专利名称：晶圆测试机构及其探针结合座的制作方法
技术领域：
本实用新型是有关于一种晶圆测试机构，特别是有关于一种操作简便的晶圆测试机构。
背景技术：
现有习知晶圆电性测试采用探针卡(Probe Card)进行电性测试，但由于探针卡针对单一晶圆产品进行线路设计且探针卡上具有多个探针，因此不同的晶圆必须更换不同的探针卡，且使用前必须先训练操作人员如何操作及维修，若探针卡上的单一探针损坏时，更换单一探针的过程复杂甚至必须更换整个探针卡，因此探针卡具有单一性高且制作成本高的缺点，进而使得生产时间及生产成本提高。由此可见，上述现有的晶圆电性测试在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷， 而亟待加以进一步改进。因此如何能创设一种新型结构的晶圆测试机构及其探针结合座， 亦成为当前业界极需改进的目标。有鉴于上述现有的晶圆电性测试存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的晶圆测试机构及其探针结合座，能够改进一般现有的晶圆电性测试，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本实用新型。
发明内容本实用新型的目的在于，克服现有的晶圆电性测试存在的缺陷，而提供一种新型结构的晶圆测试机构及其探针结合座，所要解决的技术问题是使其该晶圆测试机构可随不同的晶圆简易变换量测位置而不需另外购置新的探针卡，且上述探针结合座的操作便利， 此外，若该探针损坏，仅置换损坏的该探针即可，不需更换整组上述探针结合座，因此具有维修方便、使用寿命长及节省成本的功效。本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现的。依据本实用新型提出的一种晶圆测试机构，其中包含一载台，其具有一上表面、一下表面及一贯穿该上表面与该下表面的通孔；多个基座，其设置于该载台的该上表面；多个探针结合座，各上述探针结合座包含一第一结合块，其具有一第一表面、一第二表面、二第一侧面及多个高度调整孔，上述基座结合于该第一表面，上述高度调整孔贯穿该第一表面及该第二表面； 一调整板，其具有一外表面、一内表面、二第二侧面及多个贯穿该外表面与该内表面的结合槽，该调整板的该内表面朝向该第一结合块的该第二表面且该调整板设置于该第二表面并容设于该载台的该通孔，上述结合槽对应于上述高度调整孔；一第二结合块，其设置于该调整板的该外表面，该第二结合块具有一第一结合部、一连接该第一结合部的悬臂及一位于该悬臂的第一结合孔；一可导电的探针结合块，其具有一第二结合部、一探针夹设部及一位于该第二结合部的第二结合孔，该第二结合部可活动地枢接于该第二结合块的该悬臂，且该第二结合孔连通该第一结合孔，该探针夹设部具有一夹针槽；多个高度定位组件，各该高度定位组件具有一第一高度定位组件及一第二高度定位组件，该第一高度定位组件穿设于上述结合槽及上述高度调整孔，该第二高度定位组件穿设于该结合槽且该第二高度定位组件结合于该第一高度定位组件；及一轴杆，其穿设于该第一结合孔及该第二结合孔；以及多个探针，其设置于该探针夹设部的该夹针槽。本实用新型的目的以及解决其技术问题还可以采用以下的技术措施来进一步实现。前述的晶圆测试机构，其中所述的各该探针结合座另包含有二支撑组件，各该支撑组件具有一第一支撑件、一第二支撑件及一弹性组件，该第一支撑件设置于该第一侧面， 该第二支撑件设置于该第二侧面，该弹性组件连接该第一支撑件及该第二支撑件。前述的晶圆测试机构，其中所述的该第一结合块另具有一凹设于该第二表面的滑槽，该调整板另具有一凸设于该内表面的凸肋，该凸肋可移动地容设于该滑槽内。前述的晶圆测试机构，其中所述的该调整板具有一凹设于该外表面的第一导线槽，该第二结合块具有一第二导线槽，该第一导线槽连通该第二导线槽。前述的晶圆测试机构，其中所述的该调整板另具有二第一限位件，上述第一限位件设置于该调整板的该外表面且邻近该第一导线槽。前述的晶圆测试机构，其中所述的各该探针结合座另包含有二第一固定件，该第一结合块另具有二凹设于该滑槽的第一固定孔，上述基座具有二第二固定孔，上述第一固定件穿设于上述第一固定孔及上述第二固定孔。前述的晶圆测试机构，其中所述的各该探针结合座系另包含有二第二固定件，该调整板另具有二贯穿该内表面及该外表面的第一固接孔，该第二结合块另具有二连接该第一结合部的侧翼及二贯穿该侧翼的第二固接孔，上述第二固定件穿设于上述第一固接孔及上述第二固接孔。