专利名称：连接端子及连接夹具的制作方法
技术领域：
本发明涉及将预先设定于对象物的对象点与检查装置等进行电连接的连接夹具， 以及用于连接夹具且具有绝缘覆膜的连接端子。此外，本发明的连接端子，其连接对象并不限于检查装置，也可以用于在规定的两个点之间进行电连接。
背景技术：
连接夹具具有连接端子(接触件、探头、探针、接触插针等)，从检查装置等经由这些连接端子向对象物上预先设定的对象点提供电流或电信号，并且通过从该对象点检测电信号，检测出对象点之间的电特性，并进行导通检查或漏电检查等动作试验。
作为其对象物，可以举例例如印刷布线基板、柔性基板、陶瓷多层布线基板、液晶显示器或等离子显示器用的电极板、半导体封装用的封装基板或膜载体等各种基板、或是半导体晶片或半导体芯片或CSP (chip size package :芯片尺寸封装)等半导体装置(LSI (Large Scale Integration :大规模集成电路)等)。此外,该连接端子也可以以对上述对象物和装置进行电连接为目的，进而，也可以作为如内插器(interposer)或连接器一样连接电极端与电极端的连接夹具进行采用。
例如，当受检物为基板、而其上所搭载的是IC等半导体电路或电阻器等电子/电气部件时，形成于基板的检查对象部就是布线或电极。在此情况下，为确保检查对象部的布线能够正确地将电信号传递给它们，所以测量设于电路基板的检查点之间的电阻值等电特性以判断该布线的好坏，该电路基板是安装电子/电气部件之前的印刷布线基板、液晶面板或等离子显示器面板上形成有布线的电路基板。
当将连接夹具作为检查夹具使用时，设有多个探针，其用于使前端部接触受检物的检查对象部的检查点，并对该检查对象部供给用于测量的电流、或是测量电压。
在本说明书中，将上述对象物总称为“对象物”，将设定于对象物并受连接端子抵接而成导通状态的部位简称为“对象点”。此外，夹在对象点和对象点之间的部位则称为“对象点间”。
当对象物为LSI时，形成在LSI上的电子电路成为对象部，该电子电路的表面焊盘分别成为对象点。在这种情况下，为确保形成于LSI的电子电路具有所希望的电特性，测量对象点间的电特性来判断此电子电路的好坏。
此外，对象物是搭载电子/电气部件的基板时，形成于基板的布线成为对象部，所述布线的两端成为对象点。在这种情况下，为确保成为对象部的布线能够正确地将电信号传递给它们，测量安装电子/电气部件之前的布线基板上所形成的布线上的规定对象点间的电阻值或漏电电流等电特性来判断该布线的好坏。
具体而言，该布线的好坏判定通过如下方式进行使电流供给用端子和/或测量电压用的连接端子的前端抵接到各对象点，从该连接端子的电流供给用端子向对象点供给测量用电流，并且测量抵接到对象点的连接端子的前端间的布线上所产生的电压，根据所供给的电流及所测量出的电压来计算出规定的对象点间的布线电阻值。
例如，进行如下控制当使用基板检查装置检查上述任一基板时，用夹具移动机构将基板连接夹具的检查用的连接端子(接触件、探头、探针、接触插针等)移动至被检查基板的对象点并使之抵接于对象点，进行对象物的规定的检查，当检查完成时，用夹具移动机构将夹具从对象点移动到待机位置。
专利文献I :日本特许第4572303号
专利文献2 :日本特许第4031007号
专利文献3 :日本特开2004 - 115838号公报
专利文献4 :日本特开2008 - 25833号公报
专利文献5 :日本特开2009 - 160722号公报
专利文献I公开了一种通电检查夹具用接触件，其在具备螺旋结构部分的Ni电铸管内部插入导电性的插针，通过铆接、焊接、熔敷材料等方法将插针固定于Ni电铸管。
专利文献2公开了一种线圈弹簧探针，其在部分周壁是弹簧的筒体内具备包括直线状接触件及导向件的接触插针，接触件与导向件之间设有凸缘部，凸缘部连结在筒体的下端。
专利文献3公开了一种镍电铸管的制造方法，该方法是在线形原材料的外周面形成镀金层，其上再形成镀镍层后，通过拉伸线形原材料而缩小线形原材料的截面积后，除去线形原材料等。
专利文献4公开了一种镍电铸管的制造方法，该方法是在SUS (不锈钢)线的外周面形成绝缘覆膜，在所述覆膜上由激光形成螺旋状的槽而露出SUS线的外周面，在该处形成与绝缘覆膜相同厚度的镍覆膜，之后除去绝缘覆膜并且拔出SUS线，使镍电铸管的一部分具备线圈状弹簧结构。
专利文献5公开了一种同时形成多个微线圈的方法，该方法是另行制造微管，在所述微管外周面形成抗蚀膜，在所述抗蚀膜上通过例如显影等方法将感光部分溶解为螺旋状，形成螺旋状间隔图案，并且以规定的间隔形成环绕该微细管的间隔图案，对其进行蚀刻处理，从而同时形成多个由间隔图案分离的微线圈。
如专利文献I所示，若在Ni电铸管内部插入导电性的插针，并通过铆接、焊接、熔敷材料等方法将插针固定于Ni电铸管，则在固定时，由于从相对置的位置夹住电铸管的力量，导致电铸管的截面由圆形变成楕圆形，使得接触件的最大外径变大，而有可能无法满足随着近年来作为检查对象的基板的复杂化及微细化产生的连接端子的微细化的要求。
在专利文献2的线圈弹簧探针上，在接触件与导向件之间设有凸缘部，并需要将它们连结于筒体，使得部件数量及组装工时增加。此外，由于筒体的弹簧部是外露的，因此该弹簧部有可能接触到不相对于筒体移动的检查用夹具的探针导引部或插通孔的壁面。
此外，近年LSI的形成工艺有所进步，LSI的微细化有所进展，LSI检查用焊接点的窄距化及多数化有所进展，由此，检查对象的基板也更加复杂、微细，设定于基板的对象点形成得更为狭窄而微小，因此连接端子也形成得更为细小。因此，需要更有效率地制造大量而微细的连接端子。
此外，对于连接端子，为防止邻近配置的连接端子彼此接触而导致短路的情况，优选在连接端子表面形成绝缘覆膜，然而连接端子越是微细，该绝缘覆膜的形成也越是困难。
在专利文献3及4中公开了在去除线形原材料或SUS线的阶段，制造微细的镍电铸管或一部分具有线圈状弹簧结构的镍电铸管的方法。然而，若要从所制造出的镍电铸管来制造安装于连接夹具的连接端子，还需要追加将该管切断成适于连接端子的长度、或是形成与连接夹具卡合的卡止部等工序。
此外，在专利文献5中公开了在制造出通过专利文献3等制造出的微管后，通过追加的工序来制造微管的方法。为了从该微线圈制造出安装到连接夹具的连接端子，还需要与专利文献3及4关联的如上述的追加的工序。发明内容
因此，本发明的目的在于提供一种连接端子，即在通过如电焊那样，从圆筒形状部的外侧的至少相对的位置朝向内部的圆柱形状部施加力以接合圆筒形状部和圆柱形状部而制造出的连接端子中，圆筒形状部在固定前后维持几乎圆形的形状(或是原先的形状)。
本发明的目的在于，提供部件数量少的探针。
本发明的目的在于，提供组装简便的探针。
此外，本发明的目的在于提供一种连接端子的制造方法，其在去除线形原材料或 SUS线的阶段，不需要追加工序也能够形成缺口部。
因此，本发明涉及的连接端子，其用于对对象点间进行连接的连接夹具，其特征在于，具备小直径的导电部；以及大直径的圆筒形状部，上述大直径的圆筒形状部配置成围绕所述小直径的导电部，上述小直径的导电部的前端部从上述大直径的圆筒形状部的前端部突出，上述小直径的导电部的一部分接合于上述大直径的圆筒形状部的一部分，在上述大直径的圆筒形状部的轴线周围的带状部分的一部分上形成有缺口部，上述带状部分至少包含与上述小直径的导电部接合的上述大直径的圆筒形状部的部分。
