专利名称：用于检验带有斜面的物体的方法及系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于检验物体、尤其是抑制眩光的物体的方法及系统。
背景技术：
很多物体可以是透明的，并且具有一个顶面和另外的至少一个倾斜的侧面(下文称为“倾斜侧面”)。上述物体可以是半导体器件、发光二极管等。图1和2示出了现有的物体10，其具有梯形的横截面，它包括一个水平底面13、一个水平顶面11、第一倾斜侧面12和第二倾斜侧面14。水平底面13小于顶面11。第一倾斜侧面12相对于水平面成45度定向，第二倾斜侧面14相对于水平面成负45度(-4 定向。图1示出了具有多个元件15的物体10，尽管它可以具有不同尺寸和形状的元件。 期望在物体的图像中能够看到这些元件15，其中一个或多个元件可以反射光，尽管物体10 可以具有非反射性的元件。第一倾斜侧面12具有平行于假想的Y轴的顶棱18，第二倾斜侧面14具有平行于假想的Y轴的顶棱19。顶部照射(明视场照射)可能从物体的顶部和底部水平面11和13以及从物体中的元件被反射回来，从而能够检验它们。图3示出了这点，其中箭头22和21是多次反射光信号的非限制性例子，光信号被所述多个倾斜侧面中的多个倾斜侧面多次反射。箭头22表示从第一倾斜侧面12向着第二倾斜侧面14被反射以及从第二倾斜侧面14向着传感器被反射的入射光信号。箭头21表示从第二倾斜侧面14向着第一倾斜侧面12被反射以及从第一倾斜侧面12向着传感器被反射的入射光信号。多次反射的光信号会对物体的图像产生干扰，如图4所示。该干扰在物体的成像中会作为明亮的眩光出现，如图4的图像30中的灰色区域31和33中所示。图像30还包括物体元件15的图像35和对应于底面13的白背景图像部分32。这种干扰可能充满于图像30中的特定区域(如区域31和33)，即使不是如此，它也将以劣化检验质量或根本阻止检测的方式干扰图像30。因此，对一种能在抑制明亮眩光的同时检验物体的改善的方法的需求日益增长。

发明内容
根据本发明的一个实施例，可以提供一种方法，其可包括用第一偏振的入射光照射物体；执行(a)多重反射光信号的基于偏振的滤波，每个多重反射光信号从物体的至少两个不同的侧面被反射，以及执行(b)附加光信号的基于偏振的滤波，每个附加光信号从
5物体的一个单独的元件被反射，从而抑制多重反射光信号，和提供基于偏振的滤波光信号； 以及检测基于偏振的滤波光信号。根据本发明的一个实施例，可以提供一种检验系统，其可以包括(i)用第一偏振的入射光照射物体的光学元件；执行(a)多重反射光信号的基于偏振的滤波，每个多重反射光信号从物体的至少两个不同的侧面被反射，以及执行(b)附加光信号的基于偏振的滤波，每个附加光信号从物体的一个单独的元件被反射，从而抑制多重反射光信号，和提供基于偏振的滤波光信号；以及(ii)用于检测基于偏振的滤波光信号的传感器。根据本发明的一个实施例，可以提供一种方法，其可以包括(a)用沿第一方向线性偏振的入射光照射物体。该物体可以包括一个顶面和多个倾斜的侧面。每个倾斜的侧面具有沿着倾斜侧面方向导向的顶棱。每个倾斜侧面可以相对于第一方向定向；(b)对多重反射光信号和附加光信号进行基于偏振的滤波，从而抑制多重反射光信号，以提供基于偏振的滤波光信号。多重反射光信号被所述多个倾斜侧面中的多个倾斜侧面多次反射。多重反射光信号是沿着与第一方向不同的第二方向线性偏振的。每个附加光信号可以从物体的一个单独的元件被反射。附加光信号是沿着与第一和第二方向都不同的第三方向线性偏振的；和(c)检测基于偏振的滤波光信号。执行基于偏振的滤波可以包括应用滤波功能来衰减光信号，该光信号的偏振不同于沿着第三方向的线性偏振。