专利名称：一种驻极体振动传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及传感技术领域，具体地说，是一种驻极体振动传感器。
背景技术：
驻极体的用途广泛，可用来制造高压电源、换能器、传声器、静电计等。但是，由于驻极体的特定因素，它们在实际应用中的开发和普及还有不足。目前，社会的发展和科技的进步对传感技术的要求越来越高，尤其是要求传感器要向智能化和微型化发展。现有振动传感器的主要形式有压电式、电动式、电容式、电感式、电阻式、光电式等，其中，可应用于精密测量的光电式传感器不能在本体上应用，尤其是空间飞行器在空间运动过程中由于没有空气阻力，因此，其遇到的振动振幅与地球表面产生的振动振幅完全不同，产生的振幅微小，这样，光电式传感器就缺乏固定振动测量的相对性。而其他传感器因体积较大不便于微型化，就是将其微型化时，其也会信号较弱，灵敏度不够。因此，研究一种稳定性好、灵敏度高的微型化振动传感器是市场所急需的。
发明内容本实用新型的目的是在于克服现有技术的不足，提供一种稳定性好、灵敏度高的微型化驻极体振动传感器。为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为一种驻极体振动传感器，包括外壳、基板、定片、驻极体动片、驻极体引出绝缘、弹性膜片、电位引出，其特征是，在外壳内的上下端设置基板，在基板上设置定片，在外壳内的左右侧设置驻极体引出绝缘，驻极体引出绝缘的里面各设置有弹性膜片，在两片弹性膜片之间设置驻极体动片；为防止驻极体动片碰到外壳，驻极体动片的个数始终比定片少一片， 形成驻极体动片总是夹持在定片之间的结构；在外壳的一侧设有电位引出。所述驻极体动片和定片的布置形式是能够变化的当驻极体动片和定片的相对面积较大时，驻极体动片和定片的设置片数较少；当驻极体动片和定片的相对面积较小而深度较深时，驻极体动片和定片的设置片数增多。本实用新型一种微型驻极体振动传感器的工作模式为当微型驻极体振动传感器工作时，由于振动，即使是微振动，超薄的弹性膜片即有摆动，导致与其联接的驻极体动片产生振动，因驻极体动片总是夹持在定片之间的，驻极体动片振动后其与定片之间就会产生距离性的位移，由于驻极体自身电场的存在，从而会形成驻极体动片与定片之间电场电容的灵敏变化，这些变化的脉动频率和电场电容信号由电位引出输出，经联接的电控系统采集处理后应用于不同的需求。本实用新型的积极效果是微型驻极体振动传感器的稳定性好、灵敏度有显著提
尚ο

[0010]附图1是本实用新型一种驻极体振动传感器实施例1的结构示意图；附图2是本实用新型一种驻极体振动传感器实施例2的结构示意图；图中的标号分别为1、外壳；2、基板；3、定片；4、驻极体动片；5、驻极体引出绝缘；6、弹性膜片； 7、电位引出。
具体实施方式
以下结合附图给出本实用新型一种驻极体振动传感器的具体实施方式
，但是需要指出，本实用新型的实施不限于以下的实施方式。一种驻极体振动传感器，包括外壳1、基板2、定片3、驻极体动片4、驻极体引出绝缘5、弹性膜片6、电位引出7。外壳1采用的材料可依据不同的应用场合而选择，在外壳1 内的上下端设置基板2，在基板2上设置定片3。在外壳1内的左右侧设置驻极体引出绝缘 5，在驻极体弓丨出绝缘5的里面各设置一片弹性膜片6，在两片弹性膜片6之间设置驻极体动片4。为防止驻极体动片4碰到外壳1，驻极体动片4的个数应始终比定片3少一片，形成驻极体动片4总是夹持在定片3之间的结构；在外壳1的一侧设置电位引出7，电位引出7 能与电控系统联接。由于驻极体振动传感器应用的场合不同，所述的驻极体动片4和定片2的布置形式是有所不同并能够变化的，对此可采用两种实施方式实施方式1，当驻极体动片4和定片3的相对面积较大时，驻极体动片4和定片3 的设置片数较少(参见附图1)。实施方式2，当驻极体动片4和定片3的相对面积较小而深度较深时，驻极体动片 4和定片3的设置片数增多(参见附图2)。
权利要求1.一种驻极体振动传感器，包括外壳(1)、基板(2)、定片(3)、驻极体动片(4)、驻极体引出绝缘(5)、弹性膜片(6)、电位引出(7)，其特征在于，在外壳(1)内的上下端设置基板 (2)，在基板(2)上设置定片(3);在外壳(1)内的左右侧设置驻极体引出绝缘(5)，驻极体引出绝缘(5)的里面各设置有弹性膜片(6)，在两片弹性膜片(6)之间设置驻极体动片(4);为防止驻极体动片(4)碰到外壳(1 )，驻极体动片(4)的个数始终比定片(3)少一片，形成驻极体动片(4)总是夹持在定片(3)之间的结构；在外壳(1)的一侧设有电位引出(7)。
2.根据权利要求1所述的一种驻极体振动传感器，其特征在于，所述驻极体动片(4) 和定片(3)的布置形式是能够变化的当驻极体动片(4)和定片(3)的相对面积较大时，驻极体动片(4)和定片(3)的设置片数较少；当驻极体动片(4)和定片(3)的相对面积较小而深度较深时，驻极体动片(4)和定片(3)的设置片数增多。
专利摘要本实用新型涉及传感技术领域，是一种驻极体振动传感器，其结构为在外壳内的上下端设置基板，在基板上设置定片，在外壳内的左右侧设置驻极体引出绝缘，驻极体引出绝缘的里面各设置有弹性膜片，在两片弹性膜片之间设置驻极体动片；为防止驻极体动片碰到外壳，驻极体动片的个数始终比定片少一片，形成驻极体动片总是夹持在定片之间的结构；在外壳的一侧设有能与电控系统联接的电位引出；所述驻极体动片和定片的布置形式是能够变化的当驻极体动片和定片的相对面积较大时，驻极体动片和定片的设置片数较少；当驻极体动片和定片的相对面积较小而深度较深时，驻极体动片和定片的设置片数增多；其积极效果是传感器的稳定性好、灵敏度有显著提高。
文档编号G01H11/06GK202092769SQ20112012158
公开日2011年12月28日 申请日期2011年4月22日 优先权日2011年4月22日
发明者喻竑杰, 左家乐, 汤学华, 陈萌林 申请人:上海电机学院