专利名称：利用光声光谱法检测微量水蒸气浓度的装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于痕量气体检测装置技术领域，具体涉及一种利用光声光谱法检测微量水蒸气浓度的装置，适用于诸如环境监测和食品包装材料的检测。
背景技术：
在工业环境和实验室环境等条件下，需要通过检测微量水蒸气浓度来判断设备状况和产品性能。比如，在电力行业，需要监测高压开关设备中微量水蒸气的浓度，从而判断高压开关设备是否存在安全隐患；又如在食品包装行业，需要检测食品包装材料的微量水蒸气透过率，从而分析包装材料的可靠性和密闭性。由于在这些应用场合下，水蒸气浓度是微量的，一般为几十到几百个ppm体积比，因而要求检测微量水蒸气的传感器应具备高灵敏度、高精度和高线性度等的性能特点。针对微量水蒸气的检测，我国环保标准主要定义了三种检测方法电解法、冷却镜·面法和红外检测方法。前述的电解法是基于法拉第电解定律。根据法拉第电解原理，析出任何摩尔物质所需的电量为96485库仑，因此可以由消耗的电量来计算电解的物质量。在微量水蒸气浓度检测中，被电解的物质是水，当被测的微量水蒸气连续通过电解池时，微量水蒸气被涂敷在电解池上的五氧化二磷膜层全部吸收并电解。在一定的微量水蒸气浓度和流速范围内，可以认为微量水蒸气吸收的速度和电解的速度是相同的。这种测量方法要求微量水蒸气必须全部被吸收，并且流速必须保持恒定，但实际使用过程中这两点很难得到保证，造成检测精度和稳定性差，并且该种仪器的五氧化二磷膜层使用寿命较短，一般为半年到一年，而且需要定期进行重新标定，所以此方法不适宜长时间监测使用。前述的冷却镜面法采用一个金属镜面，气体以一定的流速通过这个金属镜面，此金属镜面用人工的方法进行冷却，当气体中的微量水蒸气随镜面的冷却达到饱和时，将有水膜在镜面上形成。镜面上附着的水膜和气体中的微量水蒸气处于动态平衡。此时镜面温度称为露点温度，由此可以测定微量水蒸气浓度。该检测方法的缺点是响应速度较慢，尤其在露点-60°C以下，平衡时间甚至达几个小时，而且此方法对样气的清洁性和腐蚀性要求也较闻。前述的红外检测法是利用微量水蒸气在中红外区域(6. 82、u m)的光吸收进行浓度测量，当一束恒定的6. 82 9 y m的红外光通过含有微量水蒸气的介质时，被微量水蒸气吸收，光通量被衰减，测出衰减速光能量，即可求出微量水蒸气的浓度。该法应用较为普遍，但测量时必须注重影响测量精度的干扰因素，其中，混合气体中的二氧化碳气体和其它气体会对检测精度有很大的影响；如果水蒸气产生冷凝，也会造成检测结果不精确，并且该法无法检测低至20000ppm浓度的微量水蒸气。由上述说明可知，若要摆脱前述三种检测方法的困惑并且创新出有别于这三种方法的其它方法，那么检测装备无疑是检测方法所依赖的基础，为此，本申请人作了专利和非专利文献检索，但未见有可借鉴的技术启示，鉴此本申请人作了有益的设计，下面将要介绍的技术方案便是在这种背景下产生的。
发明内容本实用新型的任务在于提供一种有助于检测到PPM级微量水蒸气浓度并且无需依赖任何化学物质、无需进行重复校准、可有效地避免其它干扰气体以及水蒸气冷凝而影响检测精度、具有优异的灵敏度、检测精度和稳定性的利用光声光谱法检测微量水蒸气浓度的装置。