专利名称：晶圆片损伤检测装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种晶圆片的损伤检测装置。
背景技术：
现有的晶圆片检测大都采用镭射设备，检测都是单片镭射检测，这样势必导致检测的效率低下，并且镭射设备造价昂贵，维护和保养费用较高，无形中增加了成本。

实用新型内容本实用新型目的是针对现有技术存在的缺陷提供一种晶圆片的损伤检测装置。本实用新型为实现上述目的，采用如下技术方案本实用新型晶圆片损伤检测装置，包括超声波发射器和接收器以及数据传输模块和控制和显示终端，其中超声波发射器和接收器对应设置于晶圆片的两端，超声波接收器的输出端串接数据传输模块后接控制和显示终端的输入端，控制和显示终端的输出端接超声波发射器的输入端。所述数据传输模块采用基于Zigbee的无线接收模块。本实用新型对晶圆片的表面进行检测，检测精度高，而且可以同时检测多片晶圆片，检测的效率高。

图1 :本实用新型结构图。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型晶圆片损伤检测装置，包括超声波发射器和接收器以及数据传输模块和控制和显示终端，其中超声波发射器和接收器对应设置于晶圆片的两端， 超声波接收器的输出端串接数据传输模块后接控制和显示终端的输入端，控制和显示终端的输出端接超声波发射器的输入端。所述数据传输模块采用基于Zigbee的无线接收模块。
权利要求1.一种晶圆片损伤检测装置，其特征在于包括超声波发射器和接收器以及数据传输模块和控制和显示终端，其中超声波发射器和接收器对应设置于晶圆片的两端，超声波接收器的输出端串接数据传输模块后接控制和显示终端的输入端，控制和显示终端的输出端接超声波发射器的输入端。
2.根据权力要求1所述的晶圆片损伤检测装置，其特征在于所述数据传输模块采用基于Zigbee的无线接收模块。
专利摘要本实用新型公布了一种晶圆片损伤检测装置，包括超声波发射器和接收器以及数据传输模块和控制和显示终端，其中超声波发射器和接收器对应设置于晶圆片的两端，超声波接收器的输出端串接数据传输模块后接控制和显示终端的输入端，控制和显示终端的输出端接超声波发射器的输入端。本实用新型对晶圆片的表面进行检测，检测精度高，而且可以同时检测多片晶圆片，检测的效率高。
文档编号G01N29/04GK201955328SQ20102062279
公开日2011年8月31日 申请日期2010年11月25日 优先权日2010年11月25日
发明者张春华, 张馨月 申请人:无锡春辉科技有限公司