前述的晶圆测试机构，其中所述的该第二结合块另具有一第二限位件，该第二限位件设置于该第二结合块的该第一结合部且邻近于该第二导线槽。前述的晶圆测试机构，其中所述的该调整板另具有一环状凸起，该结合槽内具有一内侧壁，该环状凸起位于该结合槽的该内侧壁且该第一高度定位组件抵接于该环状凸起。本实用新型的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本实用新型提出的一种探针结合座，其中包含一第一结合块，其具有一第一表面、一第二表面、二第一侧面及多个高度调整孔，上述基座结合于该第一表面，上述高度调整孔贯穿该第一表面及该第二表面；一调整板，其具有一外表面、一内表面、二第二侧面及多个贯穿该外表面与该内表面的结合槽，该调整板的该内表面朝向该第一结合块的该第二表面且该调整板设置于该第二表面并容设于该载台的该通孔，上述结合槽对应于上述高度调整孔；一第二结合块，其设置于该调整板的该外表面，该第二结合块具有一第一结合部、一连接该第一结合部的悬臂及一位于该悬臂的第一结合孔；一可导电的探针结合块，其具有一第二结合部、一探针夹设部及一位于该第二结合部的第二结合孔，该第二结合部可活动地枢接于该第二结合块的该悬臂，且该第二结合孔连通该第一结合孔，该探针夹设部具有一夹针槽；多个高度定位组件，各该高度定位组件具有一第一高度定位组件及一第二高度定位组件，该第一高度定位组件穿设于上述结合槽及上述高度调整孔，该第二高度定位组件穿设于该结合槽且该第二高度定位组件结合于该第一高度定位组件；以及一轴杆，其穿设于该第一结合孔及该第一结合孑Lo本实用新型与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上技术内容可知， 为达到上述目的，本实用新型提供了一种晶圆测试机构包含一载台、多个基座、多个探针结合座以及多个探针，该载台具有一上表面、一下表面及一贯穿该上表面与该下表面的通孔， 上述基座设置于该载台的该上表面，上述探针结合座包含一第一结合块、一调整板、一第二结合块、一可导电的探针结合块、多个高度定位组件及一轴杆，该第一结合块具有一第一表面、一第二表面、二第一侧面及多个高度调整孔，上述基座结合于该第一表面，上述高度调整孔贯穿该第一表面及该第二表面，该调整板具有一外表面、一内表面、二第二侧面及多个贯穿该外表面与该内表面的结合槽，该调整板的该内表面朝向该第一结合块的该第二表面且该调整板设置于该第二表面并容设于该载台的该通孔，上述结合槽对应于上述高度调整孔，该第二结合块设置于该调整板的该外表面，该第二结合块具有一第一结合部、一连接该第一结合部的悬臂及一位于该悬臂的第一结合孔，该可导电的探针结合块具有一第二结合部、一探针夹设部及一位于该第二结合部的第二结合孔，该第二结合部可活动地枢接于该第二结合块的该悬臂，且该第二结合孔连通该第一结合孔，该探针夹设部具有一夹针槽， 各该高度定位组件具有一第一高度定位组件及一第二高度定位组件，该第一高度定位组件穿设于上述结合槽及上述高度调整孔，该第二高度定位组件穿设于该结合槽且该第二高度定位组件结合于该第一高度定位组件，该轴杆穿设于该第一结合孔及该第二结合孔，该探针设置于该探针夹设部的该夹针槽。由于上述探针结合座的该可导电探针结合块活动地枢设于该第二结合块的该悬臂借由上述技术方案，本实用新型晶圆测试机构及其探针结合座至少具有下列优点及有益效果由于上述探针结合座的该可导电的探针结合块活动地枢设于该第二结合块的该悬臂，因此该晶圆测试机构可随不同的晶圆简易变换量测位置而不需另外购置新的探针卡，且上述探针结合座的操作便利，此外，若该探针损坏，仅置换损坏的该探针即可，不需更换整组上述探针结合座，因此具有维修方便、使用寿命长及节省成本的功效。上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

图1依据本实用新型的一较佳实施例，一种晶圆测试机构的立体图。图2依据本实用新型的一较佳实施例，一种探针结合座的立体分解图。图3依据本实用新型的一较佳实施例，上述探针结合座与基座结合的立体图。图4依据本实用新型的一较佳实施例，上述探针结合座与基座结合的剖视图。图5依据本实用新型的一较佳实施例，上述探针结合座与基座结合的另一剖视图。100:晶圆测试机构110:载台111 上表面[0027]112:下表面120 基座130 探针结合座131a 第一表面131c:第一侧面13Ie 滑槽132 调整板132b:内表面132d:结合槽132f 第一固接孔132h:内侧壁132j 第一限位件133 第二结合块133b 悬臂133d:侧翼133f 第二导线槽134:可导电的探针结合块134a 第二结合部 134b134c 第二结合孔 IMd134e 夹针槽134f134g 第三限位件135 高度定位组件135a 第一高度定位组件135b 第二高度定位组件136:轴杆138 第二固定件139a 第一支撑件139c 弹性组件140 探针
