二维加速度微传感器的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种二维加速度微传感器，它包括支撑壁和十字活动极板，所述的十字活动极板的四端上均固定有弹性梁，所述的支撑壁的对应两边上均固定有两个电容极板，所述的电容极板位于两个垂直面上，四个电容极板分别位于十字活动极板与支撑壁所围成的区域内，所述的支撑壁上与弹性梁接触处均设置有加速孔。其优点是：可检测两个垂直方向的加速度。
【专利说明】二维加速度微传感器
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及微电子领域，更具体的说是涉及一种二维加速度微传感器。
【背景技术】
[0002]加速度计是测量载体惯性加速度的仪器，其运用在很多方面。譬如航天航空领域。惯性导航和制导都是以加速度计敏感测量载体运动加速度为基础，因此加速度计的性能直接影响到整个系统的测量精度稳定性以及最终的导航精度。现有的加速度传感器其只能检测一个方向的加速度，不能对多个方向的加速度进行检测。
实用新型内容
[0003]本实用新型提供一种二维加速度微传感器，其可检测两个垂直方向的加速度。
[0004]为解决上述的技术问题，本实用新型采用以下技术方案:
[0005]二维加速度微传感器，它包括支撑壁和十字活动极板，所述的十字活动极板的四端上均固定有弹性梁，所述的支撑壁的对应两边上均固定有两个电容极板，所述的电容极板位于两个垂直面上，四个电容极板分别位于十字活动极板与支撑壁所围成的区域内，所述的支撑壁上与弹性梁接触处均设置有加速孔。
[0006]更进一步的技术方案是:
[0007]作为优选，所述的加速孔的面积小于支撑壁与弹性梁的接触面积。
[0008]进一步的，所述的加速孔的面积小于支撑壁与弹性梁的接触面积的二分之一。
[0009]作为优选，所述的十字活动极板和电容极板均连接在信号处理电路上。
[0010]作为优选，所述的两个垂直面之间的距离小于6毫米。
[0011]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:本实用新型可检测垂直两个方向上的加速度，适用面更广，使用也更方便。
【专利附图】

【附图说明】
[0012]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细说明。
[0013]图1为本实用新型的结构示意图。
[0014]图中的标号为:1、支撑壁；2、弹性梁；3、十字活动极板；4、电容极板；5、加速孔。【具体实施方式】
[0015]下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。本实用新型的实施方式包括但不限于下列实施例。
[0016][实施例]
[0017]如图1所示的二维加速度微传感器，它包括支撑壁I和十字活动极板3，所述的十字活动极板3的四端上均固定有弹性梁2，所述的支撑壁I的对应两边上均固定有两个电容极板4，所述的电容极板4位于两个垂直面上，四个电容极板4分别位于十字活动极板3与支撑壁I所围成的区域内，所述的支撑壁I上与弹性梁2接触处均设置有加速孔5。
[0018]为了使整个加速度计的结构更稳定，所述的加速孔5的面积小于支撑壁I与弹性梁2的接触面积。
[0019]所述的加速孔5的面积小于支撑壁I与弹性梁2的接触面积的二分之一。一个方向的加速度通过加速孔作用于弹性梁2上，为了使与该弹性梁对面的弹性梁的结构更稳定，不会从加速孔5内渗出，加速孔的面积不应过大。
[0020]所述的十字活动极板3和电容极板4均连接在信号处理电路上。
[0021]为了进一步的提高测量精度，所述的两个垂直面之间的距离小于6毫米。
[0022]本实施例的工作过程如下:
[0023]十字活动极板3包括横向活动极板和纵向活动极板。当一个竖直方向的加速度，即沿纵向活动板的方向，通过加速孔作用于弹性梁时，弹性梁伸缩，十字活动极板3会沿竖直方向移动，即纵向活动板会向上或向下移动，则纵向活动板与位于横向活动板两侧的电容极板会产生一个差动变化的电容值，通过信号处理电路对变化的值进行处理，即可测得该加速度。当一个水平方向的加速度，即沿横向活动板的方向，通过加速孔作用于弹性梁时，弹性梁伸缩，十字活动极板3会沿水平方向移动，即纵向活动板会向左或向右移动，则纵向活动板与位于横向活动板两侧的电容极板会产生一个差动变化的电容值，通过信号处理电路对变化的值进行处理，即可测得该加速度。
[0024]本实用新型可检测垂直两个方向上的加速度，即可检测横向和纵向的及速度，其适用面更广，使用也更方便。
[0025]如上所述即为本实用新型的实施例。本实用新型不局限于上述实施方式，任何人应该得知在本实用新型的启示下做出的结构变化，凡是与本实用新型具有相同或相近的技术方案，均落入本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.二维加速度微传感器，其特征在于:它包括支撑壁(I)和十字活动极板(3)，所述的十字活动极板(3)的四端上均固定有弹性梁(2)，所述的支撑壁(I)的对应两边上均固定有两个电容极板(4)，所述的电容极板(4)位于两个垂直面上，四个电容极板(4)分别位于十字活动极板(3)与支撑壁(I)所围成的区域内，所述的支撑壁(I)上与弹性梁(2)接触处均设置有加速孔(5)。
2.根据权利要求1所述的二维加速度微传感器，其特征在于:所述的加速孔(5)的面积小于支撑壁(I)与弹性梁(2)的接触面积。
3.根据权利要求2所述的二维加速度微传感器，其特征在于:所述的加速孔(5)的面积小于支撑壁(I)与弹性梁(2)的接触面积的二分之一。
4.根据权利要求1所述的二维加速度微传感器，其特征在于:所述的十字活动极板(3)和电容极板(4)均连接在信号处理电路上。
5.根据权利要求1所述的二维加速度微传感器，其特征在于:所述的两个垂直面之间的距离小于6毫米。
【文档编号】G01P15/18GK203519644SQ201320655006
【公开日】2014年4月2日 申请日期:2013年10月23日 优先权日:2013年10月23日
【发明者】黄友华 申请人:成都市宏山科技有限公司