专利名称：一种蓝宝石晶体r向偏角测量仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种蓝宝石晶体R向偏角测量仪，该测量仪用于晶棒R向以及晶片R向的检测。
背景技术：
随着市场的发展需要，市场范围内对蓝宝石晶体的需求增加，国内蓝宝石生产厂家对蓝宝石的晶向使用开发慢慢的从传统的C向、A向使用，慢慢的开发出对蓝宝石晶体R向使用逐渐增多，又由于生产エ艺限制，目前无法对蓝宝石R向直接定位半成品晶棒。所以对蓝宝石R向的检测在国内一直处于空白。本专利项目X射线偏角测量仪就是填补了国内对监宝石晶体R向检测的技术空白。深受广大客户的青陳。可以提闻广品精度及质量，可以提闻生广效率。

实用新型内容本实用新型的目的是为解决蓝宝石生产厂家对蓝宝石R向的检测，而提供ー种蓝宝石晶体R向偏角測量仪。采用的技术方案是ー种蓝宝石晶体R向偏角测量仪，包括机体，机体内设置有变压器、稳压器及气泵，机体上端固定有工作台，工作台上固定有X射线发生器和测角仪，测角仪内装设有涡轮蜗杆副，测角仪上装设有手轮和主轴，主轴的下端与涡轮蜗杆副的涡轮连接，手轮与涡轮蜗杆副的蜗杆连接，主轴的上部穿出测角仪的壳体外，主轴的上端固定有样品台，样品台上固定有R向调整夹具、闪烁探測器和编码器，样品台连接ー气泵吸管，气泵吸管与设置在机体内的气泵相连接。X光射发生器上安装单晶反射器和控制面板，并配有电动光闸，实现自动控制。工作台上还设置有显示被测晶体峰值角度的显示器。本实用新型具有以下优点本实用新型具有结构简单、測量精度高等优点，能够对晶片以及半成品形式存在的晶棒进行R向检测。提闻广品精度，提闻生广效率，同时对监宝石R向的使用以及其它科研做出了卓越的贡献。

图I是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
ー种蓝宝石晶体R向偏角测量仪，包括机体17，机体17内设置有变压器2、稳压器I及气泵16，机体17上端固定有工作台3，工作台3上安装有X射线发生器12和测角仪5，测角仪5内装设有涡轮蜗杆副6，测角仪5上装设有手轮4和主轴7，主轴7的下端与涡轮蜗杆副6的涡轮连接，手轮4与涡轮蜗杆副6的蜗杆连接，主轴7的上部穿出测角仪5的壳体夕卜，主轴7的上端固定有样品台15，样品台15上固定有R向调整夹具9、闪烁探測器8和编码器13，样品台15连接ー气泵吸管18，气泵吸管18与设置在机体17内的气泵16相连接。X光射发生器12上安装单晶反射器11和控制面板14，并配有电动光闸，实现自动控制。エ作台3上还设置有显示被测晶体峰值角度的显示器10。R向调整夹具9在样品台上实现与样品台的同步旋转，将被测晶棒放置在R向调整夹具9上以后通过调整R向夹具自身调整机构可以对晶棒进行上下调节，最終调节到R晶向与水平成57. 6°使R向与X射线发生器12发射出来的X光通过单晶衍射器11衍射成垂直状态，此时精度及射线接收強度最強，实现对蓝宝石晶体R向的測量。因为半成品过程中晶棒端面并非都是与C面垂直，所以蓝宝石定向时，定向角度时晶棒及晶片也都与水平面成57. 6°。调节蓝宝石R向于X光垂直的角度往往有偏差，本机构的蓝宝石R向调整夹具9可以进行微调角度，解决了半成品蓝宝 石晶棒晶片的R向偏角的技术问题。最終将测量读数通过微安表以及编码器13显示在控制面板及数显装置10上，使操作者能准确的读数。实现了蓝宝石生产中对蓝宝石半成品及蓝宝石成品的R晶向检測。
权利要求1.ー种蓝宝石晶体R向偏角测量仪，包括机体，机体内设置有变压器、稳压器及气泵，机体上端固定有工作台，工作台中间通过螺栓安装固定X射线发生器，其特征在于所述的工作台的两侧分别固定有测角仪，测角仪内装设有涡轮蜗杆副，测角仪上装设有手轮和主轴，主轴的下端与涡轮蜗杆副的涡轮连接，手轮与涡轮蜗杆副的蜗杆连接，主轴的上部穿出测角仪的壳体外，主轴的上端固定有样品台，样品台上固定有R向调整夹具、闪烁探測器和编码器，样品台连接ー气泵吸管，气泵吸管与设置在机体内的气泵相连接，X光射发生器上安装单晶反射器和控制面板，并配有电动光闸，工作台上还设置有显示被测晶体峰值角度的显不器。
专利摘要一种蓝宝石晶体R向偏角测量仪，包括工作台、X射线管、偏角调整夹具、涡轮蜗杆副，控制面板及数显装置，本实用新型的优点是实现了蓝宝石晶体R向偏角的测量，提高测量精度，提高了生产效率。
文档编号G01N23/207GK202661415SQ20122032142
公开日2013年1月9日 申请日期2012年7月5日 优先权日2012年7月5日
发明者甄伟, 赵松彬 申请人:丹东新东方晶体仪器有限公司