本实用新型的任务是这样来完成的，一种利用光声光谱法检测微量水蒸气浓度的装置，包括光声池、加热器、微音器、斩波器、斩波器控制单兀、供电电源、滤光片、红外光源、红外光源控制单元、显示屏、模数信号转换器和中央处理单元，光声池的进气管和出气管分别与气路控制阀门和气泵连接，红外光源、斩波器以及滤光片组成光路，并且红外光源 与红外光源控制单元由电气控制连接，而斩波器与斩波器控制单元由电气控制连接，藉由斩波器控制单元控制斩波器运动，将红外光源切光后发射至所述滤光片，并由滤光片过滤光源后发射至光声池的入光口，其中中央处理单元与斩波器控制单元、红外光源控制单元以及模数信号转换器电气控制连接，光声池与微音器连接，而微音器与模数信号转换器连接，所述的加热器、显示屏与中央处理单元电气控制连接，而显示屏与所述的模数信号转换器电气连接。在本实用新型的一个具体的实施例中，所述的红外光的功率为8W的中红外光。[0011 ] 在本实用新型的另一个具体的实施例中，所述的滤光片为中红外光谱薄膜过滤滤光片。在本实用新型的又一个具体的实施例中，所述的光声池为谐振式光声池。在本实用新型的再一个具体的实施例中，所述的微音器为驻极体电容式微音器。在本实用新型的还有一个具体的实施例中，所述的驻极体电容式微音器的电容量为10PF、信噪比为56dB和灵敏度为_42dB。在本实用新型的更而一个具体的实施例中，所述的中红外光谱薄膜过滤滤光片为通过薄膜过滤方法使波长为2. 5-3 u m范围的光谱通过的薄膜过滤滤光片。本实用新型提供的技术方案相对于已有技术具有以下效果能够检测到PPM级微量水蒸气浓度的优势；无需使用任何化学物而藉以体现安全和环保；一经标定的调整后无需再次调定而藉以体现使用的方便性；水蒸气经过光声池时由加热器加热而可防止冷凝现象；由于微量水蒸气在2. 5-3 u m处有较台吸收峰，其他干扰气体不会造成对微量水蒸气检测精度的影响；具有检测精度高、灵敏度好和稳定性优异的长处。

图I为微量水蒸气在2. 5-3 u m处的吸收光谱图。图2为本实用新型所用的检测装置的电气连接示意图。图3为微音器的共振腔的示意图。
具体实施方式
实施例暨应用例I :[0021]用一束强度可调制的单色光经过斩波器调制，然后光谱通过滤光片，照射到密封于光声池中的微量水蒸气样品上，微量水蒸气吸收光能，并以释放热能的方式退激，释放的热能使微量水蒸气分子产生周期性压力波动，这种压力波动可用灵敏的微音器检测，并通过放大得到光声信号，这就是光声效应。利用光声光谱传感器检测微量水蒸气浓度就是基于气体吸收光谱后的光声效应。请见图I至图3，本实用新型的利用光声光谱法检测微量水蒸气浓度的方法即为利用光声光谱传感器检测微量水蒸气浓度的方法，此光声光谱传感器如图2所示，包括红外光源I、斩波器2、滤光片3、斩波器控制单元4、红外光源控制单元5、气泵6、阀门7、光声池8、电源9、加热器10、微音器11、中央处理器12、显不屏13、模数信号转换器14、数模信号转换器15。首先，由红外光源I发射出波长为8W的中红外光谱，由该中红外光谱作为可调光源给斩波器2，使斩波器2得到一束强度可调制的光谱，该强度可调制的光谱经滤光片3(光学滤光片)后得到波长为2. 5-3 u m的中红外光谱，具体而言，滤光片3为中红外光谱薄膜过滤滤光片，该中红外光谱薄膜过滤滤光片为通过薄膜过滤方法使波长为2. 5-3 m范围的·光谱通过的薄膜过滤滤光片。同时水蒸气以及参比气体即空气进入光声池8，并且由加热器10对光声池8加热至50°C，以防止水蒸气冷凝，在光声池8内形成气态微量水蒸气；然后，将中红外光谱照射到光声池8中的前述气态微量水蒸气上，于是，气态微量水蒸气在波长为2. 7pm处吸收光能并且通过分子间碰撞以热的方式释放出所吸收的能量，藉由该能量使微量水蒸气气体分子通过无辐射跃迁而将所述光能转化为热能，由热能使微量水蒸气气体温度变化并引起压力波动而产生声波，该声波通过配置在光声池8外的微音器11检测并得到光声信号，光声信号一方面由外围模数信号转换器14的模数转换电路转换成数字电信号，数字电信号被送入显示屏供采集数据，采集的数据经公式计算得到微量水蒸气浓度值，并且在显示屏13上显示出最终检测的微量水蒸气浓度，另一方面由数模信号转换器15的数模转换电路转换成工业模拟信号，提供给用户。对于前述的红外光源I，在本实施例中使用4. 5V、I. 8安培的红外光源产生8W的光束，配合允许通过波长为2. 5-3 u m的中红外光谱的光学滤光片3以及斩波器2得到波长为
