专利名称：梁膜结构石英压力谐振元件的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种压力谐振元件。
背景技术：
目前压力高精度测量多采用谐振式传感器，采用石英力敏元件的产品已被广泛应用，该种产品是通过膜盒或波登管等弹性结构将压力传递到力敏元件上。这种产品具有测量精度高的优点，但其力传递的结构复杂性和稳定性受结构和材料特性的影响大等因素的影响造成其使用的局限性。如在膜盒或波登管等弹性力学结构中金属材料与石英力敏元件之间通常采用胶粘剂或玻璃粉等材料进行粘接，各材料之间线胀系数不同，因此材料间的热性能不匹配、胶粘剂的蠕变和失效、装配结构复杂性以及结构应力等是影响压力传感器精度的主要因素，如何消除结构和材料间的应力是高精度压力传感器中主要所需解决的问题。

实用新型内容本实用新型的目的是提供一种梁膜结构石英压力谐振元件，以解决目前无法消除结构和材料间的应力的问题。本实用新型为解决上述技术问题采取的技术方案是所述元件包括石英盖、石英音叉谐振器和石英膜片，石英膜片的上端面上开有一个凹槽，凹槽的底端面与石英膜片的底端面之间形成薄膜，石英膜片的上端面上沿凹槽的外部开有一个与凹槽形状一致的环槽，石英音叉谐振器设在石英膜片的上端面上且石英音叉谐振器的外边缘与环槽的内边缘相吻合，环槽的底部开有导角，石英盖的底端面与石英膜片的上端面连接，石英盖、石英音叉谐振器和石英膜片之间构成真空腔。本实用新型具有以下有益效果本实用新型石英膜片开有两个隔离应力槽，隔离应力槽的底部开有导角，能够消除结构和材料应力等影响，提高敏感元件的精度，实现压力传感器的测量精度达到0. 02% FS以上。

图1是本实用新型的整体结构剖视图。
具体实施方式
具体实施方式
一结合图1说明本实施方式，本实施方式的元件包括石英盖1、石英音叉谐振器2和石英膜片3，石英膜片3的上端面上开有一个凹槽3-1，凹槽3-1的底端面与石英膜片3的底端面之间形成薄膜，石英膜片3的上端面上沿凹槽3-1的外部开有一个与凹槽3-1形状一致的环槽3-2，石英音叉谐振器2设在石英膜片3的上端面上且石英音叉谐振器2的外边缘与环槽3-2的内边缘相吻合，环槽3-2的底部开有导角3-3，石英盖1 的底端面与石英膜片3的上端面连接，石英盖1、石英音叉谐振器2和石英膜片3之间构成真空腔4。其中石英盖1、石英音叉谐振器2和石英膜片3的材质为同一种石英。
具体实施方式
二 结合图1说明本实施方式，本实施方式的石英盖1的底端面与石英膜片3的上端面连接方式为采用与石英材料温度系数相匹配的玻璃粉封接，此结构可使材料间的热性能匹配、玻璃粉作为胶粘剂不易失效。其它组成及连接关系与具体实施方式
一相同。
具体实施方式
三结合图1说明本实施方式，本实施方式的石英音叉谐振器2与石英膜片3连接方式为采用与石英材料温度系数相匹配的玻璃粉封接，此结构可使材料间的热性能匹配、玻璃粉作为胶粘剂不易失效。其它组成及连接关系与具体实施方式
一或二相同。工作原理在使用时，在激励作用下本实用新型的石英音叉谐振器2将以一定的频率振动。当压力作用在石英膜片3上时，石英膜片3的形变使粘在其上石英音叉谐振器2 的长度发生变化，石英音叉谐振器2产生频率信号也发生相应变化，达到压力测量的目的。
权利要求1.一种梁膜结构石英压力谐振元件，所述元件包括石英盖(1)、石英音叉谐振器(2)和石英膜片(3)，其特征在于石英膜片(3)的上端面上开有一个凹槽(3-1)，凹槽(3-1)的底端面与石英膜片( 的底端面之间形成薄膜，石英膜片(3)的上端面上沿凹槽(3-1)的外部开有一个与凹槽(3-1)形状一致的环槽(3-2)，石英音叉谐振器( 设在石英膜片(3)的上端面上且石英音叉谐振器O)的外边缘与环槽(3-2)的内边缘相吻合，环槽(3-2)的底部开有导角(3-3)，石英盖(1)的底端面与石英膜片C3)的上端面连接，石英盖(1)、石英音叉谐振器(2)和石英膜片(3)之间构成真空腔G)。
2.根据权利要求1所述梁膜结构石英压力谐振元件，其特征在于石英盖(1)的底端面与石英膜片( 的上端面连接方式为采用与石英材料温度系数相匹配的玻璃粉封接。
3.根据权利要求1或2所述梁膜结构石英压力谐振元件，其特征在于石英音叉谐振器 (2)与石英膜片( 连接方式为采用与石英材料温度系数相匹配的玻璃粉封接。
专利摘要梁膜结构石英压力谐振元件，它涉及一种压力谐振元件。解决目前无法消除结构和材料间的应力的问题。所述元件包括石英盖、石英音叉谐振器和石英膜片，石英膜片的上端面上开有一个凹槽，石英膜片的上端面上沿凹槽的外部开有一个与凹槽形状一致的环槽，石英音叉谐振器设在石英膜片的上端面上且石英音叉谐振器的外边缘与环槽的内边缘相吻合，环槽的底部开有导角，石英盖的底端面与石英膜片的上端面连接，石英盖、石英音叉谐振器和石英膜片之间构成真空腔。本实用新型用于谐振式传感器中。
文档编号G01L1/10GK202204625SQ201120353938
公开日2012年4月25日 申请日期2011年9月21日 优先权日2011年9月21日
发明者刘亚娟, 姚东媛, 张莉新, 王长虹, 程颖, 谌福华, 谢胜秋, 雷刚 申请人:中国电子科技集团公司第四十九研究所