113 通孔 121 第二固定孔 131 第一结合块 131b 第二表面 131d 高度调整孔 131f 第一固定孔 132a 外表面 132c 第二侧面 132e 凸肋 132g 环状凸起 132 第一导线槽
133a第--结合部133c第--结合孔133eA-Ap — 弟—二固接孔133gA-Ap — : 一二限位件
探针夹设部 探针固定件 第三导线槽
137 第一固定件 139 支撑组件 139b 第二支撑件
具体实施方式
为更进一步阐述本实用新型为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，
以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的晶圆测试机构及其探针结合座其具体实施方式
、结构、特征及其功效，详细说明如后。请参阅图1及图2，其是本实用新型的一较佳实施例，一种晶圆测试机构100包含一载台110、多个基座120、多个探针结合座130以及多个探针140，该载台110具有一上表面111、一下表面112及一贯穿该上表面111与该下表面112的通孔113，上述基座120设置于该载台110的该上表面111，请参阅图2及图3，各上述探针结合座130包含有一第一结合块131、一调整板132、一第二结合块133、一可导电的探针结合块134、多个高度定位组件135、一轴杆136、二第一固定件137及二第二固定件138，在本实施例中，该调整板132、 该第一结合块131与该第二结合块133为不导电材质，该第一结合块131具有一第一表面 131a、一第二表面131b、二第一侧面131c及多个高度调整孔131d，上述基座120结合于该第一表面131a，上述高度调整孔131d贯穿该第一表面131a及该第二表面131b，该调整板 132具有一外表面13 、一内表面132b、二第二侧面132c及多个贯穿该外表面13 与该内表面132b的结合槽132d，该调整板132的该内表面132b朝向该第一结合块131的该第二表面131b且该调整板132设置于该第二表面131b并容设于该载台110的该通孔113，上述结合槽132d对应于上述高度调整孔131d。较佳地，请参阅图3及图4，在本实施例中，该第一结合块131另具有一凹设于该第二表面131b的滑槽131e及二凹设于该滑槽131e的第一固定孔131f，该调整板132另具有一凸设于该内表面13 的凸肋13 ，该凸肋13 可移动地容设于该滑槽131e内以防止该调整板132调整设置于该第一结合块131的高度时产生偏移或倾斜的情形，上述基座 120具有二第二固定孔121，上述探针结合座130的上述第一固定件137穿设于上述第一固定孔131f及上述第二固定孔121以固定该第一结合块131与上述基座120。此外，上述探针结合座130另包含有二支撑组件139，各该支撑组件139具有一第一支撑件139a、一第二支撑件139b及一弹性组件139c，该第一支撑件139a设置于该第一结合块131的该第一侧面131c，该第二支撑件139b设置于该调整板132的该第二侧面132c，该弹性组件139c连接该第一支撑件139a及该第二支撑件139b，当该调整板132要调整设置于该第一结合块 131的高度时，该弹性组件139c连接设置于该第一结合块131的该第一侧面131c的该第一支撑件139a及设置于该调整板132的该第二侧面132c的该第二支撑件139b，以防止该调整板132掉落。