专利名称：一种集成式气体质量流量计的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种气体质量流量计，特别涉及一种集成式气体质量流量计。
背景技术：
传统的气体流量计均为单一测量模式，测出大流量，测不出小流量。测出小流量，测不出大流量。流量测量范围窄，为了满足测量范围宽的使用要求，对一条管路流量往往采取多台流量计，分别完成大，中，小流量测量，造成成本上升，使用麻烦。

发明内容本实用新型要解决的技术问题是如何提供一种集成式气体质量流量计，这种流量
计为集成式设计，把二种流量检测模式集成，合而为一，全面提高宽量程测量性能。
本实用新型的技术方案为一种集成式气体质量流量计，它主要包括由管道壳体、
三角柱旋涡发生体、检测器、传感器组成的一次仪表和主要由微处理信号控制模块构成的
二次仪表，其特征在于，所述的检测器包括抗震型旋涡质量流量检测器、量热式质量流量检
测器，所述的传感器为量热式传感器，所述的二次仪表主要由微处理信号控制模块、键入模
块、电源模块、储存模块、显示模块、输出模块连接而成，并设置在管道壳体外部，所述的抗
震型旋涡质量流量计检测器，量热式质量流量检测器设置在管道腔内并与管道壳体相连。 所述的抗震型旋涡质量流量计检测器主要由测旋涡元件、测温元件、测压元件和
基座组成，所述的测旋涡元件、测温元件、测压元件置于基座中，测旋涡元件、测温元件、测
压元件位置均通过圆心水平直线排列，与流体迎流面同处水平面方向，所述的测旋涡元件
设置在基座的中心，测温元件设置在测旋涡元件的下游，测压元件设置在测旋涡元件的上
游，置于测量管道的三角柱旋涡发生体迎流面开启分流孔把流体引导到按分流比规定的旁
通管道中，旁通管道的边界层壁面上端设置一个圆形基片，所述的量热式传感器位于基片
的下端和位于旁通管道的边界截面上端。 本实用新型的有益效果是由于采用集成二种测量模式的流量检测器，发挥各自的优点，克服缺点，合二为一，相互补缺，使流量计性能表现出显著的优势。使用流量计时，无需整流器、无需过滤器，降低使用成本，抗污染能力增强，提高了流量计的使用寿命，采用了微处理信号控制模块，对校验标定值进行自动零点漂移修正，提高了流量计的稳定性和可靠性。最终，研究成功了本实用新型所提供准确度高、性能稳定可靠、测量范围宽、结构简单、使用方便、使用寿命长的集成式气体质量流量计。

图1是本实用新型所提供的集成式气体质』[0008] 图2是本实用新型所提供的集成式气体质j[0009] 图3是本实用新型所提供的集成式气体质』[0010] 图4是本实用新型所提供的集成式气体质』
〖流〗〖流〗〖流〗〖流』
t计的逻辑框图；t计的结构示意图；t计的剖面示意图；t计的"抗震型旋涡质j
t流j
t检领
3器"的示意图； 图5是本实用新型所提供的集成式气体质量流量计的"量热式质量检测模块"示意图； 图6是本实用新型所提供的集成式气体质量流量计的量热式传感器示意图。[0013] 图中1、法兰，2、三角柱旋涡发生体，3、抗震型旋涡质量流量检测器，4、量热式质量流量检测器，5、底座，6、连接件，7、表头，8、测量管道，9、旁通管道，10、圆形基片，11、量热式传感器，12电源模块，13、微处理信号控制模块，14、键入模块，15、显示模块，16、表壳，17、测温元件，18、压力检测元件，19、测旋涡元件，20、底座，21、量热式质量模块，22、量热式传感器，23、 Si衬底，24、横膈膜，25、加热体，26、27温度测试元件，
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型进行详细说明 —种集成式气体质量流量计，它主要包括由管道壳体，三角柱旋涡发生体、检测器、传感器组成的一次仪表和主要由微处理信号控制模块构成的二次仪表，由图2所示，所述的检测器包括抗震型旋涡质量流量检测器3、量热式质量流量检测器4，所述的传感器为量热式传感器22，量热式传感器22上置有量热式质量模块21，由图5所示。所述的二次仪表由图1所示，主要由微处理信号控制模块、键入模块、电源模块、储存模块、显示模块、输出模块连接而成，并设置在管道壳体外部，由图3所示，电源模块12、微处理控制模块13、键入模块14、显示模块15设置在表壳16的内腔内。由图2所示，所述的三角柱旋涡发生体2设置在表体8的管道内腔内，具体设置在合适的尺寸范围内，所述的抗震型旋涡质量流量计检测器3设置在测量管道8内腔内切和底座5相连接，测量中大流量的质量流量，量热式质量流量检测器4设置在底座5以及旁路管道9内，测量小流量的质量流量。[0016] 抗震型旋涡质量流量计检测器3由图4所示，主要由测旋涡元件19、测温元件17、测压元件18和基座20组成，所述的测旋涡元件19、测温元件17、测压元件18置于基座20中，测旋涡元件19、测温元件17、测压元件18位置均通过圆心水平直线排列，与流体迎流面同处水平面方向，所述的测旋涡元件19设置在基座20的中心，测温元件17设置在测旋涡元件19的上游，测压元件18设置在测旋涡元件19的上游(以图4下所示的箭头方来表示上下游)，由图2所示，设置在测量管道8内的三角柱旋涡发生体2迎流面开启分流孔把流体引导到按分流比规定的旁通管道9中，旁通管道9的边界层壁面上端设置一个圆形基片IO，所述的量热式传感器11位于基片10的下端和位于旁通管道9的边界截面上端。