专利名称：高精度测量波片位相延迟的方法及其装置的制作方法
技术领域：
高精度测量波片位相延迟的方法及其装置属于激光测量技术领域。
背景技术：
当前常用的波片位相延迟测量方法主要有两类，一是搭建特定的光路，利用波片位相延迟引入的特性，依靠测出波片转动中造成的光强度和偏振状态变化来获得其位相延迟信息；另一类是将光源输出光经过波片后进行偏振分束并使之形成外差干涉进行测量。这两类方法的测量精度一般在0.5°～1°左右，而且设备调整较复杂，特别是第一类方法中很多都需要精确测量角度，而高精度测角仪体积大、成本高。另外，这些方法中很多都只适用于测量四分之一波片而不适用于半波片和全波片。

发明内容
本发明的目的在于克服上述方法的不足之处，提出一种高精度测量波片位相延迟的方法及其实现装置。这种方法实现简单，测量精度高，装置成本低。
本发明提出一种高精度测量波片位相延迟的方法，它采用半内腔氦氖激光器，该激光器由一支增益管和一片独立反射镜构成，增益管两端分别固定一片反射镜和一片增透窗片，而独立反射镜由压电陶瓷驱动，被测波片被置于谐振腔内，其面法线平行于激光谐振腔轴线方向。输出光经过一偏振片产生拍频，被光电探测器接收并转换为电信号，由频谱仪或频率计读出，并由此计算出波片的位相延迟。
本发明提出的方法还包括增加一横向磁场用于测量半/全波片的位相延迟。所说的光电探测器输出的电信号由频谱仪读出并据以计算出波片的位相延迟，或使激光器输出光经过消偏振分束镜获得两束光(也可直接取激光器两端的两束输出光)，它们各经过一个偏振片后由对应的光电探测器分别接收，再经后续处理电路后由两频率计分别读取拍频值并据此计算出波片的位相延迟。
本发明提出的方法还包括采用增加位相偏置的方法来精确测量半/全波片的位相延迟，其特征在于采用半内腔氦氖激光器，该激光器由激光增益管和一片独立反射镜构成。独立反射镜由压电陶瓷驱动，而增益管两端分别固定另一片反射镜和一片增透窗片。谐振腔内放置被测波片和一片附加波片，二者的面法线都平行于激光器腔轴线方向。激光器输出光经过一偏振片产生拍频，由光电探测器接收，经电路处理后由频率计读出，据此计算出波片的位相延迟。也可由施加径向力的增透窗片取代所说的附加波片。
本发明的原理如下所示图1为测量所用的半内腔氦氖激光器示意图。
图1中，半内腔激光器由增益管1和反射镜4组成，1两端分别固定反射镜2和窗片3，谐振腔由2和4形成。激光器相邻两级纵模ν1、ν2间的频率差(称为纵模间隔)为Δ=c2L----(1)]]>其中c为光速，L为谐振腔长。
当在谐振腔内放入一双折射元件时，激光器输出的纵模将发生分裂，原先的每一级纵模变成偏振方向相互正交的两个，如图2所示(实线和虚线表示不同偏振方向，G为激光器增益曲线)，二者的频率差为Δν=νLδ----(2)]]>其中ν为光频，δ为双折射元件引起的o光和e光的光程差。对于波片，有δ=λ2πφ----(3)]]>其中λ为光波长，φ为波片位相延迟(对于位相延迟大于2π的多级波片，则是指位相延迟扣除2π的整数倍后得到的大小在2π以内的“小数”部分)。
由(1)(2)(3)式及波长频率关系c＝λν有φ=ΔνΔπ----(4)]]>值得注意的是，式(4)与腔长无显式关系，只要测得分裂出的频差Δν及纵模间隔Δ，即可得到波片的位相延迟量φ。为了测量频差，可以使激光器输出经过一偏振片，并使偏振片的通光方向沿激光器输出的两正交偏振方向夹角的平分线。这样任意两个模式将在偏振片通光方向上形成大小等于二者之差的光拍频并可由探测器接收转换为电信号。需要注意的是，在激光器中同时有三个或三个以上的模式在工作时，电信号中包含多个拍频的成分，如果电信号被输入频谱仪，各成分可以在频谱仪中直接读取；但是如果电信号被输入频率计，频率计的读数将是不确定的。因此，如果使用频谱仪读出频差，可以调整激光器参数使其工作在如图3所示三模工作状态，此时Δν，Δν′和Δ都可直接读出。如果使用频率计读出频差，则可采用如下方法令激光器工作在图4(a)所示的双模状态，测量由纵模ν1和ν1′形成的拍频Δν，然后驱动压电陶瓷改变腔长，使纵模ν1移出而ν2进入出光带宽，如图4(b)所示，测量ν1′和ν2形成的拍频Δν′，并由Δ＝Δν+Δν′求出纵模间隔Δ。
