使用盘泵系统来供应减压并测量流量的系统和方法
【专利摘要】多种盘泵系统和方法涉及以下一种盘泵系统，该盘泵系统包括一个具有第一致动器的第一盘泵以及一个具有第二致动器的第二盘泵。这些系统和方法利用传感器来测量这些致动器的位移并且利用一个处理器来根据这些致动器的所测量位移而确定跨过每个致动器的压差。这些盘泵通过一个已知限制装置流体性相联接，并且该处理器基于所确定的跨过每个致动器的压差以及该已知限制装置的特性来确定该盘泵系统的流速。
【专利说明】使用盘泵系统来供应减压并测量流量的系统和方法
[0001] 本发明根据35 USC § 119(e)要求洛克（Locke)等人在2012年2月29日提交 的题为"使用盘泵系统来供应减压并测量流速的系统和方法（Systems and Methods for Supplying Reduced Pressure and Measuring Flow using a Disc Pump System)，'的美国 临时专利申请序号61/604, 927的提交的权益，出于所有目的将该文献通过引用结合在此。 发明背景 1. 发明领域
[0002] 本发明的说明性实施例总体上涉及用于泵送流体的盘泵系统、并且更具体地涉及 具有通过已知的限制装置流体性相联接的两个或更多个泵的一种盘泵系统。这些说明性实 施例涉及以下一种盘泵系统，该盘泵系统测量该已知限制装置每端处的压力以确定由该盘 泵系统所泵送的流体流速。 2. 相关技术说明
[0003] 密闭空腔中高幅压力振荡的产生已经在热声学和盘泵型压缩机领域中受到大量 关注。非线性声学方面的新近发展已经允许具有比先前认为可能的振幅更高的振幅的压力 波的产生。
[0004] 已知使用声共振来实现从所限定的入口和出口进行流体泵送。这可以使用在一端 具有一个声学驱动器的一个圆柱形空腔来实现，该声学驱动器驱动一个声学驻波。在这种 圆柱形空腔中，声压波具有有限振幅。变化截面的空腔（如锥形、角锥形、以及球形）已被 用于实现高幅压力振荡，由此显著提高泵送效果。在这类高幅波中，伴随能量耗散的非线性 机制已被抑制。然而，高幅的声共振直到最近仍未被用于其中的径向压力振荡被激发的盘 形空腔内。公开为W0 2006/111775的国际专利申请号PCT/GB 2006/001487披露了一种盘 泵，该盘泵具有一个纵横比（即空腔的半径与空腔的高度的比率）较高的一个大体上盘形 的空腔。
[0005] 这种盘泵具有一个大体上圆柱形的空腔，该圆柱形的空腔包括在每一端由端壁封 闭的一个侧壁。该盘泵还包括一个致动器，该致动器这些驱动端壁中的任一者以便沿大体 上垂直于被驱动端壁的表面的一个方向振荡。被驱动端壁的运动的空间特征被描述为与空 腔内的流体压力振荡的空间特征相匹配，这是一种在此被描述为模式匹配的状态。当该盘 泵是模式匹配的时，致动器对空腔中的流体所做的功在被驱动端壁表面上有利地增加，由 此增强该空腔中压力振荡的振幅并且传递较高盘泵效率。一个模式匹配的盘泵的效率取决 于被驱动端壁与侧壁之间的界面。希望通过以下方式来维持这种盘泵的效率：建构该界面 以便不减小或抑制被驱动端壁的运动，由此减缓空腔内流体压力振荡的振幅方面的任何减 小。
