专利名称：：一种检测镜头结构的制作方法
技术领域：
：一种检测镜头结构(一)
技术领域：
本实用新型涉及一种用于球面检测仪的检测镜头，特别是应用于菲索干涉仪、以检测光学球面镜片的表面精度及曲率半径用的非接触式检测镜头。(二)
背景技术：
在球面镜片的生产过程中，镜片精度的检测至关重要。菲索干涉仪是检测球面镜片表面精度的主要检测仪器。菲索干涉仪包括光源A、发散镜片B、分光棱镜C、准直镜D、检测镜头E和摄像器F。光源A可使用发出单一波长的气体放电灯，例如氦气和钠灯，一般采用激光；摄像器F可为CCD摄像机；检测镜头E朝向待测物G的一面称为基准面H。它的工作原理是这样的如图1所示，光源A产生的光束经过发散镜片B、分光棱镜C和准直镜D后，垂直入射检测镜头E，一部分光在检测镜头E的基准面H被反射，形成参照光路Ib，参照光路Ib经过分光棱镜C进入摄像器F;—部分光透过基准面H照射在待测面M上，移动待测物G，如果光线垂直照射在待测面M上时，此时光线将从待测面M反射，形成检测光路Ia，检测光路Ia按原路返回，经过分光棱镜C，亦反射进入摄像器F。根据光的干涉原理——两列或几列具有相同频率、振动方向相同的光波在空间相遇时相互迭加，在某些区域始终加强，在另一些区域则始终削弱，形成稳定的强弱分布的现象；参照光路Ib和检测光路Ia在摄像器F上形成干涉条纹，工作人员根据条纹形状观察待测物G的表面精度。另外，把待侧面G移动至光束聚集点位置，反射光线的波面180度回转以后返回检测镜头E，与基准面H反射光线产生干涉以后，可以观察大干涉仪条纹，此时待测物G移动的距离R即为该镜片的曲率半径。在整个干涉仪中，检测镜头是最重要的部件之一，镜头的性能决定了测量的精度。为提高检测精度，检测镜头的各透镜片都要求有较高表面精度，特别是基准镜片。但是在基准镜片组装时，容易因挤压或其它应力作用而产生变形。因此需要对镜头结构进行改进，在避免基准镜片受到损坏的同时更方便镜片的组装。(三)
实用新型内容为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种结构简单、可避免基准镜片受到损坏、组装方便的检测镜头。本实用新型是通过以下技术方案实现的一种检测镜头结构，包括镜筒和镜筒内至少两片的透镜片，最接近待测物的透镜片为基准镜片，其中，所述的基准镜片外部套有固定筒，固定筒安装在镜筒内腔里，所述的固定筒包括锁压环和固定座，固定座和锁压环之间形成环状凹槽固定基准镜片。与现有技术相比，本实用新型结构简单，组装时先将基准镜片放入固定座锁定锁压环，基准镜片固定在环状凹槽内，然后点胶固定，这时基准镜片在固定筒中不能移动，保证了各透镜片的同轴度。最后将基准镜片安装入镜筒中，通过固定座和锁压环对基准镜片的保护，可完全消除组装过程中镜筒对基准镜片产生的挤压和应力，减少镜片的损耗，而且3组装更方便。上述所述的固定座与锁压环之间通过螺纹连接。螺纹连接可较好地控制环状凹槽的大小，避免安装对基准镜片产生挤压和应力。上述所述的镜筒与固定筒之间通过螺纹连接。上述所述的镜筒内腔靠近光源的一端端部安装有密封环。密封环同时还起到光阑的作用，使结构更简单紧凑。上述所述的镜筒内腔靠近待测物的一端端部设有平台，所述的固定筒安装在平台上。上述所述的镜筒、固定座、锁压环及密封环采用铝制成。保证了镜筒有足够的强度且轻便。上述所述的基准镜片朝向待测物的一面为基准面，基准面是空白的，各透镜片的其它表面均镀有增透膜。在各透镜片的表面镀上增透膜，这样可以使激光光束尽可能的透过，避免光束在各透镜表面被反射消耗，而在基准面上不镀制任何膜层，目的在于使基准镜反射光线尽量多，能量与从待测物反射光线相当，以形成最清晰的干涉条纹。亦避免出现被待测物碰花膜层的情况出现。上述所述的增透膜为中心波长为632.8nm的单层膜。所述的基准面的表面精度小于或等于y/20，其中y为632.8nm。上述所述的镜头包括三片具有正焦距的透镜片，第一透镜片为平凸透镜，其第一表面为凸面、第二表面为平面；第二透镜片和基准镜片为弯月形透镜，所述的基准面为凹面。(四)图1是菲索干涉仪的的工作原理示意图；图2是本实用新型的结构示意图；图3是本实用新型的所使用的增透膜的分光数据图；图4是本实用新型的光程差参考图。以下结合附图对本实用新型作详细的说明具体实施方式如图2所示，本实用新型包括镜筒1和镜筒1内至少两片的透镜片，最接近待测物的透镜片为基准镜片G3，其中，所述的基准镜片G3外部套有固定筒，固定筒安装在镜筒1内腔里，所述的固定筒包括锁压环4和固定座3，固定座3和锁压环4之间形成环状凹槽7固定基准镜片G3。