公报所公开的方法中难以确定透明板状体的厚度方向上的缺陷位置。另一方面，作为区分缺陷和疑似缺陷的其它方法，有如日本特开平10-339705号公报及日本特开平1H64803号公报所公开的如下方法自透明板状体的端面向内部照射光，由此检测出缺陷所引起的散射光(下面称为边缘光方式)。自端面向透明板状体内部入射的光一边被反复全反射，一边在板状体的内部行进，但在有缺陷的部位散射，向透明板状体的主表面侧或者背面侧射出。此时，在透明板状体内部行进的光不会因透明板状体的主表面或者背面上附着的疑似缺陷而散射，因此，如果在透明板状体的主表面侧及背面侧上设置照相机的话，能够仅检测出缺陷。再者，核对透明板状体的主表面侧和背面侧上配置的照相机的检测信号，由此能够对透明板状体厚度方向上的缺陷位置进行一定程度上的判别。专利文献1 日本特开平8-201313号公报专利文献2 日本特开平10-339705号公报专利文献3 日本特开平1H64803号公报

发明内容
但是，现有的边缘光方式中存在若干问题。自端面向透明板状体入射的光被透明板状体自身吸收，因此，在透明板状体的中央部(平面内的中央部)和端部上，对缺陷供给的光量不同。如果透明板状体的尺寸小的话，光量的差异不会成为很大的问题，但是随着透明板状体的尺寸变大，供给光量的差异变得显著，在检测性能上呈现面内分布。该情况在透明板状体的厚度增加时会进一步恶化，因此，可以说边缘光方式与其它方式相比与厚度有关的可适用范围较窄。特别在近年来的液晶面板中，正在从现有的第5代(IlOOmmX 1250mm)向第6代 (1500mmX 1850mm)或者第7代(1870mmX 2200mm)的超大尺寸切换。因此，存在热切期望能实现基板检查的自动化的新技术出现的情形。根据上述，本发明的一个目的在于解决伴随透明板状体增大而检测性能降低的现有技术的问题。另外，本发明的其它目的在于，比现有技术更准确地确定透明板状体厚度方向上的缺陷位置。为了实现上述目的，本发明提供一种透明板状体的缺陷检查方法，检查存在于透明板状体中的气泡、瑕疵、异物等缺陷，其特征在于，包括使用具有配置在透明板状体的主表面侧的线状光源及照相机的第一反射型明场光学系统拍摄所述透明板状体的主表面的图像即下述第一图像的步骤；使用具有配置在透明板状体的背面侧的线状光源及照相机的第二反射型明场光学系统拍摄所述透明板状体的背面的图像即下述第二图像的步骤；对所述第一及第二图像分别搜索缺陷候补的步骤；及根据该搜索的结果确认在所述第一及第二图像的彼此对应的位置上是否存在缺陷候补，在从所述第一及第二图像双方发现缺陷候补的情况下，将该缺陷候补视为缺陷，而在仅从所述第一及第二图像中的一方发现缺陷候补的情况下，将该缺陷候补视为疑似缺陷的步骤。另外，本发明提供一种透明板状体的缺陷检查方法，检查存在于透明板状体中的气泡、瑕疵、异物等缺陷，其特征在于，包括使用具有配置在透明板状体的主表面侧的线状光源及照相机的第一反射型明场光学系统拍摄所述透明板状体的主表面的图像即下述第一图像的步骤；使用具有配置在所述透明板状体的背面侧的线状光源及照相机的第二反射型明场光学系统拍摄所述透明板状体的背面的图像即下述第二图像的步骤；对所述第一及第二图像分别搜索缺陷候补的步骤；根据通过该搜索得到的缺陷候补的图像的对比度判断是实像还是虚像的步骤；及根据所述实像或者虚像的出现图案确定所述缺陷候补位于所述透明板状体的主表面、内部还是背面的步骤。另外，本发明提供一种透明板状体的缺陷检查方法，检查存在于透明板状体中的气泡、瑕疵、异物等缺陷，其特征在于，包括使用具有配置在透明板状体的主表面侧的线状光源及照相机的第一反射型明场光学系统拍摄所述透明板状体的主表面的图像即下述第一图像的步骤；使用具有配置在透明板状体的背面侧的线状光源及照相机的第二反射型明场光学系统拍摄所述透明板状体的背面的图像即下述第二图像的步骤；对所述第一及第二图像分别搜索缺陷候补的步骤；求出同一缺陷候补出现在同一照相机中的两个图像之间的距离的步骤；及根据所述两个图像之间的距离确定所述缺陷候补位于所述透明板状体的主表面、内部还是背面的步骤。另外，在所述透明板状体的缺陷检查方法中，优选还具有如下步骤将所述透明板状体的厚度作为已知信息，并且根据同一缺陷出现在同一照相机中的两个图像之间的距离，求出缺陷在所述透明板状体的厚度方向上的深度。