[0006] 上述盘泵的致动器引起被驱动端壁的沿大体上垂直于端壁或大体上平行于圆柱 形空腔的纵轴线的一个方向的一种振荡运动（"位移振荡"），在下文中被称为在该空腔内 被驱动端壁的"轴向振荡"。该被驱动端壁的轴向振荡在空腔内产生流体的大体上成比例的 "压力振荡"，从而产生接近如国际专利申请号PCT/GB 2006/001487中所描述的第一类的贝 塞耳函数（Bessel function)的一种径向压力分布，该申请通过引用结合在此。这类振荡 在下文中被称为流体压力在空腔内的"径向振荡"。位于致动器与侧壁之间的被驱动端壁的 一部分提供了与盘泵的侧壁的一个界面，该界面减小位移振荡的阻尼，以减缓空腔内的压 力振荡的任何减小。被驱动端壁的提供了此界面的这个部分在下文中被称为"隔离物"，如 在美国专利申请号12/477, 594中更确切地描述的，该专利申请通过引用结合在此。隔离物 的说明性实施例以可操作方式与被驱动端壁的外围部分相关联，从而降低该位移振荡的阻 尼。
[0007] 这类盘泵还具有用于控制穿过该盘泵的流体流动的一个或多个阀、以及更确切地 说能够以较高频率操作的阀。常规的阀典型地针对多种应用以小于500 Hz的低频率操作。 例如，许多常规压缩机典型地以50 Hz或60 Hz操作。本领域中已知的线性共振压缩机在 150 Hz与350 Hz之间操作。而许多便携式电子装置（包括医疗装置在内）需要盘泵来输 送正压或提供真空。这些盘泵的大小较小，并且有利的是此类盘泵在运行中是听不见的以 便提供分立的操作。为了实现这些目标，这类盘泵必须以极高频率操作，从而需要能够在 约20 kHz和更高下操作的阀。为了以这些高频率操作，该阀必须对可以被校正以产生穿 过该盘泵的流体净流动的一种高频振荡压力作出响应。这种阀在国际专利申请号PCT/GB 2009/050614中更确切地进行了描述，该申请通过引用结合在此。
[0008] 阀可以被布置在一个第一孔口或第二孔口或这两个孔口中，以用于控制穿过盘泵 的流体的流动。每个阀都包括一个第一板，该第一板具有总体上垂直延伸穿过其中的多个 孔口；以及一个第二板，该第二板也具有总体上垂直延伸穿过其中的多个孔口，其中该第二 板的孔口大体上偏离该第一板的孔口。该阀进一步包括布置在该第一板和该第二板之间的 一个侧壁，其中该侧壁围绕该第一板和该第二板的周界是闭合的，以形成在该第一板与该 第二板之间、与该第一板和该第二板的孔口处于流体联通的一个空腔。该阀进一步包括布 置于该第一板与第二板之间并且在其之间可移动的一个瓣，其中该瓣具有大体上偏离该第 一板的孔口并且与该第二板的孔口大体上对准的多个孔口。这个瓣响应于沿阀上流体差压 的方向的变化而在该第一板与该第二板之间被促动。 概述
[0009] 根据一个说明性实施例，一种盘泵系统包括一个具有第一致动器的第一盘泵以及 一个具有第二致动器的第二盘泵。该盘泵系统包括一个具有已知限制装置的衬底、一个第 一光学接收器、以及一个第二光学接收器，该衬底将该第一盘泵与第二盘泵相联接。该第一 光学接收器可操作来接收一个指示了该第一致动器的位移的第一反射光学信号并且将一 个第一位移信号传送至一个处理器。该第二光学接收器可操作来接收一个指示了该第二致 动器的位移的第二反射光学信号并且将一个第二位移信号传送至该处理器。该处理器联接 至该第一盘泵、该第二盘泵、该第一光学接收器、以及该第二光学接收器上。该处理器被配 置成用于响应于接收到该第一位移信号而确定该第一盘泵上的第一压差、并且响应于接收 到该第二位移信号而确定该第二盘泵上的第二压差。该处理器还被配置成基于该第一压差 和第二压差来确定该盘泵系统的流体流速。
[0010] 根据另一个展示性实施例，一种盘泵系统包括一个具有第一致动器的第一盘泵、 一个具有第二致动器的第二盘泵、以及一个具有已知限制装置的衬底。该第一盘泵和第二 盘泵通过该已知限制装置流体性相联接。
