专利名称：一种高分辨率导模共振角度测微仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种测量仪器，特别涉及一种高分辨率导模共振角度测微仪。
背景技术：
导模共振滤波器(GMRF)结构以其极窄的带宽，近乎100%的反射率和波长，角度的敏感性等优越特性得到了广泛的应用，如在光纤通信领域中利用GMRF得到单色性极好的单色光，扩展通信带宽；在生物医学方面，利用GMRF结构对波长的敏感性制作了高灵敏度无标签生物传感器。

实用新型内容本实用新型是针对导模共振滤波器的特点和运用的问题，提出了一种高分辨率导模共振角度测微仪，利用导模共振滤波器结构对入射光线的角度敏感性设计了高灵敏度的角度测微仪，可测最微小角度。本实用新型的技术方案为一种高分辨率导模共振角度测微仪，包括光源、导模共振滤波器、发射光纤探头、反射光接收器、光谱仪，光源通过发射光纤探头将入射光射到导模共振滤波器表面上，导模共振滤波器表面射出反射光通过反射光接收器接收后，送入光谱仪。所述导模共振滤波器包括石英基片及石英基片上面的氧化铪光栅。本实用新型的有益效果在于本实用新型高分辨率导模共振角度测微仪，利用导模共振滤波器对于入射光的角度敏感性来实现高分辨率的角度测量，为精密测量提供了另
一途径。

图1为入射导模共振滤波器相对位置示意图；图2为通过导模共振滤波器光谱仪测得反射光谱图；图3为本实用新型高分辨率导模共振角度测微仪中导模共振滤波器示意图；图4为本实用新型高分辨率导模共振角度测微仪整体结构图；图5为通过导模共振滤波器光谱仪测得两束光的反射光谱图。
具体实施方式
导模共振滤波器为一种亚波长光栅结构，如图1所示，基底层，波导层、光栅层，通过计算得到合适的光栅各部分参数，如各部分所用的材料折射率，各层的厚度，光栅常数等，我们让一束白光入射到设计好的导模共振滤波器表面，然后测反射光的光谱，会得到如图2—样的光谱图，从图2中我们可以知道，入射的白光只有峰值处波长的部分被百分之百反射回来，我们称这个波长为共振波长，其他成分的反射率非常小，几乎没有。当改变入射的白光的入射角度时，测得的反射光谱也会发生改变，主要是共振波长会发生一个微小的改变，这个共振波长的微小改变可以表征入射白光的角度变化量，也就是我们要测得微小角度。利用其对入射光线的入射角度的敏感性，制作一种高分辨率导模共振角度测微仪，首先制作需要的导模共振滤波器，包括如下具体步骤A:导模共振光栅的制作。在石英基片上面镀制一层厚度为221nm的氧化铪材料的薄膜层，将清洗好的石英基片固定在镀膜机顶部，在要镀制的氧化铪材料放置于镀膜机底部的坩埚内，然后关闭镀膜机的腔体，对其进行抽真空，当真空度达到10-2 时，就可以将坩埚中的氧化铪材料进行熔化，氧化铪变成气态蒸发起来附着在镀膜机顶部的石英基片上，通过厚度监控仪，当石英基片上氧化铪薄膜层厚度达到221nm后停止镀膜。这样就得到了镀有氧化铪薄膜层的石英基片了。B:接着在氧化铪薄膜层上面涂一层光刻胶，我们利用此光刻胶层来做一层掩膜， 此光刻胶就像照相用的胶片上面那种材料一样，对光很敏感，曝光显影后，感光部分曝光会造成聚合链的断裂，产生可以被溶解并清除的单元。这一层光刻胶层做好之后，拿到全息曝光系统下面去曝光。全息曝光系统是利用一个半透半反的平面镜，对激光光束进行分束，得到两束相干的激光束，再让两束激光经过扩束镜，准直透镜最后相交在一个平面上，在这个平面上会产生干涉条纹，这个条纹就跟光栅的形状一样。我们将涂好光刻胶的基片置于这个平面上，曝光一分钟，然后放在显影液里面显影，但看到基片表面有彩色条纹时，取出基片用去离子水清洗基片表面，去除基片上残留的溶液和杂质。这样掩膜就做好了。C:接下来要将做好的样品使用离子反应蚀刻机里面进行蚀刻，这样就将上面没有光刻胶的氧化铪蚀刻掉了，最后将残余的光刻胶用氢氧化钠洗掉，这样就得到了石英基片上面的氧化铪光栅，结构如附图3所示，这就是我们要做的导模共振滤波器。然后将做好的导模共振滤波器置于如图4所示高分辨率导模共振角度测微仪中， 光源2通过发射光纤探头3将入射光以某一角度θ 1入射到导模共振滤波器1表面，这时在导模共振滤波器1表面会有一个反射光，通过反射光接收器4接收反射光，送入光谱仪5 得到反射光的光谱，光谱图如图5，图中有一个最高点，即峰值，我们称其为共振峰，我们测得这一个共振峰所对应的波长为λ 1 ；然后我们改变入射光线的入射角度Δ θ以θ 2的角度入射，再测其反射光谱，得到另一个峰值波长为λ 2，角度变化量为Δ Θ = Θ2-Θ1，对应的峰值变化量即波长漂移量为△ λ = λ1-λ 2，我们设计的导模共振滤波器都有一个固定的 S值，S=A Θ/Δ λ。每一个设计好的导模共振滤波器都有与其对应的S值，也就是S是已知的。如前面所述，当入射光改变一个微小的角度△ θ时，使用光谱仪可以测得反射光波峰的漂移量Δ λ，Δ λ也是已知的，我们想要知道这个Δ θ值，通过公式Δ θ = Δ λ *S，可以求得Δ θ的值。我们使用的光谱仪的极限分辨率为0.06nm，通过计算得到可以探测的极限角度为0.004°。
权利要求1.一种高分辨率导模共振角度测微仪，其特征在于，包括光源、导模共振滤波器、发射光纤探头、反射光接收器、光谱仪，光源通过发射光纤探头将入射光射到导模共振滤波器表面上，导模共振滤波器表面射出反射光通过反射光接收器接收后，送入光谱仪。
2.根据权利要求1所述高分辨率导模共振角度测微仪，其特征在于，所述导模共振滤波器包括石英基片及石英基片上面的氧化铪光栅。
专利摘要本实用新型涉及一种高分辨率导模共振角度测微仪，光源发射入射光到导模共振滤波器表面上，发射光路上置发射光纤探头，导模共振滤波器表面射出反射光通过反射光接收器接收后，送入光谱仪。利用导模共振滤波器对于入射光的角度敏感性来实现高分辨率的角度测量，为精密测量提供了另一途径。
文档编号G01C1/00GK202101661SQ20112019024
公开日2012年1月4日 申请日期2011年6月8日 优先权日2011年6月8日
发明者庄松林, 张大伟, 杨惠尹, 王 琦, 胡金兵, 陶春先, 黄元申 申请人:上海理工大学