专利名称：微通道结构体和乳液及固体球状粒子的制造方法
技术领域：
本发明涉及以层叠型微混合器、层叠型微反应器等为代表的微通道结构体、使用该微通道结构体的乳液的制造方法以及使用通过该制造方法制得的乳液的固体球状粒子的制造方法。
背景技术：
近年来，陆续开发出利用微通道的特性来使各种溶液类等混合、乳化、发生化学反应、进行分析等的代表性装置(微混合器、微反应器)。例如，为了形成微细的三维流路结构，或者为了增加微通道来提高生产率，提出一种层叠结构化的微混合器(参照专利文献1、2)。
此外，在微通道中进行化学反应的微反应器中，为了提高装置的生产率，需要增长微通道以增长停留时间、或供给更大量的原料。无论哪种情况，均会使装置内所受到的压力增高。另一方面，在微通道内进行混合、乳化的微混合器中，为了更快、更均匀地混合、乳化，需要缩小微通道以加快线速度、或在复杂的形状部分中流动，这也会导致运转压力的上升。在这种利用微通道的装置中，为了利用微通道特有的温度、时间等反应条件的均匀性、高接触面积比及层流状态，使流体不在本来应该流动的微通道中移动而是在层叠面之间移动，这就意味着无法进行按本来设计这样的反应。特别是，对于经由微孔来进行均匀乳化的微混合器而言，为了得到更小的乳液，需要缩小孔的大小，这种用途在运转压力变高时便不可避免。在以均匀乳化为目的的装置中，在层叠面之间渗出的分散液渗出至混合物(乳液)流路的情况下，由于生成目标粒径之外的乳液，而完全得不到目标物，因此，必须绝对避免分散液泄漏的现象。此外，在内部具有多个被分配到微通道的流路的微混合器及微反应器中，由于在层叠面之间渗出的粘度不同的流体会在一部分流路中流动，因此，流动便会不均匀，从而无法得到目标物，从这点上说，必须避免在层叠面之间渗出的液体混入位于微通道上游的流路的情况。在层叠型微混合器中，为了防止层叠面之间的泄漏，还提出一种夹着柔软的材料来进行密封的方法。由于运转时的内压越高越容易产生上述层叠面之间的泄漏，因此，在实际中，通过以不致于产生泄漏的低压进行设计、或通过以即便产生泄漏也不会混入产品流路的方式控制的设计，来配置微通道。虽然还提出了在层叠后使面之间结合来使它们一体化这样的方法，但从洗净装置内部或以所使用的药液或内部结构为目的而进行改变的意思上说，不是使层叠面之间结合，而是能根据用途设计、组装的微混合器更容易操作(参照专利文献3)。此外，若是考虑反复洗净多次来使用的话，可料想因层叠面之间所带的伤痕或附着的灰尘等而使密封性变差，因而要求使这部分的可靠性提高。现有技术文献
专利文献专利文献I :日本专利特开2004-268029号公报专利文献2 :日本专利特许第4193626号公报专利文献3 :日本专利特开2009-226503号公报

发明内容
发明所要解决的技术问题本发明的目的在于提供一种防止供给流体经由层叠面之间而渗出至混合物或反应物的流路的层叠型微混合器、层叠型微反应器等微通道结构体。其目的还在于提供一种在使用层叠型微混合器这样的微通道结构体来制造乳液的方法中在高压条件下制造具有均匀粒径的乳液的方法和通过这种乳液来制造具有均匀粒径的固体球状粒子的方法。 解决技术问题所采用的技术方案本发明的微通道结构体在至少一方具有构成流路的外部连通孔的一对框体之间层叠、夹持一层以上的具有缺口部的层，该缺口部构成含有微通道的流路，从而形成一根以上的微通道、将流体供给至上述微通道的流路和将流体从上述微通道排出的流路，其中，上述一根以上的微通道用于将两种以上的流体混合、将两种以上的流体混合并使其发生反应、或者使一种以上的流体发生反应，其特征是，上述框体的至少一方具有外部连通孔，该外部连通孔构成渗出流体排出用的流路，该渗出流体排出用的流路用于将渗出至层叠面之间的流体以不混入含有上述微通道的流路的方式回收并排出至外部，上述层具有缺口部，该缺口部构成渗出流体排出用的流路。另外，在本说明书中，“微通道”是指微细流路，是指形成流路截面的面的短边为0.01 Imm左右的流路。在本发明的微通道结构体中，如上所述，用于混合、反应的流路是微通道。其它流路，具体来说流体供给流路、排出混合物或反应物等流体的流路、渗出流体排出用流路只要能供流体流通即可，尺寸不受限制，即便不是微通道，也没有问题。在本说明书中，“流路”是作为包括微通道的概念而使用的。此外，在本发明的微通道结构体中，在一对框体间层叠、夹持一层上述层的情况下的层叠是指两个框体与该层的层叠。此外，“层叠面之间”中，即便是层叠多个层的情况下，也不仅是上述各个层的面之间的层叠面之间，还包括框体面与层的面之间的层叠面之间。此外，本发明提供一种使用上述本发明微通道结构体的乳液的制造方法。本发明提供一种使用通过上述本发明的制造方法得到的乳液来制造固体球状粒子的方法。发明效果若使用本发明的微通道结构体，能防止从层叠面之间渗出的流体混入混合物或反应物的流路，从而能进行具有高可靠性的运转。此外，特别是在以均匀乳化为目的的乳液的制造中，若使用本发明的微通道结构体，能得到在高压条件下具有均匀粒径的乳液，并进而能得到具有均匀粒径的固体球状粒子。


图I是构成本发明一实施方式的用于制造乳液的微通道结构体(层叠型微混合器)的各层的俯视图。图2是表示在本发明一实施方式的用于制造乳液的微通道结构体(层叠型微混合器)中流通的流体的流动的图。图3是本发明一实施方式的用于制造乳液的微通道结构体(层叠型微混合器)的剖视图。图4是本发明一实施方式的用于制造乳液的微通道结构体(层叠型微混合器)的外观图。图5是本发明一实施方式的用于制造乳液的微通道结构体(层叠型微混合器)的正面框体的俯视图。图6是构成不具有渗出流体流路的微通道结构体(层叠型微混合器)的各个层的俯视图。图7是不具有渗出流体流路的微通道结构体(层叠型微混合器)的剖视图。