请再参阅图2及图3，该第二结合块133设置于该调整板132的该外表面132a，该调整板132另具有二贯穿该内表面132b及该外表面13 的第一固接孔132f，该第二结合块133具有一第一结合部133、一连接该第一结合部133的悬臂133b、一位于该悬臂13 的第一结合孔133c、二连接该第一结合部133的侧翼133d及二贯穿该侧翼133d的第二固接孔133e，上述第二固定件138穿设于上述第一固接孔132f及上述第二固接孔13 以固定该第二结合块133与该调整板132，该可导电的探针结合块134具有一第二结合部134a、一探针夹设部134b、一位于该第二结合部13 的第二结合孔13 及一探针固定件134d，该第二结合部13 可活动地枢接于该第二结合块133的该悬臂133b，且该第二结合孔13 连通该第一结合孔133c，该探针夹设部134b具有一夹针槽134e，该探针固定件134d用以固定该探针140。请参阅图2及图5，各该高度定位组件135具有一第一高度定位组件13 及一第二高度定位组件135b，该第一高度定位组件13 穿设于该调整板132的上述结合槽132d 及该第一结合块131的上述高度调整孔131d，该第二高度定位组件13 穿设于该调整板 132的该结合槽132d且该第二高度定位组件13 结合于该第一高度定位组件135a，当该调整板132的设置高度确定后，利用穿设于该调整板132的该结合槽132d的该第二高度定位组件13 结合穿设于该调整板132的上述结合槽132d及该第一结合块131的上述高度调整孔131d的该第一高度定位组件135a，以使该调整板132固定于该第一结合块131，并使该弹性组件139c脱离该第二支撑件139b，在本实施例中，该调整板132另具有一环状凸起132g，该结合槽132d内具有一内侧壁132h，该环状凸起132g位于该结合槽132d的该内侧壁13 且该第一高度定位组件13 抵接于该环状凸起132g以固定该调整板132及该第一结合块131的结合高度。请再参阅图2及图4，该轴杆136穿设于该第二结合块133的该第一结合孔133c 及该可导电的探针结合块134的该第二结合孔134c，该探针140设置于该探针夹设部134b 的该夹针槽13如。另，在本实施例中，该调整板132另具有一凹设于该外表面13 的第一导线槽132i及二第一限位件132j，该第二结合块133另具有一第二导线槽133f及一第二限位件133g，该可导电的探针结合块134另具有一第三导线槽134f及一第三限位件134g， 该第一导线槽132i连通该第二导线槽133f，上述第一限位件132 j设置于该调整板132的该外表面13 且邻近该第一导线槽132i，该第二限位件133g设置于该第二结合块133的该第一结合部133且邻近于该第二导线槽133f，该第三限位件134g设置于该第二结合部 13 且邻近于该第三导线槽134f，当一导线(图未绘出)设置于上述探针结合座130时，该导线可容设于该第一导线槽132i及该第二导线槽133f，并抵接于该可导电的探针结合块 134且容设于该第三导线槽134f内，再借由邻近于该第一导线槽132i的上述第一限位件 132j、邻近于该第二导线槽133f的该第二限位件133g及邻近于该三导线槽的该第三限位件134g以防止该导线脱出该第一导线槽132i、该第二导线槽133f及该第三导线槽134f， 以使该晶圆测试机构100可顺利进行电性测试。由于上述探针结合座130的该可导电的探针结合块134活动地枢设于该第二结合块133的该悬臂133b，因此该晶圆测试机构100可随不同的晶圆简易变换量测位置而不需另外购置新的探针卡，且上述探针结合座130的操作便利，此外，若该探针140损坏，仅置换损坏的该探针140即可，不需更换整组上述探针结合座130，因此具有维修方便、使用寿命长及节省成本的功效。以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案的范围内，当可利用上述揭示的结构及技术内容作出些许的更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
权利要求1.一种晶圆测试机构，其特征在于至少包含一载台，其具有一上表面、一下表面及一贯穿该上表面与该下表面的通孔； 多个基座，其设置于该载台的该上表面； 多个探针结合座，各上述探针结合座包含一第一结合块，其具有一第一表面、一第二表面、二第一侧面及多个高度调整孔，上述基座结合于该第一表面，上述高度调整孔贯穿该第一表面及该第二表面；一调整板，其具有一外表面、一内表面、二第二侧面及多个贯穿该外表面与该内表面的结合槽，该调整板的该内表面朝向该第一结合块的该第二表面且该调整板设置于该第二表面并容设于该载台的该通孔，上述结合槽对应于上述高度调整孔；一第二结合块，其设置于该调整板的该外表面，该第二结合块具有一第一结合部、一连接该第一结合部的悬臂及一位于该悬臂的第一结合孔；一可导电的探针结合块，其具有一第二结合部、一探针夹设部及一位于该第二结合部的第二结合孔，该第二结合部可活动地枢接于该第二结合块的该悬臂，且该第二结合孔连通该第一结合孔，该探针夹设部具有一夹针槽；多个高度定位组件，各该高度定位组件具有一第一高度定位组件及一第二高度定位组件，该第一高度定位组件穿设于上述结合槽及上述高度调整孔，该第二高度定位组件穿设于该结合槽且该第二高度定位组件结合于该第一高度定位组件；及一轴杆，其穿设于该第一结合孔及该第二结合孔；以及多个探针，其设置于该探针夹设部的该夹针槽。
