专利名称：用于液体颗粒测试的适配装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体测试技术领域，特别涉及一种用于液体颗粒测试的适配装置。
背景技术：
在半导体器件的生产过程中，颗粒(particle)对产品良率影响重大。其中，化学品中的颗粒由于直接参与器件的制造，对产品的影响更是重中之重。然而，半导体行业所使用的化学品大多数属于强酸液体或强碱液体，具有高粘度和高挥发性等特点，这使得对这些化学品中颗粒的测量变得特别困难。针对化学品中颗粒的监测，现有的测试方法主要包括两种第一种是对不同的化学品进行现场取样，然后将样品带到液体颗粒计数器(liquid particle counter)处进行测量；第二种是将液体颗粒计数器完全接入待测试化学品系统， 实现在线监测。然而，上述两种监测方法都有其局限性。第一种方法中，取样测试的测量结果极易受到取样过程中外部环境的影响，测量的重复性很差。图1显示了采用该方法对一种硫酸溶液进行颗粒测试的实验结果图。该硫酸溶液的浓度为96%。图1中，横坐标代表测试的次数，纵坐标代表测得的每毫升硫酸溶液中的颗粒数。直线LlO代表了制造工艺中容许的每毫升硫酸溶液中的颗粒数的极限值，该极限值略大于1000。曲线Lll代表实际测得的每毫升硫酸溶液中大于0. 1微米的颗粒数。从曲线Lll可以看出，每次测得的数据浮动较大， 且多次超出了制造工艺容许的极限值。这表明采用现场取样测试法极易受到外部环境中颗粒的影响，测量的重复性很差。第二种方法虽然确保了测量结果的准确可靠，但是测试成本会很高，每一待测试化学品系统均需要一台液体颗粒计数器。

发明内容
本发明的目的在于提供一种用于液体颗粒测试的适配装置，能够避免外部环境中颗粒的影响，并实现一台液体颗粒计数器监测不同待测试液体系统的目的。本发明提供一种用于液体颗粒测试的适配装置，连接待测试液体系统和液体颗粒计数器，其包括缓冲容器；导入单元，连接所述待测试液体系统的取样口，用于导入所述液体至所述缓冲容器；排液单元，连接所述缓冲容器，用于导出所述液体至外部环境；导出单元，用于输送所述液体至所述液体颗粒计数器。优选的，所述导出单元连接所述排液单元。优选的，所述导出单元连接所述缓冲容器。优选的，所述导入单元包括导入管，所述导入管从所述缓冲容器的顶端插入到所述缓冲容器中，且通过第一连接器连通所述待测试液体系统的取样口。优选的，所述排液单元包括第一导出管、第一中间连通管以及排液管，所述第一导出管从所述缓冲容器的顶端插入到所述缓冲容器中，且通过第二连接器连通所述第一中间连通管，所述第一中间连通管通过第三连接器连通所述排液管，所述排液管置于所述缓冲容器外部。
优选的，所述导出单元包括第二中间连通管和出口管，所述第二中间连通管一端连接到所述第三连接器，另一端通过第四连接器连通所述出口管，所述出口管连接到所述液体颗粒计数器。优选的，所述出口管的直径小于所述第二中间连通管的直径。优选的，所述导出单元包括第二导出管和出口管，所述第二导出管从所述缓冲容器的顶端插入到所述缓冲容器中，且通过第四连接器连通所述出口管，所述出口管连接到所述液体颗粒计数器。优选的，所述出口管的直径小于所述第二导出管的直径。优选的，所述适配装置的材料为过氟烷基化物或聚四氟乙烯。与现有技术相比，本发明提供的用于液体颗粒测试的适配装置，通过缓冲容器和排液单元的缓冲作用，降低液体从待测试液体系统的取样口到液体颗粒计数器的压力，从而能够使用一台液体颗粒计数器监测不同的待测试液体系统，同时由于适配装置使得到达液体颗粒计数器的液体与外部环境隔离，避免了外部环境中颗粒的影响。