具体实施例方式本发明的微通道结构体在至少一方具有构成流路的外部连通孔的一对框体之间层叠、夹持一层以上的具有缺口部的层，该缺口部构成含有微通道的流路，从而形成一根以上的微通道、将流体供给至上述微通道的流路和将流体从上述微通道排出的流路，其中，上述一根以上的微通道用于将两种以上的流体混合、将两种以上的流体混合并使其发生反应、或者使一种以上的流体发生反应，其特征是，为了防止在某一流路、例如原料流体供给流路中流通的流体经由层叠面之间移动至另一流路、例如上述之外的原料流体的供给流路或混合物、反应物所流通的流路，上述框体的至少一方具有外部连通孔，该外部连通孔构成渗出流体排出用的流路，该渗出流体排出用的流路用于将渗出至层叠面之间的流体以不混入含有上述微通道的流路的方式回收并排出至外部，上述层具有缺口部，该缺口部构成渗出流体排出用的流路。较为理想的是，使层叠面上的流体大概会移动到的部位的压力比欲防止泄漏的流路的压力低，并以不与上述多个流路交叉的方式形成上述渗出流体排出孔，使从层叠面之间渗出的流体经由该渗出流体排出孔排出至装置外部。本发明的微通道结构体理想的是具有如下结构，具体而言，在一对框体之间层叠、夹持包括构成流路的缺口部的层，该层是依次具有下述Y层、Z层或者下述Y层、Z层、Y’层的层，在上述框体的至少一方上设有用于供给流体的流体供给孔、用于排出混合物或反应物的混合物/反应物排出孔及渗出流体排出孔，从而将渗出至层叠面之间的流体以不混入含有上述微通道的流路的方式回收，并经由上述渗出流体排出孔排出至外部。Y层及Y’层两者均具有下述(b)，其中至少一层具有下述(a)和/或(C)， (a)第一缺口部，该第一缺口部与下述Z层所形成的微通道及第一流体供给孔连通，用于在上述微通道的上游侧将第一流体经由上述第一流体的流体供给孔供给至上述微通道，(b)第二缺口部，该第二缺口部与至少一个以上的第二流体的上述微通道及第二流体供给孔连通，用于将第二流体从第二流体的流体供给孔供给至上述微通道的处于第一缺口部下游侧的位置，(c)第三缺口部，该第三缺口部与上述混合物/反应物排出孔及上述微通道连通，用于将第一流体与第二流体的混合物或反应物排出至第二缺口部的下游侧；Z层具有缺口部，该缺口部在上述Y层及Y’层之间形成将上述第一流体与第二流体混合、或者将上述第一流体与第二流体混合并使其发生反应的微通道。较为理想的是，本发明的层叠型微混合器，在Y层和/或Y’层的不面向Z层一侧的面上还具有下述X层和/或下述X’层。X层及X’层X层与Y层的缺口部对应地，X’层与Y，层的缺口部对应地，两者均具有下述(e)及(f)，其中至少一层具有下述(d)和/或(g)，(d)第一缺口部，该第一缺口部构成第一流体流路，该第一流体流路与上述第一流体供给孔及上述Y层或Y’层所具有的第一缺口部连通，用于将上述第一流体从上述第一流体的流体供给孔供给至上述Y层或V层所具有的第一缺口部，(e)第二缺口部，该第二缺口部构成第二流体流路，该第二流体流路与至少一个以上的第二流体的流体供给孔及上述Y层或Y’层所具有的上述第二缺口部连通，用于将上述第二流体供给至第一缺口部的下游侧，(f)至少一个第四缺口部，该第四缺口部构成渗出流体流路，且与上述框体所具有的渗出流体排出孔连通，(g)第三缺口部，该第三缺口部构成上述混合物或反应物的流路，该混合物或反应物的流路与上述混合物/反应物排出孔及上述Y层或Y’层所具有的上述第三缺口部连通，用于将第一流体与第二流体的混合物或反应物排出。此外，较为理想的是，构成上述渗出流体排出用的流路的外部连通孔即上述渗出流体排出孔是沿着供给上述流体的流路的层叠面内的外周的至少一部分设置的，从而使渗出至层叠面之间的流体以不与微通道、流体供给流路、混合物/反应物排出流路等混合的方式回收并排出至外部。另外，具体而言，本发明的微通道结构体能用作在上述微通道中使两种以上的流体混合的层叠型微混合器、使两种以上的流体混合并发生反应或使一种以上的流体发生反应的层叠型微反应器等。在用作将两种以上的流体混合的层叠型微混合器的情况下，对于将作为对象的流体混合来说，并没有特别限定，但具体而言，列举通过将分散相和连续相作为供给流体而在装置内混合，来进行乳化以制造乳液等。此外，对于在使两种以上的流体混合并发生反应或使一种以上的流体发生反应的层叠型微反应器中进行的反应来说，并没有特别限定，但例如能列举催化剂反应、离子交换反应、电化学反应、自由基反应、超临界反应等各种反应。即便是在上述这些中，本发明的微通道结构体作为层叠型微混合器而可较为理想地用于制造乳液。而且，通过使用在后续处理中能固化的原料作为上述乳液的原料，可更好地用于制造均匀的固体球状粒子。
以下，关于本发明的实施方式，基于图I 图5对使用分散相作为第二流体并经过微孔压出至连续相(第一流体)中以进行均匀乳化(混合)的微通道结构体(层叠型微混合器)的一例进行说明。另外，在本发明中，是渗出至层叠面之间的流体能在到达微通道、流体供给流路、混合物/反应物排出流路等流路之前排出至外部的包括层叠型微混合器或层叠型微反应器等微通道结构体，因而，不限定于以下说明的作为实施方式的一例的制造乳液用微通道结构体(层叠型微混合器)。图I以俯视图的方式示出了构成本发明一实施方式的制造乳液用微通道结构体(层叠型微混合器)(以下称为“本发明第一实施方式的层叠型微混合器”)的各层结构。图2是表示在本发明第一实施方式的层叠型微混合器的各层中流通的流体的流动的图。图3是表示本发明第一实施方式的层叠型微混合器的结构的剖视图，图4是外观图。图5是本发明第一实施方式的层叠型微混合器的正面框体的俯视图。如上所述，由于本发明第一实施方式的微通道结构体被分类为混合两种以上的流体来制造乳液的层叠型微混合器，因此，以下，在对本发明第一实施方式的层叠型微混合器的说明中，将本发明的微通道结构体中的“混合物/反应物排出孔”表示为“混合物排出孔”或“乳液排出孔”，并将“混合物或反应物的流路”表示为“混合物流路”或“乳液排出孔”。