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另外，本发明提供一种透明板状体的缺陷检查装置，检查存在于透明板状体中的气泡、瑕疵、异物等缺陷，其特征在于，具有第一反射型明场光学系统，具有配置在透明板状体的主表面侧的线状光源及照相机，用于拍摄所述透明板状体的主表面的图像即下述第一图像；第二反射型明场光学系统，具有配置在所述透明板状体的背面侧的线状光源及照相机，用于拍摄所述透明板状体的背面的图像即下述第二图像；及计算机，对所述第一及第二图像分别搜索缺陷候补，根据该搜索的结果确认在第一及第二图像的彼此对应的位置上是否存在缺陷候补，在从所述第一及第二图像双方发现缺陷候补的情况下，将该缺陷候补视为缺陷，而在仅从所述第一及第二图像中的一方发现缺陷候补的情况下，将该缺陷候补视为疑似缺陷。另外，本发明提供一种透明板状体的缺陷检查装置，检查存在于透明板状体中的气泡、瑕疵、异物等缺陷，其特征在于，具有第一反射型明场光学系统，具有配置在透明板状体的主表面侧的线状光源及照相机，用于拍摄所述透明板状体的主表面的图像即下述第一图像；第二反射型明场光学系统，具有配置在所述透明板状体的背面侧的线状光源及照相机，用于拍摄所述透明板状体的背面的图像即下述第二图像；及计算机，对所述第一及第二图像分别搜索缺陷候补，根据通过该搜索得到的缺陷候补的图像的对比度判断是实像还是虚像，根据所述实像或虚像的出现图案确定所述缺陷候补位于所述透明板状体的主表面、内部还是背面。另外，本发明提供一种透明板状体的缺陷检查装置，检查存在于透明板状体中的气泡、瑕疵、异物等缺陷，其特征在于，具有第一反射型明场光学系统，具有配置在透明板状体的主表面侧的线状光源及照相机，用于拍摄所述透明板状体的主表面的图像即下述第一图像；第二反射型明场光学系统，具有配置在所述透明板状体的背面侧的线状光源及照相机，用于拍摄所述透明板状体的背面的图像即下述第二图像；及计算机，对所述第一及第二图像分别搜索缺陷候补，求出同一缺陷候补出现在同一照相机中的两个图像之间的距离，根据所述两个图像之间的距离确定所述缺陷候补位于所述透明板状体的主表面、内部还是背面。另外，所述计算机优选还具有如下功能将所述透明板状体的厚度作为已知信息， 并且根据同一缺陷出现在同一照相机中的两个图像之间的距离，求出缺陷在所述透明板状体的厚度方向上的深度。如上述说明，本发明能够通过利用在透明板状体的主表面侧及背面侧上呈现的缺陷候补的图像，来区分缺陷(气泡、瑕疵、异物等)和疑似缺陷(灰尘及污点等)，实现联机的缺陷检查。另外，本发明能够得到如下效果能够准确地确定透明板状体的厚度方向上的缺陷位置；检测性能不会依赖于透明板状体的尺寸而降低；及与边缘光方式相比能适用的透明板状体的厚度范围较广等。再有，本发明不要求透明板状体的端面平滑，因此也能适用于像浮法那样的平板玻璃的连续成型过程。