第二方向可以垂直于第三方向。至少一个倾斜侧面方向和第一方向之间的第一角度基本上等于45度。在基于偏振的滤波之前可收集多重反射光信号和收集附加光信号。在照射物体之前可以进行通过一个线性偏振元件对输入光进行偏振，以提供偏振光；将偏振光导向一个非偏振分束器；和通过非偏振分束器将偏振光导向物体，以提供入射光；和其中，在执行基于偏振的滤波之前，可以通过将附加光信号和多重反射光信号穿过非偏振分束器，来收集附加光信号和收集多重反射光信号。该方法可以包括对输入光和基于偏振的滤波光中的至少之一进行光谱过滤。在照射物体之前可以进行将输入光导向一个非偏振分束器；通过非偏振分束器，将输入光导向一个线性偏振元件；和通过该线性偏振元件来对输入光进行偏振，以提供入射光。基于偏振的滤波可以通过线性偏振元件来执行。线性偏振元件可以是最靠近物体的光学元件。光学收集系统的至少一个光学元件可以位于线性偏振元件和物体之间。光学收集系统可以用于收集多重反射光信号和附加光信号。该方法可以包括通过传感器检测基于偏振的滤波光信号；和其中，该方法进一步可包括将基于偏振的滤波光的偏振调整为传感器需要的偏振。传感器需要的偏振可以是旋转偏振。根据本发明的一个实施例，可以提供一种检验系统，其可包括(a)光学系统，设置为(i)用沿着第一方向线性偏振的入射光照射物体。物体可以包括一个顶面和多个倾斜的侧面。每个倾斜的侧面具有沿着倾斜侧面方向导向的顶棱。每个倾斜侧面可以相对于第一方向定向；(ii)对多重反射光信号和附加光信号进行基于偏振的滤波，从而抑制多重反射光信号，以提供基于偏振的滤波光信号。多重反射光信号被所述多个倾斜侧面中的多个倾斜侧面多次反射。多重反射光信号是沿着与第一方向不同的第二方向线性偏振的。每个附加光信号可以从物体的一个单独的元件被反射。附加光信号是沿着与第一方向和第二方向都不同的第三方向线性偏振的；和(b)传感器，用于检测基于偏振的滤波光信号。光学系统可以包括第一滤波元件，其可设置为通过应用滤波功能执行基于偏振的滤波，从而衰减光信号，该光信号的偏振不同于沿着第二方向的线性偏振。第二方向可以垂直于第三方向。在至少一个倾斜侧面方向和第一方向之间的第一角度可以基本上等于45度。在第一滤波元件之前，可以是用于收集多重反射光信号和收集附加光信号的至少一个光学收集元件。光学系统可以包括一个线性偏振元件，设置为对输入光进行偏振以提供偏振光； 一个非偏振分束器，设置为从线性偏振元件接收偏振光，并将偏振光导向物体，以提供入射光；第一滤波元件，其可以设置为执行基于偏振的滤波；和用于收集多重反射光信号和收集附加光信号的光学收集元件。光学收集元件可以位于传感器和第一滤波元件之间。光学收集元件可以位于物体和第一滤波元件之间。检验系统可以包括至少一个光谱过滤器，设置为对输入光和基于偏振的滤波光中的至少之一进行光谱过滤。检验系统可以包括一个非偏振分束器，设置为接收输入光；和一个线性偏振元件；其中非偏振分束器可以设置为将入射光导向线性偏振元件。线性偏振元件可以设置为对输入光进行偏振，以提供入射光和进行基于偏振的滤波。线性偏振元件可以是最靠近物体的光学元件。光学系统的至少一个光学元件可以位于线性偏振元件和物体之间。检验系统可以包括一个偏振调整元件，设置为将基于偏振的滤波光的偏振调整为传感器需要的偏振。传感器需要的偏振可以是旋转偏振。