如图3及图4所示，第一实施方式的层叠型微混合器I中，在由正面框体W和背面框体W’构成的一对框体之间，从正面框体W侧朝向背面框体W’一侧依次层叠、夹持了 X层、Y层、z层。在正面框体w与背面框体r之间层叠、夹持各层的方法虽未图示，但在本发明中，可使用通常在制造层叠型微混合器或层叠型微反应器时所采用的层叠、夹持方法，而不受到特别限定。具体而言，例如列举在各个框体、层外缘的内侧设有多个固定用的螺孔并使用螺钉将各层层叠、夹持在两个框体之间的方法、从层叠体的两个面施加压力来将各层夹入两个框体的方法等。图3及图4中，“一”表示渗出流体5。在此，在本发明第一实施方式的层叠型微混合器I中，在正面框体W、背面框体W’及层叠在它们之间的各层即X层、Y层、Z层上分别设有构成供至少两种以上的流体流通的流路的孔。在图I 图5中，将第一流体(连续相)的流路表示为A，将第二流体(分散相)的流路表示为B，将混合第一流体与第二流体的微通道表示为C，将第一流体与第二流体的混合物(乳液)的流路表示为D，将从层叠面之间渗出的渗出液体的流路表示为E。首先，对层叠、夹持各层的正面框体W和背面框体W’进行说明。如图I及图3至图5所示，在本发明第一实施方式的层叠型微混合器I中，正面框体W具有如下结构在下面说明的Z层所形成微通道的上游侧设有第一流体即连续相的流体供给孔Aw，在第一流体(连续相)的流体供给孔Aw的下游侧设有第二流体即分散相的流体供给孔Bw，在该分散相的流体供给孔Bw的下游侧设有混合物即乳液的排出孔Dw，并且与X层相对地设有以围住分散相的流体供给孔Bw的三条边的方式形成的渗出流体排出孔Ew。另外，上述正面框体W具有的各孔与正面框体W的外部连通。连续相的流体供给孔Aw通过连续相(第一流体)供给口 11而与正面框体W的外部连通，分散相的流体供给孔Bw通过分散相(第二流体)供给口 12而与正面框体W的外部连通，乳液的排出孔Dw通过乳 液(混合物)排出口 13而与正面框体W的外部连通，此外，渗出流体排出孔Ew通过两处的外部连通口 14、15而与正面框体W的外部连通。在第一实施方式的层叠型微混合器I中，上述流体的供给口或排出口设置在正面框体W的侧面上，但也可以设置在位于与X层相对的面的相反一侧的面上。上述正面框体W的大小可根据想要使用层叠型微混合器得到的混合物(乳液)的种类、需要的微通道的长度、流路数、设置位置等来适当地调节。正面框体及以下的背面框体的材料是不与所使用的流体及混合物反应的材料，只要是具有能将上述各孔加工成所希望的形状的加工性，并具有能经受流体混合所需要的压力、温度等条件的耐热性、耐压性等机械强度的材料即可，没有特别限制。具体来说，可列举镍、SUS、硅等金属、玻璃、丙烯酸树脂、芳香族聚酯树脂、聚苯硫醚树脂、聚醚醚酮树脂、聚酰亚胺树脂、氟树脂等树脂材料等。在本发明第一实施方式的层叠型微混合器I中，背面框体W’的与Z层相对的面是平面，而不具有构成流路的外部连通孔。背面框体W’的大小能与上述正面框体W的大小相同。另外，在本发明第一实施方式的层叠型微混合器中，也可采用将与正面框体W、X层、Y层基本相同结构的背面框体r、X’层、Y’层关于Z层中心面对称配置的结构。
接着，基于图I 图3，对本发明第一实施方式的层叠型微混合器I中的层叠、夹持在上述正面框体W与背面框体W’之间的X层、Y层、Z层的各个层进行说明。在本发明第一实施方式的层叠型微混合器I中，设于上述正面框体W内侧的X层通常被设置成起到用于减少供给流体向层叠面之间的渗出的垫圈的作用。此外，在设有X’层的情况下，X’层同样也是以起到垫圈的作用为目的而设置的。为了得到本发明的微通道结构体中的必要结构，上述X层及X’并非是必要的结构要素，而是可根据需要设置的任意的结构要素。因此，在上述本发明第一实施方式的层叠型微混合器I中，Y层、Z层的层叠结构被层叠、夹持在上述正面框体W与背面框体W’之间，各层与框体被充分密闭，只要在不损害本发明效果的范围内，不具有X层的结构的层叠型微混合器也属于本发明的层叠型微混合器的范畴。不过，在本发明第一实施方式的层叠型微混合器I中，由于下面说明的Y层在结构上理想的是其材料由硬质的材料构成，因此，通常X层可用作用于使渗出流体减少的垫圈。X层只要是能实现作为垫圈的功能的材质即可，没有特别限制，但较为理想的是，垫子制的具有一定柔软性的材质，具体来说是硅酮树脂、氟树脂这样的软质树脂、或者由橡胶形成。在本发明第一实施方式的层叠型微混合器I中，如图I 图3所示，X层具有与正面框体W所具有的连续相的流体供给孔Aw及下面说明的Y层所具有的第一缺口部Ay连通的第一缺口部Ax，该第一缺口部Ax用于将连续相从正面框体W所具有的连续相的流体供给孔Aw供给至Y层所具有的第一缺口部Ay。较为理想的是，X层所具有的构成供连续相流通的流路的第一缺口部Ax与正面框体W所具有的连续相的流体供给孔Aw具有基本相同的大小。此外，X层具有与正面框体W所具有的分散相的流体供给孔Bw及下面说明的Y层所具有的第二缺口部By连通的第二缺口部Bx，该第二缺口部Bx用于将分散相从正面框体W所具有的分散相的流体供给孔Bw供给至Y层所具有的第二缺口部By。较为理想的是，X层所具有的构成供分散相流通的流路的第二缺口部Bx与正面框体W所具有的分散相的流体供给孔Bw具有基本相同的大小。X层具有与乳液的排出孔Dw及下面说明的Y层所具有的第三缺口部Dy连通的第三缺口部Dx，其中，上述乳液的排出孔Dw是正面框体W所具有的、用于将连续相与分散相的混合物(乳液)排出。