镜头组装时，先将基准镜片G3放入固定座3，锁定锁压环4，基准镜片G3固定在环状凹槽内，然后点胶固定，这时基准镜片G3在固定筒中不能移动，保证了各透镜片的同轴度。最后将基准镜片G3安装入镜筒中，通过固定座3和锁压环4对基准镜片G3的保护，可完全消除组装过程中镜筒1对基准镜片G3产生的挤压和应力，减少镜片的损耗，而且组装更方便。上述所述的固定座3与锁压环4之间通过螺纹连接。螺纹连接可较好地控制环状凹槽7的大小，避免安装对基准镜片G3产生挤压和应力。上述所述的镜筒1与固定筒之间通过螺纹连接。[0022]上述所述的镜筒1内腔靠近光源的一端端部安装有密封环5。密封环5同时还起到光阑的作用，使结构更简单紧凑。所述的镜筒l内腔靠近待测物的一端端部设有平台2，所述的固定筒安装在平台2上。上述所述的镜筒1、固定座3、锁压环4及密封环5采用铝制成。保证了镜筒1有足够的强度且轻便。为使检测仪形成明显的干涉条纹，上述所述的基准镜片G3朝向待测物的一面为基准面S7，基准面S7是空白的，各透镜片的其它表面均镀有增透膜。在各透镜片的表面镀上增透膜，这样可以使激光光束尽可能的透过，避免光束在各透镜表面被反射消耗，而在基准面S7上不镀制任何膜层，目的在于使基准面S7反射光线尽量多，能量与从待测物反射光线相当，以形成最清晰的干涉条纹。上述所述的增透膜为中心波长为632.8nm的单层膜。所述的基准面S7的表面精度小于或等于y/20，其中y为632.8nm。上述所述的镜头包括三片具有正焦距的透镜片，第一透镜片Gl为平凸透镜，其第一表面S2为凸面、第二表面S3为平面；第二透镜片G2和基准镜片G3为弯月形透镜，所述的基准面S7为凹面。所述的第一透镜片Gl和第二透镜片G2之间还隔有隔圈6，隔圈6。以下为本实用新型的具体实施例本实用新型的优选参数值如表1所示表1<table>tableseeoriginaldocumentpage5</column></row><table>本实用新型中，各透镜片采用高折射的材料，其中第一透镜片Gl和第二透镜片G2均采用H-ZF52A玻璃材质，基准镜片G3采用H-ZFG3LA玻璃材质。上述实施例为本实用新型的较佳实施方式，但本实用新型的实施方式不限于此，其他任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。权利要求一种检测镜头结构，包括镜筒和镜筒内至少两片的透镜片，最接近待测物的透镜片为基准镜片，其特征在于所述的基准镜片外部套有固定筒，固定筒安装在镜筒内腔里，所述的固定筒包括锁压环和固定座，固定座和锁压环之间形成环状凹槽固定基准镜片。2.根据权利要求1所述的一种检效间通过螺纹连接。3.根据权利要求1所述的一种检效通过螺纹连接。4.根据权利要求1所述的一种检领的一端端部安装有密封环。5.根据权利要求4所述的一种检领J镜头结构，其特征在于所述的镜筒内腔靠近待测物的一端端部设有平台，所述的固定筒安装在平台上。6.根据权利要求5所述的一种检测镜头结构，其特征在于所述的镜筒、固定座、锁压环及密封环采用铝制成。7.根据权利要求1至6中任意一项所述的一种检测镜头结构，其特征在于基准镜片朝向待测物的一面为基准面，基准面是空白的，各透镜片的其它表面均镀有增透膜。8.根据权利要求7所述的一种检测镜头结构，其特征在于所述的增透膜为中心波长为632.8nm的单层膜。9.根据权利要求7所述的一种检测镜头结构，其特征在于所述的基准面的表面精度小于或等于y/20，其中y为632.8nm。10.根据权利要求9所述的一种检测镜头结构，其特征在于所述的镜头包括三片具有正焦距的透镜片，第一透镜片为平凸透镜，其第一表面为凸面、第二表面为平面；第二透镜片和基准镜片为弯月形透镜，所述的基准面为凹面。专利摘要本实用新型公开了一种检测镜头结构，包括镜筒和镜筒内至少两片的透镜片，最接近待测物的透镜片为基准镜片，其中，所述的基准镜片外部套有固定筒，固定筒安装在镜筒内腔里，所述的固定筒包括锁压环和固定座，固定座和锁压环之间形成环状凹槽固定基准镜片。本实用新型结构简单，通过固定座和锁压环对基准镜片的保护，可完全消除组装过程中镜筒对基准镜片产生的挤压和应力，减少镜片的损耗，而且组装更方便。文档编号G01B11/30GK201548200SQ20092019329公开日2010年8月11日申请日期2009年8月18日优先权日2009年8月18日发明者梁宏皓,谭少沛,谭志勇,郑德裕申请人:凤凰光学(广东)有限公司