专利名称：一种测量激光等离子体的离子平动能仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种测量激光等离子体的离子平动能仪，其测量仪器主要用于对 激光与材料作用产生的等离子体的离子平动能进行检测、分析处理。
背景技术：
用激光辐照固体材料引起烧蚀溅射是一个激光与物质相互作用的基础性问题，也 是一种高新技术，在材料加工，特别是在微电子材料加工以及产生高质量的光电材料薄膜 方面有广泛应用前景。为了给实际应用提供可靠的依据，需要深入研究激光烧蚀溅射的过 程。最近十多年来，大量的实验研究工作已经出现。强脉冲激光辐照固体材料将引起材料 烧蚀，诱导产生等离子体，从靶面溅射出大量电子、原子、分子、原子分子簇以及它们的正负 离子。从动力学来分析等离子体的形成、传播到消失，经历了一个电子、原子、离子、分子和 粒团之间相互剧烈碰撞作用的过程。激光等离子体的原子辐射来自激光烧蚀溅射出的物质 团簇或颗粒在等离子体中被电子汽化并激发。原子和离子辐射强度随时间和空间的变化反 映了激光烧蚀诱导等离子体的形成、增强以及随激光脉冲终止以后的膨胀、减弱到消失的 过程。但没有一种能测量离子平动能分布仪，通过设计一种测量离子平动能仪，测定溅射出 离子平动能及其分布。

实用新型内容本实用新型发明目的是设计一种测量激光等离子体的离子平动能仪，填补国内外空白。一种测量激光等离子体的离子平动能仪，其特征是仪器包括真空室(1)、靶(2)、 质谱室(3)、激光器(4)、光触发器(5)、质谱仪(6)、示波器(7)、信号平均器(8)、瞬态记录 仪(9)、计算机(10)、绘图仪(11)。激光器发出的光，聚焦到真空室中的靶，从靶面发射的离 子进入质谱室，光触发器用于光信号与电信号同步，在质谱仪的终端，离子强度信号在示波 器上显示，也可通过信号平均器，然后输入到示波器，或由瞬态记录仪存储和处理，所得的 结果经过计算机存储，最后通过绘图仪画出。本实用新型测量精度高，简单易行，具有良好 的经济效益。

图1是实现发明的激光等离子体的离子平动能仪的装置示意图。上述图中，1是真空室，2是靶，3是质谱室，4是激光器，5是光触发器，6是质谱仪， 7是示波器，8是信号平均器，9是瞬态记录仪，10是计算机，11是绘图仪。
具体实施方式
激光器(4)发出的光，聚焦到真空室(1)中的靶(2)，从靶(2)面发射的离子进入 质谱室(3)，光触发器(5)用于光信号与电信号同步。在质谱仪(6)的终端，离子强度信号在示波器(7)上显示，也可通过信号平均器(8)，然后输入到示波器(7)，或由瞬态记录仪 (9)存储和处理，所得的结果经过计算机(10)存储，最后通过绘图仪(11)画出，得出离子平 动能的分布情况。本实用新型用于测量激光与材料作用时产生的激光等离子体内的离子平 动能，具有广阔地应用前景。
权利要求一种测量激光等离子体的离子平动能仪，其测量仪器的特征是此仪器由真空室、靶、质谱室、激光器、光触发器、质谱仪、示波器、信号平均器、瞬态记录仪、计算机、绘图仪构成，激光器发出的光，聚焦到真空室中的靶，从靶面发射的离子进入质谱室，光触发器用于光信号与电信号同步，在质谱仪的终端，离子强度信号在示波器上显示，也可通过信号平均器，然后输入到示波器，或由瞬态记录仪存储和处理，所得的结果经过计算机存储，最后通过绘图仪画出。
专利摘要一种测量激光等离子体的离子平动能仪，含有真空室、靶、质谱室、激光器、光触发器、质谱仪、示波器、信号平均器、瞬态记录仪、计算机、绘图仪。紫外激光器发出的光，聚焦到真空室中的靶，从靶面发射的离子进入质谱室，光触发器用于光信号与电信号同步。在质谱仪的终端，离子强度信号在示波器上显示，也可通过信号平均器，然后输入到示波器，或由瞬态记录仪存储和处理，所的结果经过计算机存储，最后通过绘图仪画出，得出激光等离子体的离子平动能的分布情况。用于测量激光与材料作用时产生的激光等离子体内的离子动能。本实用新型测量激光等离子体的离子平动能效果好，具有良好的应用前景。
文档编号G01T1/29GK201689179SQ20092023747
公开日2010年12月29日 申请日期2009年10月20日 优先权日2009年10月20日
发明者张锋, 黄庆举 申请人:茂名学院