专利名称：一种端面斜度测试仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种测量圆柱体外圆与两端面斜度的仪器，具体应用在测量太阳
能单晶设备中，测量单晶的外圆与单晶两端面倾斜度的仪器。
背景技术：
目前，太阳能但单晶设备的生产精度要求越来越高，对单晶表面测量太阳能单晶 两端面倾斜度的装置，一般采用手动控制，在测量过程中误差大。

发明内容本实用新型为了解决现有技术中测量单晶外圆与单晶两端面不垂直度测量装置 的测量误差大的问题，提出了一种端面斜度测试仪，采用的技术方案是结构中包括有实 验台、定位在实验台面上的检测物定位装置和斜度测定装置，检测物定位装置是水平设置 在实验台面上的液压驱动式自动定心三爪夹紧机构，斜度测定装置是由垂直实验台面方向 的液压驱动机构定位的水平测量基准板和定位其上的数显千分表组成，结构中包括液压驱 动配套的液压站。 本实用新型的有益效果是本实用采用液压控制其测量装置的升降及定位，并且 在测量过程中采用自动定心三爪进行定位，定位效果好。测量过程采用数显千分尺，测量精 度高。

图1为本实用新型结构示意图。 图2为本实用新型自动定心三爪定位示意图。 其中，1为液压油缸，2为油缸活塞杆，3为圆形载物台，4为水平测量基准板，5为数 显千分表，6为棘爪，8为三通液压油缸，9为下基板，10为上基板，11为液压导向油管，12为 导向滑盘，13为连杆，14为定位补偿滚珠，15为被测单晶。
具体实施方式参看附图1本实用新型采用的技术方案是一种端面斜度测试仪，结构中包括有 实验台、定位在实验台面上的检测物定位装置和斜度测定装置，检测物定位装置是水平设 置在实验台面上的液压驱动式自动定心三爪夹紧机构，斜度测定装置是由垂直实验台面方 向的液压驱动机构定位的水平测量基准板4和定位其上的数显千分表5组成，结构中包括 液压驱动配套的液压站。 本实用新型的技术方案中，液压驱动式自动定心三爪夹紧机构的三个棘爪6分别 定位在圆形载物台3上按照120度径向均匀分布的导向滑道7中，每个棘爪6与三通液压 油缸8中的对应活塞杆固定、形成联动。 本实用新型的技术方案中，三通液压油缸8借助液压导向油管ll连接液压站。[0011] 本实用新型的技术方案中，借助液压导向油管11上设置导向滑盘12，用三个连杆 13分别铰链在三个棘爪和滑盘12对应部位上，形成自动定心的辅助稳定机构。 本实用新型的技术方案中，所述的圆形载物台3的上中心部位的圆形凹槽中设置 由上基板10、下基板9组成的被测物下端面自动补偿装置，上、下基板之间以及上基板10和 被测晶体15下端面之间设置有定位补偿滚珠14。 本实用新型的技术方案中，斜度测定装置借助于液压驱动机构的液压油缸2定位 在圆形载物台3上，借助油缸活塞杆2实现斜度测定装置中水平测量基准板4的设定。
以下结合附图对本实用新型的具体使用过程作进一步的说明。 参看附图l，本实用在使用时，将被测晶体15放在圆形载物台3的上基板10上， 自动定心的辅助稳定机构的三个棘爪6在三通液压油缸8的控制下对被测晶体15进行同 步夹紧，使被测晶体15的圆柱面垂直于地面，三通液压油缸8在控制的过程中，带动铰接的 连杆13同时运动，连杆13带动导向滑盘12在液压导向油管11上滑动。夹紧后，在定位补 偿滚珠14的作用下，上基板10、下基板9自调节平衡，并且上基板10上的定位补偿滚珠14 对被测晶体15的位置进行调节。被测晶体115夹紧后，液压油缸1控制油缸活塞杆2上下 移动，使水平测量基准板4与被测晶体15的最高点接触，此时数显千分表5的探针接触被 测晶体15的中心，读取数据。 本实用新型的测量误差保证在±0. lmm，测量范围在6_10英寸单晶。
权利要求一种端面斜度测试仪，结构中包括有实验台、定位在实验台面上的检测物定位装置和斜度测定装置，其特征在于检测物定位装置是水平设置在实验台面上的液压驱动式自动定心三爪夹紧机构，斜度测定装置是由垂直实验台面方向的液压驱动机构定位的水平测量基准板(4)和定位其上的数显千分表(5)组成，结构中包括液压驱动配套的液压站。
2. 根据权利要求1所述的一种端面斜度测试仪，其特征在于液压驱动式自动定心三爪夹紧机构的三个棘爪(6)分别定位在圆形载物台(3)上按照120度径向均匀分布的导向 滑道(7)中，每个棘爪(6)与三通液压油缸(8)中的对应活塞杆固定、形成联动。
3. 根据权利要求2所述的一种端面斜度测试仪，其特征在于三通液压油缸(8)借助 液压导向油管(11)连接液压站。
4. 根据权利要求3所述的一种端面斜度测试仪，其特征在于借助液压导向油管(11)上设置导向滑盘(12)，用三个连杆(13)分别铰链在三个棘爪和滑盘(12)对应部位上，形成 自动定心的辅助稳定机构。
5. 根据权利要求2所述的一种端面斜度测试仪，其特征在于所述的圆形载物台(3) 的上中心部位的圆形凹槽中设置由上基板(10)、下基板(9)组成的被测物下端面自动补偿 装置，上、下基板之间以及上基板(10)和被测晶体(15)下端面之间设置有定位补偿滚珠 (14)。
6. 根据权利要求1所述的一种端面斜度测试仪，其特征在于斜度测定装置借助于液 压驱动机构的液压油缸(2)定位在圆形载物台(3)上，借助油缸活塞杆(2)实现斜度测定 装置中水平测量基准板(4)的设定。
专利摘要一种端面斜度测试仪，解决了现有技术中测量单晶外圆与单晶两端面不垂直度测量装置的测量误差大的问题，采用的技术方案是结构中包括有实验台、定位在实验台面上的检测物定位装置和斜度测定装置，检测物定位装置是水平设置在实验台面上的液压驱动式自动定心三爪夹紧机构，斜度测定装置是由垂直实验台面方向的液压驱动机构定位的水平测量基准板和定位其上的数显千分表组成，结构中包括液压驱动配套的液压站。本实用新型测量过程中采用液压驱动式自动定心三爪夹紧机构进行定位，定位效果好，测量过程采用数显千分尺，测量精度高。
文档编号G01B5/24GK201548182SQ200920254519
公开日2010年8月11日 申请日期2009年11月19日 优先权日2009年11月19日
发明者刘英江, 张勇, 曹中谦, 柳志强, 蔡中锁 申请人:晶龙实业集团有限公司