专利名称：用于传送电子模块的方法和装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及微电子领域，并可涉及检测电子模块的方法。
背景技术：
对于集成电路的制造，需要对这种电路进行检测。为了这个目的，电路必须在进行 这种检测行为时被传送。传送设备被提供用于将电路输送到检测设备或从检测设备输送电 路。

发明内容
检测电子模块的方法可包括，制造具有接纳开口和定位装置的薄传送支撑件的步 骤，和通过非永久性粘合机构将电子模块定位和保持在所述薄支撑件的所述接纳开口中的步骤。检测电子模块的方法可包括，通过相对于检测设备的定位机构放置所述薄支撑件 的至少某些位置定位装置而将所述薄支撑件安装到所述检测设备上的步骤，使所述电子模 块的电连接接触器与连接到电子检测装置的所述检测设备的接触机构相接触的步骤，执行 所述检测的步骤，将所述电子模块和所述接触机构分离的步骤。检测电子模块的方法可包括，将所述电子模块和所述薄传送支撑件分离的步骤。根据检测方法，所述电子模块可被一个接一个地放入检测位置或连续地以组的形 式放入检测位置。根据检测方法，生产薄传送支撑件的步骤可包括通过制造穿过板或条状物的开 口和将非永久性胶带的粘性面粘到该板或条状物的一个面上而生产所述薄传送支撑件的 步骤，其中定位和保持所述电子模块的步骤包括将所述电子模块定位在所述穿通开口中 并且将这些电子模块粘在所述胶带的所述粘性面上。根据检测方法，定位和保持所述电子模块的步骤包括在所述胶带的粘性面上的 开口中沉淀能流动的粘性材料，并且将所述电子模块定位在该粘性材料上。根据检测方法，定位步骤可包括建立所述电子模块与所述薄支撑件的电连接机构 之间的电连接。根据检测方法，定位和保持步骤可包括通过使带有用于电连接的接触器的所述电 子模块与所述薄传送支撑件接触而建立电连接的步骤。一个实施例可涉及用于传送电子模块的方法。一种传送方法，可包括生产具有接纳开口和定位装置的薄传送支撑件的步骤，和 通过非永久性粘合机构将电子模块定位和保持在所述薄传送支撑件的所述接纳开口中的步骤。根据传送方法，生产所述薄传送支撑件的步骤可包括制造穿过板或条状物的开口 和将非永久性胶带的粘性面粘贴到该板或该条状物的面上，并且其中，定位和保持所述电 子模块的步骤包括将所述电子模块定位在所述开口中和将这些电子模块粘在所述胶带的所述粘性面上。根据传送方法，所述定位和保持所述电子模块的步骤可包括在所述胶带的所述粘 性面上的所述开口中沉淀能流动的粘性材料，以及将所述电子模块定位在该粘性材料上。根据传送方法，所述定位步骤可包括建立所述电子模块与提供在所述薄支撑件上 的电连接器之间的电连接。根据传送方法，所述定位和保持步骤可包括建立所述电子模块与提供在所述薄传 送支撑件上的接触器之间的电连接。根据传送方法，所述电子模块可被夹紧抵靠在所述开口的至少一个壁上。一个实施例可涉及用于传送电子模块的装置，包括具有用于接纳所述电子模块的 开口的薄支撑件和定位机构，该支撑件被提供具有用于将所述电子模块粘附在这些开口中 的非永久性粘合机构。薄支撑件可包括具有通孔的板或条状物和具有粘贴面的非永久性粘性保持带，该 粘性面粘贴在该板或该条状物的一个面上并可以通过粘贴保持所述电子模块。薄支撑件可包括刚性板。薄支撑件可包括由柔性材料制造的条状物，该条状物在其平面上不能变形。能流动的韭J^A粘性材料可布置在所述胶带和所述电子模块之间。薄支撑件可包括电连接机构。薄支撑件可包括位于所述薄支撑件的开口中的被提供具有电连接器的台肩。本发明可涉及一种用于处理电子模块的设备。