在上述连接端子中，上述缺口部具有上述圆筒形状部的轴线方向的长度；以及沿着上述圆筒形状部的轴线周围的带状部分的周面的宽度方向的长度，上述缺口部的上述轴线方向的长度是超过将上述小直径的导电部的一部分接合于上述大直径的圆筒形状部的一部分时所使用的电极的上述圆筒形状部的轴线方向的两端部的长度，此外，上述缺口部的上述宽度方向的长度大于上述圆筒形状部的内周面I周的长度与上述小直径的导电部的外周面I周的长度之差。
在上述接端子中，上述缺口部也可以形成于沿着上述圆筒形状部的轴线的方向或与沿着轴线的方向交叉的方向。
在上述连接端子中，上述缺口部也可以由关于上述圆筒形状部的轴线成线对称的一对缺口部形成。
在上述连接端子中，上述缺口部也可以为细长开口的狭缝状。
在上述连接端子中，各缺口部的长度大于上述小直径的导电部的一部分与上述大直径的圆筒形状部的一部分接合的部分的沿着该缺口部的方向上的长度。
在上述连接端子中，在上述圆筒形状部的除去上述带状部分的部分上形成有弹簧部，该带状部分包含上述圆筒形状部的与上述导电部接合的部分。
在上述连接端子中，上述小直径的导电部也可以为圆柱形状部或圆筒形状部。
在该连接端子中，也可以在上述小直径的圆筒形状部的导电部的一部分上形成有弹簧部。
此外，本发明涉及的在连接对象点间的连接夹具所用的连接端子的制造方法的特征在于形成小直径的导电部与大直径的圆筒形状部；在上述大直径的圆筒形状部的轴线周围的带状部分的一部分上形成缺口部；将上述小直径的导电部插入于上述大直径的圆筒形状部，使上述小直径的导电部的前端部从上述大直径的圆筒形状部的前端部突出；在上述大直径的圆筒形状部的轴线周围的带状部分的与所述轴线方向正交的方向上相对置的位置且除了形成有上述缺口部的位置的位置上，配置一对电阻焊用的电极；以上述一对电阻焊用的电极相互靠近的方式推压上述大直径的圆筒形状部，使其与上述小直径的导电部接触；通过在上述一对电阻焊用的电极中接通规定的电流，使上述大直径的圆筒形状部的一部分与上述小直径的导电部的一部分接合。
在上述连接端子的制造方法中，上述缺口部具有上述圆筒形状部的轴线方向的长度；以及上述圆筒形状部的轴线周围的沿着带状部分的周面的宽度方向的长度；上述缺口部的上述轴线方向的长度是超过上述电阻焊用的电极的上述圆筒形状部的轴线方向的两端部的长度；此外，上述缺口部的上述宽度方向的长度大于上述圆筒形状部的内周面I 周的长度与上述小直径的导电部的外周面I周的长度之差。
在上述连接端子的制造方法中，上述缺口部也可以形成于沿着上述圆筒形状部的轴线的方向或与沿着轴线的方向交叉的方向。
在上述连接端子的制造方法中，在上述圆筒形状部的除去上述带状部分的部分上形成有弹簧部，上述带状部分包含上述圆筒形状部的与上述导电部接合的部分。
在上述连接端子的制造方法中，上述小直径的导电部也可以为圆柱形状部或圆筒形状部。
根据本发明，能够提供一种连接端子，即在通过如电焊那样，从与圆筒形状部的外侧的至少相对置的位置朝向内部的圆柱形状部施加力以固定圆筒形状部及圆柱形状部而制造出的连接端子中，圆筒形状部在固定之前后能够维持大致圆形的形状(或是原先的形状)。
根据本发明，能够提供一种连接端子及连接夹具，其在去除线形原材料或SUS线的阶段中不需要追加工序就可以具备缺口部。
进而，根据本发明，能够提供部件数量少的探针。
根据本发明，能够提供组装简便的探针。


图I是表示安装有检查用探针的本发明的一个实施方式涉及的检查用夹具的概略构成的局部剖面主视图。
图2A是表示可用于图I的检查用夹具的一个实施方式涉及的具备狭缝的连接端子的概略结构的局部剖视图。
图2B是表示图2A所示连接端子的构件局部的一例的概略结构图。
图2C是表示图2A所示连接端子的构件局部的一例的概略结构图。
图2D是用于说明图2A的连接端子的制造方法的一例的概念图。
图3A是从图2A的3A — 3A箭头方向观察时的简化剖视图。
图3B是用于说明在连接端子未形成狭缝的状态下进行固定的情形的概念图。
视图。
视图。
图3C是用于说明在连接端子未形成狭缝的状态下进行固定的情形的概念图。图4是简化表示图1的一个实施方式涉及的检查用夹具的局部结构的放大局部剖图5是简化表示图1的一个实施方式涉及的检查用夹具的局部结构的放大局部剖图6A是表示本发明涉及的连接端子的制造阶段中镀镍层形成工序的一个实施例6B是表示本发明涉及的连接端子的制造阶段中绝缘膜形成工序的一个实施例的剖视图。
图的剖视图。
图6C是表示本发明涉及的连接端子的制造阶段中绝缘膜局部去除工序的一个实 施例的剖视图。
图6D是表示本发明涉及的连接端子的制造阶段中镀镍层蚀刻工序的一个实施例 的剖视图。
图6E是表示本发明涉及的连接端子的制造阶段中预定部位的绝缘膜去除工序的 一个实施例的剖视图。
图 的剖视图。
图 首1J视图。
图6H是表示本发明涉及的连接端子的制造阶段中芯材拔除工序的一实施例的剖 视图。
图7A是表示另一实施方式涉及的探针的概略结构的侧视图。
图7B是表示图7A所示探针的中心剖视图。
图8是对安装有图7A及图7B的实施方式涉及的探针的检查用夹具的局部结构进 行简化表示的剖视图。
图9A是表示可用于图1的检查用夹具的一个实施方式涉及的探针的概略结构的 局部剖视图。6F是表示本发明涉及的连接端子的制造阶段中镀金层去除工序的一个实施例 6G是表示本发明涉及的连接端子的制造阶段中芯材拉伸工序的一个实施例的
仰视图。
图9B是表示图9A的探针的构件局部的一例的概略结构图。图9C是表示图9A的探针的构件局部的一例的概略结构图。图1OA是表示本发明的一个实施方式涉及的连接端子的抵接部的放大主视图。图1OB是表示图1OA所示本发明的一个实施方式涉及的连接端子的抵接部的放大图1lA是本发明的一个实施方式涉及的连接端子的抵接部的局部放大剖视图。图1lB是本发明的另一实施方式涉及的连接端子的抵接部的局部放大剖视图。图12A是表示本发明的另一实施方式涉及的连接端子的抵接部的放大主视图。图12B是表示图12A所示连接端子的抵接部的放大仰视图。图13A是扫描电子显微镜所拍摄的、与图1OA及图1OB涉及的连接端子的抵接部 对应的抵接部的放大照片。
图13B是扫描电子显微镜所拍摄的、与图12A及图12B涉及的连接端子的抵接部对应的抵接部的放大照片。
(附图标记说明)
10 :检查用夹具，11 :支承部件，Ils :间隔件，12 :头部，12h、14h :贯通孔，
12hl :大直径部，12h2 :小直径部，13s :狭缝，14 :基座部，16 电极部，
20 :探针，22 :小直径的圆筒形状部，24 :大直径的圆筒形状部，22f :前端部，
22r :后2而部，22fe、24fe :如立而面，22re、24re :后2而面，22s :弹黃部，
70 :芯材，71、73 :连接端子，72 :镀金层，74 :镀镍层，76 :绝缘膜。
具体实施方式
本发明的检查用夹具及连接端子可以从检查装置将电力或电信号提供至受检物所具有的检查对象部的规定的检查位置，并且通过从检查对象部检测出的电信号来检测检查对象部的电特性或是进行动作试验。
