专利名称：一种三维激光器光束特性测试装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于激光器测试领域，涉及ー种半导体激光器三维光束特性测试装置。
背景技术：
半导体激光器由于具有体积小、重量轻、直接采用电驱动、电光转换效率高、寿命长等优点，在エ业加工、激光医疗、激光显示、激光测距、激光雷达、激光制导等领域获得了越来越为广泛的应用。但是半导体激光器由于其特殊的有源区波导结构，快轴发散角比较大，而且快慢轴光束不对称，导致其输出光束的质量比较差，因此半导体激光器的光束质量成为制约其应用的关键瓶颈之一。研究改进半导体激光器的光束质量，必须准确获取其快慢轴发散角、束腰半径等信息，因此对半导体激光器光束特性的測量就越来越为人们所关注。多年来，人们提出了多种测试半导体发散角的方法。其中常用的测试方法有(I)直接测量法直接测量法主要包括两种a)垂直定距测量法(半导体激光器參数测量装置[200510115043]专利)。即保持激光器发光点与激光探測垂直距离为一固定值，以水平运动的方式，将激光探測器以垂直于激光器发光轴线的垂直平面移动至激光器发光范围区域，測量不同位置处的激光器光功率，达到光束特性测试的目的。但是这种方法测试指向比较单一，各测试点參考位置相对与半导体激光器发光点的绝对位置不同，导致各点测试误差比较大。b) CXD测量法(激光光束发散角测试方法[01108756. 0]专利)。距半导体激光器发光点一定距离处设置CCD摄像机，CCD摄像机镜头接收中心与半导体激光器发光点保持同心，在半导体激光器发光后，通过图形采集的方式得到半导体激光器发光的区域。这种方法能够直观的測量出半导体激光器的发光区域，但是受到CCD本身尺寸与成本的限制，只适用于测量较小功率的半导体激光器光束特性參数。(2)间接测量法(基于单片机的激光光束特性光斑直接測量系统，《光电技术应用》2004-10)。即被检测激光在一定距离照射漫反射靶板，同时触发信号送GPS时统，以记录激光脉冲发射时刻。光电探测器接收脉冲激光信号，经测频、延时后向图像摄取设备(CCD摄像机或热像仪)发出触发信号，使其记录激光光斑图像。记录完毕后由专用软件对各帧图像进行处理得到各脉冲的光束特性光斑參数。这种方法适用于测量较大功率半导体激光器产品，但是探測器响应时间较长，达IO5量级，对极端脉冲激光探測(如IOns)效率低，实时性较差，測量精度也不高。目前现有的光束特性測量方法及装置在应用过程中均存在一定的局限性，例如测量精度差、测试耗时较长、仅适用于小功率半导体激光器。

实用新型内容本实用新型的目的在于克服现有技术中的缺点，提出一种简便实用的三维半导体激光器光束特性测试装置，采用该测试装置能够得到整个半导体激光器光束特性实时曲线，并直观地描述半导体激光器的光束特性，从而实现对半导体激光器的空间光束特性參数的測量。本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的一种三维激光器光束特性测试装置，其特殊之处在于包括半球形光束接收装置；半导体激光器的输出端位于该半球形光束接收装置的球心，半球形光束接收装置面向半导体激光器分布有多个微型光接收器，各个微型光接收器分别接有微型探測器。基于上述基本技术方案，本实用新型还做了如下优化限定和改进上述多个微型光接收器均匀分布，各个微型光接收器与半导体激光器的输出端之间的距离相等。上述微型光接收器可以为光纤、光波导等器件；上述微型探测器可以采用光电ニ极管、光电倍增管等光电转换器件。上述三维激光器光束特性测试装置的测试精度与微型光接收器及微型探測器的数目有夫。微型光接收器及微型探測器的数量越大，测试结果越精确。采用上述测试装置实现三维激光器光束特性测试的方法如下I)半导体激光器的位置保持固定，測量、记录半球形光束接收装置上每个微型光接收器的光强，得到所有微型光接收器对应的光强数据；2)对数据进行分析处理，获得表征半导体激光器光束特性的信息(空间光强分布、快轴发散角、慢轴发散角等)。本实用新型具有以下有益效果I)采用本实用新型能够精确測量半导体激光器在三维空间的光束特性參数；2)采用本实用新型进行直接測量，具有较高的测试精度与可靠性；3)采用本实用新型在激光器功率探测的过程中，能够保持半导体激光器发光点与探測器之间的绝对距离不变，等距的测量半导体激光器发光点光束特性各点处的光强信