该设备可包括用于接纳至少一个具有接纳开口和包括非永久件粘合机构的保持 机构的薄传送支撑件的机构，被设计为选择性地移动电子模块的操作装置，以及用于致动 所述操作装置以将电子模块定位在所述薄传送支撑件的所述接纳开口中的机构，从而通过 与所述薄传送支撑件支承的保持机构配合而使这些电子模块被保持在这些接纳开口中。在该处理设备中，所述操作机构可包括操作或抓持头。该处理设备可包括用于相对于所述用于接纳的机构定位所述薄传送支撑件和/ 或所述电子模块的位置的装置。一个实施例可涉及用于检测电子模块的设备。该检测设备可包括接纳至少一个具有接纳开口的薄传送支撑件的机构，电子模 块通过非永久性粘合机构被选择性地保持在所述接纳开口中；支承电接触机构的电连接 头；以及用于致动该电连接头以选择性地将所述电接触机构放置为与所述电子模块上的电 连接接触器或球体相接触和/或与所述薄传送支撑件电接触，并将它们分别分离的机构。所述检测设备可包括定位所述薄传送支撑件和/或所述电子模块相对于用于接 纳的机构的位置的机构。下面将参照附图，以非限制性的示例的方式，通过对电焊接区的实施例的描述而 描绘本发明。


图1是传送支撑件的俯视图；图2是被装的传送支撑件的剖视图3是位于装位置的传送支撑件的剖视图；图4是位于检测位置的传送支撑件的剖视图；图5是另一个传送支撑件的剖视图；图6是另一个传送支撑件的剖视图；以及图7是位于装位置的该另一个传送支撑件的剖视图。
具体实施例方式参考图1-4，可见已经示出薄传送支撑件1，薄传送支撑件1包括例如为矩形的纵 向薄板2，通过该薄板形成有接纳开口 3，接纳开口 3例如为矩形或方形，排列成例如方阵。 薄板2可由在所述板的平面上不能变形的刚性或柔性材料制成，例如金属或诸如塑料材料 的其它材料。如图1所示，接纳开口 3可被提供为在多条纵向线上对齐，例如在四条纵向线 上对齐。传送支撑件1还包括例如薄胶带4的非永久件粘合机构,其前表面5粘贴到开孔 的薄板2的后表面6上。传送支撑件1还具有定位孔7，定位孔7形成在例如靠近传送支撑件1的边缘且位 于形成有开口3的区域外部。开口 3的直径适于使每个开口 3能够接纳平卧的电子模块8，电子模块8在本例 中为平行六面体形状，其前表面上具有电连接接触器或球体8a，使得这些模块8的后表面9 抵靠胶带4的前表面5并粘贴在那。薄板2的厚度可与电子模块8的厚度相适应。通过一方面具有传送支撑件1，另一方面具有从先前的制造并通过例如锯分离成 单元的电子模块8，有可能例如使用一设备自动地将电子模块8定位在开口 3中，并且通过 非永久性粘合机构的粘贴来保持电子模块8。如图3所示，该操作设备可适于将传送支撑件1放置到具有穿过胶带4并接合在 定位孔7中的定位销10的接纳台9上，并适于致动操作或抓持头11，操作或抓持头11例 如通过吸引使其前表面9抓持电子模块，将电子模块个别地或成组地插入开口 3中，将电子 模块叠置于胶带4上以将它们粘贴，并随后释放。还可以提供其它的定位装置，例如光学机 构。—些空的传送支撑件1可存在于一个合适的储料台中，装有电子模块8的传送支 撑件1可放置在另一个合适的储料台中。如图4所示，装有电子模块8的薄传送支撑件1随后可被送往检测设备，该检测设 备包括具有突出定位销13的接纳台12、位于所述工作台上方与所述工作台相距一定距离 并且具有向下延伸的接触指部15的电连接头14、以及连接到电连接头14的电子检测装置 16。传送支撑件1可安装在工作台12上，并且通过使突出定位销13接合所述薄支撑 件1的定位孔7而被放置在预定的位置。