图1为现有技术中采用现场取样测试法对一种硫酸溶液进行颗粒测试的实验结果图；图2为根据本发明的用于液体颗粒测试的适配装置的第一实施例的结构示意图；图3为采用根据本发明的用于液体颗粒测试的适配装置的第一实施例后对一种硫酸溶液进行在线颗粒测试的实验结果图；图4为根据本发明的用于液体颗粒测试的适配装置的第二实施例的结构示意图。
具体实施例方式为使本发明的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式
作进一步的说明。根据本发明的用于液体颗粒测试的适配装置连接待测试液体系统和液体颗粒计数器，其包括缓冲容器、导入单元、排液单元以及导出单元。导入单元连接所述待测试液体系统的取样口，用于导入所述液体至所述缓冲容器。排液单元连接所述缓冲容器，用于导出所述液体至外部环境。导出单元用于输送所述液体至所述液体颗粒计数器。由于待测试液体系统中多为具有强腐蚀性的强酸液体或强碱液体，因此整个适配装置的材料优选为过氟烷基化物(Polyfluoroalkoxy, PFA)或聚四氟乙烯(Polytetrafluoroethylene, PTFE) 图2显示了根据本发明的用于液体颗粒测试的适配装置的第一实施例的结构示意图。图2中，导入单元包括导入管21。导入管21从缓冲容器1的顶端插入到该缓冲容器1中，且通过第一连接器22连通待测试液体系统的取样口(未图示)。排液单元包括第一导出管31、第一中间连通管33以及排液管35。第一导出管31从缓冲容器1的顶端插入到该缓冲容器1中，且通过第二连接器32连通第一中间连通管33。第一中间连通管33通过第三连接器34连通排液管35，该排液管35置于缓冲容器1外部。在本实施例中，导出单元连接排液单元。具体地，该导出单元包括第二中间连通管41和出口管43。其中，第二中间连通管41 一端连接到第三连接器34，另一端通过第四连接器42连通出口管43。出口管
443连接到液体颗粒计数器(未图示)。此外，由于液体颗粒计数器只能测试少量液体，因此出口管43的直径优选为小于第二中间连通管41的直径。开始测试时，液体从待测试液体系统的取样口经导入管21流入缓冲容器1，并经第一导出管21从缓冲容器1中导出至第一中间连通管33，然后一部分液体经排液管35排出到外部环境以降低缓冲容器1内的压力，同时另一部分液体经第二中间连通管41和出口管43输送至液体颗粒计数器进行测试。图3显示了采用根据本发明的用于液体颗粒测试的适配装置的第一实施例后对一种硫酸溶液进行在线颗粒测试的实验结果图。该硫酸溶液与图1中测试的硫酸溶液相同。图3中，横坐标代表测试的次数，纵坐标代表测得的每毫升硫酸溶液中的颗粒数。曲线L21、L22以及L23代表实际测得的每毫升硫酸溶液中分别大于 0. 1微米、0. 15微米以及0.2微米的颗粒数。可以看出，采用该适配装置连接待测试液体系统和液体颗粒计数器后，测量结果趋于稳定，没有较大的起伏，且每次的测量值均远远小于制造工艺容许的极限值，很好地避免了外部环境中颗粒对测试的影响。由此，通过缓冲容器1和排液单元的缓冲作用，降低了液体从待测试液体系统的取样口到液体颗粒计数器的压力，这就能够使用一台液体颗粒计数器监测不同的待测试液体系统，同时由于适配装置使得到达液体颗粒计数器的液体与外部环境隔离，避免了外部环境中颗粒的影响。图4为根据本发明的用于液体颗粒测试的适配装置的第二实施例的结构示意图。 本实施例与第一实施例的区别在于，导出单元连接缓冲容器1。具体地，该导出单元包括第二导出管44和出口管43。其中，第二导出管44从缓冲容器1的顶端插入到该缓冲容器1 中，且通过第四连接器42连通出口管43。出口管43连接到液体颗粒计数器。类似地，由于液体颗粒计数器只能测试少量液体，因此出口管43的直径优选为小于第二导出管44的直径。