专利名称：一种针对硅片来料性质的检测设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种检测设备，尤其是涉及一种针对硅片来料性质的检测设备。
背景技术：
目前，对于切片后的单晶硅片和多晶硅片的质量检测一般采用特定的技术(比如红外射线，光学摄像)，在整合有检测仪器的传送带，对硅片进行批量逐个检测。装载各类具有检测硅片物理和化学性质的检测模块，完成对硅片自进料装片到检测，再通过计算机程序完成硅片检测数据的汇总，统计，最后根据程序处理好的数据，在传送带尾端完成分类装盒的自动化过程。一般的检测设备具有针对硅片的几何尺寸，表面油污，硅晶脱落，隐裂，孔洞等进行检测。由于各个晶硅太阳能电池生产企业根据自身所具有的太阳能制造设备条件和能力，对硅晶片来料源的质量检测标准有所不同，以及检测设备生产厂商对行业细分的特定的硅晶片检测测试项目理解的不同，导致常常，设备生产商的设备标准无法满足硅晶太阳能电池生产商对硅晶来料质量检测的细化要求。在这种情况下，对于原有检测设备的基础上，加载其他的检测仪器，来满足对硅晶片在太阳能电池的生产工艺上，所要求的一些质量，性质的分析就非常必要了。

实用新型内容本实用新型的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种安装简单、 投入成本低，且检测更具针对性、能保证出厂的太阳能电池为高质量的针对硅片来料性质的检测设备。本实用新型的目的可以通过以下技术方案来实现一种针对硅片来料性质的检测设备，其特征在于，该检测设备包括进料装置、传送带、检测后分装装置、第一检测装置、第二检测装置，所述的进料装置、传送带、检测后分装装置依次连接，所述的传送带依次穿过第一检测装置、第二检测装置。所述的第一检测装置包括红外检测模块、光学摄像模块、第一处理器，所述的红外检测模块、光学摄像模块分别与第一处理器连接。所述的第二检测装置包括硅片少子寿命检测模块、硅片厚度及电阻率检测模块、 硅片PN结状况检测模块、第二处理器，所述的硅片少子寿命检测模块、硅片厚度及电阻率检测模块、硅片PN结状况检测模块分别与第二处理器连接。所述的检测后分装装置包括优良片接收器、残此片接收器，所述的优良片接收器、 残此片接收器分设在传送带两侧。与现有技术相比，本实用新型具有以下优点1、检测更加具有针对性相对于一般硅片质量的检测，改进方案的检测手段更加适合于晶硅太阳能电池片的生产要求。2、检测标准更严格由于多加了检测项目，必然导致硅片检测不合格率的上升，但相对的，也保证了后期太阳能电池的质量。3、改进方案的安装简单本方案只需在原有检测机器的基础上添加独立的检测模块，相对而言，方案的改进安装简便，而费用的再投入也不高。

图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明。实施例如图1所示，一种针对硅片来料性质的检测设备，该检测设备包括进料装置1、传送带2、检测后分装装置3、第一检测装置4、第二检测装置5。进料装置1、传送带2、检测后分装装置3依次连接，传送带2依次穿过第一检测装置4、第二检测装置5。第一检测装置4 包括红外检测模块、光学摄像模块、第一处理器。红外检测模块、光学摄像模块分别与第一处理器6连接。第二检测装置5包括硅片少子寿命检测模块、硅片厚度及电阻率检测模块、 硅片PN结状况检测模块、第二处理器7，硅片少子寿命检测模块、硅片厚度及电阻率检测模块、硅片PN结状况检测模块分别与第二处理器7连接。检测后分装装置3包括优良片接收器、残此片接收器，优良片接收器、残此片接收器分设在传送带2两侧。第一检测装置4、第二检测装置5可以对数据处理和装置设备的参数设置。第一检测装置4可以检测硅片的几何尺寸，表面油污，硅晶脱落，隐裂，孔洞。第二检测装置5可以实现对硅片的少子寿命，厚度，电阻率，PN结状况的检测。本实用新型采用独立的数据采集系统，具体而言，就是采用独立的计算机主机和程序完成数据的解读和处理。然后通过和最后的检测后分装装置3的整合，实现对检测后的优良片和残次片的分类。
权利要求1.一种针对硅片来料性质的检测设备，其特征在于，该检测设备包括进料装置、传送带、检测后分装装置、第一检测装置、第二检测装置，所述的进料装置、传送带、检测后分装装置依次连接，所述的传送带依次穿过第一检测装置、第二检测装置。
2.根据权利要求1所述的一种针对硅片来料性质的检测设备，其特征在于，所述的第一检测装置包括红外检测模块、光学摄像模块、第一处理器，所述的红外检测模块、光学摄像模块分别与第一处理器连接。
3.根据权利要求1所述的一种针对硅片来料性质的检测设备，其特征在于，所述的第二检测装置包括硅片少子寿命检测模块、硅片厚度及电阻率检测模块、硅片PN结状况检测模块、第二处理器，所述的硅片少子寿命检测模块、硅片厚度及电阻率检测模块、硅片PN结状况检测模块分别与第二处理器连接。
4.根据权利要求1所述的一种针对硅片来料性质的检测设备，其特征在于，所述的检测后分装装置包括优良片接收器、残此片接收器，所述的优良片接收器、残此片接收器分设在传送带两侧。
专利摘要本实用新型涉及一种针对硅片来料性质的检测设备，该检测设备包括进料装置、传送带、检测后分装装置、第一检测装置、第二检测装置，所述的进料装置、传送带、检测后分装装置依次连接，所述的传送带依次穿过第一检测装置、第二检测装置。与现有技术相比，本实用新型具有安装简单、投入成本低，且检测更具针对性、能保证出厂的太阳能电池为高质量等优点。
文档编号G01N21/88GK202018275SQ20112012391
公开日2011年10月26日 申请日期2011年4月25日 优先权日2011年4月25日
发明者吴丹晨, 王瑜, 缪如春 申请人:上海神舟新能源发展有限公司