[0011] 一种用于操作盘泵系统的方法包括将一个第一驱动信号传送至一个第一盘泵 (该第一盘泵具有一个第一致动器）并且将一个第二驱动信号传送至一个第二盘泵（该第 二盘泵具有一个第二致动器）。该第一盘泵经由一个孔口流体性联接到一个负载上，并且该 第二盘泵经由一个已知限制装置联接到该孔口。该方法包括使用该第二盘泵将一个减压供 应到该负载、接收一个指示了该第一致动器的位移的第一位移信号、并且接收一个指示了 该第二致动器的位移的第二位移信号。该方法进一步包括响应于接收到该第一位移信号而 确定该第一盘泵上的第一压差、并且响应于接收到该第二位移信号而确定该第二盘泵上的 第二压差。此外，该方法包括基于该第一压差和第二压差来确定该盘泵系统的流体流速。 附图简要说明
[0012] 图1A是具有流体性联接至一个限制通道的两个盘泵的一个盘泵系统的截面视 图；
[0013] 图1B示出了图1A的盘泵系统的俯视示意图；
[0014] 图2A是根据第一个说明性实施例具有展示为处于休止位置的一个致动器的一个 第一盘泵的截面视图；
[0015] 图2B是图2A的第一盘泵的截面视图，示出了根据第一个说明性实施例该致动器 处于一个偏置后位置；
[0016] 图3A示出图2A的第一盘泵的致动器的基本弯曲模式的轴向位移振荡的曲线图； [0017] 图3B示出响应于图3A中所示的弯曲模式的图2A的第一盘泵的空腔内的流体的 压力振荡的曲线图；
[0018] 图4是根据一个说明性实施例的用于测量第一盘泵的致动器的位移的一个第一 传感器的详细视图；
[0019] 图4A是该第一传感器的说明性接收器的示意图，指示了该致动器在处于休止位 置和被偏置位置时的位置；
[0020] 图5A示出图2A的第一盘泵的截面视图，其中这两个阀由图7A至图7D中所展示 的一个单一阀表不；
[0021] 图5B是图7A至图7D的阀的一个中心部分的截面视图；
[0022] 图6示出了如图5A中所示的第一盘泵的空腔内的流体的压力振荡的曲线图，以展 示如由虚线所指示的在图5B的阀上施加的压差；
[0023] 图7A示出处于闭合位置的一个阀的说明性实施例的截面视图；
[0024] 图7B示出了沿图7D中的线7B-7B取得的图7A的阀的详细截面视图；
[0025] 图7C示出了图7A的阀的透视图；
[0026] 图7D示出了图7B的阀的俯视图；
[0027] 图8A示出了处于打开位置的图7A中的阀在流体流过该阀时的截面视图；
[0028] 图8B示出了在打开与关闭位置之间的过渡状态下图7A中的阀的截面视图；
[0029] 图8C示出了处于闭合位置的图7B的阀在流体流被一个阀瓣阻断时的截面视图；
[0030] 图9A示出根据一个说明性实施例的在图7A的阀上施加的振荡差压的压力曲线 图；
[0031] 图9B示出图7A的阀在一个打开位置与一个闭合位置之间的操作周期的流体流动 曲线图；
[0032] 图10A和图10B示出了图2A的盘泵的截面视图，包括阀的中心部分的视图和对应 地施加于空腔内的振荡压力波的正的和负的部分的曲线图；
[0033] 图11示出了该盘泵的阀的打开和闭合状态，并且图11A和11B分别示出了该盘泵 处于自由流动模式时所得的流动和压力特征；
[0034] 图12示出了该盘泵在该盘泵达到停滞情形时所提供的最大差压的曲线图；并且
[0035] 图13是一个盘泵系统的用于测量和控制由该盘泵系统产生的一个减压的一个说 明性电路的框图。 说明性实施方式的详细说明
[0036] 在几个说明性实施例的以下详细说明中，参考形成详细说明的一部分的附图。借 助于图示，附图示出本发明可被实践的具体的优选实施例。这些实施例足够详细地被描述 以使本领域的普通技术人员能够实践本发明，并且应理解可以采用其他实施例，并且可以 在不脱离本发明的精神或范围的情况下做出逻辑结构、机械、电学以及化学变化。为了避免 对于使得本领域的普通技术人员能够实践在此所描述的这些实施例来说所不必要的细节， 本说明可能省略了本领域的普通技术人员已知的某些信息。因此，以下详细说明不应被视 为限制性的，并且这些说明性实施例的范围仅由所附权利要求书限定。