对于近似标准的半波片和全波片，分别有φ≈π和φ≈2π，由(4)知对应的Δν值约分别为Δ和2Δ，这意味着分裂成的两纵模之一与其他级次的纵模频率很接近(即两频差Δν与Δν′一个很小而另一个接近Δ，为方便叙述，以下假设Δν′为二者中较小的一个)，激光器将发生闭锁现象，分裂出的纵模不能同时振荡。此时可在图1中增益管两侧放置磁铁组形成适当大小的横向磁场以消除闭锁现象，则测量可类似上述过程进行。由于此时频差Δν远大于Δν′，可以采用下面的方法使得在如图3的三模工作方式下仍可用频率计读出频差。
使输出光经过消偏振棱镜进行分束得到两束光(或直接取激光器前后端输出的两束光)A和B，A经过一个通光方向与ν1、ν1′及ν2的偏振方向均成45度角的偏振片PA后(具有三个拍频成分Δν、Δν′和Δ)进入一个光电探测器OA，而B经过一个通光方向与ν1、ν2相同(而与ν1′正交)的偏振片PB后(只有一个拍频成分即由ν1和ν2形成的Δ)进入另一个光电探测器OB。两探测器的输出分别经过后续电路CA、CB处理后送入两个频率计FA、FB。其中OA、OB、CA、CB的选择满足以下两个条件①探测器OA和电路CA的响应带宽均可覆盖频率Δν′，且二者至少有一个具有低通滤波特性(上限截止频率大于Δν′而小于Δν)。这样频差Δν及Δ都不会被响应，所以频率计FA的读数即为频差Δν′。
②探测器OB和电路CB的响应带宽均能覆盖不小于Δ的频率。这样纵模间隔Δ的信号可被OB和CB接收放大，频率计FB的读数即为纵模间隔Δ。
本发明提出的应用增加位相偏置的方法测量半/全波片位相延迟的原理为在谐振腔内放入一已知光轴方向的波片(非半波片和全波片)，则可根据前述如图3或图4的方法测量其位相延迟φ1；再将被测半/全波片放入腔内并使其快轴方向与已知波片快轴方向平行，用同样方法测量二者共同作用的位相延迟φ2，则被测波片的位相延迟为φ2-φ1。进一步，也可不放入已知光轴的波片而在图1中的窗片3上施加径向力使之由于光弹性效应而在两正交方向产生位相差φ1，根据前述方法测量φ1的大小，再将被测半/全波片放入腔内并使其快轴方向与3的加力方向平行，根据前述方法测量此时的位相延迟φ2，则被测波片的位相延迟为φ2-φ1。
本发明所述的测量方法的特征在于它是采用由一支增益管及一片由压电陶瓷驱动的独立反射镜组成的半内腔氦氖激光器来测量波片位相延迟的，在测量时把被测波片插入激光谐振腔中，激光器输出模式经一偏振片产生拍频后由光电探测器接收，再经电路处理并送入频谱仪或频率计显示，根据处理得到的拍频Δν和纵模间隔Δ用下式算出波片的位相延迟φφ=ΔνΔπ;]]>当激光器输出包含两个正交方向的线偏振模式时，它们经过偏振片产生的由纵模ν1和ν1′形成的拍频Δν＝ν1′-ν1被所述光电探测器和电路接收处理并由所述频率计输出后，调整所述的在压电陶瓷上施加的电压以改变谐振腔长，使两模式之一ν1移出而下一级纵模ν2进入激光器出光带宽，并由所说的频率计获得新的拍频Δν′＝ν2-ν1′，根据两次的拍频数值Δν1、Δν1′即可算出波片的位相延迟。
当所述的被测波片是半波片或全波片即半/全波长波片时，使所述的增益管置于由两组磁铁形成的横向磁场中，激光器输出经过偏振片产生多个拍频，由所述的光电探测器和电路接收处理并由所述的频谱仪显示。