图1是说明本发明的基本构成的图。图2是说明上下方的线阵传感器照相机获得明场的情形的图。图3是说明上部的线阵传感器照相机获得位于透明板状体的主表面上的缺陷的图像的情形的图。图4是说明下部的线阵传感器照相机获得位于透明板状体的主表面上的缺陷的图像的情形的图。图5是说明上部的线阵传感器照相机获得位于透明板状体内部的缺陷的图像的情形的图。图6是说明下部的线阵传感器照相机获得位于透明板状体内部的缺陷的图像的情形的图。图7是说明上部的线阵传感器照相机获得位于透明板状体背面的缺陷的图像的情形的图。图8是说明下部的线阵传感器照相机获得位于透明板状体背面的缺陷的图像的情形的图。图9是说明上部的线阵传感器照相机获得位于透明板状体主表面的疑似缺陷的图像的情形的图。图10是说明下部的线阵传感器照相机获得位于透明板状体主表面的疑似缺陷的图像的情形的图。图11是说明上部的线阵传感器照相机获得位于透明板状体背面的疑似缺陷的图像的情形的图。图12是说明下部的线阵传感器照相机获得位于透明板状体背面的疑似缺陷的图像的情形的图。图13是说明缺陷等的种类和利用各照相机拍摄的图像之间的关系的图。图14是说明下部的线阵传感器照相机获得位于靠近透明板状体背面的内部缺陷的图像的情形的图。图15是表示通过本发明尝试区分缺陷和疑似缺陷的结果的图(实施例)。图16是表示通过本发明尝试区分位于主表面的缺陷和主表面附近的内部缺陷的结果的图(实施例)。图17是表示通过本发明测定缺陷的深度的结果的图(实施例)。
具体实施例方式下面对本发明的一实施方式进行说明。图1是表示本发明的基本构成的说明图。如图1所示，在传送辊6上的透明板状体1的上方设置有线状光源2及线阵传感器照相机3，在透明板状体1的下方配置有线状光源4及线阵传感器照相机5。通过传送辊6将透明板状体1向箭头方向勻速传送的同时，通过线阵传感器照相机3及线阵传感器照相机5连续拍摄透明板状体。计算机7同时对两线阵传感器照相机的图像进行运算处理，进行缺陷检查。首先，对于拍摄透明板状体1的主表面的图像的步骤和拍摄所述透明板状体的背面的图像的步骤进行说明。线状光源2及线阵传感器照相机3的受光元件都在与纸面垂直的方向(透明板状体1的宽度方向)排列。作为线状光源2的具体构成，可采用在打开狭缝的灯箱中设置荧光灯的光源、利用光纤向具有线状发光部分的光导供给卤素灯或者金属卤化物灯的光的光源等各种光源。
另外，线状光源2相对于透明板状体1位于线阵传感器照相机3的正反射方向，同样，线状光源4相对于透明板状体1位于线阵传感器照相机5的正反射方向。通过该配置， 在线阵传感器照相机3中显现线状光源2的反射像，在线阵传感器照相机5中显现线状光源4的反射像，分别成为明场。对于线阵传感器照相机3、5的光轴和透明板状体1的法线形成的角度没有特别的限定，但优选20 70度的范围。下面对搜索缺陷候补的步骤进行说明。图2(a)表示在线阵传感器照相机3中获得明场的情形。图2(a)中，从线状光源2发出的光主要经过两条光线路径到达线阵传感器 3。一条是通过被透明板状体1的主表面(透明板状体1上侧的面)反射而形成的光线路径8，另一条是通过被透明板状体1的背面(透明板状体1下侧的面)反射而形成的光线路径9。线阵传感器照相机3因由该两条光线路径8、9产生的图像重叠而成为明场。同样，图2(b)表示在线阵传感器5中获得明场的情形。图2(b)中，从线状光源 4发出的光主要经过两条光线路径到达线阵传感器5。一条是通过被透明板状体1的背面反射而形成的光线路径10，另一条是通过被透明板状体1的主表面反射而形成的光线路径 11。线阵传感器照相机5因该两条光线路径10、11产生的图像重叠而成为明场。下面，对根据通过该搜索得到的缺陷候补的图像的对比度判断是实像还是虚像的步骤进行说明。缺陷和光线路径交叉时，由于缺陷导致的光学变动(折射、散射、反射、吸收或者遮光等)，从线状光源到达线阵传感器照相机的光要么削弱，要么根据情况而增强。作为其结果，线阵传感器照相机将缺陷作为与周围的明场相比较暗或根据情况较亮的图像捕获。下面，使用图3到图12说明本发明中的缺陷及疑似缺陷的图像的生成图案。