[0037] 图1A示出了一种具有多个盘泵的盘泵系统100。该多个盘泵至少包括一个第一盘 泵10和一个第二盘泵80,这两个盘泵可操作来将一个正压或负压供应给负载38以便对应 地对负载38加压或减压。在图1A的说明性实施例中，这些盘泵被安装到一个共用衬底28、 例如印刷电路板上。进而，衬底28安装到一个歧管52上，该歧管将盘泵10、80经由一个孔 口 17流体性联接到一个负载38。盘泵10流体性联接到该孔口 17,而盘泵80经由歧管52 与衬底28之间的一个通道、例如一个限制装置50而流体性联接到孔口 17。该限制装置50 可以是具有已知的尺寸并且容纳盘泵80与孔口 17之间的流体流动的一个导管、流体路径 或类似特征。这样，限制装置50是一个已知限制装置。在一个实施例中，限制装置50是具 有已知尺寸的一个圆柱形腔室。该圆柱形腔室可以被适配成遵循一个如图1B所示的迂回 路径来加长该限制装置50的轨迹并且适应可以应用于盘泵系统100的尺寸界限。
[0038] 盘泵10、80各自包括一个传感器238,用于测量在限制装置50的每端处盘泵10、 80各自相关联的压力。在盘泵10、80各自处测量的压力之差指示了跨过该限制装置的压 差、或压降。限制装置50上的压差可以被测量用于确定穿过孔口 17到达或来自负载38的 空气流。能够确定穿过孔口 17的空气流有助于对于在负载38处的压力量值增大或减小时 将负载38加压或减压的流体动力学特性进行控制。这个流动测量数据可以用于检测或定 位负载38处的泄露并且收集使用数据。
[0039] 盘泵10、80可以各自针对将负载38加压或减压的预定性能特性来进行设计。例 如，第二盘泵80可以被设计成用于在当负载38处于环境压力下时将较高空气流穿过限制 装置50输送至孔口 17,而第一盘泵10可以被设计成用于输送较高压差但较小的空气流至 孔口 17。因此，这两个盘泵10、80可以用作一个优化对负载38进行加压或减压的流体动力 学特性的系统。盘泵10、80的功能性还可以根据所希望的性能特性来反转。即便如此，必 须进一步描述盘泵10、80的操作，它们基本上是相似的，除了控制这些盘泵10、80的操作特 性的多个阀的某些特征例外。因此，详细地描述盘泵10以支指出可以改变从而实现针对任 一盘泵10、80的不同流动和压力特性的多个阀特征。
[0040] 为了描述盘泵10的、在图2A-12中所展示的特征的功能性，认为第二盘泵80是处 于关掉状态，这样盘泵10仅提供了被供应到负载38或从该负载供应的空气流。在图2A中， 盘泵10包括一个盘泵体，该泵体具有大体上椭圆形的形状，该椭圆形形状包括在每一端由 端板12、13闭合的一个圆柱形壁11。圆柱形壁11可以被安装到一个衬底28上，该衬底28 形成端板13。衬底28可以是一个印刷电路板或另一种适合的材料。盘泵10进一步包括一 对盘形内板14、15,这对盘形内板由附着到圆柱形壁11上的一个具有环形形状的隔离物30 支撑于盘泵10内。圆柱形壁11的内表面、端板12、内板14以及隔离物30在盘泵10内形 成一个空腔16。空腔16的内表面包括一个侧壁18,该侧壁18是在两端由端壁20、22闭合 的圆柱形壁11的内表面的一个第一部分，其中端壁20是端板12的内表面并且端壁22包 括内板14的内表面和隔离物30的一个第一侧。端壁22因此包括对应于内板14的内表面 的一个中心部分和对应于隔离物30的内表面的一个外围部分。尽管盘泵10和其部件的形 状大体上是椭圆形，但在此所披露的具体实施例是一种圆形、椭圆形形状。