本发明的更多细节、方面和实施例，将通过例子并参考附图来进行描述。图中，相同的附图标记用作识别相同或功能类似的元件。图中的元件用来简单和清楚地说明，并没有按照比例尺寸来绘制。图1和2是现有技术中物体10的顶视图和剖视图；图3是图1中物体的现有技术的图像；图4表示多重反射光信号和附加光信号；图5表示根据本发明的一个实施例的多重反射光信号和附加光信号的各个偏振；图6表示根据本发明的一个实施例的系统的一部分；图7表示根据本发明的一个实施例的系统的一部分；图8表示根据本发明的一个实施例的系统的一部分；图9表示根据本发明的一个实施例的系统的一部分；以及图10-13表示根据本发明的不同实施例的方法。
具体实施例方式当与附图结合理解时，本发明的前述以及其它目标、特征、和优点，将从下面的详细描述中变得更明显。图中，不同的视图中类似的附图标记始终表示类似的元件。由于所描述的本发明的实施例中的多个部分，是使用了本领域技术人员公知的电光元件和光学模块，在考虑到足以对本发明的基本构思进行理解和评价并且不会对本发明的教导产生困惑或迷惑的情况下，其他细节不会进行更进一步的解释。本发明可以使用传统的工具、操作方法和元件来实施。因此，上述工具、元件和操作方法的细节在这里不做详细说明。在前面的描述中，对多个具体的细节进行了说明，是为了提供对本发明的整体的理解。然而，应当认识到，在不需要细节的详细描述的情况下也可以实施本发明。为了解释的方便，假设物体具有一个水平顶面，照射包括法向照射(照射的光轴垂直于物体的顶面)，收集系统包括法向收集(收集系统的光轴垂直于物体的顶面)，和物体包括两个倾斜面，其相对于水平面成45度(和负45度)定向。注意到，这些假设仅是以个例子，而在说明书中描述的方法和系统(加以必要的变更)可以应用于其他的照明系统和物体设置。可以假设为，上述假设提供了最大可能的干扰(向着成像模块的最大不需要的反射光)，但兵不是必须如此。根据本发明，从倾斜侧面反射而引起的眩光，可以通过偏振的照射和基于偏振的滤波而减少，甚至消除。入射照射系统的偏振可以是线性的，并且相对于倾斜侧面的顶棱的方向(该方向可以是倾斜延长方向并且在图5中描述为X轴)为约45度的方向。图5表示根据本发明的一个实施例的多重反射光信号和附加光信号的各个不同的偏振。入射光通过箭头41来表示-它是沿着相对于假想的X轴成135度的第一方向线性偏振的。多重反射光信号(如图3中表示的21和22)，在它们的偏振旋转90度后，从物体反射-它们的偏振Y轴分量保持不变，而它们的偏振X轴分量旋转190度。多重反射光信号是线性偏振的，具有相对于假想的X轴成45度)的第二方向-如箭头42所示。被反射一次的附加光信号的偏振旋转180度，是线性偏振的，具有相对于假想的X 轴成负45度(-45° )的第三方向-如箭头43所示。这些附加光信号出现在对应于物体 10的底面13的位置的区域。可以应用基于偏振的滤波，尤其是当第二方向42垂直于第一和第三方向。当第二和第三方向没有相互垂直时，滤波过程能降低效果-附加光信号的衰减(由基于偏振的滤波)会增加，而多重反射光信号的衰减(由基于偏振的滤波)会减少。然而，在后面的情况下仍可以应用基于偏振的滤波。图6表示根据本发明的一个实施例的系统111的一部分。系统111可以包括光学系统101和传感器110。传感器110可以是摄像机、传感元件阵列和类似物。系统111可以包括额外的元件(没有示出)如用于控制系统的控制器， 用于处理由传感器110获得的图像的图像处理器，用于支撑物体10和移动物体的机械台， 和类以物。