[0017] 由图6所示，量热式质量流量检测器4的本体为Si衬底23，，在Si衬底23的支撑面上设置横膈膜24，然后在横膈膜24设置一个加热体25和两个温度测试元件26和27。[0018] 按照本实用新型所提供的集成式气体质量流量计，在测量时需设定分流比，按分流比的上、下限划分二段测量区域，小于分流比为小流量测量区域，用量热式质量流量检测器测出。大于分流比为大流量测量区域，用抗震型旋涡质量流量检测器测出。二段测量区域流量曲线合二为一，用二次仪表(微处理信号控制模块，键入模块，电源模块，储存模块，显示模块，输出模块)测出。在拟合二段测量区域交界设定一个重迭回差区域。若流量小于分流比时，设定为小流量测量区域，用量热式质量流量检测器测出，抗震型旋涡质量流量计检测器测不出，此时微处理信号控制模块显示值，以量热式质量流量检测器测量的质量流量值为准；若流量大于分流比时，设定为大流量测量区域，用量热式质量流量检测器测不 出，抗震型旋涡质量流量检测器测出，此时微处理信号控制模块显示值，以抗震型旋涡质量 流量检测器量测量的质量流量值为准；若流量处在分流比的重迭回差区域，定性为小流量 测量区域上限的80%与大流量测量区域下限的20%，设定为重迭回差区域，此时，量热式 质量流量检测器与抗震型旋涡质量流量检测器共同能测出流量值，微处理信号控制模块显 示值，选择抗震型旋涡质量流量计检测器测量出来的量值为准。在设定二段区域的重迭回 差区域测量时，当量热式质量流量检测器和抗震型旋涡质量流量检测器共同能测出流量值 时，会得到的二组流量曲线。发生拟合不连续，或流量曲线离散时，微处理信号控制模块采 用量值传递溯源手段能保持二组流量曲线拟合的无缝连接，达到集成式气体质量流量计的 测量精度高的要求。 综上所述，这种集成式气体质量流量计的发明，将传统的气体质量计推向一个境 界，由于通过对抗震型旋涡质量流量检测器、量热式质量流量检测器和二次仪表(微处理 信号控制模块，键入模块，电源模块，储存模块，显示模块，输出模块)，再结合其本身的显著 特征，使用无需整流器，无需过滤器，抗污染能力强，准确度高、性能稳定可靠、测量范围宽、 结构简单、使用方便、使用寿命长的集成式气体质量流量计，达到流量计的创新，真正能提 升流量计市场的竞争力。
权利要求一种集成式气体质量流量计，它主要包括由管道壳体，三角柱旋涡发生体、检测器、传感器组成的一次仪表和主要由微处理信号控制模块构成的二次仪表，其特征在于，所述的检测器包括抗震型旋涡质量流量检测器、量热式质量流量检测器，所述的传感器为量热式传感器，所述的二次仪表主要由微处理信号控制模块、键入模块、电源模块、储存模块、显示模块、输出模块连接而成，并设置在管道壳体外部，所述的抗震型旋涡质量流量计检测器，量热式质量流量检测器设置在管道腔内并与管道壳体相连。
2. 根据权利l所述的集成式气体质量流量计，其特征在于，所述的抗震型旋涡质量流 量计检测器主要由测旋涡元件、测温元件、测压元件和基座组成，所述的测旋涡元件、测温 元件、测压元件置于基座中，测旋涡元件、测温元件、测压元件位置均通过圆心水平直线排 列，与流体迎流面同处水平面方向，所述的测旋涡元件设置在基座的中心，测温元件设置在 测旋涡元件的下游，测压元件设置在测旋涡元件的上游，置于测量管道的三角柱旋涡发生 体迎流面开启分流孔把流体引导到按分流比规定的旁通管道中，旁通管道的边界层壁面上 端设置一个圆形基片，所述的量热式传感器位于基片的下端和位于旁通管道的边界截面上丄山顺。
3. 根据权利l所述的集成式气体质量流量计，其特征在于，所述的量热式质量流量检 测器的本体为Si衬底，在Si衬底的支撑面上设置横膈膜，然后在横膈膜设置一个加热体和 两个温度测试元件。
专利摘要本实用新型公开了一种集成式气体质量流量计，它主要包括由管道壳体，三角柱旋涡发生体、检测器、传感器组成的一次仪表和主要由微处理信号控制模块构成的二次仪表，其特征在于，所述的检测器包括抗震型旋涡质量流量检测器、量热式质量流量检测器，所述的传感器为量热式传感器，所述的二次仪表主要由微处理信号控制模块、键入模块、电源模块、储存模块、显示模块、输出模块连接而成。由于采用集成二种测量模式的流量检测器，使流量计性能表现出显著的优势。该流量计使用简单、无需整流器、无需过滤器、测量范围宽，抗污染能力增强，使用寿命长，采用了微处理信号控制模块，对校验标定值进行自动零点漂移修正，提高了流量计的稳定性和可靠性。
文档编号G01F1/86GK201488761SQ20092007183
公开日2010年5月26日 申请日期2009年5月8日 优先权日2009年5月8日
发明者左文雄, 戈剑, 熊小荣, 范德林 申请人:上海江洲仪表科技有限公司