专利名称：便于拾取tem样品的样品台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体失效分析设备，具体涉及一种便于拾取TEM样品的样品台。
背景技术：
在半导体失效分析方法中，TEM(Transmission electron microscopy透射电镜) 分析日渐趋于主导。TEM分析需要制备TEM样品，在TEM样品制备完成后需进行TEM样品的 Pick-up(拾取)。也就是采用玻璃针20，将样品10拾取到针尖部位，如

图1所示。但是，在 拾取TEM样品的过程中，出现失败的概率很高。经常发生的是，在Pick-up过程中，TEM样 品10跳到玻璃针20的针尖以上部位，如图2所示，很难把样品取下来。为了将位于针尖以上部位的TEM样品取下来，现有的方法是，将针从机台上取下， 然后用另一个针进行拾取。这种方法的缺点是取针过程中由于振动，容易使样品丢失，造 成损失。

实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种便于拾取TEM样品的样品台，它可以 提高TEM样品拾取的成功率。为解决上述技术问题，本实用新型便于拾取TEM样品的样品台的技术解决方案 为包括样品台，样品台的一端设有固定座，固定座的顶面设有凹槽，凹槽内设置有样 品台玻璃针，固定座的顶部设有固定盖，固定盖与固定座通过螺丝旋钮连接，将样品台玻璃 针连接于固定座上。所述凹槽沿水平方向延伸。所述样品台玻璃针与固定座之间设有间隙。所述样品台玻璃针的针尾部套设有针尾套。所述针尾套设有凸起。本实用新型可以达到的技术效果是本实用新型能够大幅提高TEM样品拾取的成功率，避免了丢失样品的可能，同时 避免了由于样品的丢失而无法进行下一步分析，造成工程延后的严重后果。采用本实用新型进行TEM样品的拾取，可以节省取针这一过程，避免在取针过程 中丢失样品。
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的说明图1是样品在玻璃针上的正确位置；图2是样品在玻璃针上的错误位置；[0017][0018][0019][0020][0023][0024][0025][0026]图3是本实用新型便于拾取TEM样品的样品台的结构示意图图4是图3的俯视图；图5是图4中A的局部放大图；图6是图3的侧视图；图7是本实用新型的使用状态示意图。图中附图标记说明20为玻璃针， 2为固定座， 3为固定盖， 5为样品台玻璃针， 61为凸起。10为样品， 1为样品台， 21为凹槽， 4为螺丝旋钮， 6为针尾套，具体实施方式
[0028]如图3、图4、图6所示，本实用新型便于拾取TEM样品的样品台，包括样品台1，样 品台1的一端设有用于固定玻璃针的固定座2，固定座2的高度大于样品台1 ；[0029]固定座2的顶面设有沿水平方向延伸的凹槽21，凹槽21内水平设置有样品台玻璃 针5，固定座2的顶部设有固定盖3，固定盖3与固定座2通过螺丝旋钮4固定连接，将样品 台玻璃针5连接于固定座2上。[0030]样品台玻璃针5与固定座2之间设有间隙，样品台玻璃针5能够相对于固定座2 旋转。[0031]样品台玻璃针5的针尾部套设有针尾套6。[0032]如图5所示，针尾套6设有沿径向延伸的凸起61。凸起61用于确认样品台玻璃针 5的旋转角度和转向。[0033]利用本实用新型拾取TEM样品的方法如下[0034]1、用一个可自由活动的玻璃针20拾取样品，如果样品准确地落入玻璃针20的针 尖部位，则样品被成功拾取；[0035]2、如果样品未能准确地落入玻璃针20的针尖部位，而是落入玻璃针20的其它部 位，则使带有样品的玻璃针20靠近样品台玻璃针5，利用玻璃针的静电将样品转移至样品 台玻璃针5上；这样就无需取下带有样品的玻璃针20，避免的样品丢失的可能；[0036]3、如图7所示，通过旋转样品台玻璃针5，调整样品的角度，将样品台玻璃针5上的 样品转移到玻璃针20的针尖上，则样品被成功拾取。
权利要求1.一种便于拾取TEM样品的样品台，其特征在于包括样品台，样品台的一端设有固定 座，固定座的顶面设有凹槽，凹槽内设置有样品台玻璃针，固定座的顶部设有固定盖，固定 盖与固定座通过螺丝旋钮连接，将样品台玻璃针连接于固定座上。
2.根据权利要求1所述的便于拾取TEM样品的样品台，其特征在于所述凹槽沿水平 方向延伸。
3.根据权利要求1或2所述的便于拾取TEM样品的样品台，其特征在于所述样品台 玻璃针与固定座之间设有间隙。
4.根据权利要求1所述的便于拾取TEM样品的样品台，其特征在于所述样品台玻璃 针的针尾部套设有针尾套。
5.根据权利要求4所述的便于拾取TEM样品的样品台，其特征在于所述针尾套设有 凸起。
专利摘要本实用新型公开了一种便于拾取TEM样品的样品台，包括样品台，样品台的一端设有固定座，固定座的顶面设有凹槽，凹槽内设置有样品台玻璃针，固定座的顶部设有固定盖，固定盖与固定座通过螺丝旋钮连接，将样品台玻璃针连接于固定座上。本实用新型能够大幅提高TEM样品拾取的成功率，避免了丢失样品的可能，同时避免了由于样品的丢失而无法进行下一步分析，造成工程延后的严重后果。
文档编号G01N1/36GK201819918SQ201020551078
公开日2011年5月4日 申请日期2010年9月30日 优先权日2010年9月30日
发明者芮志贤, 赖华平 申请人:上海华虹Nec电子有限公司