作为受检物，可以举例例如印刷布线基板、柔性基板、陶瓷多层布线基板、液晶显示器或等离子显示器用的电极板、半导体封装用的封装基板或膜载体等各种基板，以及半导体晶片、半导体芯片或CSP (chip size package,芯片尺寸封装)等半导体装置。
此外，本发明涉及的连接端子也可以以电连接上述对象物及装置为目的，而且也可以作为如内插器或连接器一样连接电极端与电极端的连接夹具进行采用。
在本说明书中，将上述受检物总称为“受检物”，将形成于受检物的检查对象部称为“检查对象部”。此外，在本说明书中，将上述对象物总称为“对象物”，将设定于对象物并抵接连接端子而成导通状态的部位称为“对象点”。此外，夹在对象点和对象点之间的部位则设定为“对象点间”。
以下，根据附图，针对将连接端子用作基板或半导体装置的受检物的检查对象部的检查用探针的情况，加以说明。
另外，为了易于理解，在各附图上，对各部件的厚度、长度、形状、部件彼此间的间隔等进行了适当的放大、缩小、变形、简化等。
[检查用夹具的概略构成]
图1是表示本发明的一个实施方式涉及的检查用夹具10的概略结构的局部剖面主视图。检查用夹具10具备头部12、基座部14以及电极部16。头部12及基座部14包括树脂或陶瓷等绝缘性板状部件。头部12及基座部14由棒状的支承部件11及环设于其周围的间隔件Ils隔开预定距离来被保持。
在头部12上形成有多个贯通孔12h，插入上述贯通孔12h中的探针20的前端部 22f被引导至预定位置。在基座部14上形成有多个贯通孔14h，插入上述贯通孔14h中的探针20的后端部22ι■被引导至电极部16。随着检查对象越来越微细，检查点间的距离也变得非常小，因此各贯通孔12h及贯通孔14h的内径也变得非常小。
探针20的后端部22r与固定于电极部16的导线18的端部接触，而导线18连接在未图示的检查装置上。
在图1中，为了简化附图，仅图示了一部分的探针20。
此外，如图1所示，在检查受检物时，检查对象的受检物30配置在检查用夹具10 下方，使检查用夹具10下降，并使探针20前端面22fe与预定的检查点例如30dn接触，由此对检查对象部的电特性进行检查。
[连接端子的结构]
图2A到图2D是用于说明可用于图1的检查用夹具的一个实施方式涉及的连接端子(或称为“探针”)20的放大并简化的侧视图。图2A是连接端子20的局部剖视图，图2B 是构成连接端子20的圆筒形状部22的侧视图，图2C的构成连接端子20的棒状部24的侧视图，图2D是用于说明将棒状部24接合到圆筒形状部22的方法的简化侧视图。
图2A表示可用于图1的检查用夹具的一个实施方式涉及的连接端子20。连接端子20包括导电性的圆筒形状部22及导电性的圆柱形状的棒状部24，棒状部24插通在导电性的圆筒形状部22内。
圆筒形状部22包括圆筒形状的前端部22f、圆筒形状的后端部22r、以及形成于它们之间的弹簧部22s，弹簧部22s形成为螺旋状。棒状部24包括圆柱形状的本体部24b及尖锐形状的前端部24e。
棒状部24插通于圆筒形状部22的前端部22f、弹簧部22s以及后端部22r内，棒状部24的前端部24e从圆筒形状部22的前端部22f的前端面22fe突出。棒状部24的后端部侧位于比圆筒形状部22的后端部22r的后端面更往内侧缩进的位置。到上述缩进的位置的距离是如下程度的大小当棒状部24的前端部24e受到推压而后退时，与其一起移动的棒状部24的后端部侧不会从圆筒形状部22的后端部22r的后端面突出。
弹簧部22s在伸缩时，随着伸缩而以轴线为中心回旋。也就是说，例如当在使圆筒形状部22的后端部22r固定的状态下推压棒状部24的前端部24e而使棒状部24后退时， 圆筒形状部22的前端部22f与棒状部24的前端部24e —起后退(因为两者在Pl的位置接合)，随着其后退，弹簧部22s收缩。此时，圆筒形状部22的后端部22r被固定而无法旋转， 因此圆筒形状部22的前端部22f回旋。通过这种回旋，弹簧部22s在收缩前后能够维持相同的外径大小。
此外，在圆筒形状的前端部22f的由Pl所示的位置，圆筒形状的前端部22f与棒状部24的本体部24b，如后详述，通过电阻焊(电焊)或铆接而接合，并彼此固定。因此，圆筒形状的前端部22f与圆柱形状的主体部24b —起移动。此外，通过此接合，圆筒形状的前端部22f与棒状部24的本体部24b可以电导通。
图2B表示构成连接端子20的圆筒形状部22。作为圆筒形状部22，可以使用例如外径为约25到300 μ m,且内径为10到250 μ m的镍或镍合金管。在此实施方式中，作为一例，使用外径φ 为约70 μ m、内径φ2为约50 μ m、全长LI为约20mm的镍管,但不限定于此。 除了圆筒形状部22的前端部22f的前端面22fe及后端部22r的后端面以外，也可以根据需要在圆周面上实施绝缘覆膜。
此外，圆筒形状的前端部22f的长度L2为约5mm，弹簧部22s的长度L3为约10mm， 后端部22r的长度L4为约 5mm。这些数值仅为一例，并不限定于此。
沿着圆筒形状的前端部22f的轴线周围的带状部分的长边方向，形成有作为缺口部的狭缝13s。上述狭缝13s如图2A所示，在通过电阻焊或铆接来接合圆筒形状的前端部 22f与棒状部24的本体部24b而使彼此固定时，发挥作用。关于狭缝13s，将根据图2D来详细说明。
此外，圆筒形状部22可以按照例如后述图6A至图6H所示的制造方法来制造，此时也可以形成狭缝13s。
图2C表示构成连接端子20的棒状部24。作为棒状部24，可以使用例如直径φ3为约48 μ m的由钨、工具用碳钢(SK材)、铍铜等构成的圆柱形状部件。由于棒状部24必须要在圆筒形状部22内移动自如，所以其直径要小于圆筒形状部22的内径。例如，在将棒状部 24插入于圆筒形状部22时，棒状部24与圆筒形状部22间形成有约Iym左右的空隙。棒状部24的长度根据其前端部从检查用夹具的头部12 (图1)突出的长度而改变，不过也可以与圆筒形状部22大致相同或是比圆筒形状部22 短。
此外，棒状部24的前端部的形状也可以是用与圆柱形状部的长边方向轴线斜向交叉的I个面截断后的形状。如上所述，由于弹簧部22s随着伸缩而回旋，所以将如此的前端部形状的棒状部24组装入圆筒形状部22时，例如，圆柱形状部的上述形状的前端部被按压在受检物上而弹簧部收缩时，圆柱形状部以长边方向的轴线为中心回旋，上述形状的前端面能够以搔刮或削去受检物30表面氧化膜的方式在其表面上移动。
棒状部24的前端部的形状除上述之外，还可以是用与圆柱形状部的长边方向轴线斜向交叉的2个面截断后的形状。2个面交叉的前端部成为刀子的刀刃般的形状。此外， 也可以是如一字螺丝刀的前端一样的薄板状的刀刃形状。此外，上述薄板状的刀刃位置也可以从轴线偏离。
图2D是用于说明连接端子20的组装方法的概念图。在此，说明用电阻焊来接合圆筒形状部22的前端部22f和棒状部24的本体部24b的情形。如图2D所示，在圆筒形状部22的前端部22f的中央部分，沿着长边方向形成有作为缺口部的狭缝13s。此外，同一狭缝13s也形成在位于图视背面侧的相对置面一侧。换言之，在位于圆筒形状部22的带状部分上关于长边方向轴线线对称的2处形成有一对狭缝13s。各狭缝13s的长度为300到 400 μ m，狭缝13s的宽度为约5到15 μ m。