物体可以包括一个顶面和多个倾斜的侧面，每个倾斜的侧面具有沿着倾斜侧面方向导向的顶棱，并且每个倾斜侧面方向相对于第一方向定向。光学系统101可以包括a. 一个线性偏振元件140，设置成将从非偏振光源150接收的输入光偏振，以提供偏振光。b. 一个非偏振分束器130，设置成⑴从线性偏振元件140接收偏振光，并且将偏振光导向物体10，以提供入射光；和(ii)向着第一滤波元件120传输多重反射光信号和附加光信号(来自物体10)。c.第一滤波元件120，其设置成对多重反射光信号和附加光信号执行基于偏振的滤波，从而衰减(和甚至消除)多重反射光信号，以提供基于偏振的滤波光信号。如果例如附加光信号是沿着第三方向线性偏振的，和多重反射光信号是沿着第二方向(不同于第三方向)线性偏振的，则第一滤波元件120能应用滤波功能，从而衰减具有与沿着第二方向的线性偏振不同的偏振的光信号。第一滤波元件120可以是线性偏振元件。d.至少一个光学收集元件如透镜173，用于收集多重反射光信号和收集附加光信号。图6表示透镜173位于物体和非偏振分束器130之间。注意到，光学收集元件可以位于非偏振分束器130和第一滤波元件120之间。图7表示根据本发明的一个实施例的系统112的一部分。系统112可以包括光学系统102和传感器110。传感器110可以是摄像机、传感元件阵列和类似物。系统112可以包括额外的元件(没有示出)如用于控制系统的控制器， 用于处理由传感器110获得的图像的图像处理器，用于支撑物体10和移动物体的机械台， 和类似物。光学系统102可以包括a.第一光谱过滤器181，设置成对从非偏振光源150接收的输入光进行光谱过滤， 以提供光谱过滤的输入光。b. 一个线性偏振元件140，设置成将光谱过滤的输入光偏振，以提供偏振光。c. 一个非偏振分束器130，设置成⑴从线性偏振元件140接收偏振光，并且将偏振光导向物体10，以提供入射光；和(ii)向着第一滤波元件120传输多重反射光信号和附加光信号(来自物体10)。d.第一滤波元件120，其设置成对多重反射光信号和附加光信号执行基于偏振的滤波，从而衰减(和甚至消除)多重反射光信号。第一滤波元件120输出基于偏振的滤波信号。如果例如附加光信号是沿着第三方向线性偏振的，和多重反射光信号是沿着第二方向 (不同于第三方向)线性偏振的，则第一滤波元件120能应用滤波功能，从而衰减具有与沿着第二方向的线性偏振不同的偏性振的光信号。第一滤波元件120可以是线性偏振元件。e.光学收集元件如透镜173。图7表示透镜173位于物体和非偏振分束器130之间。f. 一个偏振调整元件190，设置成将基于偏振的滤波信号的偏振调整为传感器需要的偏振，以提供偏振调整光信号。偏振调整元件190可以是四分之一波片延迟器 (quarter wave retarder)，其设置成将基于偏振的滤波信号的线性偏振转换为圆偏振信号。
g.第二光谱过滤器182，设置成对偏振调整光信号进行光谱过滤，以提供更被传感器11感测的偏振调整和光谱过滤的光信号。光学系统102可以仅包括一个光谱过滤器或多于两个光谱过滤器。如果光学系统 102包括多个光谱过滤器，则应用光谱的不同光谱过滤器可以相同或相互不同。光学系统 102的元件的顺序可以与图7中所示的不同。图8和9表示根据本发明的不同实施例的系统113和114的部分。系统113可以包括光学系统103和传感器110。系统114可以包括光学元系统104 和传感器110。传感器110可以是摄像机、传感元件阵列和类似物。系统113和114都可以包括额外的元件(没有示出)如用于控制系统的控制器，用于处理由传感器110获得的图像的图像处理器，用于支撑物体10和移动物体的机械台，和类似物。每一个光学系统103和104都可以包括a. 一个非偏振分束器130，设置成⑴从非偏振光源150接收非偏振光；(ii)将非偏振光导向线性偏振元件140 ； (iii)将基于偏振的滤波信号从线性偏振元件140向着光收集元件(如透镜17 或向着传感器110传输；b. 