开始测试时，液体从待测试液体系统的取样口经导入管21流入缓冲容器1，一部分液体经第一导出管21从缓冲容器1冲导出至第一中间连通管33，然后经排液管35排出到外部环境以降低缓冲容器1内的压力，同时另一部分液体经第二导出管44从缓冲容器1 中导出，最后经出口管43输送至液体颗粒计数器进行测试。同样，采用该适配装置连接待测试液体系统和液体颗粒计数器后，测量结果趋于稳定，没有较大的起伏，很好地避免了外部环境中颗粒对测试的影响。综上所述，本发明提供的用于液体颗粒测试的适配装置，通过缓冲容器和排液单元的缓冲作用，降低液体从待测试液体系统的取样口到液体颗粒计数器的压力，从而能够使用一台液体颗粒计数器监测不同的待测试液体系统，同时由于适配装置使得到达液体颗粒计数器的液体与外部环境隔离，避免了外部环境中颗粒的影响。显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求
1.一种用于液体颗粒测试的适配装置，连接待测试液体系统和液体颗粒计数器，其特征在于，包括缓冲容器；导入单元，连接所述待测试液体系统的取样口，用于导入所述液体至所述缓冲容器；排液单元，连接所述缓冲容器，用于导出所述液体至外部环境；导出单元，用于输送所述液体至所述液体颗粒计数器。
2.如权利要求1所述的用于液体颗粒测试的适配装置，其特征在于，所述导出单元连接所述排液单元。
3.如权利要求1所述的用于液体颗粒测试的适配装置，其特征在于，所述导出单元连接所述缓冲容器。
4.如权利要求1 3中任一项所述的用于液体颗粒测试的适配装置，其特征在于，所述导入单元包括导入管，所述导入管从所述缓冲容器的顶端插入到所述缓冲容器中，且通过第一连接器连通所述待测试液体系统的取样口。
5.如权利要求4所述的用于液体颗粒测试的适配装置，其特征在于，所述排液单元包括第一导出管、第一中间连通管以及排液管，所述第一导出管从所述缓冲容器的顶端插入到所述缓冲容器中，且通过第二连接器连通所述第一中间连通管，所述第一中间连通管通过第三连接器连通所述排液管，所述排液管置于所述缓冲容器外部。
6.如权利要求5所述的用于液体颗粒测试的适配装置，其特征在于，所述导出单元包括第二中间连通管和出口管，所述第二中间连通管一端连接到所述第三连接器，另一端通过第四连接器连通所述出口管，所述出口管连接到所述液体颗粒计数器。
7.如权利要求6所述的用于液体颗粒测试的适配装置，其特征在于，所述出口管的直径小于所述第二中间连通管的直径。
8.如权利要求5所述的用于液体颗粒测试的适配装置，其特征在于，所述导出单元包括第二导出管和出口管，所述第二导出管从所述缓冲容器的顶端插入到所述缓冲容器中， 且通过第四连接器连通所述出口管，所述出口管连接到所述液体颗粒计数器。
9.如权利要求8所述的用于液体颗粒测试的适配装置，其特征在于，所述出口管的直径小于所述第二导出管的直径。
10.如权利要求1所述的用于液体颗粒测试的适配装置，其特征在于，所述适配装置的材料为过氟烷基化物或聚四氟乙烯。
全文摘要
本发明公开了一种用于液体颗粒测试的适配装置，通过缓冲容器和排液单元的缓冲作用，降低液体从待测试液体系统的取样口到液体颗粒计数器的压力，从而能够使用一台液体颗粒计数器监测不同的待测试液体系统，同时由于适配装置使得到达液体颗粒计数器的液体与外部环境隔离，避免了外部环境中颗粒的影响。
文档编号G01N15/10GK102252953SQ20101018135
公开日2011年11月23日 申请日期2010年5月21日 优先权日2010年5月21日
发明者刘克斌, 吴静銮, 张士仁, 方明海, 谢渊 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司, 武汉新芯集成电路制造有限公司