[0041] 圆柱形壁11和端板12、13可以是包括盘泵体的单一部件或多个分离的部件。如 图2A所示，端板13是由一个衬底形成，该衬底28可以是在其上安装盘泵10的一个印刷电 路板、一个组装板、或印刷线组件（PWA)。尽管空腔16的形状大体上为圆形，但空腔16的 形状还可能更一般地是椭圆形。在图2A中所示的实施例中，限定了空腔16的端壁20被示 出为是总体上截头圆锥形的。在另一个实施例中，限定了空腔16的内表面的这个端壁20 可以包括平行于致动器40的一个总体上平坦的表面，如以下所讨论的。一种包括截头圆锥 形表面的盘泵在W02006/111775公开案中更详细地进行了描述，该公开案通过引用结合在 此。盘泵体的端板12、13和圆柱形壁11可以由任何合适的刚性材料（包括但不限于金属、 陶瓷、玻璃或塑料（包括但不限于注塑成型塑料））形成。
[0042] 盘泵10的内板14、15共同形成一个致动器40,该致动器40与形成空腔16的内表 面的端壁22的中心部分操作性地相关联。内板14、15中的一者必须由一种压电材料形成， 该压电材料可以包括响应于所施加的电信号展现出应变的任何电学活性材料，例如像一种 电致伸缩或磁致伸缩材料。例如，在一个优选实施例中，内板15是由响应于所施加的电信 号展现出应变的压电材料形成，即活性内板。内板14、15中的另一者优选地具有与该活性 内板类似的一个弯曲刚度、并且可以由一种压电材料或一种电学非活性材料（如一种金属 或陶瓷）形成。在这个实施例中，内板14具有与活性内板15类似的一个弯曲硬度、并且是 由一种电学非活性材料（如一种金属或陶瓷）形成，即惰性内板。当活性内板15被电流激 发时，活性内板15沿相对于空腔16的纵向轴线的一个径向方向膨胀和收缩，使得内板14、 15弯曲，由此引发端壁22在大体上垂直于这些端壁22的方向上的轴向偏转（见图3A)。
[0043] 在未示出的其他实施例中，隔离物30可以取决于盘泵10的特定设计和取向从顶 表面或底表面对内板14、15中的任一者进行支撑，不论是活性内板15还是惰性内板14。在 另一实施例中，致动器40可以由仅与内板14、15中的一者处于力传输关系的装置（例如机 械、磁性或静电装置）代替，其中选定的内板14、15可以被形成为一个电学非活性或惰性材 料层，该层以上文所描述方式被该装置（未示出）带动振荡。
[0044] 盘泵10进一步包括从空腔16延伸到盘泵10的外部的至少一个孔口，其中该至少 一个孔口包括一个阀以控制穿过该孔口的流体的流动。该孔口可以位于空腔16中的任何 位置处，在该位置中致动器40产生一个压差。图2A至图2B中所示的盘泵10的实施例包 括大致位于端板12的中心并且延伸穿过该端板的一个孔口 27。孔口 27包括至少一个端阀 29,该至少一个端阀调节沿如由箭头所指示的一个方向的流体流动，这样使得端阀29充当 盘泵10的一个出口阀。
[0045] 盘泵10进一步包括延伸穿过致动器40的至少一个孔口，其中该至少一个孔口包 括一个阀以控制穿过该孔的流体的流动。该孔口可以位于致动器40上的任何位置处，在该 位置中致动器40产生一个压差。然而，图2A至图2B中所示的盘泵10的说明性实施例包 括大致位于内板14、15的中心并且延伸穿过内板14、15的一个致动器孔口 31。致动器孔口 31包括一个致动器阀32,该致动器阀调节沿如由箭头所指示的进入空腔16中的一个方向 的流体流动，这样使得该致动器阀32充当到空腔16的一个入口阀。致动器阀32通过加强 到空腔16中的流体流动并且对端阀29的操作进行补充来使盘泵10的输出量提高，如以下 更详细地描述。