图3 (a)和(b)及图4表示线阵传感器照相机3、5得到位于透明板状体1的主表面的缺陷12的图像的情形。特别是图3(a)表示缺陷12与光线路径8和光线路径9同时相交的情况。此时，缺陷12对在光线路径8和光线路径9中行进的光引发光学变动。作为结果，线阵传感器照相机3因由这两条光线路径8、9形成的图像重叠而得到缺陷12的实像。另一方面，图3(b)表示进一步进行透明板状体1的传送而致使缺陷12仅与光线路径9相交的情况。此时，缺陷12仅对在光线路径9中行进的光产生光学变动。作为结果， 线阵传感器照相机3因由这两条光线路径8、9形成的图像重叠而得到缺陷12的虚像。图4 是缺陷12仅与光线路径11相交的情况。此时，缺陷12仅对在光线路径11中行进的光产生光学变动。作为结果，线阵传感器照相机5因由这两条光线路径10、11形成的图像重叠而得到缺陷12的虚像。图5 (a)及(b)和图6 (a)及(b)表示线阵传感器照相机3、5得到位于透明板状体 1内部的缺陷13的图像的情形。图5(a)是缺陷13仅与光线路径9相交的情况。此时缺陷13仅对在光线路径9中行进的光产生光学变动。作为结果，线阵传感器照相机3因由这两条光线路径8、9形成的图像重叠而得到缺陷13的虚像。图5(b)表示进一步进行透明板状体1的传送而致使缺陷13仅与光线路径9相交的情况。此时，缺陷13仅对在光线路径 9中行进的光产生光学变动。作为结果，线阵传感器照相机3因由这两条光线路径8、9形成的图像重叠而得到缺陷13的虚像。图6(a)是缺陷13仅与光线路径11相交的情况。此时，缺陷13仅对在光线路径11中行进的光产生光学变动。作为结果，线阵传感器照相机5 因由这两条光线路径10、11形成的图像重叠而得到缺陷13的虚像。图6(b)表示进一步进行透明板状体1的传送而致使缺陷13仅与光线路径11相交的情况。此时，缺陷13仅对在光线路径11中行进的光产生光学变动。作为结果，线阵传感器照相机5因由这两条光线路径10、11形成的图像重叠而得到缺陷13的虚像。图7及图8 (a)和(b)表示线阵传感器照相机3、5得到位于透明板状体1的背面的缺陷14的图像的情形。特别是图7表示缺陷14仅与光线路径9相交的情况。此时，缺陷14仅对在光线路径9中行进的光引发光学变动。作为结果，线阵传感器照相机3因由这两条光线路径8、9形成的图像重叠而得到缺陷14的虚像。图8(a)表示缺陷14仅与光线路径11相交的情况。此时，缺陷14仅对在光线路径11中行进的光产生光学变动。作为结果，线阵传感器照相机3因由这两条光线路径10、11形成的图像重叠而得到缺陷14的虚像。另一方面，图8(b)表示进一步进行透明板状体1的传送而致使缺陷14与光线路径10和光线路径11同时相交的情况。此时，缺陷14对在光线路径10和光线路径11中行进的光引发光学变动。作为结果，线阵传感器照相机5因由这两条光线路径10、11形成的图像重叠而得到缺陷14的实像。图9 (a)和(b)及图10表示线阵传感器照相机3、5得到位于透明板状体1的主表面的疑似缺陷15的图像的情形。特别是图9(a)表示疑似缺陷15与光线路径8和光线路径9同时相交的情况。此时，疑似缺陷15对在光线路径8和光线路径9中行进的光线引发光学变动。作为结果，线阵传感器照相机3因由这两条光线路径8、9形成的图像重叠而得到疑似缺陷15的实像。图9(b)表示进一步进行透明板状体1的传送而致使疑似缺陷15 仅与光线路径9相交的情况。此时，疑似缺陷15仅对在光线路径9中行进的光产生光学变动。作为结果，线阵传感器照相机3因由这两条光线路径8、9形成的图像重叠而得到疑似缺陷15的虚像。图10表示疑似缺陷15位于光线路径11的反射点的情况。但是，由于疑似缺陷15 位于透明板状体1的外部，因此不对在光线路径11中行进的光产生光学变动。