当所述的被测波片是半波片或全波片即半/全波长波片时，使所述的增益管置于由两组磁铁形成的横向磁场中，把激光器输出分束为两路，经过不同的偏振片各自产生拍频后分别由两套探测器及后续电路接收处理，送入两个频率计显示，根据两个显示数值计算出波片的位相延迟；其中，所述的分束不改变输出光的偏振态，分束后经过的两个偏振片其通光方向为一个沿输出光的两个偏振方向的角平分线，另一个与输出光两偏振方向之一平行；所述的两套探测器和后续电路具有不同的响应带宽一个的响应带宽均可覆盖频率差Δν′，且二者中至少有一个具有低通滤波特性，其上限截止频率大于Δν′而小于Δν，另一个的响应带宽均可覆盖不小于Δ的频率。
当所述的被测波片是半波片或全波片即半/全波片时，把一片面法线平行于激光器谐振腔轴线的附加波片插入谐振腔中得到其位相延迟，再把被测半波片或全波片也插入谐振腔中并使附加波片和被测波片的快轴方向平行，得到上述两波片共同作用下的位相延迟，则两次求得的位相延迟之差即为被测波片之位相延迟，所述被测波片的面法线是平行于谐振腔轴线的。
当所述的被测波片是半波片或全波片即半/全波片时，用一个加力装置对所述增益管增透窗片加力使之产生一定位相差，测得没有加入被测波片时上述加力情况下由于光弹性效应而在两正交方向产生的位相差φ1，再把被测波片加入到腔内并使其快轴方向与上述加力方向平行，测得加力时的位相延迟φ2，则被测波片位相延迟为φ2-φ1，所述被测波片的面法线要平行于激光器谐振腔轴线。
本发明所述的测量装置的特征在于它含有半内腔氦氖激光器，它包含一支带支架的增益管，在它的两端分别固定着一片反射镜和一片增透窗片；一片独立反射镜，它连接着一片安装在支架上的压电陶瓷；被测波片固定用架，位于增益管增透窗片和所述独立反射镜之间，所述被测波片的面法线是平行于所述激光器轴线方向的；外罩，它是罩在所述半内腔氦氖激光器和被测波片外的；带支架的偏振片，它正对着增益管反射镜，其面法线平行于所述激光器的轴线；带支架的光电探测器，位于所述偏振片的另一侧；底座，它连接着外罩、压电陶瓷支架、被测波片固定用架、增益管支架、偏振片支架以及光电探测器支架；频率测量仪，它和所述光电探测器输出端相连。
它是一个测量半/全波片位相延迟的装置，它在被测波片固定用架的另一侧固定着一片附加波片，它是一片已知光轴方向的非半/全波片，它和被测波片的面法线都平行于激光器轴线。
它是一个测量半/全波片位相延迟的装置，它在所述增益管增透窗片上装有一个沿着增透窗片径向加力的加力装置。
它是一个测量半/全波片位相延迟的装置，它包含半内腔氦氖激光器，它包含一支带支架的增益管，在它的两端分别固定着一片反射镜和一片增透窗片；一片独立反射镜，它连接着一片安装在支架上的压电陶瓷；被测波片固定用架，位于增益管增透窗片和所述独立反射镜之间；外罩，它是罩在所述半内腔氦氖激光器、两组磁铁和被测波片外的；在增益管径向形成增益管外加的横向磁场的两组磁铁，它是支在支架上的；装在支架上的偏振片，它正对着增益管反射镜，其面法线平行于所述激光器的轴线；带支架的光电探测器，位于所述偏振片的另一侧；底座，它连接着所述外罩以及半内腔氦氖激光器、被测波片、两组磁铁、偏振片和光电探测器的各个支架；频谱仪，它和光电探测器输出端相连。
它是一种测量半/全波片位相延迟的装置，它包含半内腔氦氖激光器，它包含一支带支架的增益管，在它的两端分别固定着一片反射镜和一片增透窗片；一片独立反射镜，它连接着一片安压电陶瓷，而所述压电陶瓷是装在支架上的；被测波片固定用架，位于增益管增透窗片和所述独立反射镜之间；两组磁铁，它是装在支架上的，它在增益管径向形成外加的横向磁场；外罩，它是罩在所述半内腔氦氖激光器、两组磁铁和被测波片之外的；底座，它连接着所述外罩以及所述半内腔氦氖激光器、被测波片、两组磁铁的各个支架；
