专利名称：一种液晶玻璃基板测厚装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于液晶玻璃制造领域，更具体地说涉及一种液晶玻璃生产线上在线 式液晶玻璃基板测厚装置。
背景技术：
应用于液晶玻璃基板的在线式测厚装置要求能够测量厚度为0.3mm至Imm的玻璃 基板，精度达到士 lym。同时，要求测厚装置不仅能够消除玻璃摆动对测量精度造成的影 响，且能够在一定程度上消除玻璃形变对测量精度造成的影响。而目前市场上用于透明物体非接触式厚度测量的技术主要有以下几种1.超声波测厚法，该方法使用超声波测量，精度为毫米级。2.激光三角法，最高精度可以达到士0.4μπι。但在这个精度要求下，量程太小 (士 1mm)。使用这个技术作在线式测量，很难抵消玻璃摆动、翘曲、震动、机械结构误差等方 面的影响。实际应用中，很难实现士 0.4μπι的精度。3.干涉法，该方法利用光波干涉原理测量，精度可以达到纳米级。但该方法的量程 很小，不能满足玻璃测厚的要求。综上，现有技术适用于液晶玻璃生产线上的玻璃测厚的仅有激光三角法，其精度 一般为千分之一至万分之三。但这个精度需要将玻璃放置于大理石平台等平面度很高且很 稳定的平台之上才能实现，并且要求玻璃没有翘曲等形变。如应用于玻璃垂直吊装、没有平 台等在线式测量的情况时，该方法无法实现高精度测量。如玻璃有翘曲、摆动等影响时，精 度会更差。

实用新型内容本实用新型的目的就在于提供一种液晶玻璃基板测厚装置，其不仅能够消除玻璃 摆动对测量精度造成的影响，且能够在一定程度上消除玻璃形变对测量精度造成的影响。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是本实用新型由玻璃基板夹持单 元和设置在玻璃基板夹持单元一侧的直线运动测试单元构成；玻璃基板夹持单元包括机 架，安装于机架上的位置调节机构，在位置调节机构上装配有气动部件，气动部件具备一个 气压调节装置，气动部件上装配有由气动部件驱动的夹持臂，夹持臂上设有软材质的夹持 条；直线运动测试单元包括由导轨滑块副、同步带构成的直线运动单元，装配在直线运动 单元上的可以前后调节位置的滑台，装配在滑台上的测厚传感器。本实用新型所述气动部件为气爪，其气压调节装置按压缩空气路经气路依次包 括阀门、过滤器减压阀、换向阀、节流阀、气爪；换向阀为可以控制压缩空气方向，进而控 制气爪开闭的电磁阀。本实用新型的有益效果为本实用新型该装置具备一种玻璃夹持机构该玻璃夹持 机构能够在测厚的时候夹紧玻璃，不仅可以固定玻璃位置，消除玻璃摆动对测厚精度的影 响；同时，夹紧机构对玻璃施加适当的夹持力，也可以消除一部分玻璃形变对测厚精度的影响。测厚传感器由一个直线运动单元驱动作直线运动。测厚传感器在直线运动的同时实时 测量玻璃厚度，运动成后可以得到玻璃一个方向上的一组厚度数据。这些数据经过拟合后 可以得到玻璃的厚度曲线。本实用新型使用气动元件，如气爪等运动部件，驱动两个夹持 臂。在玻璃未进入测厚装置时，气动部件打开夹持臂。当玻璃进入测厚装置时，气动部件驱 动夹持臂动作，夹紧玻璃。夹紧玻璃后即可以固定玻璃的位置，消除玻璃摆动对测厚精度的 影响；同时，夹紧机构也可以将有形变的玻璃夹平，消除玻璃形变对测厚精度的影响。本实 用新型所述气动部件具备一个气压调节装置，可以调节供气压力以使夹紧力合适。合适的 标准是尽量使夹持臂夹紧玻璃时使得有形变的玻璃平直，但又不至于破坏玻璃。气动元件 同时也具备一个位置调节装置，调节的标准是当夹紧臂夹紧玻璃时，使得玻璃距测厚传感 器的距离处于传感器的最佳测量区。总之本实用新型结构合理其不仅能够消除玻璃摆动对 测量精度造成的影响，且能够在一定程度上消除玻璃形变对测量精度造成的影响。