一个线性偏振元件140，设置成(a)将非偏振光偏振，以提供入射到物体10上的偏振光；(b)对从物体接收的多重反射光信号和附加光信号进行基于偏振的滤波，从而将多重反射光信号衰减(和甚至消除)，以提供基于偏振的滤波光信号。c.至少一个光学收集元件如透镜173，用于提供收集光的收集路径。图8表示线性偏振元件140是最靠近物体10的元件，而图9表示透镜173位于线性偏振元件140和物体10之间。注意到，可以提供上述系统中任意系统的任意元件组合。例如，上述提及的每个系统都可以包括一个或多个光谱过滤器、偏振调整元件、多个收集透镜、和类似物。上述提及的每个系统的部件的顺序，上述提及的每个系统的元件的数量，在不脱离本发明精神的情况下都可以改变。图10表示方法1000，根据本发明的一个实施例。方法1000可以通过上述提及的
任意系统来实施。方法1000开始于用沿第一方向线性偏振的入射光照射物体的阶段1010。物体包括一个顶面和多个倾斜的侧面。每个倾斜的侧面具有沿着倾斜侧面方向导向的顶棱，并且每个倾斜侧面方向相对于第一方向定向。阶段1010后面接着是阶段1030，对多重反射光信号和附加光信号上进行基于偏振的滤波，从而抑制多重反射光信号，以提供基于偏振的滤波光信号。多重反射光信号被所述多个倾斜侧面中的多个倾斜侧面多次反射。多重反射光信号是沿着与第一方向不同的第二方向线性偏振的。每个附加光信号从物体的一个单独的元件被反射。附加光信号是沿着与第一方向和第二方向不同的第三方向线性偏振的。阶段1030可以包括应用滤波功能，从而将具有与沿第三方向线性偏振不同的偏振的光信号衰减。第二方向可以垂直于第三方向。位于至少一个倾斜侧面方向和第一方向之间的第一角度基本上等于45度。阶段1030后面接着是收集多重反射光信号和收集附加光信号的阶段1040。
阶段1040后面接着是检测基于偏振的滤波光信号的阶段1050。图11表示根据本发明的一个实施例的检验物体的方法1100。方法1100可以通过图6的系统111来实施。方法1100可以包括以下顺序的阶段a.偏振阶段1110，通过一个线性偏振元件，对从非偏振光源接收的输入光进行偏振，以提供偏振光。b.接收阶段1120，通过一个非偏振分束器，接收偏振光并将偏振光导向物体，以提供入射光。C.收集阶段1130，收集来自物体的多重反射光信号和附加光信号。d.传输阶段1140，通过非偏振分束器，将多重反射光信号和附加光信号向着第一滤波元件传输。e.执行阶段1150，通过第一滤波元件，对多重反射光信号和附加光信号执行基于偏振的滤波，从而衰减(和甚至消除)多重反射光信号，以提供基于偏振的滤波光信号。f.检测阶段1160，检测基于偏振的滤波光信号。图12表示根据本发明的一个实施例的检验物体的方法1200。方法1200可以通过图7的系统112来实施。方法1200可以包括以下顺序的阶段a.执行阶段1210，通过第一光谱过滤器，对从非偏振光源接收的输入光进行光谱过滤，以提供光谱过滤输入光。b.偏振阶段1220，通过一个线性偏振元件，将光谱过滤输入光偏振，以提供为偏振光。c.接收阶段1230，通过一个非偏振分束器，接收偏振光并将偏振光导向物体，以提供入射光。d.传输阶段1240，将多重反射光信号和附加光信号(从物体)向着第一滤波元件传输。e.执行阶段1250，通过第一滤波元件，对多重反射光信号和附加光信号执行基于偏振的滤波，从而衰减(和甚至消除)多重反射光信号，并输出基于偏振的滤波光信号。f.调整阶段1沈0，通过一个偏振调整元件，将基于偏振的滤波信号的偏振调整到传感器需要的偏振，以提供偏振调整光信号。g.执行阶段1270，通过第二光谱过滤器，对偏振调整光信号执行光谱过滤，以提供偏振调整和光谱过滤光信号。h.检测偏振调整和光谱过滤光信号的阶段1280。图13表示根据本发明的一个实施例的检验物体的方法1300。方法1300可以通过图7或8的系统113或114来实施。方法1300可以包括以下顺序的阶段a.接收阶段1310，通过一个非偏振分束器，接收来自非偏振光源的非偏振入射光，并将非偏振光导向一个线性偏振元件；b.偏振阶段1320，通过线性偏振元件，对非偏振光进行偏振，以提供入射到物体上的偏振光；