在此实施方式中，狭缝13s为细长的开口，沿着圆筒形状部22的轴线方向形成。然而，狭缝并不限定于此。举例而言，如根据图2D在后详述的那样，为使前端部22f接合到棒状部24，例如使用电阻焊。在电阻焊时，前端部22f上未形成有狭缝13s的情况下，若由一对电阻焊用电极夹住圆筒形状部22的前端部22f，则与夹住的方向正交部分的前端部22f的一部分会向外侧膨胀，前端部22f的截面形状成为大致楕圆形。因此，导致前端部22f的外径变得比电阻焊前还要大。相对于此，当通过狭缝13s切除与膨胀到其外侧的部分相当的部分时，不会产生膨胀，因此，即使圆筒形状部22的前端部22f被一对电阻焊用电极夹住， 前端部22f的截面形状也能够维持大致圆形的形状。关于此概念的详细说明，根据图3A、 图3B及图3C在后详述。如上所述，狭缝是为了预先切掉当由一对电阻焊用电极夹住前端部22f时，若无狭缝则会膨胀的前端部22f的一部分而设置的，因此不限定于细长的开口形状，也可以为根据需要具有某种程度的宽度的开口，开口的宽度也可以不固定，例如也可以是楕圆形或菱形的开口。此外，狭缝并不限定于沿着圆筒形状部的长边方向的方向，也可以形成于相对于长边方向呈斜向的方向。
此外，从圆筒形状部22的外侧表面所形成的一对狭缝13s的各位置到以轴线为中心沿着外侧表面移动了约90度的位置上，配置有一对电阻焊用的电极40。各电极的宽度 (沿着连接端子的长边方向的长度)为约200 μ m。如此，优选的是，狭缝的长度比电极的宽度大。
此外，如上所述，狭缝13s的宽度只要具备能够吸收圆筒形状部22的向外侧方向的膨胀的宽度，则并无特别限定，但优选是基于圆筒形状部22的内周与棒状部24外周之差来规定。也就是说，若在圆筒形状部22的内周面上以轴线为中心绕I周的长度为L22，在棒状部24的外周面上以轴线为中心绕1周的长度为L24，则优选的是狭缝13s的宽度大于长度L22与长度L24之差。即，优选为L22 — L24 <狭缝13s的宽度的关系。
此外，如上所述，优选的是狭缝13s的长度比电阻焊用的电极40的宽度(沿着连接端子的长边方向的长度)大。此外，优选的是狭缝13s的长边方向的两端部均位于比同样在长边方向上排列的电阻焊用电极40的两端部更靠外侧的位置。换言之，大小关系优选为， 当狭缝13s和电极40在同一个长边方向上重叠时，电极40能够收进狭缝13s的两端部内侧。
在组装连接端子20时，首先，将棒状部24插入于圆筒形状部22内。此时，作为接触检查点的前端部而发挥作用的部分向外部突出，该检查点是成为连接端子20的检查对象的受检物的对象部的预定的检查点。作为一例，在图2D中，包含棒状部24的前端部24e 在内，从圆筒形状部22的前端部22f的前端面22fe突出约2mm到3mm左右。
接着，一对电阻焊用的电极40配置成从上下夹住圆筒形状部22的前端部22f。在此情况下，如图2D所示，电极40不会与狭缝13s重叠，而一对狭缝13s配置成位于图2D纸面前侧以及背面侧的位置。在此状态下，圆筒形状部22的前端部22f被相对置的一对电极部40所夹持，若在推压状态下接通预定的电流，则电流由一边的电极40流向与其相接的圆筒形状部22的前端部22f、其内表面的镀金层、钨等棒状部的一侧、钨等棒状部的另一侧、 圆筒形状部22的前端部22f的另一侧的内表面的镀金层、圆筒形状部22的前端部22f、再流向另一边的电极40，由此，圆筒形状部22的前端部22f的内表面的镀金层因热而熔化，将前端部22f焊接在棒状部24上。另外，也可以在相对置的位置上以铆接代替电阻焊，来接合圆筒形状部22的前端部22f和棒状部24的本体部24b。
图3A到图3C是用于详细说明圆筒形状部22的前端部22f与棒状部24的本体部 24b焊接时的状况的放大剖视图。
图3A表示从图2A所示箭头3A — 3A方向观察时的状态。在进行电阻焊时，一开始，在图3A所示上下相对置的2个Pl的位置上配置电阻焊用的一对电极，并施力以使由上述电极夹住圆筒形状部22的前端部22f的圆筒形状部。由此，使圆筒形状部22的前端部 22f的内表面的一部分与棒状部24外周面的一部分接触。接着，在此状态下，向一对电极供给电流。这样，通过此时所产生的热而熔化前端部22f内表面的镀金层，使前端部22f的内表面与棒状部24的外周面焊接。
如图3A所示，在圆筒形状部22的前端部22f形成有一对狭缝13s。因此，通过一对电阻焊用的电极来夹住圆筒形状部22时，位于与连结一对电极的直线正交的方向上的圆筒形状部22的部分向外侧膨胀，然而由于膨胀部分被切掉，所以不会膨胀，能够维持截面呈大致圆形的形状。
另外，在此，从与本发明比较的观点来看，根据图3B及图3C，说明在未形成狭缝 13s的圆筒形状部内，使用一对电阻焊用的电极来接合圆柱形状部时的状态。如图3B所示， 棒状部24插入于截面为圆形的圆筒形状部22的前端部22-1，在其上下相对置的位置配置有一对电阻焊用的电极40。接着，如图3C所示，一对电阻焊用的电极如箭头所示地，朝向彼此靠近的方向移动，并从上下方向夹住前端部22 - 1，使前端部22 -1的内表面与棒状部24的外周面接触。此时，如图3C所示，圆筒形状部22的前端部22-1其上下方向因受电极40所夹而更加靠近，而左右方向则以膨胀的方式远离，圆筒形状部22的截面从圆形变形成大致楕圆形。其结果，扩大后的左右方向的外径变得比截面圆形时的圆筒形状部22的外径大。这样，当将外径变大的连接端子组装到例如图4的检查夹具时，有可能产生该连接端子无法插入头部12的贯通孔12h的大直径部12hl内的情形。这是因为随着检查对象机器的微细化，保持探针的贯通孔尺寸也变得微细化的缘故。
相对于图3B及图3C所示，若使用图3A所示的形成有狭缝13s的圆筒形状部22， 则即使进行电阻焊，也能够维持大致圆形形状，所以不会产生上述疑虑。狭缝的作用就在于这一点。
作为狭缝的形状，在上述实施方式中，例示了细槽形状的孔的实施方式，然而狭缝是为了通过事先切除在由电极夹住圆筒形状部时向与其正交的方向退避的部分，而使圆筒形状部的截面形状维持圆形而设置的，因此只要能够形成事先切除形成该退避部分的空间的形状，则可以是任意形状的缺口部。
[检查用夹具的概要]
图4是检查用夹具的局部放大剖视图。如图4所示，头部12的下表面安装有板厚度薄的板12u，而在头部12形成有大直径部12hl，在板12u形成有小直径部12h2。然而，也可以不使用板12u，而在头部12本身形成大直径部12hl及小直径部12h2。
在大直径部12hl插入有连接端子20的圆筒形状部22的前端部22f。
如上所述，在前端部22f的相对的位置上形成有一对狭缝13s，并通过电阻焊使前端部22f与棒状部24接合。在电阻焊后，前端部22f维持为截面呈大致圆形，因此前端部 22f能够在大直径部12hl内进行移动而完全不会接触到内壁。此外，上述前端部22f的前端面22fe抵接在板12u的表面上，板12u是从大直径部12hl转移到小直径部12h2的部分。 进而，小直径部12h2内插通有棒状部24，前端部24e则从头部12突出。在此情形下，形成小直径部12h2的板12u的表面构成卡止部。
另一方面，连接端子20的后端部22r的后端面与插入于基座部14的贯通孔14h 中的导线18的端面相接触。