2.5-3 u m的光谱，微量水蒸气在此吸收谱段上有很强的吸收能力。对于前述的光声池8，采用谐振式的光声池8。光声池8即谐振式光声池的原理是声波在腔体中传输，声波在腔室中谐振形成驻波，无需密封腔室，并起到共振放大的作用。通过调制光源照射频率使其与声波在腔室中传播的本征频率重合形成共振，这样可以将光声信号进行共振放大。谐振式光腔室具有实用性、易制作、灵敏度高等特点。气体中产生热声波的大小与气体吸收的光能量以及气体膨胀传播的边界有关。在光声气体探测系统中，气体处于一定设计的光声池中，通过设计光声池的结构可以提高气体的灵敏度。对于某种气体，有着自己特定的吸收波谱，通过选择光源的波长，从而使得只有某种特定气体产生较大吸收，也就是只有这种气体吸收光能量产生热声波，从而可以通过检测热声波的大小来判定该种气体的浓度，同时也实现了气体探测的高选择性。气体吸收的能量与气体在该波长处的吸收系数以及光源强度和气体浓度相关，产生热声波的大小与气体吸收的热量成正t匕，通过正确选择光声池可以实现探测系统的高选择性、高灵敏度。对于前述的微音器11，本实施例选择驻极体电容式微音器，驻极体电容微音器有两块金属板，其中一块表面涂有驻极体薄膜，另一块金属板接至场效应管的栅极，栅极和源极之间接有一个二极管。驻极体膜片的特点是当膜片受到振动、摩擦时，膜片上会出现表面电荷。若表面电荷为Q，极头电容为C，则极头上的电压U=Q/C，电容不变，驻极体膜片上的电荷量由于声音气流变化而发生变化。声压越大，电量越大，产生电压越大。电量变化快慢，反映了电压的变化快慢，也反映了声音的频率。我们使用的驻极体电容式微音器灵敏度为-42dB，10pF电容，信噪比大于56dB，它的灵敏度极高。请见图I和图3，图I是微量水蒸气检测曲线，此光谱图证明了用2. 5-3 U m光源的光声光谱检测微量水蒸气的检测结果。微量水蒸气在2. 5-3 u m的红外吸收谱段上其它干扰气体微量水蒸气的吸收谱线干扰较小，所以选择允许通过2. 5-3 iim中红外光谱的光学滤光片。光声池8是一封闭容器，内充满微量水蒸气样品，并放置微音器11。由于光声光谱测量的是样品吸收光能的大小，因而反射光、散射光等对测量干扰很小，故光声光谱适于测量吸收光强与入射光强比值很小的弱吸收样品和低浓度样品，非常适合用于检测微量的微量水蒸气气体。通过流体力学和热力学定律可以给出气体中热声波产生的数学模型。气体中的声扰动可用声压P (r, t)来描述，声压是总压力P与平均值PO之差p=P — PO。因吸收光而产生热H(r，t)而激励声信号，此过程可描述为
rt, I (I2 i) r (y — I) I r H
\ / #1 - -- - I 1 ............-
\ P Cl C !2 L 4」*其中1■为气体绝热系数，Co为气体中声波的传播速度。方程的边界条件由光声腔和光声腔中光路决定。申请人采用一维纵向声学共振腔如果共振腔的截面尺寸远小于声波波长，则被激发的声波信号只沿共振腔长度方向变化，这种腔体可以被认为是一维共振腔可由图3所示，两端都开口或封闭的腔体要求长度是半波长的整数倍，共振频率为
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__IiLi#|一端开口一端闭口的腔体，要求长度是I / 4波长的奇数倍，共振频率为