分光镜，它位于激光器输出光路上，它是一种在保持偏振态不变的条件下把激光器输出光分成两束光的分光镜；依次沿着上述两束光的光路安装的偏振片、光电探测器、处理电路和频率计，共有两套；上述两个偏振片的通光方向一个沿输出光的两个偏振方向的角平分线，另一个与输出光的偏振方向之一平行；所述的一路光电探测器和电路，它们的响应带宽均能覆盖每一级纵模变成的偏振方向相互正交的两个线偏振光之间的频率差Δν′，且光电探测器和电路中至少有一个具有低通滤波特性，而另一路光电探测器和电路，它们的响应带宽均能覆盖不小于纵模间隔的频率。
所述的频率测量仪是频率计或频谱仪。
本发明所述方法用于测量非半/全波片的位相延迟时，如果激光器纵模间隔Δ为900MHz左右，频差测量的分辨率为1kHz，则波片位相延迟测量结果的分辨率约为0.0002°(小于1″)，由于各种测量误差的存在，实际测量的重复性约为0.05°(约3′)。用于测量半/全波片的位相延迟时重复性约为0.1°。


图1本发明所述方法用的半内腔氦氖激光器的原理图。
图2两级纵模各分裂成偏振方向相互正交的两个纵模的示意图。
图3激光器处于三模工作状态示意图。
图4激光器处于双模工作状态示意图。
4a双模状态示意图；4b纵模ν1移出而ν2进入出光带宽的示意图。
图5本发明所述测量装置之一的结构示意图。
图6本发明所述测量装置之二的结构示意图。
图7本发明所述测量装置之三的结构示意图。
图8本发明所述测量装置之四的结构示意图。
图9本发明所述测量装置之五的结构示意图。
具体实施例方式
本发明所述装置的实例结构示意图本发明列出五个实例，分别见图5、图6、图7、图8和图9。
实例1见图5。
激光反射镜24组成谐振腔，增益管1两端分别固定增透窗片3和反射镜4。反射镜2安装在压电陶瓷6上，可由压电陶瓷6驱动沿腔轴线方向运动以改变腔长，控制激光器工作在双模或三模状态，波片11被安装在装夹装置7上。激光器的输出经过偏振片8后被光电探测器9接收，再由频谱仪(或频率计)16读出分裂模频差Δν和纵模间隔Δ。系统多数部件都安装在底座5上，整个谐振腔部分罩在外罩12内以减少外界扰动。
实例2见图6。
激光反射镜24组成谐振腔，增益管1置于磁铁组13形成的横向磁场中，其窗片3镀双面增透膜并与增益管1封接在一起。反射镜2安装在压电陶瓷6上，可由6驱动沿腔轴线方向运动，波片11被安装在装夹装置7上。压电陶瓷6可用来调节腔长使激光器工作在双模或三模状态。激光器的输出经过偏振片8后被光电探测器9接收，再由频谱仪16读出分裂模频差Δν和纵模间隔Δ。整个谐振腔部分罩在外罩12内，5为底座。
实例3见图7。
激光反射镜24组成谐振腔，增益管1置于磁铁组13形成的横向磁场中，其窗片3镀双面增透膜并与增益管1封接在一起。反射镜2安装在压电陶瓷6上，可由6驱动沿腔轴线方向运动，波片11被安装在装夹装置7上。压电陶瓷6可用来调节腔长使激光器工作在三模状态。激光器输出经分光镜14后分为两路，第一路经过偏振片81后进入探测器91，再经电路151后由频率计161读取频差；第二路经过偏振片82后进入探测器92，再经过电路152后由频率计162显示拍频。512分别为底座和外罩。其中81的通光方向与输出光的两正交偏振方向都成45度角，而82的通光方向与三模中的两个偏振方向相同，探测器9192和电路151152的选取满足所说的①②两条件。。
实例4见图8。
激光反射镜24组成谐振腔，增益管1的窗片3镀双面增透膜并与1封接在一起，反射镜2安装在压电陶瓷6上，可由6驱动沿腔轴线方向运动，被测波片11与一片附加波片17被安装在装夹装置7上。压电陶瓷6可用来调节腔长使激光器工作在双模或三模状态。激光器的输出经过偏振片8后被光电探测器9接收，再送入频谱仪(或频率计)16。整个谐振腔部分罩在外罩12内，5为底座。