工作台12和电连接头14随后可朝向彼此移动，以选择性地使电检测连接接触器 或球体8a与接触指部15相接触，从而使电子模块8与电子检测装置16电连接，工作台12 和电连接头14还可以远离彼此移动以断开它们之间的连接。通过在每个循环之间使电连接头14相对于工作台12水平移动，电连接头14可允许接触指部15按顺序并相继地进行传送支撑件1支承的电子模块8的一个接一个的连接、 检测和断开循环。根据另一个变形，通过在每个循环之间使电连接头14相对于工作台12水平移动， 电连接头14可允许接触指部15按顺序并相继地进行传送支撑件1支承的多组电子模块8 中的电子模块8的一个接一个的连接、检测和断开循环。从而容易地使所述电子模块的数 量和位置足够或符合所述检测设备的能力。当完成了对安装在传送支撑件1上的电子模块8的检测时，该支撑件从所述检测 设备中取出。一些装有未检测的电子模块8的传送支撑件1可存在于一个合适的储料台中，以 便被独立地装载到检测设备中，来自检测设备的装有检测过的电子模块8的传送支撑件1 可放置在另一个合适的储料台中。随后，检测过的电子模块8可从传送支撑件1分离并被分类。例如，拆卸头可选择性地抓持电子模块8的前表面并将它们选择性地放置在另一 个位置。根据另一个例子，推杆可沿前向方向作用在胶带4的后表面上或者沿前向方向通 过胶带4作用在电子模块8的后表面上，以选择性地拆卸电子模块8，并通过重力朝另一个 位置选择性地排空它们。参考图5，可见，传送支撑件17包括薄板18，例如由塑料制造的基底，其具有适于 接纳电子模块20的开口 19，电子模块20除了前电连接接触器或球体20a之外，还具有形成 在周边台肩21上的后电连接接触器20b。薄板18的周边台肩22位于其开口 19中，并具有集成电连接网23，集成电连接网 23选择性地连接形成在这些台肩22上的前电连接接触器24和形成在所述薄板的前表面上 的与开库19相距一定距离并位于孔19外围的前电连接接触器25。在前述例子中，当电子模块20安装在薄板18的开口 19中时，它们的后表面26被 粘贴到先前被粘贴在薄板20的后表面上的胶带27的前表面上。当之前已经将导电材料球体已放置到接触器20b和/或接触器24中的至少一些 上时，这些球体被挤压以分别在这些互相面对的接触器20b和24之间形成导电路径23a。因此，装有电子模块20的传送支撑件17可放置到检测设备上，如前文所述那样， 检测设备的检测头14可具有电接触指部15，电接触指部15适于选择性地接触电子模块20 的前接触器20a中的至少一些和薄板18的前接触器25中的至少一些。参考图6，可见，示出了另一个变形的实施例，根据该实施例，传送支撑件28包括 薄板29，薄板29具有适于接纳电子模块31的开口 30，并包括粘在薄板29的后表面上的胶
32 ο电子模块31在其前表面上具有前电连接接触器或球体31a，和在其后表面上具有 不同尺寸的突出元件33。电子模块31被放置在所述开口中，使它们的前表面与薄板29的前表面大约处于 相同的水平面上，并且元件33与胶带32相距一定距离。在形成于薄板29的开口 30中并使电子模块31与胶带33分离的空间中，形成有 由粘件的、非永久件粘合材料制造的固定块34，通过将固定块34置于，中间电子模块31被保持。