此外，X层具有与下面说明的Y层相对且与正面框体W所具有的渗出流体排出孔Ew连通的第四缺口部Ex。X层所具有的构成供渗出流体流通的流路的第四缺口部Ex与正面框体W所具有的渗出流体排出孔Ew基本对应，但在X层中，通过在上述第二缺口部Bx的上方和下方形成两个缺口部来构成供渗出流体流通的流路。虽然也可以将第四缺口部Ex形成为与正面框体W所具有的渗出流体排出孔Ew相同形状的-字形，但由于X层是由柔软的材质形成的且层的厚度也较薄，因此，出于操作上的考虑，理想的是将第四缺口部Ex分开设置，而不使其一体化。 X层的大小通常与正面框体W及背面框体W’相同。厚度只要是能起到垫圈作用的厚度即可，没有特别限定，较为理想的是0. 05mm 3mm左右，更理想的是0. I 0. 5mm。在本发明第一实施方式的层叠型微混合器I中，Y层是具有用于形成将第一流体即连续相及第二流体即分散相从正面框体W经由X层供给至微通道C的流路的下述缺口部和用于形成将在Z层形成的微通道中混合的混合物(乳液)经由X层排出至正面框体W的流路的缺口部的层，其中，上述微通道c是下面说明的z层在Y层与背面框体r之间形成的。在本发明第一实施方式的层叠型微混合器I中，为了形成乳液，供给分散相的缺口部是 由多个微孔构成的。具体而言，在本发明第一实施方式的层叠型微混合器I中，如图I 图3所示，Y层具有与X层所具有的第一缺口部Ax及下面说明的Z层形成的微通道C连通的第一缺口部Ay,该第一缺口部Ay用于将从正面框体W所具有的连续相的流体供给孔Aw经由X层所具有的第一缺口部Ax供给而来的连续相供给至Z层形成的微通道C的上游侧。此外，Y层具有与X层所具有的第二缺口部Bx及下面说明的Z层形成的微通道C连通的第二缺口部By，该第二缺口部By用于将从正面框体W所具有的分散相的流体供给孔Bw经由X层所具有的第二缺口部Bx供给而来的分散相供给至Z层形成的微通道C的比第一缺口部By更靠下游侧的位置。在层叠型微混合器I中，为了将分散相供给至微通道C，使Y层所具有的第二缺口部By与Z层在Y层和背面框体r之间形成的微通道C对应设置。S卩，由于微通道C也能如下所说明的那样形成为多个微通道，因此，与该微通道的数量相应地设置相同数量的Y层所具有的第二缺口部By。此外，形成将分散相供给至微通道C的流路的第二缺口部By在Y层上设置成多个微孔的集合体。已经经由设于Y层上游侧的用于供给连续相的第一缺口部Ay供给而来的连续相在微通道C中流通。通过将分散相经由Y层所具有的多个微孔的集合体即第二缺口部By供给至上述连续相中，从而形成分散相分散在连续相中的乳液。较为理想的是，如上所述，Y层所具有的第二缺口部By的数量与下面说明的微通道C的数量相同。微孔的大小、形状因所要制造的乳液的种类或粒径的不同而不同。乳液的粒径也因Z层的厚度、连续相及分散相的种类或供给速度、乳化剂浓度等的不同而不同。此外，也可以通过现有公知的方法，在分散相为亲水性流体时对微孔实施斥水化处理，在分散相为亲油性流体时对微孔实施亲水化处理。而且，也可以根据需要对构成层叠型微混合器的框体、各个层实施同样的处理。此外，Y层在上述第二缺口部By的下游侧具有用于将在上述微通道C中得到的乳液排出的第三缺口部Dy，该第三缺口部Dy经由X层所具有的第三缺口部Dx而与正面框体W所具有的乳液的排出孔Dw连通，并与微通道C连通。
关于构成Y层的材料，只要是能在以下厚度中形成上述微孔，并能经受以一定的压力以上压出分散相的材质即可，没有特别限制。具体来说，可使用不锈钢、镍、硅等金属、玻璃、丙烯酸树脂、芳香族聚酯树脂、聚苯硫醚树脂、聚醚醚酮树脂、聚酰亚胺树脂、氟树脂等树脂材料等，但使用硬质金属较为理想。此外，Y层的大小通常与正面框体W及背面框体W’相同。厚度只要是能将分散相从Y层所具有的微孔均匀地供给至微通道C的厚度即可，没有特别限制，但是为0. 005_ 5mm左右较为理想，0. 03mm 0. 5mm左右更为理想。在本发明第一实施方式的层叠型微混合器I中，Z层是具有用于在上述Y层与背面框体W’之间形成微通道C的缺口部的层。在本发明第一实施方式的层叠型微混合器I中，如图I 图3所示，使用Z层所具有的缺口部而使Z层在Y层与背面框体W’之间形成的微通道C的根数是八根，但根数没有特别限制，既可以是一根，也可以是多根。微通道C的形状没有特别限制，但为矩形形状较 为理想。在层叠型微混合器I中，将Z层的厚度即微通道的深度设为0. 01 Imm较为理想，设为0. 03 0. 5mm更为理想。Z层的大小能设定为与框体、除Z层之外的各个层的大小相同。另外，在本发明的微通道结构体中，可考虑所采用的混合或反应的种类、所使用的流体的种类、除热能力等后适当地选择微通道的单根大小、根数、形状等。对于构成Z层的材料，只要是在上述厚度中能形成上述微通道C，并能经受所使用的温度、压力、药剂的材质即可，没有特别限制。具体来说，使用不锈钢、镍、硅等金属、玻璃、聚苯硫醚树脂、聚醚醚酮树脂、聚酰亚胺树脂、氟树脂等树脂较为理想。在微通道C中，在所有的微通道的上游侧供给从正面框体W所具有的连续相的流体供给孔Aw而在X层所具有的第一缺口部Ax、Y层所具有的第一缺口部Ay (连续相流路A)中流通的连续相。利用通常的供给手段(未图示)，具体来说，利用泵、压送等方式来将连续相从正面框体W所具有的连续相的流体供给口 11向层叠型微混合器供给。供给的压力根据连续相的种类或目标物的物理特性等的不同而不同，但设定为大约0. 001 IMPa较为理想，设为0. 005 0. 5MPa更为理想。在微通道C中，将分散相从与供给连续相的缺口部Ay连接的连接部的下游侧供给至连续相中。分散相是从正面框体W所具有的分散相的流体供给孔Bw经由X层所具有的第二缺口部Bx、Y层所具有的第二缺口部By即多个微孔(分散相流路B)后从Y层侧被供给至在所有的微通道C中流动的连续相中的。