专利名称：一种用于tem样品提取的装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体检测工具，尤其涉及一种用于TEM样品提取的装置。
背景技术：
在半导体器件制作过程中，需要对聚焦离子束(FIB)制备的样品进行透射电子显 微镜(TEM)测试以分析所制作的器件的失效性。现有技术制备TEM样品的过程为首先截取晶圆上需要检测区域的晶圆片，将所 述晶圆片放置于FIB装置中，首先利用聚焦离子束对晶圆片上需要检测区域的两侧形成凹 坑，接着减薄凹坑之间的区域至100 200nm之间，以便后续观察，最后将减薄的区域脱离， 完成制备TEM样品；接着进行提取过程，将FIB处理后的晶圆片从FIB装置上转移至提取 (Pick Up)机台，在显微镜下利用提取机台的吸取针将样品吸起，最终放置于一设有粘附碳 膜的铜网上进行观察。图1为现有技术中TEM样品提取装置的示意图，如图1所示，在实验过程中发现， 因无法通过肉眼看到样品，在吸取操作时，完全在显微镜下完成的，用吸取针30吸取制备 的TEM样品时，无法控制TEM样品10的方向，由于吸取针30与显微镜镜筒20之间的距离有 限，并且吸取针30在机械手臂的操作下运动有限，会出现将TEM样品10推入FIB制备TEM 样品时所留下的两个凹坑的侧壁或底部，甚至将TEM样品10推到晶圆截片的外部，则样品 无从找回，不得不重新制取TEM样品，耗费大量人力物力。

实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是，提供一种便于提取、调整TEM样品的装置。为解决上述问题，本实用新型提供一种用于TEM样品提取的装置，包括用于放置 TEM样品的放置台，所述放置台底部设有支撑部，还包括上托板、下托板和调节螺丝，所述下 托板的一端与所述上托板连接，所述调节螺丝位于所述上托板和所述下托板之间。进一步的，所述上托板上设置有固定孔，所述固定孔与所述放置台的底部相适配。进一步的，所述下托板上设置有螺丝孔，所述螺丝孔与所述调节螺丝相适配。进一步的，所述上托板与所述下托板通过转轴连接。可选的，所述上托板、所述下托板为硬质材料。可选的，所述放置台的上表面为圆形或方形。综上所述，本实用新型提供一种用于TEM样品提取的装置，包括上托板、下托板以 及调节螺丝，所述上托板与下托板一端连接，另一端由调节螺丝支撑，通过调节所述调节螺 丝的长短，调节所述上托板与所述下托板之间的夹角，从而调节位于所述上托板上的放置 台的倾角，当倾角达到一定角度后探针即可方便提取、调整位于放置台上的TEM样品，从而 达到提高提取、调整TEM样品的成功率，避免重复操作，提高工作效率。
图1为现有技术中TEM样品提取装置的示意图。图2为本实用新型一实施例中用于TEM样品提取的装置。
具体实施方式
为使本实用新型的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本实用新型的内 容作进一步说明。当然本实用新型并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知 的一般替换也涵盖在本实用新型的保护范围内。其次，本实用新型利用示意图进行了详细的表述，在详述本实用新型实例时，为了 便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应以此作为对本实用新型的限定。本实用新型的核心思想是提供一种TEM样品放置台，包括上托板、下托板以及调 节螺丝，所述上托板与下托板一端连接，另一端由调节螺丝支撑，通过调节所述调节螺丝的 长短，调节所述上托板与所述下托板之间的夹角，从而调节位于所述上托板上的放置台的 倾角，当倾角达到一定角度后探针即可方便提取、调整位于放置台上的TEM样品，从而达到 提高提取、调整TEM样品的成功率，避免重复操作，提高工作效率。图2为本实用新型一实施例中用于TEM样品提取的装置，如图2所示，本实用新型 提供一种用于TEM样品提取的装置，包括用于放置TEM样品的放置台300，所述放置台300 底部设有支撑部310，还包括上托板110、下托板120和调节螺丝130，所述下托板120的一 端与所述上托板110连接，所述调节螺丝位于所述上托板和所述下托板之间。