在图4的状态下，从形成头部12的卡止部的板12u的表面到电极部16的导线18 的端面的距离，比图2A中没有施加负载的自然长度下的圆筒形状部22的长度小。因此，在图4中，通过该卡止部将圆筒形状部22的前端部22f往上推，使弹簧部22s收缩。由此，圆筒形状部22的后端部22ι■被按压到电极部16的导线18的端面。因此，将后端部22r与导线18的接触电阻值能够抑制为很小。
图5是检查用夹具的局部放大剖视图，用于说明使用图4的检查用夹具进行受检物的检查时的状况。
在检查基板等受检物时，使检查用夹具10下降，而使连接端子20的前端部24e抵接于受检物30的布线等对象部上的规定的检查点30dl。由此，如图5所示，连接端子20的棒状部24被往上推，进入头部12的贯通孔12h内。如上所述，圆筒形状部22的前端部22f 与棒状部24接合于P1，因此若棒状部24被推上，则圆筒形状部22的前端部22f也随之被推上，其结果，使得圆筒形状部22的前端部22f的前端面22fe从形成头部12的小直径部12h2的卡止部的板12u的表面离开。此外,如图4及图5所示,前端部22f维持为截面呈大致圆形，因此前端部22f能够在大直径部12hl内移动，而不会触碰到任何内壁。
此外，当检查结束后检查用夹具10离开受检物时，将棒状物24的前端部24e往上推的力量消失，因此圆筒形状部22的前端部22f再次抵接到形成头部的12卡止部的板12u 的表面，并被保持在那里(图4)。
[连接端子的制造例]
从图6A到图6H是表示用于制造本发明涉及的一个实施方式的连 接端子的各个工序的一个实施例的剖视图。此外，在此所制造的连接端子不仅可以单独使用，在与其它圆筒形状构件或圆柱形状部件组合的情况下，也能够作为连接端子发挥作用。此外，在图6A到图6H中，为了易于理解，对各部件的厚度、长度、形状、部件彼此间的间隔、间隙等进行了适当的放大、缩小、变形、简化等。在说明图时所称的上下、左右等用语是表示面向上述图的状态下沿着上述图的表面的方向。
图6A表示在芯材70外周面上形成镀金层72，进而在其上形成镀镍层74而制造出的电铸管(圆筒形状管)的剖视图。作为芯材70，可以使用例如外径为5μπι到300 μ m的金属线或树脂线。作为金属线，可以使用例如SUS线，作为树脂线，可以使用尼龙树脂或聚乙烯树脂等合成树脂线。此外，镀金层72的厚度为约O.1 μ m到I μ m，镀镍层74的厚度为约5μ m到50 μ m。从搬运作业容易与否等观点来看，电铸管的长度优选为50cm会更小,但并不限定于此，也可以连续制造而不切断。
图6B表示在图6A所示电铸管的镀镍层74的外周面上形成绝缘膜76的例子。绝缘膜76在后述的形成预定的槽时，也可以作为抗蚀膜发挥作用。该绝缘膜的厚度为约2 μ m 到50 μ m。作为绝缘膜76，也可以使用例如氟素覆层或硅树脂材料来形成。
接着，如图6C所示，将绝缘膜76隔开例如3mm到30mm的间隔并按规定的宽度环绕而去除，从而形成槽78a、78b、78c，此外，将槽与槽之间的绝缘膜的一部分按螺旋状进行去除，形成螺旋状的槽79a、79b。在形成这些槽的部分露出镀镍层74。
在形成这些槽时，可以采用对绝缘膜76照射激光束以去除绝缘膜76的方法。在此情况下，一面使芯材70在圆周方向上旋转，一面用激光束直接照射槽的位置，通过上述照射去除绝缘膜76。另外，在此方法中所使用的激光束的输出被调整成只能去除绝缘膜76 且不会损伤镀镍层。
其次，如图6D所示，将绝缘膜76用作掩模，将在槽78a、78b、78c、79a、79b处露出的镀镍层74蚀刻去除而使镀金层72露出。此时，镀镍层74与芯材70之间存在有镀金层 72，因此在蚀刻时能够防止镍蚀刻液到达芯材。由于通过上述蚀刻处理而去除的镀镍层74 的槽78a、78b、78c、79a、79b处露出的端面是利用蚀刻液的腐蚀作用，所以具备形成侧蚀部 (side etching)的特征(在后详述)。
此外，由于螺旋状的槽79a、79b是经由激光去除了该部分的绝缘膜76后，再通过蚀刻去除露出于该部分的镀镍层74而形成，所以位于上述螺旋状槽之间的部分(后述的弹簧部)的镀镍层74的端部上形成有侧蚀部，此层叠而成的绝缘膜76，成为相对于上述镀镍层74突出的状态。
在图6E中，照射激光束，将形成有槽78a、78b、78c的绝缘膜76从端面去除预定的长度，使镀镍层74露出。所露出的镀镍层74形成于连接夹具用的连接端子，成为作为接触检查对象部的前端部或接触与检查装置连接的连接夹具的电极的后端部发挥作用的部分， 且根据连接夹具的结构，确定它们所需的长度。因此，可以考虑前述情形来决定要去除的绝缘膜76的长度。接着，进行超声波清洗，如图6F所示，去除露出于槽78a、78b、78c、79a、79b的镀金层72。
其次，如图6G所示，如由空心箭头所示，将芯材70两端向远离的方向拉伸使其按截面积缩小的方式变形。也可以固定一端，仅拉伸另一端。当芯材70延伸而其截面积变小时，芯材70的外周面所覆盖的镀金层72从上述外周面剥离而残留在电铸管内侧，在芯材70 与镀金层72之间形成空间78。
接着，如图6H所示，若拔除芯材70，则相邻的部分因槽78a、78b、78c而分离，连接端子71与连接端子73形成为各自独立的构件。这样，如图6H所示，在拔除芯材70的阶段， 不需要其它追加工序就可以完成连接端子。此外，图6A到图6H，仅表示简化的电铸管的一部分，因此在图6H的工序中，虽然仅制造了 2个连接端子，然而通过使用长的电铸管，能够一次制造多个连接端子。
如图6H所示，连接端子71、73具备导电性材料的圆筒形状管的镀镍层74，在其两端侧形成有露出镀镍层的前端部及后端部，此外，在前端部及后端部之间形成有具有长轴方向的螺旋状壁面的弹簧部，沿着该螺旋状壁面形成有绝缘膜76。
本发明的连接端子，虽然可以在上述尺寸条件下制造，但特别是外径形成为30到 100 μ m、内径形成为20到90 μ m、绝缘覆膜的厚度形成为2到15 μ m的情况，适合用作连接夹具所使用的连接端子。
此外，图2B所示的圆筒形状部22可以使用例如上述图6A到图6H所示的制造方法来制造。例如，在图6C的工序中，为了形成螺旋状的槽，在通过激光束的照射来去除一部分绝缘膜76，通过蚀刻去除露出于该部分的镀镍层74时，同样地，能够通过激光束的照射沿着狭缝13s的形状去除绝缘膜76，通过蚀刻去除露出于该部分的镀镍层74，由此形成狭缝 13s。
[其它探针结构]
图7A及图7B表示另一实施方式涉及的探针50。探针50包括大直径的圆筒形状部54及插入于其中的小直径的圆柱形状部52 (导电部)。
大直径的圆筒形状部54包括前端部54f，后端部54r，形成于它们之间的2个弹簧部54sl、54s2，以及连结这些弹簧部的连结部54c。2个弹簧部54sl、54s2分别形成为螺旋形状，回旋方向相互相反。S卩，若弹簧部54sl从连结部54c例如向左转方向回旋而到达后端部54r,则弹簧部54s2从连结部54c向右转方向回旋而到达前端部54f。
大直径的圆筒形状部54及弹簧部54sl、54s2能够以与上述实施例的圆筒形状部 22及弹簧部22s同样的方式来制造。
小直径的圆柱形状部52的前端部52f从大直径的圆筒形状部54的前端部54f突出。另一方面，小直径的圆柱形状部52的后端部52r停留在大直径的圆筒形状部54的后端部54r的后端面54re跟前的位置，在大直径的圆筒形状部54的后端面54re与小直径的圆柱形状部52的后端面52re之间形成有空间。
