专利名称：Esd测试设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种ESD测试设备。
背景技术：
集成电路设计、生产厂家在设计、生产出集成电路芯片后，通常需要使用专用的芯片测试机对集成电路芯片进行测试，以识别坏片并进行标识，为后道工序生产创造条件，只有通过测试的集成电路芯片才能出厂销售，没有通过测试的集成电路芯片则不能出厂。目前，国内集成电路芯片测试主要由集成电路芯片生产厂家自行测试和委托专业测试厂家测试两种模式。由于目前国内芯片生产厂家测试能力不足，专业测试厂家稀缺，使得芯片测试成为部分芯片产品及时投放市场的瓶颈，同时，由于芯片测试技术要求相对较高，成本较大，而专业的芯片设计企业一般不倾向于投资购买昂贵的测试设备，使得性价比高的自主研发的测试机、测试板卡需求应运而生。目前，集成电路芯片的种类繁多，既有输入/输出信号全部为一种类型信号的集成电路芯片，如全数字信号芯片和全模拟信号芯片，也有输入/输出信号为不同信号类型的混合信号集成电路芯片，如输入为数字信号而输出为模拟信号的集成电路芯片，或输入为模拟信号而输出为数字信号的集成电路芯片，但通常芯片测试机很难满足不同类型集成电路芯片测试的需要。由于混合信号芯片同时需要处理数字信号及模拟信号，如对于音频A/D芯片，需要由芯片测试机产生模拟信号以满足被测芯片的模拟信号的输入需要并对其输出的数字信号进行处理，因此，对混合信号芯片进行测试的技术难度相当高。现有的芯片测试机通常只能够对单一类型信号的集成电路芯片进行测试，而不能对混合信号芯片进行有效地测试，而且测试成本昂贵。

实用新型内容本实用新型的目的是提供一种ESD测试设备，测试设备基于ESD (静电放电)测试技术，能够准确测试处芯片的工作是否正常，满足了检测芯片是否被静电打坏以及损坏程度的测试需要，同时具有设计合理、性能稳定、电路结构简单、控制方便、测试速度快等特点，克服现有产品中上述方面的不足。本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现一种ESD测试设备，包括控制模块、测试模块、静电放电模块和高压电源模块，所述静电放电模块与高压电源模块汇合连接控制模块，控制模块通过线路分别连接计算机和测试模块，测试模块通过测试接入端口连接静电放电模块，静电放电模块分别连接待测电路和高压电源模块。本实用新型的有益效果为本实用新型具有设计合理、性能稳定、电路结构简单、 控制方便、测试速度快、效率高、使用灵活方便等特点，本测试设备基于ESD测试技术，能够准确测试处芯片的工作是否正常，满足了检测芯片是否被静电打坏以及损坏程度的测试需要。
下面根据附图对本实用新型作进一步详细说明。图1是本实用新型实施例所述的ESD测试设备的结构示意图；图2是本实用新型实施例所述的ESD测试设备的测试流程图。图中1、控制模块；2、测试模块；3、静电放电模块；4、高压电源模块；5、计算机；6、待测电路。
具体实施方式
如图1-2所示，本实用新型实施例所述的一种ESD测试设备，包括控制模块1、测试模块2、静电放电模块3和高压电源模块4，所述静电放电模块3与高压电源模块4汇合连接控制模块1，控制模块1通过线路分别连接计算机5和测试模块2，测试模块2通过测试接入端口连接静电放电模块3，静电放电模块3分别连接待测电路6和高压电源模块4。此测试电路用来测试芯片是否被静电打坏以及打坏的程度如何，当被测芯片的一个管脚被ESD后，通过测试Pin对GND(或者Pin对VCC)的保护管的好坏及其特性曲线变化，和与Pin连接的MOS管是否被击穿，来判定ESD是否成功。每次ESD后测试保护二极管和MOS管的数据都保存。控制模块接受PC机命令，根据命令协调各模块工作，测试模块测试保护二极管和MOS管，并将数据都保存，静电放电模块生成正负脉冲对待侧IC进行ZAP， 测试接入脚也由该模块提供，高压电源模块根据控制模块发来的命令调节高压模块的输出电压，最后将测试数据返还给PC。Pin 至Ij GND 测试二极管测试时需要把被测芯片的测试针型插口接地，从测芯片的针型插口输入， 每次变换下测试的上拉电阻，完成对地保护二极管的I-V曲线测试。然后数据保存在RAM 区，以便PC机器提取数据。MOS管高阻测试把被测芯片的测试连接反相器的输入端，被测芯片接地，如果MOS管的漏电流小于luA，那么反相器的输出端输出低电平，则表示测试通过，反之则失败。Pin 到 VCC 测试二极管测试二极管测试时需要把被测芯片的测试针型插口接地，从测芯片的针型插口输入， 每次变换下测试的上拉电阻，完成对地保护二极管的I-V曲线测试。然后数据保存在RAM 区，以便PC机器提取数据。MOS管高阻测试把被测芯片的测试连接反相器的输入端，被测芯片接地，如果MOS管的漏电流小于luA，那么反相器的输出端输出低电平，则表示测试通过，反之则失败。
权利要求1. 一种ESD测试设备，包括控制模块(1)、测试模块O)、静电放电模块C3)和高压电源模块，其特征在于静电放电模块C3)与高压电源模块(4)汇合连接控制模块(1)，控制模块(1)通过线路分别连接计算机( 和测试模块O)，测试模块( 通过测试接入端口连接静电放电模块(3)，静电放电模块(3)分别连接待测电路(6)和高压电源模块G)。
专利摘要本实用新型涉及一种ESD测试设备，包括控制模块、测试模块、静电放电模块和高压电源模块，所述静电放电模块与高压电源模块汇合连接控制模块，控制模块通过线路分别连接计算机和测试模块，测试模块通过测试接入端口连接静电放电模块，静电放电模块分别连接待测电路和高压电源模块。本实用新型的有益效果为本实用新型具有设计合理、性能稳定、电路结构简单、控制方便、测试速度快、效率高、使用灵活方便等特点，本测试设备基于ESD测试技术，能够准确测试处芯片的工作是否正常，满足了检测芯片是否被静电打坏以及损坏程度的测试需要。
文档编号G01R31/3167GK201965202SQ201020576379
公开日2011年9月7日 申请日期2010年10月26日 优先权日2010年10月26日
发明者刘若云 申请人:无锡日松微电子有限公司