实例5见图9。
激光反射镜24组成谐振腔，增益管1的窗片3镀双面增透膜并与1封接在一起，反射镜2安装在压电陶瓷6上，可由6驱动沿腔轴线方向运动以改变腔长。18为环状加力装置，可对3进行加力。被测波片11安装在装夹装置7上。激光器的输出经过偏振片8后被光电探测器9接收，再送入频谱仪(或频率计)16。125分别为外罩和底座。
权利要求
1.高精度测量波片位相延迟的方法，其特征在于它是采用由一支增益管及一片由压电陶瓷驱动的独立反射镜组成的半内腔氦氖激光器来测量波片位相延迟的，在测量时把被测波片插入激光谐振腔中，激光器输出模式经一偏振片产生拍频后由光电探测器接收，再经电路处理并送入频谱仪或频率计显示，根据处理得到的拍频Δv和纵模间隔Δ用下式算出波片的位相延迟φφ=ΔvΔπ;]]>当激光器输出包含两个正交方向的线偏振模式时，它们经过偏振片产生的由纵模v1和v′1形成的拍频Δv＝v′1-v1被所述光电探测器和电路接收处理并由所述频率计输出后，调整所述的在压电陶瓷上施加的电压以改变谐振腔长，使两模式之一v1移出而下一级纵模v2进入激光器出光带宽，并由所说的频率计获得新的拍频Δv′＝v2-v′1，根据两次的拍频数值Δv1、Δv′1即可算出波片的位相延迟。
2.根据权利要求1所述的高精度测量波片位相延迟的方法，其特征在于当所述的被测波片是半波片或全波片即半/全波片时，使所述的增益管置于由两组磁铁形成的横向磁场中，激光器输出经过偏振片产生多个拍频，由所述的光电探测器和电路接收处理并由所述的频谱仪显示。
3.根据权利要求1所述的高精度测量波片位相延迟的方法，其特征在于当所述的被测波片是半波片或全波片即半/全波片时，使所述的增益管置于由两组磁铁形成的横向磁场中，把激光器输出分束为两路，经过不同的偏振片各自产生拍频后分别由两套探测器及后续电路接收处理，送入两个频率计显示，根据两个显示数值计算出波片的位相延迟；其中，所述的分束不改变输出光的偏振态，分束后经过的两个偏振片其通光方向为一个沿输出光的两个偏振方向的角平分线，另一个与输出光两偏振方向之一平行；所述的两套探测器和后续电路具有不同的响应带宽一个的响应带宽均可覆盖频率差Δv′，且二者中至少有一个具有低通滤波特性，其上限截止频率大于Δv′而小于Δv，另一个的响应带宽均可覆盖不小于Δ的频率。
4.根据权利要求1所述的高精度测量波片位相延迟的方法，其特征在于当所述的被测波片是半波片或全波片即半/全波片时，把一片面法线平行于激光器谐振腔轴线的附加波片插入谐振腔中得到其位相延迟，再把被测半波片或全波片也插入谐振腔中并使附加波片和被测波片的快轴方向平行，得到上述两波片共同作用下的位相延迟，则两次求得的位相延迟之差即为被测波片之位相延迟，所述被测波片的面法线是平行于谐振腔轴线的。
5.根据权利要求1所述的高精度测量波片位相延迟的方法，其特征在于当所述的被测波片是半波片或全波片即半/全波片时，用一个加力装置对所述增益管增透窗片加力使之产生一定位相差，测得没有加入被测波片时上述加力情况下由于光弹性效应而在两正交方向产生的位相差φ1，再把被测波片加入到腔内并使其快轴方向与上述加力方向平行，测得加力时的位相延迟φ2，则被测波片位相延迟为φ2-φ1，所述被测波片的面法线要平行于激光器谐振腔轴线。
6.高精度测量波片位相延迟的装置，其特征在于，它含有半内腔氦氖激光器，它包含一支带支架的增益管，在它的两端分别固定着一片反射镜和一片增透窗片；一片独立反射镜，它连接着一片安装在支架上的压电陶瓷；被测波片固定用架，位于增益管增透窗片和所述独立反射镜之间，所述被测波片的面法线是平行于所述激光器轴线方向的；外罩，它是罩在所述半内腔氦氖激光器和被测波片外的；带支架的偏振片，它正对着增益管反射镜，其面法线平行于所述激光器的轴线；带支架的光电探测器，位于所述偏振片的另一侧；底座，它连接着外罩、压电陶瓷支架、被测波片固定用架、增益管支架、偏振片支架以及光电探测器支架；频率测量仪，它和所述光电探测器输出端相连。