此外，与图2B所示的连接端子20的圆筒形状部22的前端部22f同样，在图7A或图7B的大直径的圆筒形状部54的前端部54f的轴线周围的带状部分上，沿着长边方向形成有作为缺口部的狭缝52s。在大直径的圆筒形状部54的前端部54f的位置P，上述前端部54f与小直径的圆柱形状部52例如通过电阻焊或是铆接而接合，并相互固定。因此，小直径的圆柱形状部52与大直径的圆筒形状部54的前端部54f成一体地动作。在电阻焊时， 通过狭缝52s的作用，前端部54f在电阻焊前后能够维持截面呈圆形。除此以外的部分，大直径的圆筒形状部54及小直径的圆柱形状部52并未固定，能够各自分别动作。
如后所述，在检查基板等时，在大直径的圆筒形状部54的后端部54r的后端面 54re与检查夹具的电极(导线18)接触的状态下，若小直径的圆柱形状部52的前端部52f 的前端面52fe抵接检查点而受到按压时，小直径的圆柱形状部52相应于按压的力的大小而与大直径的圆筒形状部54的前端部54f —起后退。因此，大直径的圆筒形状部54的2 个弹簧部54sI、54s2收缩，并且小直径的圆柱形状部52在它们内侧的空间内后退。这些弹簧相应于这些弹簧收缩的长度的量而发挥要恢复到原先长度的作用力。弹簧的负荷与弹簧长度的位移成比例，因此当弹簧收缩的长度改变时，根据2个弹簧部54sl、54s2而使得圆柱形状部52的前端部52f的前端面52fe对检查点的推压力(负荷)的大小改变。
因此，在大直径的圆筒形状部54的前端部54f的位置P进行铆接等时，改变小直径的圆柱形状部52的前端部52f从前端部54f突出的长度，由此能够改变前端面52fe对检查点施加的负荷的大小。
此外，在探针50被组装到检查夹具时，2个弹簧部54sl、54s2发挥施力部的作用而施加预压，该预压用于通过适当的力将大直径的圆筒形状部54的后端部54ι■的后端面54re 推压在导线18上。此外，通过将小直径的圆柱形状部52固定于大直径的圆筒形状部54的前端部54f，2个弹簧部54sl、54s2也可以发挥推压部的作用，通过上述推压部用适当的弹性力将小直径的圆柱形状部52的前端面52fe推压到检查点而使接触电阻稳定。
图8是安装有图7A及图7B所示的探针50的检查用夹具的局部剖视图。如图8 所示，头部12 -1上形成有大直径部的贯通孔12 -1hl及小直径部的贯通孔12 - lh2，基座部14 -1上形成有一部分扩大了的贯通孔14 - lh。
在头部12 -1的大直径部12 -1hl中插入了探针50的大直径的圆筒形状部54的前端部54f，其前端面54fe抵接于由大直径部12 -1hl转移至小直径部12 - lh2的台阶面。 这样，上述台阶面形成前端面54fe的卡止部。小直径部12 - lh2中插入了探针50的小直径的圆柱形状部52的前端部52f。
另一方面,在基座部14-1的贯通孔14 -1h中插入了探针50的大直径的圆筒形状部54的后端部54r以及连结部54c的一部分，后端面54re抵接于导线18的端面18e。 小直径的圆柱形状部52的后端面52re与上述端面18e分离。
此外，在组装入检查用夹具之前，从探针50的大直径的圆筒形状部54的前端面 54fe到后端面54re的自然长度大于从检查夹具的头部12 -1的大直径部12 -1hl转移至小直径部12 - lh2的台阶面(卡止部)到导线18的端面18e的距离。因此，如图8所示，在将探针50组装入检查用夹具时，大直径的圆筒形状部54受到卡止部及端面18e的推压，因此，2个弹簧部54sl、54s2收缩这种大小之差的量。通过这种收缩，这些弹簧部发挥要恢复到原先长度的作用力。
在使用该检查用夹具进行受检物的检查时，使检查用夹具下降，而使探针50的小接到受检物30的布线等检查对象部上的规定的检查点30dl，并用规定大小的力推压检查点30dl。这样，探针50的小直径的圆柱形状部52的前端部52f被推入头部12-I的贯通孔12-lh2内。此时，如上所述，小直径的圆柱形状部52与大直径的圆筒形状部54的前端部54f接合于位置P，因此，当前端部52f被往上推时，大直径的圆筒形状部54的前端部54f与其一起也被往上推,其前端面54fe离开卡止部。其结果,大直径的圆筒形状部54的2个弹簧部54sl、54s2被压缩，因此，在这些弹簧部产生要恢复至原先长度的作用力。通过上述作用力，前端面52fe被推压至检查点30dl，这样能够确保其前端面52fe与检查点30dl稳定接触。
如前所述，2个弹簧部54sl、54s2的回旋方向相反，因此被压缩时所产生的作用力作用于使连结部54c向同一方向回旋的方向上。因此，相比将向同一方向回旋的2个螺旋状弹簧连结的情况，这些弹簧部不易弯折且也不易扭转。
此外，不限定于图7A、图7B及图8的实施方式，与受检物30相接的圆柱形状部52 的前端面52fe的形状，既可以为平坦，也可以为如球面形状一样弯曲而突出的形状，也可以为如后述图12A所示的所谓皇冠的实施方式一样突出有小突起的形状；此外，也可以为用与圆柱形状部的长边方向轴线斜向交叉的面截断的形状。例如，在将这些形状的圆柱形状部的前端部按压到受检物30的情况下，通过弹簧部的作用，使圆柱形状部以长边方向的轴线为中心回旋时，这些形状的前端面能够搔刮或削去受检物30表面的氧化膜。
[其它探针的结构]
图9A到图9C是用于说明可用于图I的检查用夹具的另外的实施方式涉及的探针 20的放大和简化的侧视图。
图9A表示可用于图I的检查用夹具的一个实施方式涉及的探针20。探针20由大直径的圆筒形状部24以及插入其中的导电性的小直径的圆筒形状部22 (导电部)构成。
小直径的圆筒形状部22包括圆筒形状的前端部22f、圆筒形状的后端部22r、以及形成于它们之间的弹簧部22s，弹簧部22s形成为螺旋形状。
小直径的圆筒形状部22的前端部22f的前端面22fe附近的部分从大直径的圆筒形状部24的前端面24fe突出。此外，小直径的圆筒形状部22的后端部22r的后端面22re 附近的部分从大直径的圆筒形状部24的后端面24re突出。
此外，与图2B所示的连接端子20的圆筒形状部22的前端部22f同样，如图9C所示，沿着大直径的圆筒形状部24的前端部24f的轴线周围带状部分的长边方向，形成有作为缺口部的狭缝13s。在大直径的圆筒形状部24的前端面24fe附近的位置P处，大直径的圆筒形状部24与小直径的圆筒形状部22的前端部22f通过例如电阻焊或是铆接而接合， 并相互固定。因此，大直径的圆筒形状部24及小直径的圆筒形状部22的前端部22f成一体地移动。
如后所述，在检查时，当小直径的圆筒形状部22的前端面22fe抵接到检查点并受其推压时，小直径的圆筒形状部22的后端面22re被按压到检查用夹具的导线18的端面上，由此，小直径的圆筒形状部22的后端部22r进入大直径的圆筒形状部24之中。其进入距离等于弹簧部22s的收缩的长度。由于弹簧负荷与弹簧的位移成比例，所以通过其收缩长度变化，圆筒形状部22的前端面22fe推压检查点的力(负荷)的大小也变化。
因此，例如，在使用从后端面24re突出的后端面22re附近的圆筒形状部22的长度长的其它尺寸的小直径的圆筒形状部，并加大后端面22re进入到圆筒形状部24中为止的距离时，能够加大前端面22fe对检查点所施加的负荷大小的可调整范围。
