专利名称：用于测试微间距阵列的探针单元的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于测试微间距阵列的探针单元，尤其涉及用于测试微间距阵列的探 针单元，该探针单元在探针片具有两行或更多行触点时使各行触点能与测试目标稳定地接 触。
背景技术：
诸如液晶显示器(IXD)面板、有机发光二极管(OLED)等的平板显示器件通过复杂 的工艺来制造。在这些制造工艺之间执行测试过程。下文中，将描述LCD面板的测试过程 作为示例。

图1示出通用IXD面板1的单元结构。如图所示，该IXD面板1设置有薄膜晶体 管(TFT)衬底12和滤色片衬底14。TFT衬底12具有沿着其边缘放置的驱动电路芯片，该 驱动电路芯片用于驱动LCD面板或者形成为具有垫片18，其中带式自动接合集成电路(TAB IC)连接到该垫片18。在将TAB IC等连接到垫片18之前电测试IXD面板1时，使用探针单元。常规探 针单元通过与平头电极接触的针或者刀片向LCD面板施加驱动信号。但是因为难以按照特定间距制造和排列针或刀片，因此最近提出了膜型探针单兀。将参考图2和3来描述常规膜型探针单元100。如图所示，在体块110的底部上设 置探针片和柔性印刷电路(FPC)。该探针片具有在绝缘膜上形成的引线的图案、以及用于驱 动装载在探针片上且连接到图案化引线的LCD面板的驱动电路芯片。图案化引线132的特定部分构成将与在测试目标1的垫片上形成的平头电极18a、 18b接触的触点。在图3中，图案化引线132的尖端构成触点133a、133b，其将与平头电极 18a、18b 接触。此外，体块110设置有用于将触点133a、13 压向IXD面板1的按压构件120。参考图4至图6，触点133a、133还可交替地分两行形成以用于测试微间距阵列。 具体而言，触点133a、13;3b包括第一行触点133a和第二行触点133b，其将分别与第二行平 头电极18b和第一行平头电极18a接触。因此，按压构件120在其下表面处形成有按压区 域M0，其挤压第一行触点133a和第二行触点13 两者。但是在这种常规探针单元100中，所有触点不需要同步与平头电极接触。举例而 言，如图6所示，第一行触点133a与第二行平头电极18b接触，但是第二行触点13 不与 第一行平头电极18a接触。

发明内容
本发明被设计成解决以上问题，且本发明的一个方面提供一种用于测试微间距阵 列的探针单元，该探针单元在探针片有两行或更多行触点时使各行触点能与测试目标稳定 地接触。
根据本发明的一个方面，用于测试微间距阵列的探针单元包括包括绝缘膜和在 绝缘膜上形成的引线的图案的探针片，其中图案化引线的特定部分构成与测试目标接触的 触点和在两行或更多行中形成的触点；用于紧固探针片的体块；以及设置至体块的按压构 件，用于向测试目标按压触点以使各行触点可分别由按压构件来按压。按压构件可形成有其下表面上的横向凹槽，以使各行触点可分别由按压构件来按 压。该按压构件可弹性地按压触点。该按压构件可由非金属材料形成。该触点可从图案化弓丨线凸出。触点的各个行可交替形成。该探针片可进一步包括用于驱动测试目标的驱动电路芯片。附图简述根据结合附图给出的示例性实施例的以下描述，本发明的以上和其它方面、特征 以及优点将变得显而易见，在附图中 图1示出通用LCD面板；图2和3示出常规膜型探针单元；图4至6示出常规探针单元的使用；图7示出探针单元；以及图8和9示出图7所示探针单元的使用。