在此，在本发明第一实施方式的层叠型微混合器中，如上所述，也可采用将与正面框体W、x层、Y层相同结构的背面框体r、X’层、Y’层关于Z层中心面对称配置的结构。在使用这种背面框体W’、x’层、Y’层的情况下，若使用在对应的正面框体W、X层、Y层所具有的构成要素的标记后标注了“’”的符号来对背面框体W’、X’层、Y’层所具有的结构要素进行说明，则分散相是从背面框体W’所具有的分散相的流体供给孔Bw’经由X’层所具有的第二缺口部Bx’、Y’层所具有的第二缺口部By’即多个微孔(分散相流路B)后从Y’层侧被供给至在所有微通道C中流动的连续相中的。这种情况下，分散相从Y层侧和V层侧这两侧被供给至微通道C中，因而，与仅从上述Y层侧(单侧)供给分散相的情况相比，能使微通道C中的分散相的浓度成为两倍。利用通常的供给手段(未图示)，具体来说，利用泵、压送等方式来将分散相从正面框体W所具有的分散相的流体供给口 12向层叠型微混合器供给。供给的压力根据分散相的种类或目标物的物理特性等的不同而不同，但设定为大约0. 001 IMPa较为理想，设为0. 005 0. 5MPa更为理想。通过在所有的微通道中如上所述地将分散相压出至连续相中，从而可在微通道C中形成乳液。在微通道C中制造出的乳液从Y层所具有的第三缺口部Dy经由X层所具有的第三缺口部Dx后在正面框体W所具有的乳液的排出孔Dw (乳液流路D)中流通，并从正面框体W的乳液排出口 13排出至层叠型微混合器外部。在本发明第一实施方式的层叠型微混合器I中，由于如上所述将作为分散相的流体供给至层叠型微混合器内，因此，除了在分散相流路B (正面框体W所具有的分散相的流体供给孔Bw与X层所具有的第二缺口部Bx、Y层所具有的第二缺口部By即多个微孔之间
的流路)内流动之外，还会像如图3所示的渗出流体5这样渗出至各层叠面之间，具体而言，渗出至X层-Y层、X层-正面框体W (在本实施方式中没有Z层-Y层之间，但根据流路配置方式的不同，也可以有Z层-Y层之间)的面之间。同样地，关于作为连续相的流体，也会在与上述相同的面之间渗出，但在连续相的渗出量相比于整体量而言较少时，除了乳液浓度之外不会带来很大的影响。在本发明第一实施方式的层叠型微混合器I中，其特征是，没有防止流体(此时是分散相或连续相)如上所述渗出至层叠面之间，而是通过设置与上述连续相流路A、分散相流路B及乳液流路D分开的渗出流体用的流路E，来防止所渗出的流体混入其它流路A、B、D0具体而言，在本发明第一实施方式的层叠型微混合器I中，如图I 图5所示，作为渗出流体用的流路E，使两个第四缺口部Ex形成在X层的形成了 X层所具有的分散相流路的第二缺口部Bx的上方和下方，并与这两个第四缺口部Ex连通且与正面框体W所具有的X层相对地在正面框体W上设有渗出流体排出孔Ew，该渗出流体排出孔Ew是以围住分散相的流体供给孔Bw的三条边的方式形成的，从而形成供渗出流体流通的流路E。另外，上述正面框体W所具有的渗出流体排出孔Ew通过两处的外部连通口 14、15而与正面框体W的外部连通。渗出流体流路E既可以通过释放大气将渗出的流体(在本实施方式中为分散相和连续相)自然地排出至层叠型微混合器I的外部，也可以通过使即便混入产品也不会发生问题的流体、例如连续相与搬运流体一起以处于低压状态的流量流动，具体来说通过泵等供给手段(未图示)来从外部连通口 14供给搬运流体并将其从外部连通口 15排出，从而主动地向外部排出。特别是在所使用的流体是容易固化的流体或粘度较高的流体的情况下，较为理想的是供给搬运流体而主动向外部排出。上述搬出流体是具有将渗出流体乳化或混合，与渗出流体相比使粘度降低的效果的流体。较为理想的是，搬出流体是与用于乳化的连续相相同种类的流体。较为理想的是，渗出流体流路的截面积为微通道的截面积以上，更理想的是Imm2以上。在本发明第一实施方式的层叠型微混合器中，还可以根据需要，以均匀且稳定地将分散相供给至微通道等为目的，而在X层与正面框体W之间加入例如具有构成上述连续相流路、分散相流路、乳液流路、渗出流体流路的缺口部的层。此外，如上所述，根据各流路的配置方式的不同，有分散相、连续相等流体渗出的层叠面之间是不同的，为了相应地回收渗出流体并排出至外部，也可以在上述Y层、Z层、Y’层上也设置构成渗出流体流路的缺口部。此外，也可以形成为将这些层叠单元进一步层叠的形式的层叠型微混合器，此时，也可以在Z层上进一步设有构成分散相流路、连续相流路的缺口部。为了进行比较，基于图6及图7对具有与上述本发明第一实施方式的层叠型微混合器I相同的层叠结构、但不具有渗出流体流路E的微通道结构体(层叠型微混合器)进行说明。图6是构成不具有渗出流体流路的微通道结构体(层叠型微混合器)的各个层的俯视图。图7是不具有渗出流体流路的微通道结构体(层叠型微混合器)的剖视图。如图6所示，在上述层叠型微混合器中，Z层、Y层的结构与本发明第一实施方式的层叠型微混合器I相同，但除了正面框体W不具有渗出流体排出孔Ew、X层不具有第四缺口部Ex之外，均与本发明第一实施方式的层叠型微混合器I相同。如图7所示，由从分散相流路B渗出的分散相构成的渗出流体5经由层叠面之间 到达连续相流路A或乳液流路D，并在乳液流路D中形成直径比经由微孔产生的液滴直径大的液滴7。也就是说，无论是否是以均匀乳化为目的的层叠型微混合器(装置)，均经由层叠面之间生成不均匀的液滴。此外，由于在连续相流路A中生成的较大的液滴7会停留在微通道C的入口或在微通道C中流动，因此，导致供给连续相的压力上升或流量降低。被供给至层叠型微混合器的流体、特别是分散相的压力越高，这种趋势就越显著。