图1是本实用新型提供的测厚装置结构图。图2是本实用新型提供的夹持机构压力调节气路图。图3是本实用新型所述直线运动单元示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步说明。如图1所示，1为被测玻璃，2为气爪，气爪2在压缩空气的驱动下可以完成旋转的 打开、关闭动作。气爪2上装有夹持臂3，气爪2关闭后可以驱动夹持臂3夹紧玻璃1，如图 1中虚线所示。夹持臂3上装有使用较软材质，如硅橡胶等制作的夹持条4，夹持条4的目 的是保护玻璃、避免划伤。测厚传感器5安装于可以前后调节位置的滑台6上，调节滑台6 可以精确的调节测厚传感器5与玻璃1之间的距离，使玻璃1处于测厚传感器5的最佳测 量范围。滑台6安装于直线运动单元7上，直线运动单元由导轨滑块副、同步带构成，可以 将旋转运动转化为直线运动。直线运动单元7通过联轴器8与伺服电机9相连。气爪2安 装于位置调节装置上，位置调节装置由丝杠10、螺母11、手轮12构成。在图2中，压缩空气经过阀门21，进入过滤器22。过滤器22输出的压缩空气进入 减压阀23。减压阀23可以精密调节输出空气的压力。之后，压缩空气进入换向阀24。压 缩空气经过节流阀25进入气爪26。换向阀为电磁阀，可以控制压缩空气方向，进而控制气 爪26的开闭。在图3中，测厚传感器5安装于调节位置的滑台6上。滑台6安装于直线运动单 元 之滑块33上。滑块33由同步带31和同步带轮32驱动。
权利要求一种液晶玻璃基板测厚装置，其特征在于该装置由玻璃基板夹持单元和设置在玻璃基板夹持单元一侧的直线运动测试单元构成；玻璃基板夹持单元包括机架，安装于机架上的位置调节机构，在位置调节机构上装配有气动部件，气动部件具备一个气压调节装置，气动部件上装配有由气动部件驱动的夹持臂，夹持臂上设有软材质的夹持条；直线运动测试单元包括由导轨滑块副、同步带构成的直线运动单元，装配在直线运动单元上的可以前后调节位置的滑台，装配在滑台上的测厚传感器。
2.根据权利要求1所述的一种液晶玻璃基板测厚装置，其特征在于所述气动部件为气 爪，其气压调节装置按压缩空气路经气路依次包括阀门、过滤器减压阀、换向阀、节流阀、 气爪；换向阀为可以控制压缩空气方向，进而控制气爪开闭的电磁阀。
专利摘要本实用新型属于液晶玻璃制造领域，更具体地说涉及一种液晶玻璃生产线上在线式液晶玻璃基板测厚装置。本实用新型由玻璃基板夹持单元和设置在玻璃基板夹持单元一侧的直线运动测试单元构成；玻璃基板夹持单元包括机架，安装于机架上的位置调节机构，在位置调节机构上装配有气动部件，气动部件具备一个气压调节装置，气动部件上装配有由气动部件驱动的夹持臂，夹持臂上设有软材质的夹持条；直线运动测试单元包括由导轨滑块副、同步带构成的直线运动单元，装配在直线运动单元上的可以前后调节位置的滑台，装配在滑台上的测厚传感器。本实用新型不仅能够消除玻璃摆动对测量精度造成的影响，且能够在一定程度上消除玻璃形变对测量精度造成的影响。
文档编号G01B21/08GK201731872SQ20102010532
公开日2011年2月2日 申请日期2010年2月2日 优先权日2010年2月2日
发明者周波, 李赫然 申请人:河北东旭投资集团有限公司