o4)本实用新型具有结构简单，使用方便快捷的特点。

图1是本实用新型的半导体激光器半球形光束特性测试装置示意图；图2是本实用新型测试方案的示意图；图3是利用本实用新型所测的单管半导体激光器在快慢轴方向的光束分布，其中a为快轴光束分布、b为慢轴光束分布。其中1为微型光接收器(模块)，2为光纤，3半球形光束接收装置中的探測器，4为半球形光束接收装置，5为半导体激光器。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进ー步详细描述。本实用新型的三维激光器光束特性测试装置，包括半球形光束接收装置；半导体激光器的输出端位于该半球形光束接收装置的球心，半球形光束接收装置面向半导体激光器分布有多个微型光接收器，多个微型光接收器均匀分布，各个微型光接收器与半导体激光器的输出端之间的距离相等，各个微型光接收器分别接有光探測器。应用本实用新型的测试方案，如图2所示I)将半导体激光器5置于半球形光束接收装置4球心附近；2)进行测量，记录半球形光束接收装置4上每个微型光接收器的光強。3)对数据进行分析处理，获得半导体激光器空间光强分布、快轴发散角、慢轴发散角等信息。采用本实用新型的测试方案在1. 8A下測量了单管半导体激光器在快慢轴方向的光束分布，如图3所示。 需要说明的是，将半导体激光器置于半球形光束接收装置球心只是本实用新型的较佳实施例，只要能够覆盖半导体激光器出射光束的发散角，均是可行的；由于满足该条件的位置通常即位于球心附近，因此，应当视作上述实施例的等同，属于本实用新型的保护范围。本实用新型如上所述的方案是基于半球形光束接收装置。但本实用新型也可采用l/2n球形光束接收装置(n > 2)，在实际测量过程中需要旋转l/2n球形光束接收装置，重复如前所述的测试方案n次，即可以得到与半球形光束接收装置相同的結果。综上所述，本实用新型的三维激光器光束特性测试装置不仅很好的解决了传统光束特性测试方法缺点，并且物理实现较为简单，光束特性參数描述全面，具备良好的应用前
旦
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权利要求1.一种三维激光器光束特性测试装置，其特征在于包括半球形光束接收装置；半导体激光器的输出端位于该半球形光束接收装置的球心，半球形光束接收装置面向半导体激光器分布有多个微型光接收器，各个微型光接收器分别接有微型探测器。
2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于所述多个微型光接收器均匀分布，各个微型光接收器与半导体激光器的输出端之间的距离相等。
3.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于所述微型光接收器为光纤或光波导；微型探测器采用光电二极管或光电倍增管。
专利摘要本实用新型提供了一种三维激光器光束特性测试装置，该测试装置包括包括半球形光束接收装置；半导体激光器的输出端位于该半球形光束接收装置的球心，半球形光束接收装置面向半导体激光器分布有多个微型光接收器，各个微型光接收器分别接有微型探测器。本实用新型在激光器功率探测的过程中，能够保持半导体激光器发光点与探测器之间的绝对距离不变，等距的测量半导体激光器发光点光束特性各点处的光强信息。
文档编号G01M11/02GK202853881SQ201220518479
公开日2013年4月3日 申请日期2012年10月10日 优先权日2012年10月10日
发明者张普, 刘兴胜, 吴迪, 宗恒军 申请人:西安炬光科技有限公司