特别是，在为了制造微细的乳液而穿设小孔、减小微通道的截面积的情况下，或是在为了提高生产率而增大流量的情况下，抑或是在增长微通道的长度的情况下，压力会变高。在利用上述微孔来将分散相压出至连续相中的结构的层叠型微混合器的情况下，若考虑了使用图6及图7说明的分散相渗出至层叠面之间的问题，则只能通过将分散相从与供给连续相的面一侧不同的一侧的面压出来进行乳化，从而存在不能提高乳液浓度这样的技术问题。但是，在利用本发明的微通道结构体即层叠型微混合器的情况下，由于通过专用的渗出流体流路E来回收渗出至层叠面之间的分散相(渗出流体)，以防止其混入其它流路，特别是混入乳液流路，因此，能将分散相从两个面压出至微通道来进行乳化，从而能使乳液浓度比以往大约提高到两倍。另外，所能实现的乳液浓度因所使用的分散相、连续相的种类、作为对象的乳液的粒径或粒度分布的不同而有很大的不同。在本发明的微通道结构体中，通过将上述层叠结构进一步反复层叠，就能形成具有多层带有微通道的层的微通道结构体。在本发明的微通道结构体中，根据上述第一实施方式，列举通过将分散相和连续相作为供给流体而使其在装置内混合来进行乳化，以制造乳液的层叠型微混合器为例来进行了说明，但本发明的微通道结构体也可以应用于层叠型反应器，该层叠型反应器是使已在装置外混合后的反应原料(一种液体)在装置内流通，并在到达反应条件后使其在装置内发生反应的装置、或是通过使多种流体在装置内混合来发生化学反应并得到化学反应生成物粗液等的装置，并不限定于上述第一实施方式。本发明的微通道结构体能有利地用于制造乳液。因此，本发明提供了使用上述本发明微通道结构体的乳液的制造方法。具体而言，本发明的乳液的制造方法与对上述微通道结构体供给流体的供给方法等中说明的一样。本发明的微通道结构体能理想地应用于制造均匀粒径的球状粒子。可选择硅酸锂、硅酸钠等金属氧化物前体水溶液、或是硅溶胶、氧化铝溶胶、抑或是丙烯酸单体这样的可发生聚合反应的有机物作为分散相，并可选择不与上述分散相混合的液体作为连续相，在分散相和连续相中的至少任意一方中加入用于形成乳液的乳化剂，对通过本发明的微通道结构体乳化得到的乳液进行凝胶化、聚合等分散相固化处理，从而能得到均匀粒径的球状粒子。在这种情况下，可列举I 500 来作为所得到的乳液的优选粒径，更理想的是I 100 u m0若使用本发明的微通道结构体，即便是以供给液体、特别是分散相的压力在装置内部处于0. 03MPa以上这样高的状态作为运转条件，也可以进行均匀地乳化，因而，本发明的制造方法可理想地使用在要求上述条件的乳液的制造中。另外，在本发明的乳液的制造方法中，可根据所制造的乳液、其中所使用的连续相、分散相来适当选择、调节本发明微通道结构体的其它运转条件等，例如供给液体的供给速度、微通道中的线速度等。根据使用本发明的微通道结构体的本发明的乳液的制造方法，利用本发明的微通道结构体所具有的上述特性，就能以均匀的粒径来制造粒径为I 500 y m这样的微小的乳液，其中，上述特性具体是即便在流体的供给压力处于高压的运转条件下进行乳化，也能在层叠面之间渗出的流体不混入其它流路的情况下制造乳液这样的特性等。此外，本发明提供一种使用通过上述本发明的乳液的制造方法得到的乳液来制造固体球状粒子的方法。具体而言，从上述得到的乳液中通过用现有公知的方法取出粒子并干燥等，就能形成具有均匀粒径的固体球状粒子。另外，在这种情况下，较为理想的是使用能在后续处理中固化的原料来作为用于制造上述乳液的原料。作为固体球状粒子，较为理想的是，可列举以上述硅酸钠、硅溶胶及氧化铝溶胶为固体球状粒子的二氧化硅粒子、氧化铝粒子等。可列举I 500 来作为所得到的固体球状粒子的优选粒径，更理想的是I 100 u m0实施例以下，对本发明的实施例进行本发明，但本发明不受该实施例的任何限定。[实施例I](I)分散相(硅酸钠水溶液)及连续相的调配将3号硅酸钠(旭硝子硅素技术株式会社(日文A G C 二 ^ 7 夕社)制)稀释在水中，来调配出SiO2浓度为24. 4质量％、Na2O浓度为8. 14质量％ (Si02/Na20的摩尔比=3. 09)、比重为I. 345的娃酸钠水溶液来作为分散相。调配将I质量％的作为表面活性剂的山梨糖醇酐单油酸酯溶解在直链饱和碳化氢正壬烷(C9H2(I)、比重为0. 718中得到的物质来作为连续相。(2)微通道结构体(层叠型微混合器)的制造将各流路、各层形成为如下所示的形状及材质。流路A :连续相的流路流路B :分散相的流路流路C :在层叠后，加工成排列并配置10根3. Omm (宽度)X0. 05mm (Z层厚度)X22mm (长度)(Z层的缺口部的大小3. OmmX30mm)的微通道流路D :分散相在连续相中乳化的乳液的流路流路E :是用于将在各个面之间渗出的分散相及连续相排出至外部的渗出流体流路，宽度为I. 5mm。在Xl层中贯穿，在框体中形成宽度为I. 5mm、深度为I. 5mm且与微混合器外部连续的流路。Xl层通过下述大小的冲裁加工加工出IOOmmX 130mm大小、200 iim厚度的ETFE膜(旭硝子公司制AFLEX-200N (商品名))。在从上边算起20mm的位置处形成构成连续相流路A的第一缺口部IOmmX60mm,在第一缺口部下方8mm处形成构成分散相流路的第二缺口部14mmX60mm,在第二缺口部下方8mm处形成构成乳液的流路D的第三缺口部10mmX60mm,在上述第二缺口部的上下两个部位即从第二缺口部的上边算起3. 2mm和从下边算起3. 2mm的位置处分别形成构成渗出流体流路E的第四缺口部I. 5_X80mm。Yl层通过蚀刻法在厚度为0. 