[0046] 在此描述的空腔16的尺寸应优选地满足相对于空腔16和侧壁18的高度（h)与 其半径（r)之间的关系来说的某些不等式，该半径（r)是空腔16的纵轴线到侧壁18的距 离。这些等式如下： r/h>1.2 ;以及 h2/r>4Xl(r10 米。
[0047] 在一个实施例中，当空腔16内的流体是一种气体时，空腔半径与空腔高度的比 (r/h)是在约10与约50之间。在这个实例中，空腔16的体积可以是小于约10ml。另外， 如果工作流体是与液体相对的一种气体，那么h 2/r的比优选地在约ΚΓ6米与约ΚΓ7米之间 的范围内。
[0048] 此外，在此披露的空腔16应优选地满足与空腔半径（r)和工作频率（f)相关的以 下不等式，该工作频率是致动器40振动以便产生端壁22的轴向位移的频率。该不等式是 如下：
[0049]
【权利要求】
1. 一种盘泵系统，包括 具有一个第一致动器的一个第一盘泵； 具有一个第二致动器的一个第二盘泵； 具有一个已知限制装置的一个衬底，该第一盘泵和第二盘泵通过该已知限制装置流体 性相联接； 一个第一光学接收器，该第一光学接收器可操作来接收一个指示了该第一致动器的位 移的第一反射光学信号并且将一个第一位移信号传送至一个处理器；以及 一个第二光学接收器，该第二光学接收器可操作来接收一个指示了该第二致动器的位 移的第二反射光学信号并且将一个第二位移信号传送至该处理器； 该处理器联接至该第一盘泵、该第二盘泵、该第一光学接收器、以及该第二光学接收器 上，并且被配置成用于： 响应于接收到该第一位移信号来确定跨过该第一盘泵的第一压差； 响应于接收到该第二位移信号来确定跨过该第二盘泵的第二压差；并且 基于该第一压差和该第二压差来确定该盘泵系统的流体流速。
2. 如权利要求1所述的盘泵系统，其中，该处理器可操作来基于该盘泵系统的流体流 速而确定是否存在泄露。
3. 如权利要求1所述的盘泵系统，进一步包括一个RF收发器。
4. 如权利要求1所述的盘泵系统，进一步包括一个第一光学发射器和一个第二光学发 射器，其中： 该第一光学发射器可操作来发送一个第一光学信号，并且 该第二光学发射器可操作来发送一个第二光学信号。
5. 如权利要求1所述的盘泵系统，进一步包括一个驱动器，其中： 该处理器可操作来将一个第一控制信号和一个第二控制信号传送给该驱动器， 该驱动器可操作来将一个第一驱动信号传送给该第一盘泵并且将一个第二驱动信号 传送给该第二盘泵， 该第一驱动信号使得该第一盘泵阻止跨过该第一盘泵的流体流动并且使得该第一光 学接收器将该第一位移信号传送到该处理器，并且 该第二驱动信号使得该第二盘泵供应跨过该第二盘泵的流体流动并且使得该第二光 学接收器将该第二位移信号传送到该处理器。
6. 一种盘泵系统，包括： 具有一个第一致动器的一个第一盘泵； 具有一个第二致动器的一个第二盘泵； 具有一个已知限制装置的一个衬底，其中该第一盘泵和该第二盘泵通过该已知限制装 置流体性相联接。
7. 如权利要求6所述的盘泵系统，进一步包括一个负载，其中该负载被联接至该衬底 上并且被流体性联接到该已知限制装置。
8. 如权利要求6所述的盘泵系统，其中该衬底是一个印刷电路板。
9. 如权利要求6所述的盘泵系统，其中该已知限制装置具有一种具有圆形截面的管状 形状。
10. 如权利要求6所述的盘泵系统，其中该已知限制装置遵循一条迂回路径。
11. 如权利要求6所述的盘泵系统，其中该已知限制装置具有一种具有圆形截面的管 状形状，并且其中该已知限制装置遵循一条迂回路径。
12. 如权利要求6所述的盘泵系统，其中该第一盘泵具有一个第一指定流速并且该第 二盘泵具有一个第二指定流速，并且该第一指定流速大于该第二指定流速。
13. 如权利要求6所述的盘泵系统，其中该第一盘泵提供一个第一指定压差并且该第 二盘泵提供一个第二指定压差，并且该第一指定压差小于该第二指定压差。