7.根据权利要求1所述的高精度测量波片位相延迟的装置，其特征在于它是一个测量半/全波片位相延迟的装置，它在被测波片固定用架的另一侧固定着一片附加波片，它是一片已知光轴方向的非半/全波片，它和被测波片的面法线都平行于激光器轴线。
8.根据权利要求1所述的高精度测量波片位相延迟的装置，其特征在于它是一个测量半/全波片位相延迟的装置，它在所述增益管增透窗片上装有一个沿着增透窗片径向加力的加力装置。
9.高精度测量波片位相延迟的装置，其特征在于它是一个测量半/全波片位相延迟的装置，它包含半内腔氦氖激光器，它包含一支带支架的增益管，在它的两端分别固定着一片反射镜和一片增透窗片；一片独立反射镜，它连接着一片安装在支架上的压电陶瓷；被测波片固定用架，位于增益管增透窗片和所述独立反射镜之间；外罩，它是罩在所述半内腔氦氖激光器、两组磁铁和被测波片外的；在增益管径向形成增益管外加的横向磁场的两组磁铁，它是支在支架上的；装在支架上的偏振片，它正对着增益管反射镜，其面法线平行于所述激光器的轴线；带支架的光电探测器，位于所述偏振片的另一侧；底座，它连接着所述外罩以及半内腔氦氖激光器、被测波片、两组磁铁、偏振片和光电探测器的各个支架；频谱仪，它和光电探测器输出端相连。
10.高精度测量波片位相延迟的装置，其特征在于它是一种测量半/全波片位相延迟的装置，它包含半内腔氦氖激光器，它包含一支带支架的增益管，在它的两端分别固定着一片反射镜和一片增透窗片；一片独立反射镜，它连接着一片安压电陶瓷，而所述压电陶瓷是装在支架上的；被测波片固定用架，位于增益管增透窗片和所述独立反射镜之间；两组磁铁，它是装在支架上的，它在增益管径向形成外加的横向磁场；外罩，它是罩在所述半内腔氦氖激光器、两组磁铁和被测波片之外的；底座，它连接着所述外罩以及所述半内腔氦氖激光器、被测波片、两组磁铁的各个支架；分光镜，它位于激光器输出光路上，它是一种在保持偏振态不变的条件下把激光器输出光分成两束光的分光镜；依次沿着上述两束光的光路安装的偏振片、光电探测器、处理电路和频率计，共有两套；上述两个偏振片的通光方向一个沿输出光的两个偏振方向的角平分线，另一个与输出光的偏振方向之一平行；所述的一路光电探测器和电路，它们的响应带宽均能覆盖每一级纵模变成的偏振方向相互正交的两个线偏振光之间的频率差Δv′，且光电探测器和电路中至少有一个具有低通滤波特性，而另一路光电探测器和电路，它们的响应带宽均能覆盖不小于纵模间隔的频率。
11.根据权利要求6所述的高精度测量波片位相延迟的装置，其特征在于所述的频率测量仪是频率计或频谱仪。
全文摘要
高精度测量波片位相延迟的方法及其装置属于激光测量技术领域，其特征在于采用半内腔氦氖激光器，该激光器由一支增益管及一片独立反射镜组成，增益管两端分别固定一片反射镜和一片增透窗片，独立反射镜由压电陶瓷驱动。被测波片插入激光谐振腔中，激光器输出模式经一偏振片产生拍频，由探测器接收，经电路处理并送入频谱仪或频率计显示，据此算出波片的位相延迟。它还把应用两组磁铁形成的横向磁场加在增益管径向，或用一块附加的波片或一套加力装置来测量半/全波片位相延迟的方法；它还在实施例中枚举了五种测量装置的结构。它具有简单易行、测量精度高、成本低的优点。
文档编号G01N21/27GK1546989SQ20031011738
公开日2004年11月17日 申请日期2003年12月12日 优先权日2003年12月12日
发明者张书练, 宗晓斌, 张毅, 韩艳梅 申请人:清华大学