05mm的SUS304上加工出流路，并通过使用受激准分子激光器的加工，从单面侧观察时所看到的孔的直径为3. Oym的孔以30 的间距，而在一个微通道加工出横84个X竖336个=合计28224个孔，来作为形成分散相流路的第、二缺口部。在为层叠结构的情况下，配置成来到微通道的中央部。而且，为了使表面具有斥水性，用溶剂可溶性氟树脂(旭硝子公司制CYT0P CTL-102AE (商品名))来对表面进行涂覆。除此之外，形成构成连续相流路A的第一缺口部IOmmX 60mm,并形成构成乳液流路D的第三缺口部10_X60mm。Zl层在通过蚀刻法在厚度为0. 05mm的SUS304上加工出构成流路、微通道C的缺口部之后，为了使表面具有斥水性，用溶剂可溶性氟树脂(旭硝子公司制CYT0P CTL-102AE(商品名)对表面进行涂覆。构成微通道C的缺口部的大小、根数如上所述。在具有用于供给及排出各流体的口的框体上与Yl层重叠的情况下，是从流路A重叠在流路D两方这样的配置。因此，本装置的微通道是宽度3. 0_X 50 y m的矩形流路，其长度为从流路A下端到流路D上端的22mm。表面也与Yl层一样实施了斥水处理。正面框体(Wl):使用厚度为20mm的丙烯酸板作为材料，流路E部分通过切削加工来制造出I. 5mm宽度、I. 5mm的槽。对于流路A、流路D、流路C的部分，以大小与Xl层相同、深度为IOmm的方式进行切削加工。另外，框体的各流路设有用于从外部供给流体或向外部排出流体的外部连通口。背面框体(W2):使用厚度为20mm的丙烯酸板直接作为背面框体(W2)。〈层叠单元的组装〉用螺栓将以正面框体Wl-Xl层-Yl层-Zl层-背面框体W2的顺序层叠后的装置均匀地旋紧。〈乳化〉用定量泵以226ml/hr的速率将在上述(I)中得到的硅酸钠水溶液作为分散相供给至流路B。这相当于每一个微孔为0. 8 ii L/hr。以2. 18/hr的速率将溶解有上述山梨糖醇酐单油酸酯的直链饱和碳化氢正壬烷作为连接相供给至流路A中。这相当于每一流路为218ml/hr，微通道上的线速度相当于40cm/so对于流路E，使用IOOml的量筒来使与连续相同样调配好的液体循环，并用与供给连续相的泵不同的泵以lOOml/hr以下的速率供给，而不与流路A、B、D混合。这是为了不使经由流路E排出的硅酸钠水溶液再次供给至层叠单元内的缘故，并用泵从量筒上部吸入，并排出至量筒下部。
运转时的压力是分散相为0. 13MPa、连续相为0. IMPa、渗出流体流路为小于0. OlMPa0〈评价方法〉采集如上所述制成的乳液，边搅拌边供给15分钟的碳酸气体，以使二氧化硅粒子析出。而且，在加水而与连续相分离后，添加IOml的20质量％的硫酸，在除去CO2之后，经水洗、干燥，便得到二氧化硅的球状粒子。用贝克曼库尔特公司制的库尔特计数器，并使用开设有100 的孔的孔眼软管，来测定粒径。另外，在本测定方法中，若存在至少IOOym以上的粒子的话，则会堵塞孔眼软管，而变得无法测定。〈结果〉 通过体积换算粒径，可得到50%粒径(以下称为D50)为9. 2 u m、D10/D90为I. 4这样的具有均质粒径的二氧化硅粒子。另外，在运转90小时之后，从流路E排出的分散相即硅酸钠水溶液为0. 4ml，连续相的排出量为5ml。(参考例I:模拟试验)将实施例I的Yl层替换为完全没有开设微孔的Y2层来使用，并通过IL的烧杯来循环供给连续相，以确认相当于分散相的硅酸钠水溶液是否混入连续相中。另外，在硅酸钠水溶液即分散相中使用氮气气体来施加0. 3MPa的背压。在经过100小时之后，观察使连续相循环的IL的烧杯底部。在硅酸钠水溶液经由微通道泄漏至循环的连续相的情况下，应该会在底部看到沉降的乳液，但烧杯底部与运转初期一样，维持透明的状态。这就意味着从各个层之间没有漏出硅酸钠水溶液。另一方面，在供渗出流体循环的量筒中确认有大约I. Oml左右的硅酸氢钠的乳液。(比较例I)在实施例I中，除了改变为没有Xl层的E流路的X2层之外，与实施例I同样地进行运转、评价。所得到的二氧化硅粒子会因堵塞孔眼的孔而无法测定粒径。这便意味着存在大于孔眼的推荐粒径的粒子，实际上在测定器附带的观察画面中，也确认了在孔部分有较大的粒子堵塞。(比较例2)除了改变为没有Xl层的E流路的X2层之外，与参考例I同样地进行运转。也就是说，是在框体中取出线以连通的状态存在的状态。其结果是，在开始运转I天之后，在烧杯底部发现有少量的乳液，可知分散相已混入D流路中。可以想到这是经过层叠面之间的X2层-Y2层渗出的。工业上的可利用性通过使用本发明的微通道结构体，能实现对流体从层叠面之间的渗出具有高可靠性的运转。此外，尤其是通过将本发明的微通道结构体用在以均匀乳化为目的的层叠型微混合器中，还能得到均匀粒径的乳液及固体球状粒子。另外，在此引用2009年11月12日提出申请的日本专利申请2009 — 258570号的说明书、权利要求书、附图及摘要的全部内容，以作为本发明的说明书的公开内容加以引入。(符号说明)W正面框体W’背面框体XX 层YY 层ZZ 层Aw、Ax、Ay第一流体(连续相)流路
Bw> Bx、By第二流体(分散相)流路C微通道Dw, Dx, Dy混合物(乳液)流路Ew、Ex渗出流体流路I微通道结构体(层叠型微混合器)2第一流体(连续相)流路中的第一流体(连续相)的流动3第二流体(分散相)流路中的第二流体(分散相)的流动4混合物流路中的混合物(乳液)的流动5渗出流体6搬运流体的流动7由渗出流体形成的液滴11第一流体(连续相)供给口
12第二流体(分散相)供给口13混合物排出口14搬运流体供给口15搬运流体排出口
权利要求