作为结果， 线阵传感器照相机5无法获得疑似缺陷15的图像。图11及图12(a)和(b)表示线阵传感器照相机3、5得到位于透明板状体1的背面的疑似缺陷16的图像的情形。特别是图11表示疑似缺陷16位于光线路径9的反射点的情况。但是，由于疑似缺陷16位于透明板状体1的外部，因此不对在光线路径9中行进的光产生光学变动。作为结果，线阵传感器照相机3无法获得疑似缺陷16的图像。另一方面，图12(a)表示疑似缺陷16仅与光线路径11相交的情况。此时，疑似缺陷16仅对在光线路径11中行进的光引发光学变动。作为结果，线阵传感器照相机3因由这两条光线路径10、11形成的图像重叠而得到疑似缺陷16的虚像。图12(b)表示进一步进行透明板状体1的传送而致使疑似缺陷16与光线路径10和光线路径11同时相交的情况。此时，疑似缺陷16对在光线路径10和光线路径11中行进的光线引发光学变动。作为结果，线阵传感器照相机5因由这两条光线路径10、11形成的图像重叠而得到疑似缺陷16 的实像。下面对于将缺陷候补看做疑似缺陷的步骤进行说明。灰尘及污点等疑似缺陷不在透明板状体的内部，而是附着于主表面或背面的某一面(处于内部的情况视为缺陷处理)， 因此，缺陷及疑似缺陷的图像的出现图案包括在图9 图12的某一项的说明中。另外，对于将缺陷候补看做为疑似缺陷的步骤和确定所述缺陷候补位于所述透明板状体的主表面、内部还是背面的步骤进行说明。图13(a) (e)是说明缺陷等的种类和利用各照相机拍摄的图像之间的关系的图。如这些图所示，根据缺陷等的种类及位置，利用各线阵传感器照相机取得的缺陷候补的图像的图案有所不同。另外，表1针对缺陷及疑似缺陷将线阵传感器照相机得到的图像的出现图案列成表格。再有，在利用同一线阵传感器照相机观测到同一缺陷的两个图像的情况下，将这些图像作为1组捕获，下面称为“二重像”。表1
权利要求
1.一种透明板状体的缺陷检查方法，检查存在于透明板状体中的气泡、瑕疵、异物等缺陷，其特征在于，包括使用具有配置在透明板状体的主表面侧的线状光源及照相机的第一反射型明场光学系统拍摄所述透明板状体的主表面的图像即下述第一图像的步骤；使用具有配置在所述透明板状体的背面侧的线状光源及照相机的第二反射型明场光学系统拍摄所述透明板状体的背面的图像即下述第二图像的步骤； 对所述第一及第二图像分别搜索缺陷候补的步骤；及根据该搜索的结果确认在所述第一及第二图像的彼此对应的位置上是否存在缺陷候补，在从所述第一及第二图像双方发现缺陷候补的情况下，将该缺陷候补视为缺陷，而在仅从所述第一及第二图像中的一方发现缺陷候补的情况下，将该缺陷候补视为疑似缺陷的步马聚ο
2.—种透明板状体的缺陷检查方法，检查存在于透明板状体中的气泡、瑕疵、异物等缺陷，其特征在于，包括使用具有配置在透明板状体的主表面侧的线状光源及照相机的第一反射型明场光学系统拍摄所述透明板状体的主表面的图像即下述第一图像的步骤；使用具有配置在所述透明板状体的背面侧的线状光源及照相机的第二反射型明场光学系统拍摄所述透明板状体的背面的图像即下述第二图像的步骤； 对所述第一及第二图像分别搜索缺陷候补的步骤；根据通过该搜索得到的缺陷候补的图像的对比度判断是实像还是虚像的步骤；及根据所述实像或虚像的出现图案确定所述缺陷候补位于所述透明板状体的主表面、内部还是背面的步骤。
3.—种透明板状体的缺陷检查方法，检查存在于透明板状体中的气泡、瑕疵、异物等缺陷，其特征在于，包括使用具有配置在透明板状体的主表面侧的线状光源及照相机的第一反射型明场光学系统拍摄所述透明板状体的主表面的图像即下述第一图像的步骤；使用具有配置在所述透明板状体的背面侧的线状光源及照相机的第二反射型明场光学系统拍摄所述透明板状体的背面的图像即下述第二图像的步骤； 对所述第一及第二图像分别搜索缺陷候补的步骤； 求出同一缺陷候补出现在同一照相机中的两个图像之间的距离的步骤；及根据所述两个图像之间的距离确定所述缺陷候补位于所述透明板状体的主表面、内部还是背面的步骤。