如图7所示，为了产生这样的组件，有可能将适配于胶带32的薄板29安装到定位 设备的工作台35上，以从上方将适量的所述粘性材料的能流动滴剂36放置到开口 36底部 中，位于所述胶带上，然后使用定位头37抓持电子模块31并将电子模块31安装到开口 30 中。在这之后，电子模块31对滴剂36施加压力并使所述粘性材料扩散，以构成保持块34。如前文所述，装有电子模块31的传送支撑件28因此可放置在如前文所述的检测 设备上。在上述例子中的已经描述的所述传送支撑件可为刚性或柔性的。在柔性传送支撑 件情况下，其可适于形成为即使在它们装有电子模块的情况下也能卷起或打开的相对长的 条状物。这种条状物可随后被打开然后卷起，以便在打开和卷起部分之间形成平坦部，该 平坦部能安装到用于放置或移出电子模块的设备上，并安装到用于检测由该平坦部支承的 所述电子模块的检测设备上。另外，这种条状物可具有沿其长度从头至尾分布的定位孔7， 以能够通过累次增量将其放置到这些设备的连续的参考位置上。所述柔性条状物在其平面 上不能变形，当所述条状物的纵向部分放置在设备上且孔与该设备的定位销10配合时，所 述电子模块相对于定位孔7的位置被确定。由于电子模块被安装在沿多条纵向线放置的接纳开口 3中，从而可以同时对多个 电子模块执行操作。虽然本发明所述方法和装置的优选实施例已在附图中说明和在上述具体实施方 式中描述，但应该理解的是，本发明不限于已公开的实施例，而是可以在不背离由权利要求 所提出和限定的发明精神的情况下，能够进行许多重新配置、修改和替代。
权利要求
一种方法，包括通过非永久性粘合机构将电子模块(8)定位并保持在形成在薄传送支撑件(1)中的多个接纳开口(3)中，所述薄传送支撑件(1)还具有定位开口(7)；通过相对于定位开口来放置位置定位结构而将所述传送薄支撑件安装到检测设备上；使所述电子模块的电连接接触器接触与电子检测装置相关联的检测设备的接触指部；执行电子检测；将所述接触指部与所述电子模块分离；将所述电子模块与所述薄传送支撑件分离。
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述电子模块被一个接一个地放入检测位置或以 连续的组的形式放入检测位置。
3.根据权利要求1-2任一项所述的方法，进一步包括通过制造穿过板或条状物的开 口和将非永久性胶带的粘性面粘到该板或条状物的一个面上而生产所述薄传送支撑件，其 中，定位和保持所述电子模块包括将所述电子模块定位在所述穿通开口中并且将这些电 子模块粘在所述胶带的所述粘性面上。
4.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其中定位和保持所述电子模块包括在所述 接纳开口中沉淀能流动的粘性材料，并且将所述电子模块定位在该粘性材料上。
5.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其中定位包括建立所述电子模块与提供在 所述薄传送支撑件上的电连接路径之间的电连接。
6.根据权利要求1-5任一项所述的方法，其中定位和保持包括通过使带有用于电连 接的接触器的所述电子模块与所述薄传送支撑件接触而建立电连接。
7.根据权利要求1-6任一项所述的方法，其中，所述电子模块被夹紧抵靠在所述接纳 开口的至少一个壁上。
8.一种方法，包括生产具有接纳开口(3)和定位开口(7)的薄传送支撑件(2)，和通 过非永久性粘合机构将电子模块(8)定位和保持在所述薄传送支撑件的所述接纳开口中。
9.根据权利要求8所述的方法，其中生产所述薄传送支撑件包括制造穿过板或条状 物的开口和将非永久性胶带的粘性面粘贴到该板或条状物的面上，并且其中，定位和保持 所述电子模块包括将所述电子模块定位在所述开口中和将这些电子模块粘在所述胶带的 所述粘性面上。
10.根据权利要求8-9任一项所述的方法，其中定位和保持所述电子模块包括在所述 开口中沉淀能流动的粘性材料，以及将所述电子模块定位在该粘性材料上。