14. 如权利要求6所述的盘泵系统，其中： 该第一盘泵具有一个第一指定流速； 该第二盘泵具有一个第二指定流速； 该第一指定流速大于该第二指定流速； 该第一盘泵提供一个第一指定压差； 该第二盘泵提供一个第二指定压差；并且 该第一指定压差小于该第二指定压差。
15. -种用于运行盘泵系统的方法，包括： 将一个第一驱动信号传送至一个第一盘泵，该第一盘泵具有一个第一致动器； 将一个第二驱动信号传送至一个第二盘泵，该第二盘泵具有一个第二致动器，其中该 第一盘泵和第二盘泵经由一个孔口流体性联接到一个负载上，并且该第二盘泵经由一个已 知限制装置被联接到该孔口上； 使用该第二盘泵向该负载供应一个减压； 接收一个指示了该第一致动器的位移的第一位移信号； 接收一个指示了该第二致动器的位移的第二位移信号； 响应于接收到该第一位移信号来确定跨过该第一盘泵的第一压差； 响应于接收到该第二位移信号来确定跨过该第二盘泵的第二压差；并且 基于该第一压差和该第二压差来确定该盘泵系统的流体流速。
16. 如权利要求15所述的方法，进一步包括基于该盘泵系统的流体流速、跨过该第一 盘泵的压差、以及跨过该第二盘泵的压差来检测泄露。
17. 如权利要求16所述的方法，进一步包括响应于检测到泄露而停止该第一驱动信号 和第二驱动信号。
18. 如权利要求16所述的方法，进一步包括响应于检测到泄露而发送一个警报信号。
19. 如权利要求16所述的方法，进一步包括响应于检测到泄露而停止该第一驱动信号 和该第二驱动信号并且发送一个警报信号。
20. 如权利要求16所述的方法，进一步包括响应于检测到泄露而执行一个诊断过程。
21. 如权利要求16所述的方法，进一步包括响应于检测到泄露而发送一个无线警告信 号。
22. -种盘泵系统，包括： 具有一个第一致动器的一个第一盘泵； 具有一个第二致动器的一个第二盘泵； 具有一个已知限制装置的一个衬底，其中该第一盘泵和该第二盘泵的出口被流体性联 接到该限制装置的相反两端上。
23. 如权利要求22所述的盘泵系统，进一步包括一个负载，其中该负载在该限制装置 的、与该第二盘泵相同的一端处被流体性联接至该限制装置。
24. 如权利要求22或23所述的盘泵系统，其中该衬底是一个印刷电路板。
25. 如权利要求22至24中任一项所述的盘泵系统，其中该限制装置具有一种具有圆形 截面的管状形状。
26. 如权利要求22至25中任一项所述的盘泵系统，其中该限制装置遵循一条迂回路 径。
27. 如权利要求22至26中任一项所述的盘泵系统，其中该第一盘泵具有一个第一指定 流速并且该第二盘泵具有一个第二指定流速，并且该第一指定流速大于该第二指定流速。
28. 如权利要求22至27中任一项所述的盘泵系统，其中该第一盘泵提供一个第一指定 压差并且该第二盘泵提供一个第二指定压差，并且该第一指定压差小于该第二指定压差。
29. 如权利要求22至28中任一项所述的盘泵系统，进一步包括用于测量该第一和第二 致动器的位移的装置。
30. 如权利要求29所述的盘泵系统，进一步包括用于基于该第一和第二致动器的位移 来计算跨过该第一和第二盘泵的压差的装置。
31. 如权利要求30所述的盘泵系统，进一步包括用于基于跨过该第一和第二盘泵的压 差来计算流体流速的装置。
32. 在此示出并且描述的盘泵、系统以及方法。
【文档编号】G01F1/38GK104114981SQ201380008642
【公开日】2014年10月22日 申请日期:2013年2月11日 优先权日:2012年2月29日
【发明者】克里斯多佛·布赖恩·洛克, 艾丹·马库斯·陶特 申请人:凯希特许有限公司