具体实施例方式现在将参考附图对发明的示例性实施例进行描述。参考图7和图8，用于测试微间距阵列的探针单元200包括体块210、探针片230、 柔性印刷电路MO以及按压构件220。在该实施例中，探针片230具有要附连到测试目标成品的带式自动接合集成电路 (TAB IC)。具体而言，该探针单元230包括绝缘膜221和在绝缘膜221上形成的引线图案， 其中图案化引线的尖端构成要与测试目标的垫片接触的触点233a、233b。触点233a、23!3b 可从图案化引线向LCD面板凸出(参见图7)。即，可在图案化引线上形成凸点以便于与平 头电极18a、18b接触(参见图6)。此外，对应于微间距阵列，探针片230的触点233a、23!3b交替分两行形成(参加图 8)。在该实施例中，按压构件220具有在其下表面上形成的横向凹槽，以使各行触点 可分别由按压构件220来按压。该按压构件220包括在其下表面上形成的第一按压部分 221和第二按压部分222，且在它们之间置有凹槽223。第一按压部分221按压第一行触点 233a且第二按压部分222按压第二行触点23北。在图8中，11，指示第一按压部分221的 按压区域且12’指示第二按压部分222的按压区域。参考图9，在探针片230的第一行触点233a与第二行平头电极18a接触且第二行 触点23 与第一行平头电极18b接触的情况下，如果由按压部分220来按压第一行和第二 行触点233a、233b，则该第一行触点233a和第二行触点23 分别由第一按压部分221和第二按压部分222来按压。因此，压力均勻地施加到第一行触点233a和第二行触点233b，由 此改善接触性能。在该实施例中，作为探针片230的示例来示出TAB IC0替代地，通过将驱动电路 芯片装载在绝缘膜上，可与TAB IC分离地形成探针片，其中在绝缘膜上形成有图案化引线。 在任一情形中，触点的间距等于平头电极的间距。此外，在该实施例中将驱动电路芯片装载在探针片上。替代地，可单独地提供其上 装载有驱动电路芯片的TAB IC。具体而言，探针片可仅形成有构成触点的图案化引线，且其 上装载有驱动电路芯片的TAB IC可连接到探针片的后端。因此，柔性印刷电路(FPC)连接 到TAB IC的后端。这样，根据本发明的各个实施例，即使在探针片具有两行或更多行触点时，该探针 单元也使各行触点能与测试目标稳定地接触。虽然已在本公开中描述了一些实施例，但对于本领域普通技术人员而言这些实施 例是以说明方式给出的，且可作出各种修改和改变而不背离本发明的精神和范围是将显而 易见的。本发明的范围应当仅由所附权利要求和其等效方案来限定。
权利要求
1.一种用于测试微间距阵列的探针单元，包括包括绝缘膜和在所述绝缘膜上形成的引线图案的探针片，其中所述图案化引线的特定 部分构成与测试目标接触的触点，所述触点在两行或多个行中形成； 紧固所述探针片的体块；以及设置至所述体块的按压构件，用于向所述测试目标按压所述触点以使各行触点可分别 由所述按压构件来按压。
2.如权利要求1所述的探针单元，其特征在于，所述按压构件可形成有在其下表面上 的横向凹槽，以使各行触点可分别由所述按压构件来按压。
3.如权利要求2所述的探针单元，其特征在于，所述按压构件弹性地按压所述触点。
4.如权利要求3所述的探针单元，其特征在于，所述按压构件由非金属材料形成。
5.如权利要求1所述的探针单元，其特征在于，所述触点从所述图案化引线凸出。
6.如权利要求1所述的探针单元，其特征在于，所述各行触点交替地形成。
7.如权利要求1所述的探针单元，其特征在于，所述探针片还包括用于驱动所述测试 目标的驱动电路芯片。
全文摘要
本文公开了用于测试微间距阵列的探针单元，该探针单元在探针片有两行或更多行触点时使各行触点能与测试目标稳定地接触。探针单元包括探针片，该探针片包括绝缘膜和在绝缘膜上形成的引线图案，其中图案化引线的特定部分构成与测试目标接触且在两行或更多行中形成的触点；紧固探针片的体块；以及设置至体块的按压构件，用于向测试目标按压触点，以使各行触点可分别由按压构件来按压。
文档编号G01R1/073GK102136234SQ20111003322
公开日2011年7月27日 申请日期2011年1月24日 优先权日2010年1月25日
发明者金宪敏 申请人:寇地斯股份有限公司