专利名称：电感耦合等离子体发射光谱仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种电感耦合等离子体发射光谱仪，特别涉及一种电感耦合等离 子体发射光谱仪的供气系统。
背景技术：
电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP-AES)作为一种精密的原子发射光谱仪器在 物质分析方面得到了广泛的应用，其主要用来用于无机元素的定性及定量分析。电感耦合 等离子体发射光谱仪主要由高频发生器和感应圈、炬管和供气系统、试样引入系统三部分 组成。其中炬管由三层同心石英管组成，外层石英管用来通冷却气，目的是使等离子体离开 外层石英管内壁，以避免它烧毁石英管。中层石英管出口做成喇叭形，用来通入Ar气，Ar气 起维持等离子体的作用。内层石英管注入由载气载带的试样气溶胶等离子体，试样气溶胶 由气动雾化器或超声雾化器产生。现有炬管的供气系统如图1所示，包括一个三通阀11，三通阀11的一个进气口与 Ar气源连接，三通11的两个出气口分别通过两个转子流量计12、13与炬管14的外层石英 管和中层石英管连接，Ar气可以作为冷却气和辅助气对炬管14供气，使电感耦合等离子体 发射光谱仪正常工作。但采用电感耦合等离子体发射光谱仪对润滑油等有机物进行分析时却存在以下 一些技术上的困难，主要是因为有机物进入电感耦合等离子体发射光谱仪后，在高温作用 下容易分解产生的游离的碳，这些游离的碳易形成碳粒沉积在管口，影响等离子体的稳定 运行和光谱测定。

实用新型内容针对上述现有技术的不足，本实用新型要解决的技术问题是提供一种新型结构的 电感耦合等离子体发射光谱仪，该电感耦合等离子体发射光谱仪通过改变其供气系统可实 现对有机物的检测分析。为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案—种电感耦合等离子体发射光谱仪，包括高频发生器、感应圈、炬管、供气系统和 试样引入系统，所述炬管由三层同心石英管组成，所述供气系统包括一个三通，所述三通进 气口与Ar气源连接，所述三通的一个出气口通过第一流量计与所述炬管的外层石英管连 通，所述供气系统还包括一切换阀，所述切换阀的一个进气口与所述三通的另一个出气口 连通，所述切换阀的另一个进气口与氧气气源连通，所述切换阀的出气口通过第二流量计 与所述炬管的中层石英管连通。优选的，所述第一流量计、第二流量计均为电子流量计。上述技术方案具有如下有益效果在该方案中，电感耦合等离子体发射光谱仪的 供气系统上还连接有一氧气气源，在对有机物进行检测时可调节换向阀，使氧气进入炬管 的中层石英管。这样当有机物在高温下产生的游离碳就很容易被氧气氧化变为气体，这样
3就不会在炬管的管口形成碳沉积，从而可保证等离子体的稳定运行和光谱正确测定。
图1为现有电感耦合等离子体发射光谱仪的供气系统示意图。图2为本实用新型实施例的供气系统示意图。
具体实施方式
以下结合附图详细说明本实用新型的优选实施例。该电感耦合等离子体发射光谱仪主要由高频发生器和感应圈、炬管和供气系统、 试样引入系统三部分组成。其中炬管由三层同心石英管组成，供气系统如图2所示，包括一 个三通21，三通21进气口与Ar气源连接，三通21的一个出气口通过第一流量计22与炬管 24的外层石英管连通，该供气系统还包括一切换阀25，切换阀25的一个进气口与三通21 的另一个出气口连通，切换阀25的另一个进气口与氧气气源连通，切换阀25的出气口通过 第二流量计23与炬管24的中层石英管连通。第一流量计22、第二流量计23均采用电子流 量计，这样可使得计量更加的准确。采用该电感耦合等离子体发射光谱仪检测有机物时，Ar气通过三通进入炬管24 的外层石英管，Ar气作为冷却气使等离子体离开外层石英管内壁，以避免它烧毁石英管。同 时调节切换阀25，使氧气进入炬管24的中层石英管，这样当有机物在高温下产生的游离碳 就很容易被氧气氧化变为气体，就不会在炬管24的管口形成碳沉积，从而可保证等离子体 的稳定运行和光谱正确测定。以上对本实用新型实施例所提供的电感耦合等离子体发射光谱仪进行了详细介 绍，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型实施例的思想，在具体实施方式
及应用范 围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制，凡依本实 用新型设计思想所做的任何改变都在本实用新型的保护范围之内。
权利要求一种电感耦合等离子体发射光谱仪，包括高频发生器、感应圈、炬管、供气系统和试样引入系统，所述炬管由三层同心石英管组成，所述供气系统包括一个三通，所述三通进气口与Ar气源连接，所述三通的一个出气口通过第一流量计与所述炬管的外层石英管连通，其特征在于所述供气系统还包括一切换阀，所述切换阀的一个进气口与所述三通的另一个出气口连通，所述切换阀的另一个进气口与氧气气源连通，所述切换阀的出气口通过第二流量计与所述炬管的中层石英管连通。
2.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体发射光谱仪，其特征在于所述第一流量 计、第二流量计均为电子流量计。
专利摘要本实用新型公开了一种电感耦合等离子体发射光谱仪，包括高频发生器、感应圈、炬管、供气系统和试样引入系统，所述炬管由三层同心石英管组成，所述供气系统包括一个三通，所述三通进气口与Ar气源连接，所述三通的一个出气口通过第一流量计与所述炬管的外层石英管连通，所述供气系统还包括一切换阀，所述切换阀的一个进气口与所述三通的另一个出气口连通，所述切换阀的另一个进气口与氧气气源连通，所述切换阀的出气口通过第二流量计与所述炬管的中层石英管连通。该电感耦合等离子体发射光谱仪在检测有机物时不会在炬管的管口形成碳沉积，从而可保证等离子体的稳定运行和光谱正确测定。
文档编号G01N21/73GK201628687SQ20092028285
公开日2010年11月10日 申请日期2009年12月24日 优先权日2009年12月24日
发明者刘召贵, 郑建明 申请人:江苏天瑞仪器股份有限公司