11.根据权利要求8-10任一项所述的方法，其中定位包括建立所述电子模块与提供 在所述薄支撑件上的电连接器之间的电连接。
12.根据权利要求8-11任一项所述的方法，其中定位和保持包括建立所述电子模块 与提供在所述薄传送支撑件上的接触器之间的电连接。
13.根据权利要求8-12任一项所述的方法，进一步包括夹紧所述电子模块使其抵靠所 述开口的至少一个壁。
14.一种器械，包括包括薄支撑件(1)用于传送电子模块的装置，该薄支撑件(1)具有用于接纳电子模块(8)的开口(3)，所述薄支撑件进一步具有定位开口(7)，该薄支撑件 进一步被提供具有用于将所述电子模块粘附在这些开口中的非永久性粘合机构。
15.根据权利要求14所述的器械，其中所述薄支撑件包括板或条状物和粘性保持带， 所述板或条状物具有穿过该板或条状物自身的开口，所述粘性保持带具有粘在该板或条状 物的一个面上的粘贴面，所述粘性保持带通过粘贴将被接纳的电子模块保持在所述开口 中。
16.根据权利要求14-15任一项所述的器械，其中所述薄支撑件包括刚性板。
17.根据权利要求14-15任一项所述的器械，其中所述薄支撑件包括由柔性材料制造 的条状物，该条状物在其平面上不能变形。
18.根据权利要求14-17任一项所述的器械，其中用于保持的机构包括提供在所述开 口中的能流动的非永久性粘性材料。
19.根据权利要求14-18任一项所述的器械，其中所述薄支撑件进一步包括用于与被 接纳的电子模块形成电接触的电连接器。
20.根据权利要求14-19任一项所述的器械，其中所述薄支撑件包括位于所述薄支撑 件的开口中的被提供具有电连接器的台肩。
21.一种用于处理电子模块的设备，包括用于接纳至少一个具有接纳开口(3)和保持 机构(4)的薄传送支撑件(1)的机构(9)，用于选择性地移动电子模块(8)的操作机构；以 及用于致动所述操作机构以将电子模块定位在所述薄传送支撑件的所述接纳开口中的机 构，其中所述薄传送支撑件包括用于将所述电子模块保持在所述接纳开口中的保持机构， 所述保持机构包括非永久性粘合机构。
22.根据权利要求21所述的设备，其中所述操作机构包括操作或抓持头。
23.根据权利要求21-22任一项所述的设备，进一步包括用于相对于所述用于接纳的 机构定位包括电子模块的所述薄传送支撑件的位置的机构。
24.一种用于检测电子模块的设备，包括接纳至少一个具有接纳开口(3)的薄传送支 撑件(1)的机构(12)，待检测的电子模块(8)通过非永久性粘合机构被保持在所述接纳开 口⑶中；支承电接触机构(15)的电连接头(14)；以及用于致动所述电连接头以选择性地 将所述电接触机构放置为与所述电子模块上的电连接接触器或球体相接触和/或与所述 薄传送支撑件电接触的机构，其中所述薄支撑件具有连接所述电子模块的电连接器(23)。
25.根据权利要求24所述的设备，进一步包括用于定位包括有电子模块的所述薄传送 支撑件相对于所述用于接纳的机构的位置的机构。
全文摘要
电子模块相对于用于操作和检测电子模块的设备被传送。该传送器由具有用于接纳电子模块的开口(3)的薄支撑件(1)形成。与所述薄支撑件相关的定位机构用于相对于传送器和检测设备定位所述支撑件。机械装置(4)进一步被提供用于在传送和检测期间将所述被接纳的电子模块保持在所述开口中。
文档编号G01R1/04GK101971041SQ200980103610
公开日2011年2月9日 申请日期2009年1月28日 优先权日2008年1月30日
发明者菲利普·普拉内列斯, 雷奈·蒙内特 申请人:St微电子(格勒诺布尔)有限公司