详细内容如后所述，将小直径的圆筒形状部22的前端部22f固定于大直径的圆筒形状部24，由此，弹簧部22s，在检查前，发挥施力部的作用，该施力部施加将后端部22r按压至导线18的端面的预压，并且在检查时，发挥推压部的作用，该推压部用适当的弹性力将前端部22f推压到检查点上以降低接触电阻。
图9B表示构成探针20的小直径的圆筒形状部22。作为圆筒形状部22，可以使用例如外径为约25到280 μ m、内径为15到260 μ m的镍或镍合金管。在此实施方式中，作为一例，使用外径为约50 μ m,内径为约35 μ m,全长LI为约6mm的镍管,但不限定于此。
此外，圆筒形状的前端部22f的长度L2为约2mm，弹簧部22s的长度L3为约2mm， 后端部22r的长度L4为约2mm。这些数值仅为一例，并不限定于此。
图9C表示构成探针20的大直径的圆筒形状部24。大直径的圆筒形状部24可以由镍或镍合金管制作，作为其尺寸，例如可以是外径为35 μ m到300 μ m,内径为25 μ m到 280 μ m，长度L5为3mm到30mm。这些数值仅为一例，并不限定于此。此外，也可以根据需要在大直径的圆筒形状部24的圆周面覆盖绝缘覆膜。
例如，在使用电阻焊的情况下，与图2D的情形同样，通过相对的一对电极部夹住大直径的圆筒形状部24的位置P，一边加压，一边接通短时间的恒定电流。由此，在该位置处，将大直径的圆筒形状部24与小直径的圆筒形状 部22的前端部22f加以焊接。代替此方法，也可以在上述位置P施加力量，使其压紧变形而将它们结合。此时，由于狭缝13s的作用，在电阻焊前后，大直径的圆筒形状部24维持截面呈圆形。
图1OA至图12B表示在圆筒形状的连接端子的前端部的抵接部的形状具有特征的若干个实施方式。这些连接端子，不仅能够作为检查用探针，也可以用于将对象物与预定装置电连接的连接夹具，也可以用于如内插器或连接器一样连接电极端与电极端的连接夹具。
图1OA是表示连接端子86的抵接部81a的放大主视图。抵接部81a是至少其一部分接触对象物的对象点并进行电连接的部分。图1OB是图1OA的连接端子86的仰视图。 连接端子86对设于对象物的对象点与预定的连接点进行电连接，并具备由导电性材料的镀层构成的圆筒形状部81。
如图1OB所示，圆筒形状部81由内侧壁面及外侧壁面形成，并在中央具有空间。在圆筒形状部81的前端部(在图1OA的下侧部分)形成有抵接部81a，上述抵接部81a具有外侧壁面的缘部82、内侧壁面的缘部84以及连结它们之间的面83。
抵接部81a的面83可以通过例如蚀刻而形成。以下说明这种方法。例如图6B所示，在电铸管的镀镍层74的外周面上形成绝缘膜76，而制作圆筒形状体。根据连接端子的长度，将绝缘膜76用作掩模，并根据接触件的需要利用激光束从圆筒形状体去除规定长度的绝缘膜76，进行蚀刻处理，由此，就会露出图1OA所示的抵接部81a。
通过这种各向同性蚀刻，在镀镍层74的端部形成侧蚀部。此时，在圆筒形状体的各端部，蚀刻液蔓延到距离绝缘膜76较近的镀镍层74的圆筒形状体的外侧壁面，而侵蚀该外侧壁面，因此，外侧壁面比内侧壁面所受侵蚀更多。另外，由于绝缘膜76并非必要构件， 因此在不形成绝缘膜时，就使用抗蚀膜来进行蚀刻。
如图1OA所示，在圆筒形状体的端部形成侧蚀部的结果为面83的形状并非平坦， 而成为弯曲的形状(弯曲形状面83)。通过改变蚀刻液的药液调配比例、浓度、温度等，或是通过改变蚀刻时的施加电压大小等各项条件，可以改变其弯曲的宽度、大小或曲率。
图1IA表示连接端子96-1的抵接部91 -1a的一部分的截面。抵接部91 -1a包含外侧壁面的缘部92-1和内侧壁面的缘部94-1以及它们之间的面93-1。抵接部91 -1a 与图1OA及图1OB所示的抵接部81a同样，也具有弯曲的面93 -1。如上述图所示，沿着连接端子96 -1的轴线方向(在图1lA中为上下方向)，外侧壁面的缘部92 -1与内侧壁面的缘部94 -1位于不同位置。即，在图1lA中，相比于内侧壁面的缘部94 -1的位置，外侧壁面的缘部92 -1的位置位于沿着轴线方向更靠上方的位置(连接端子的后端部侧)。因此， 面93 -1以在斜向上连结外侧壁面的缘部92 -1和内侧壁面的缘部94 -1的方式延伸，由此，内侧壁面的缘部94 -1形成有尖锐的前端。由此，这种锐利的前端能够容易地切入对象物的对象点，因此提高了连接端子与对象物的接触特性(接触稳定性)。此外，这种锐利的前端部的附着物在下次抵接时易于剥落，通过这种自净作用提高连接端子与对象物的接触特性。
此外，图1lB表示另一实施方式涉及的连接端子96-2的抵接部91 - 2a的一部分的截面。抵接部91 _2a包括外侦彳壁面的缘部92-2和内侧壁面的缘部94-2以及它们之间的面93-2。如图1lB所示，与图1lA的抵接部91-1a同样，抵接部91-2a的内侧壁面的缘部94 - 2具有锐利的前端，但与图1lA的抵接部91 -1a的面93 -1相比，图1lB的抵接部91 - 2a的面93-2的弯曲面的曲率小，面93-2的顶点(或底面)位于比外侧壁面的缘部92 - 2更靠图面上方(连接端子96 - 2的后端侧)的位置，并形成为凹状。
图13A是基于扫描型电子显微镜的放大照片，其用于说明在圆筒形状体的镀镍层的端部通过侧蚀而形成抵接部的一例。该照片所示的连接端子的抵接部，其外径为约 50 μ m、内径为约40 μ m、外侧壁面的缘部与内侧壁面的缘部间在轴线方向上的距离为约 4μπι， 从该照片可以明确外侧壁面的缘部与内侧壁面的缘部之间的面是弯曲的。
图1lA及图1lB中分别表示的内侧壁面的缘部94-1及94-2的附近、即靠近前端部的面93 - 1、93 - 2的倾斜大小的差异的概要如下在图1lA中，从内侧壁面到面94 -1的切线的角度，在切线的切点位置从内侧壁面的缘部94 -1移动到外侧壁面的缘部92 -1之间，从约20度到80度变化，相对于此，在图1lB中，从内侧壁面到面93 - 2的切线的角度， 在切线位置由内侧壁面的缘部94 - 2移动到外侧壁面的缘部92 - 2之间，从约15度到120 度变化。即，图1lA的抵接部91 -1a的前端部比图1lB的抵接部91 - 2a的前端部更尖锐。
图12A是连接端子166的放大主视图，上述连接端子166具备与图1OA的连接端子86的抵接部81a不同形状的抵接部161a。图12B是图12A的连接端子166的仰视图。 连接端子166与图1OA的连接端子86同样，对设于对象物的对象点与预定的连接点进行电连接，并具备由导电性材料的镀层构成的圆筒形状部161。
如图12B所示，圆筒形状部161由内侧壁面及外侧壁面形成，并在中央具有空间。 在圆筒形状部161的前端部(图12A中位于下侧的部分)形成有抵接部161a，上述抵接部 161a包括外侧壁面的缘部162和内侧壁面的缘部164以及连结它们之间的面163。
然而，与图1OA的面83不同，如图12A所示，在抵接部161a的面163的缘部162、 164上，沿着圆筒形状部161的圆周面等间隔地形成有大致U字形的缺口部。这样的缺口部与抵接部81a的面83同样，能够通过蚀刻处理来形成。