2.如权利要求1所述的晶圆测试机构，其特征在于各该探针结合座另包含有二支撑组件，各该支撑组件具有一第一支撑件、一第二支撑件及一弹性组件，该第一支撑件设置于该第一侧面，该第二支撑件设置于该第二侧面，该弹性组件连接该第一支撑件及该第二支撑件。
3.如权利要求1所述的晶圆测试机构，其特征在于该第一结合块另具有一凹设于该第二表面的滑槽，该调整板另具有一凸设于该内表面的凸肋，该凸肋可移动地容设于该滑槽内。
4.如权利要求1所述的晶圆测试机构，其特征在于该调整板具有一凹设于该外表面的第一导线槽，该第二结合块具有一第二导线槽，该第一导线槽连通该第二导线槽。
5.如权利要求4所述的晶圆测试机构，其特征在于该调整板另具有二第一限位件，上述第一限位件设置于该调整板的该外表面且邻近该第一导线槽。
6.如权利要求3所述的晶圆测试机构，其特征在于各该探针结合座另包含有二第一固定件，该第一结合块另具有二凹设于该滑槽的第一固定孔，上述基座具有二第二固定孔，上述第一固定件穿设于上述第一固定孔及上述第二固定孔。
7.如权利要求1所述的晶圆测试机构，其特征在于各该探针结合座系另包含有二第二固定件，该调整板另具有二贯穿该内表面及该外表面的第一固接孔，该第二结合块另具有二连接该第一结合部的侧翼及二贯穿该侧翼的第二固接孔，上述第二固定件穿设于上述第一固接孔及上述第二固接孔。
8.如权利要求4所述的晶圆测试机构，其特征在于该第二结合块另具有一第二限位件，该第二限位件设置于该第二结合块的该第一结合部且邻近于该第二导线槽。
9.如权利要求1所述的晶圆测试机构，其特征在于该调整板另具有一环状凸起，该结合槽内具有一内侧壁，该环状凸起位于该结合槽的该内侧壁且该第一高度定位组件抵接于该环状凸起。
10.一种探针结合座，其特征在于包含一第一结合块，其具有一第一表面、一第二表面、二第一侧面及多个高度调整孔，上述基座结合于该第一表面，上述高度调整孔贯穿该第一表面及该第二表面；一调整板，其具有一外表面、一内表面、二第二侧面及多个贯穿该外表面与该内表面的结合槽，该调整板的该内表面朝向该第一结合块的该第二表面且该调整板设置于该第二表面并容设于该载台的该通孔，上述结合槽对应于上述高度调整孔；一第二结合块，其设置于该调整板的该外表面，该第二结合块具有一第一结合部、一连接该第一结合部的悬臂及一位于该悬臂的第一结合孔；一可导电的探针结合块，其具有一第二结合部、一探针夹设部及一位于该第二结合部的第二结合孔，该第二结合部可活动地枢接于该第二结合块的该悬臂，且该第二结合孔连通该第一结合孔，该探针夹设部具有一夹针槽；多个高度定位组件，各该高度定位组件具有一第一高度定位组件及一第二高度定位组件，该第一高度定位组件穿设于上述结合槽及上述高度调整孔，该第二高度定位组件穿设于该结合槽且该第二高度定位组件结合于该第一高度定位组件；以及一轴杆，其穿设于该第一结合孔及该第二结合孔。
专利摘要本实用新型是有关于一种晶圆测试机构，其包含一载台、多个基座、多个探针结合座以及多个探针，上述基座设置于该载台的上表面，上述探针结合座包含一第一结合块、一调整板、一第二结合块、一可导电的探针结合块及一轴杆，该第一结合块具有一第一表面及一第二表面，上述基座结合于该第一表面，该调整板具有一外表面及一内表面，该调整板设置于该第二表面，该第二结合块设置于该外表面，该第二结合块具有一第一结合部、一悬臂及一第一结合孔，该可导电探针结合块具有一第二结合部、一探针夹设部及一第二结合孔，该第二结合部可活动地枢接于该悬臂，该探针夹设部具有一夹针槽，该轴杆穿设于该第一结合孔及该第二结合孔，该探针设置于该夹针槽。
文档编号G01R31/26GK202075381SQ201120160328
公开日2011年12月14日 申请日期2011年5月16日 优先权日2011年5月16日
发明者周博生, 孙逸国, 李世川, 杨志明, 谢柏阳 申请人:颀邦科技股份有限公司