r(2m-)(I of2m. . I =I ,2,3......其中A I是开口末端修正，一般近似A l=6r, r为截面半径，对封闭端A I为零。两端开口或封闭的腔体，驻波模式不同两端开口的腔体开口处为波节，两端封闭的腔体端头处为波腹。—维纵向无损光声腔声学方程可以写成式如下所不，其中P为气体密度，S为光声腔内截面积，f为声速
权利要求1.一种利用光声光谱法检测微量水蒸气浓度的装置，其特征在于包括光声池(8)、加热器(10)、微音器(11)、斩波器(2)、斩波器控制单元(4)、供电电源(9)、滤光片(3)、红外光源(I)、红外光源控制单元(5)、显示屏(13)、模数信号转换器(14)和中央处理单元(12)，光声池(8)的进气管和出气管分别与气路控制阀门(7)和气泵(6)连接，红外光源(I)、斩波器(2)以及光学滤光片(3)组成光路，并且红外光源(I)与红外光源控制单元(5)由电气控制连接，而斩波器(2)与斩波器控制单元(4)由电气控制连接，藉由斩波器控制单元⑷控制斩波器⑵运动，将红外光源(I)切光后发射至所述滤光片(3)，并由滤光片(3)过滤光源后发射至光声池(8)的入光口，其中中央处理单元(12)与斩波器控制单元(4)、红外光源控制单元(5)、模数信号转换器(14)电气控制连接，光声池(8)与微音器(11)连接，而微音器(11)与模数信号转换器(14)连接，所述的加热器(10)、显示屏(13)与中央处理单元(12)电气控制连接，而显示屏(13)与所述的模数信号转换器(14)电气连接。
2.根据权利要求I所述的利用光声光谱法检测微量水蒸气浓度的装置，其特征在于所述的红外光的功率为8W的中红外光。
3.根据权利要求I所述的利用光声光谱法检测微量水蒸气浓度的装置，其特征在于所述的滤光片(3)为中红外光谱薄膜过滤滤光片。
4.根据权利要求I所述的利用光声光谱法检测微量水蒸气浓度的装置，其特征在于所述的光声池(8)为谐振式光声池。
5.根据权利要求I所述的利用光声光谱法检测微量水蒸气浓度的装置，其特征在于所述的微音器(11)为驻极体电容式微音器。
6.根据权利要求5所述的利用光声光谱法检测微量水蒸气浓度的装置，其特征在于所述的驻极体电容式微音器的电容量为10PF、信噪比为56dB和灵敏度为_42dB。
7.根据权利要求3所述的利用光声光谱法检测微量水蒸气浓度的装置，其特征在于所述的中红外光谱薄膜过滤滤光片为通过薄膜过滤方法使波长为2. 5-3 范围的光谱通过的薄膜过滤滤光片。
专利摘要一种利用光声光谱法检测微量水蒸气浓度的装置，属于痕量气体检测装置技术领域。包括光声池、加热器、微音器、斩波器、斩波器控制单元、供电电源、滤光片、红外光源、红外光源控制单元、显示屏、模数信号转换器和中央处理单元，光声池的进气管和出气管分别与气路控制阀门和气泵连接，红外光源与红外光源控制单元连接，斩波器与斩波器控制单元连接，中央处理单元与斩波器控制单元、红外光源控制单元以及模数信号转换器电气控制连接，光声池与微音器连接，微音器与模数信号转换器连接，加热器、显示屏与中央处理单元电气控制连接，而显示屏与所述的模数信号转换器电气连接。能检测到PPM级微量水蒸气浓度；无需使用任何化学物质；一经标定后无需再次调定；可防止水蒸气冷凝；检测精度高、灵敏度好和稳定性优异。
文档编号G01N21/01GK202562842SQ20122021195
公开日2012年11月28日 申请日期2012年5月11日 优先权日2012年5月11日
发明者陈默, 李茂 , 安德里亚斯·何安德 申请人:江苏舒茨测控设备有限公司