例如，如图6B所示，在电铸管的镀镍层74的外周面上形成绝缘膜76，而制作圆筒形状体。根据连接端子的长度，沿着圆筒形状体的各端部的圆周，利用激光束以大致U字形地去除绝缘膜76而露出镀镍层74。在此状态下，将残留的绝缘膜76作为掩模，对圆筒形状体进行蚀刻处理。此时，在圆筒形状体的各端部，蚀刻液从绝缘膜76的边缘蔓延到镀镍层74的圆筒形状体的外侧壁面，而侵蚀上述外侧壁面，因此，相比于内侧壁面，外侧壁面所受到的侵蚀更多。其结果，位于将绝缘膜76以大致U字形地去除的位置的镀镍层74也被以大致U字形地侵蚀。
其结果，如图12A所示，在抵接部161a上，外侧壁面的缘部162的最突出的位置 162t与外侧壁面的缘部162的最凹陷的位置162b在沿着连接端子166的轴线方向的方向上分离得大，此外，内侧壁面的缘部164的最突出的位置164t与内侧壁面的缘部164的最凹陷的位置164b在沿着连接端子166的轴线方向的方向上也分离得大。
图13B是基于扫瞄型电子显微镜的放大照片，其用于说明在圆筒形状体的镀镍层端部通过侧蚀形成与图13A的形状不同的图12A所示的形状(以下，称为“皇冠形”)的抵接部的一例。该照片所示的连接端子的抵接部，其外径为约50 μ m、内径为约40 μ m、外侧壁面的缘部与内侧壁面的缘部之间的在轴线方向距离为约5 μ m。此外，外侧壁面的缘部的最突出的位置与外侧壁面的缘部的最低位置之间的距离为约18μπι，内侧壁面的缘部的最突出的位置与内侧壁面的缘部的最低位置之间的距离为约15 μ m。从该照片可以明确，外侧壁面的缘部与内侧壁面的缘部之间的面弯曲。
使用本发明制造方法所记载的制造方法而制造出的连接端子，其端面(侧面)由内侧向外侧弯曲地倾斜。
在上述图6A到图6H的实施方式中，形成有绝缘膜76，并根据需要将其作为抗蚀膜来使用。在上述图1OA到图13 B的实施方式中，由于绝缘膜并非必要，所以在蚀刻时也可以使用抗蚀膜。
此外，在上述图1OA到图13B的实施方式中，圆筒形状部81等的抵接部81a等被描述成由单一的镀层形成，然而，从面83等的形成或与对象物的对象点的接触稳定性的观点来看，也可以在该层内侧、即在圆筒形状部81等的中心轴线侧形成例如镀金层。但是，在此情况下，存在镀金层在抵接部的前端部的内侧壁面的缘部周边剥离而不存在的情形。
因此，当圆筒形状部81等的抵接部81a等由多个镀层形成时，例如由镀镍层和其内侧的镀金层构成时，外侧壁面的缘部82等意味着在抵接部上形成于最外侧的镀层的外侧壁面的缘部，内侧壁面的缘部84等意味着内侧镀层的内侧壁面的缘部，然而在抵接部的前端部上，若有部分镀层因剥离而不存在的情况下，则意味着存在的内侧镀层的内侧壁面的缘部。
以上，说明了本发明涉及的连接端子、检查受检物用的检查用夹具以及可用于该夹具的探针的实施方式，但本发明并不限定于该实施方式，本领域技术人员容易想到的追加、删减、改变等也包含在本发明中，此外，本发明的技术范围应由所附的权利要求书的记载来确定。
权利要求
1.一种在连接对象点间的连接夹具中使用的连接端子，其特征在于，具备 小直径的导电部；以及 大直径的圆筒形状部，所述大直径的圆筒形状部被配置成围绕上述小直径的导电部， 上述小直径的导电部的前端部从上述大直径的圆筒形状部的前端部突出， 上述小直径的导电部的一部分接合于上述大直径的圆筒形状部的一部分， 在上述大直径的圆筒形状部的轴线周围的带状部分的一部分上形成有缺ロ部，上述带状部分至少包含与上述小直径的导电部接合的上述大直径的圆筒形状部的部分。
2.根据权利要求I所述的连接端子，其特征在干， 上述缺ロ部具有上述圆筒形状部的轴线方向的长度；以及沿着上述圆筒形状部的轴线周围的帯状部分的周面的宽度方向的长度， 上述缺ロ部的上述轴线方向的长度是超过将上述小直径的导电部的一部分接合于上述大直径的圆筒形状部的一部分时所使用的电极的上述圆筒形状部的轴线方向的两个端部的长度，以及 上述缺ロ部的上述宽度方向的长度大于上述圆筒形状部的内周面I周的长度与上述小直径的导电部的外周面I周的长度之差。
3.根据权利要求2所述的连接端子，其特征在干， 上述缺ロ部形成于沿着上述圆筒形状部的轴线的方向或与沿着轴线的方向交叉的方向。
4.根据权利要求I 3中任一项所述的连接端子，其特征在干， 上述缺ロ部由关于上述圆筒形状部的轴线成线对称的ー对缺ロ部形成。
5.根据权利要求I所述的连接端子，其特征在干， 上述缺ロ部为细长开ロ的狭缝形状。
6.根据权利要求I所述的连接端子，其特征在干， 在上述圆筒形状部的除了上述帯状部分的部分上形成有弹簧部，上述帯状部分包含上述圆筒形状部的与上述导电部接合的部分。
7.根据权利要求I所述的连接端子，其特征在干， 上述小直径的导电部由圆柱形状部或圆筒形状部形成。
8.根据权利要求I所述的连接端子，其特征在干， 在上述小直径的圆筒形状部的导电部的一部分上形成有弹簧部。
9.一种在连接对象点间的连接夹具中使用的连接端子的制造方法，其特征在干， 形成小直径的导电部与大直径的圆筒形状部， 在上述大直径的圆筒形状部的轴线周围的带状部分的一部分上形成有缺ロ部， 将上述小直径的导电部插入于上述大直径的圆筒形状部，使上述小直径的导电部的前端部从上述大直径的圆筒形状部的前端部突出， 在上述大直径的圆筒形状部的轴线周围的带状部分的与上述轴线方向正交的方向上相对置的位置且除了形成有上述缺ロ部的位置的位置上，配置一对电阻焊用的电极， 以使上述ー对电阻焊用的电极相互靠近的方式推压上述大直径的圆筒形状部并与上述小直径的导电部接触， 通过在上述一对电阻焊用的电极中接通规定的电流，将上述大直径的圆筒形状部的一部分与上述小直径的导电部的一部分接合。
10.根据权利要求9所述的连接端子的制造方法，其特征在干， 上述缺ロ部具有上述圆筒形状部的轴线方向的长度；以及沿着上述圆筒形状部的轴线周围的帯状部分的周面的宽度方向的长度， 上述缺ロ部的上述轴线方向的长度是超过上述电阻焊用的电极的上述圆筒形状部的轴线方向的两端部的长度， 此外，上述缺ロ部的上述宽度方向的长度大于上述圆筒形状部的内周面I周的长度与上述小直径的导电部的外周面I周的长度之差。
11.根据权利要求9或10所述的连接端子的制造方法，其特征在干， 上述缺ロ部形成于沿着上述圆筒形状部的轴线的方向或与沿着轴线的方向交叉的方向。
12.根据权利要求9所述的连接端子的制造方法，其特征在干， 在上述圆筒形状部的除了上述帯状部分的部分上形成有弹簧部，上述帯状部分包含上述圆筒形状部的与上述导电部接合的部分。
13.根据权利要求9所述的连接端子的制造方法，其特征在干， 上述小直径的导电部由圆柱形状部或圆筒形状部形成。
全文摘要
本发明提供一种连接端子，其中，圆筒形状部在基于电阻焊的固定前后维持大致圆形的形状。在连接对象点间的连接夹具中使用的连接端子具备小直径的导电部；以及大直径的圆筒形状部，所述大直径的圆筒形状部被配置成围绕上述小直径的导电部；小直径的导电部的前端部从大直径的圆筒形状部的前端部突出；小直径的导电部的一部分接合于大直径的圆筒形状部的一部分；在圆筒形状部的轴线周围的带状部分的一部分上形成有缺口部，上述带状部分至少包含与小直径的导电部接合的大直径的圆筒形状部的部分。
文档编号G01R3/00GK102981025SQ20121032151
公开日2013年3月20日 申请日期2012年9月3日 优先权日2011年9月5日
发明者矢野明大, 太田宪宏, 古川哲史, 山本正美, 横田友佑 申请人:日本电产理德株式会社