专利名称：一种六氟化硫气体放电微量组分的质谱仪在线检测装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种质谱仪在线检测装置，尤其涉及一种六氟化硫气体放电微量组分的质谱仪在线检测装置。
背景技术：
GIS由于其极强的带电运行稳定性以及开断电弧的能力，因而广泛应用于电力系统中。其在电力系统规划中占据越来越重要的地位，因此对GIS进行有效地状态监测是十分必要的。由于GIS在搬运、运行等过程中不可避免地存在细小金属微粒污染以及各类放电现象，放电现象常常使得绝缘性能优异的SF6气体微量分解，使得气体成份发生变化，这些微小的分解气体反映着SF6气体的绝缘性能，直接反映GIS运行状态的稳定性，因而实时且及时地监测GIS内气体成份有利于GIS绝缘状态的评估。电弧和局部放电作用下SF6气体分解产物主要有硫化物和氟化物。硫化物主要有S02、H2S, SF4, SO2F2, SOF2等；氟化物主要有HF、CF4和金属氟化物。其中SF4、SOF2含量较大但不稳定，很快在氧气(O2)和水气(H2O) 杂质影响下产生稳定的和HF，HF具有强腐蚀性，会与内部金属发生再反应，通常开断或故障后检测到的氟化氢(HF)含量较小或检测不到；CF4在新气中含量就很大QOOul/1左右)，而在电弧作用下增加量却相对较小，故不能作为检测气体。其它气体分解物在设备内部的含量极少。因此，利用质谱仪的对气体微量成份高分辨率的优势进行GIS绝缘性能监测是有效的方法。
发明内容为了实现对六氟化硫气体放电微量组分的检测，本实用新型提供了一种六氟化硫气体放电微量组分的质谱仪在线检测装置，该装置包括质谱仪装置1和质谱仪分析显示系统2，质谱仪装置1包括GIS3、进出气口 6、气路7、真空系统8、进样系统9、磁极10、接收极11、离子源12和检测器13，在GIS3上设置有进出气口 6，该进出气口 6通过气路7与真空系统8连接，真空系统8分别与进样系统9和离子源12连接，在离子源12内设置有接收极11和检测器13，在离子源两端设置有磁极10 ；质谱仪分析显示系统2包括计算机分析系统15和显示器16 ；质谱仪装置1与质谱仪分析显示系统2连接。本实用新型是一种六氟化硫气体放电微量组分的质谱仪在线检测装置，在设备不拆卸和不停电的情况下，可以实现对六氟化硫气体放电微量组分的检测。

图1是本实用新型的六氟化硫气体放电微量组分的质谱仪在线检测装置示意图。
具体实施方式

以下结合附图详细说明本实用新型的一种六氟化硫气体放电微量组分的质谱仪在线检测装置。如图1所示，本实用新型的一种六氟化硫气体放电微量组分的质谱仪在线检测装置，包括质谱仪装置1和质谱仪分析显示系统2，质谱仪装置1包括GIS3、进出气口 6、气路 7、真空系统8、进样系统9、磁极10、接收极11、离子源12和检测器13，在GIS3上设置有进出气口 6，该进出气口 6通过气路7与真空系统8连接，真空系统8分别与进样系统9和离子源12连接，在离子源12内设置有接收极11和检测器13，在离子源两端设置有磁极10 ； 质谱仪分析显示系统2包括计算机分析系统15和显示器16 ；质谱仪装置1与质谱仪分析显示系统2连接。质谱仪装置1通过进样系统9控制通过进出气口 6流入真空系统8腔体内的样气， 然后通过离子源12轰击气体分子，根据带电粒子在离子源12两端配备的磁极10电磁场中能够偏转的原理，按物质原子、分子或分子碎片的质量差异进行分离，检测物质成分。质谱仪分析显示系统2由计算机分析系统15分析检测出分子质量，其分析结果通过显示器16显示。如图1所示，由于GIS3内放电源4导致六氟化硫气体发生微量分解，生成气体分解产物5。利用质谱仪装置1在线检测气体分解成份，将含有气体分解产物5的混合气体通过真空系统8进入质谱仪装置1内部，通过射线将混合气体离子化，然后通过磁极10电场扭偏，最终基于质谱仪分析显示系统2得出气体分解成份的质谱图，从而实现对六氟化硫气体放电微量组分的检测。
权利要求1. 一种六氟化硫气体放电微量组分的质谱仪在线检测装置，其特征在于，所述装置包括质谱仪装置和质谱仪分析显示系统，质谱仪装置包括GIS、进出气口、气路、真空系统、进样系统、磁极、接收极、离子源和检测器，其连接结构为在GIS上设置有进出气口，该进出气口通过气路与真空系统连接，真空系统分别与进样系统和离子源连接，在离子源内设置有接收极和检测器，在离子源两端设置有磁极；质谱仪分析显示系统包括计算机分析系统和显示器；质谱仪装置与质谱仪分析显示系统连接。
专利摘要本实用新型涉及一种质谱仪在线检测装置，尤其涉及一种六氟化硫气体放电微量组分的质谱仪在线检测装置。本实用新型的一种六氟化硫气体放电微量组分的质谱仪在线检测装置，包括质谱仪装置和质谱仪分析显示系统，质谱仪装置包括GIS、进出气口、气路、真空系统、进样系统、磁极、接收极、离子源和检测器，在GIS上设置有进出气口，该进出气口通过气路与真空系统连接，真空系统分别与进样系统和离子源连接，在离子源内设置有接收极和检测器，在离子源两端设置有磁极；质谱仪分析显示系统包括计算机分析系统和显示器；质谱仪装置与质谱仪分析显示系统连接。本实用新型能够在设备不拆卸和不停电的情况下，实现对六氟化硫气体放电微量组分的检测。
文档编号G01N27/64GK202141696SQ201120241659
公开日2012年2月8日 申请日期2011年7月11日 优先权日2011年7月11日
发明者张微, 王科, 谭向宇, 赵现平, 陈磊 申请人:云南电力试验研究院(集团)有限公司