4.如权利要求3所述的透明板状体的缺陷检查方法，还具有如下步骤将所述透明板状体的厚度作为已知信息，并且根据同一缺陷出现在同一照相机中的两个图像之间的距离，求出缺陷在所述透明板状体的厚度方向上的深度。
5.一种透明板状体的缺陷检查装置，检查存在于透明板状体中的气泡、瑕疵、异物等缺陷，其特征在于，具有第一反射型明场光学系统，具有配置在透明板状体的主表面侧的线状光源及照相机， 用于拍摄所述透明板状体的主表面的图像即下述第一图像；第二反射型明场光学系统，具有配置在所述透明板状体的背面侧的线状光源及照相机，用于拍摄所述透明板状体的背面的图像即下述第二图像；及计算机，对所述第一及第二图像分别搜索缺陷候补，根据该搜索的结果确认在第一及第二图像的彼此对应的位置上是否存在缺陷候补，在从所述第一及第二图像双方发现缺陷候补的情况下，将该缺陷候补视为缺陷，而在仅从所述第一及第二图像中的一方发现缺陷候补的情况下，将该缺陷候补视为疑似缺陷。
6.一种透明板状体的缺陷检查装置，检查存在于透明板状体中的气泡、瑕疵、异物等缺陷，其特征在于，具有第一反射型明场光学系统，具有配置在透明板状体的主表面侧的线状光源及照相机， 用于拍摄所述透明板状体的主表面的图像即下述第一图像；第二反射型明场光学系统，具有配置在所述透明板状体的背面侧的线状光源及照相机，用于拍摄所述透明板状体的背面的图像即下述第二图像；及计算机，对所述第一及第二图像分别搜索缺陷候补，根据通过该搜索得到的缺陷候补的图像的对比度判断是实像还是虚像，根据所述实像或虚像的出现图案确定所述缺陷候补位于所述透明板状体的主表面、内部还是背面。
7.—种透明板状体的缺陷检查装置，检查存在于透明板状体中的气泡、瑕疵、异物等缺陷，其特征在于，具有第一反射型明场光学系统，具有配置在透明板状体的主表面侧的线状光源及照相机， 用于拍摄所述透明板状体的主表面的图像即下述第一图像；第二反射型明场光学系统，具有配置在所述透明板状体的背面侧的线状光源及照相机，用于拍摄所述透明板状体的背面的图像即下述第二图像；及计算机，对所述第一及第二图像分别搜索缺陷候补，求出同一缺陷候补出现在同一照相机中的两个图像之间的距离，根据所述两个图像之间的距离确定所述缺陷候补位于所述透明板状体的主表面、内部还是背面。
8.如权利要求7所述的透明板状体的缺陷检查装置，所述计算机还具有如下功能将所述透明板状体的厚度作为已知信息，并且根据同一缺陷出现在同一照相机中的两个图像之间的距离，求出缺陷在所述透明板状体的厚度方向上的深度。
全文摘要
本发明提供一种透明板状体的缺陷检查方法及装置，以解决随着透明板状体增大而检测性能劣化的现有技术的问题。所述透明板状体的缺陷检查方法的特征在于，包括使用具有配置在透明板状体(1)的主表面侧的线状光源(2)及照相机(3)的第一反射型明场光学系统拍摄所述透明板状体(1)的主表面的图像即下述第一图像的步骤；同样地拍摄透明板状体(1)的背面的图像即下述第二图像的步骤；对第一及第二图像分别搜索缺陷候补的步骤；及根据该搜索的结果确认在第一及第二图像的彼此对应的位置上是否存在缺陷候补，在从第一及第二图像双方发现缺陷候补的情况下，将该缺陷候补视为缺陷，而在仅从第一及第二图像中的一方发现缺陷候补的情况下，将该缺陷候补视为疑似缺陷的步骤。
文档编号G01N21/958GK102435618SQ201010505529
公开日2012年5月2日 申请日期2010年9月29日 优先权日2010年9月29日
发明者尊田嘉之 申请人:旭硝子株式会社