1.一种微通道结构体， 在至少一方具有构成流路的外部连通孔的一对框体之间层叠、夹持一层以上的具有缺口部的层，该缺口部构成含有微通道的流路， 从而形成一根以上的微通道、将流体供给至所述微通道的流路和将流体从所述微通道排出的流路，其中，所述一根以上的微通道用于将两种以上的流体混合、将两种以上的流体混合并使其发生反应、或者使一种以上的流体发生反应， 其特征在于， 所述框体的至少一方具有外部连通孔，该外部连通孔构成渗出流体排出用的流路，该渗出流体排出用的流路用于将渗出至层叠面之间的流体以不混入含有所述微通道的流路的方式回收并排出至外部，所述层具有缺口部，该缺口部构成渗出流体排出用的流路。
2.如权利要求I所述的微通道结构体，其特征在于，在一对框体之间层叠、夹持包括构成流路的缺口部的层，该层是依次具有下述Y层、Z层或者下述Y层、Z层、Y’层的层，在所述框体的至少一方上设有用于供给流体的流体供给孔、用于排出混合物或反应物的混合物/反应物排出孔及渗出流体排出孔，从而将渗出至层叠面之间的流体以不混入含有所述微通道的流路的方式回收，并经由所述渗出流体排出孔排出至外部， Y层及Y’层两者均具有下述(b)，其中至少一层具有下述(a)和/或(C)， (a)第一缺口部，该第一缺口部与下述Z层所形成的微通道及第一流体供给孔连通，用于在所述微通道的上游侧将第一流体经由所述第一流体的流体供给孔供给至所述微通道， (b)第二缺口部，该第二缺口部与至少一个以上的第二流体的所述微通道及第二流体供给孔连通，用于将第二流体从第二流体的流体供给孔供给至所述微通道的处于第一缺口部下游侧的位置， (c )第三缺口部，该第三缺口部与所述混合物/反应物排出孔及所述微通道连通，用于将第一流体与第二流体的混合物或反应物排出至第二缺口部的下游侧； Z层具有缺口部，该缺口部在所述Y层及Y’层之间形成将所述第一流体与第二流体混合、或者将所述第一流体与第二流体混合并使其发生反应的微通道。
3.如权利要求2所述的微通道结构体，在Y层和/或Y’层的不面向Z层一侧的面上还具有下述X层和/或下述X’层， X层及X’层x层与Y层的缺口部对应地，V层与Y’层的缺口部对应地，两者均具有下述(e)及(f)，其中至少一层具有下述(d)和/或(g)， (d)第一缺口部,该第一缺口部构成第一流体流路,该第一流体流路与所述第一流体供给孔及所述Y层或Y’层所具有的第一缺口部连通，用于将所述第一流体从所述第一流体的流体供给孔供给至所述Y层或Y’层所具有的第一缺口部， (e)第二缺口部，该第二缺口部构成第二流体流路，该第二流体流路与至少一个以上的第二流体的流体供给孔及所述Y层或Y’层所具有的所述第二缺口部连通，用于将所述第二流体供给至第一缺口部的下游侧， (f)至少一个第四缺口部，该第四缺口部构成渗出流体流路，且与所述框体所具有的渗出流体排出孔连通， (g)第三缺口部，该第三缺口部构成所述混合物或反应物的流路，该混合物或反应物的流路与所述混合物/反应物排出孔及所述Y层或Y’层所具有的所述第三缺口部连通，用于将第一流体与第二流体的混合物或反应物排出。
4.如权利要求I至3中任一项所述的微通道结构体，其特征在于，渗出流体排出孔是沿着供给所述流体的流路的层叠面内的外周的至少一部分设置的，其中，所述渗出流体排出孔是构成所述渗出流体排出用的流路的外部连通孔。
5.如权利要求I至4中任一项所述的微通道结构体，其特征在于，通过所述混合而得到的混合物是乳液。
6.如权利要求5所述的微通道结构体，其特征在于，供给来的所述第一流体是连续相，第二流体是分散相，所得到的混合物是乳液，所述Y层及Y’层所具有的所述第二缺口部由多个微孔构成，在所述Z层的微通道中，通过将分散相经由所述微孔压出，从而将该分散相供给至连续相中来使该分散相乳化，其中，所述连续相是经由所述Y层和/或Y’层所具有的第一缺口部供给而来的。
7.如权利要求6所述的微通道结构体，其特征在于，所述Z层所具有的微通道由多个矩形微通道构成，由所述Y层及所述Y’层所具有的多个微孔构成的第二缺口部被设置成各自的宽度分别与各个所述微通道的宽度相对应。
8.如权利要求I至7中任一项所述的微通道结构体，其特征在于，所述框体所具有的渗出流体排出孔包括多个与外部连通的排出口，并且所述微通道结构体具有将搬运流体从至少一个排出口导入所述渗出流体排出孔、使其在所述渗出流体排出孔内流通并从其余的排出口排出至外部的元件，藉此使所述渗出流体混入所述搬运流体并主动地排出至外部。
9.如权利要求6至8中任一项所述的微通道结构体，其特征在于，所述分散相是硅酸盐水溶液。
10.如权利要求I至9中任一项所述的微通道结构体，其特征在于，在使在流体供给流路中流动的流体的最大压力达到O. 03MPa以上的条件下进行运转。
11.一种乳液的制造方法，其特征在于，使用权利要求5至10中任一项所述的微通道结构体。
12.如权利要求11所述的乳液的制造方法，其特征在于，所述乳液的粒径是I 5 00 μ m0
13.—种制造固体球状粒子的方法，其特征在于，使用通过权利要求11或12记载的制造方法得到的乳液。
全文摘要
提供一种微通道结构体，能防止供给流体经由层叠面之间而渗出至混合物或反应物的流路。此外，提供一种使用微通道结构体来在高压条件下制造具有均匀粒径的乳液的方法。所述微通道结构体在具有构成流路的外部连通孔的一对框体之间层叠、夹持一层以上的具有构成流路的缺口部的层，从而形成用于使流体混合、发生反应的微通道，将流体供给至微通道的流路和将流体从微通道排出的流路，所述微通道结构体具有渗出流体排出用的流路，该渗出流体排出用的流路用于将渗出至层叠面之间的流体以不混入含有微通道的流路的方式回收并排出至外部。
文档编号G01N37/00GK102686309SQ201080051280
公开日2012年9月19日 申请日期2010年11月12日 优先权日2009年11月12日
发明者片山肇 申请人:旭硝子株式会社, 旭硝子硅素技术株式会社