本实施例中所述TEM样品放置台中，所述上托板110与下托板120 一端连接，另一 端由调节螺丝支撑，通过调节所述调节螺丝的长短，调节所述上托板110与所述下托板120 之间的夹角，从而调节位于所述上托板110上的放置台300的倾角，当倾角达到一定角度后 探针即可方便提取、调整位于放置台300上的TEM样品100，从而达到提高提取、调整TEM样 品100的成功率，避免重复操作，提高工作效率。在吸取TEM样品100时，往往需要调节吸 取针的角度来达到接触并利用吸取针的静电吸附将TEM样品吸附到吸取针的目的，但是吸 取针的角度调整是有限的，如果调节角度太大，会触碰到显微镜的镜头。通过本实用新型所 述装置可以自动调节TEM样品100本身的倾斜角度，以同样达到易于被吸取针碰到并吸取 的目的。进一步的，所述上托板110上设置有固定孔，所述固定孔与所述放置台300的底部 相适配。在本实施例中，所述放置台300的底部设置有圆柱形固定部件310，所述固定孔与 固定部件310相适配，在上托板倾斜时，放置台300不会滑落或移动。所述下托板120上设 置有螺丝孔，所述螺丝孔与所述调节螺丝130相适配。所述螺丝孔可以固定并调节所述调 节螺丝130，使调整过程更稳定、顺利。进一步的，所述上托板110与所述下托板120通过转轴140连接。其外，所述上托 板110与所述下托板120还可以通过弹性片连接，其他能够使上托板110相对下托板120 转动的结构都在本实用新型的思想范围内。可选的，所述上托板110、所述下托板120为硬质材料。所述硬质材料可以为硬质 塑料，硬质木材，金属材质等。可选的，所述放置台300的上表面为圆形或方形。
4[0024] 虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型，任何 所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许的更 动与润饰，因此本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定者为准。
权利要求1.一种用于TEM样品提取的装置，包括用于放置TEM样品的放置台，所述放置台底部设 有支撑部，其特征在于，还包括上托板、下托板和调节螺丝，所述下托板的一端与所述上托 板连接，所述调节螺丝位于所述上托板和所述下托板之间。
2.如权利要求1所述的用于TEM样品提取的装置，其特征在于，所述上托板上设置有固 定孔，所述固定孔与所述放置台的底部相适配。
3.如权利要求1所述的用于TEM样品提取的装置，其特征在于，所述下托板上设置有螺 丝孔，所述螺丝孔与所述调节螺丝相适配。
4.如权利要求1所述的用于TEM样品提取的装置，其特征在于，所述上托板与所述下托 板通过转轴连接。
5.如权利要求1所述的用于TEM样品提取的装置，其特征在于，所述上托板、所述下托 板为硬质材料。
6.如权利要求1所述的用于TEM样品提取的装置，其特征在于，所述放置台的上表面为 圆形或方形。
专利摘要本实用新型提供一种用于TEM样品提取的装置，包括放置台，还包括上托板、下托板和调节螺丝，其中所述上托板上设置有与所述放置台相适配的固定孔，所述下托板的一端与所述上托板连接，所述下托板的另一端设置有与所述调节螺丝相适配的螺丝孔。综上所述，本实用新型提供一种TEM样品放置台，包括上托板、下托板以及调节螺丝，所述上托板与下托板一端连接，另一端由调节螺丝支撑，通过调节所述调节螺丝的长短，调节所述上托板与所述下托板之间的夹角，从而调节位于所述上托板上的放置台的倾角，当倾角达到一定角度后探针即可方便提取、调整位于放置台上的TEM样品的倾角，从而达到提高提取、调整TEM样品的成功率，避免重复操作，提高工作效率。
文档编号G01N1/36GK201897541SQ20102063943
公开日2011年7月13日 申请日期2010年12月2日 优先权日2010年12月2日
发明者李品欢, 谢火扬, 陈卉 申请人:武汉新芯集成电路制造有限公司