c.执行阶段1330，通过线性偏振元件，对从物体接收的多重反射光信号和附加光信号执行基于偏振的滤波，从而衰减(和甚至消除)多重反射光信号，以提供基于偏振的滤波光信号；d.将基于偏振的滤波信号从线性偏振元件导向一个光收集元件或传感器110的阶段1340 ；e.检测阶段1350，检测基于偏振的滤波光信号。还可以提供任意上述方法的任意阶段的任意组合。在本发明中，仅仅示出和描述了本发明的示例性实施例和其多方面中的少量例子。可以理解的是，本发明能够用在多种其他的组合和环境中，并且在这里描述的本发明构思内能够进行改变或修改。
权利要求
1.一种方法，包括用第一偏振的入射光照射物体；执行(a)多重反射光信号的基于偏振的滤波，每个多重反射光信号从物体的至少两个不同的倾斜侧面被反射，以及执行(b)附加光信号的基于偏振的滤波，每个附加光信号从物体的一个单独的元件被反射，从而抑制多重反射光信号和提供基于偏振的滤波光信号； 以及检测基于偏振的滤波光信号。
2.根据权利要求1所述的方法，其中第一偏振是沿第一方向的线性偏振；其中，多重反射光信号是沿着与第一方向不同的第二方向的线性偏振的；以及其中，附加光信号具有沿着与第一方向和第二方向都不同的第三方向的线性偏振的性质。
3.根据权利要求2所述的方法，其中，基于偏振的滤波的执行包括应用滤波功能来衰减光信号，所述光信号的偏振不同于沿着第三方向的线性偏振。
4.根据权利要求2所述的方法，其中，第二方向垂直于第三方向。
5.根据权利要求1所述的方法，其中，物体包括一个顶面和多个倾斜的侧面；其中，至少一个倾斜的侧面具有沿着倾斜侧面方向导向的顶棱；以及其中，至少一个倾斜侧面方向和第一方向之间的第一角度基本上等于45度。
6.根据权利要求1所述的方法，其中，在基于偏振的滤波之前收集多重反射光信号和收集附加光信号。
7.根据权利要求1所述的方法，其中，在照射物体之前进行通过一个线性偏振元件对输入光进行偏振，以提供偏振光；将偏振光导向一个非偏振分束器；和通过非偏振分束器将偏振光导向物体，以提供入射光；以及其中，在执行基于偏振的滤波之前，通过将附加光信号和多重反射光信号穿过非偏振分束器，来收集附加光信号和收集多重反射光信号。
8.根据权利要求6所述的方法，进一步包括对输入光和基于偏振的滤波光中的至少之一进行光谱过滤。
9.根据权利要求1所述的方法，其中，在照射物体之前进行将输入光导向一个非偏振分束器；通过该非偏振分束器将输光导向线性偏振元件；和通过该线性偏振元件来对输入光进行偏振，以提供入射光；其中，基于偏振的滤波是通过线性偏振元件来执行的。
10.根据权利要求8所述的方法，其中，线性偏振元件是最靠近物体的光学元件。
11.根据权利要求8所述的方法，其中，光学收集系统的至少一个光学元件位于线性偏振元件和物体之间；其中，光学收集系统用于收集多重反射光信号和附加光信号。
12.根据权利要求1所述的方法，包括通过传感器检测基于偏振的滤波光信号；以及其中，该方法进一步包括将基于偏振的滤波光的偏振调整为传感器需要的偏振。
13.根据权利要求11所述的方法，其中，传感器需要的偏振是旋转偏振。
14.根据权利要求1所述的方法，其中，每个倾斜的侧面具有沿着倾斜侧面方向导向的顶棱；其中，每个倾斜侧面方向相对于第一方向定向。
15.一种检验系统，包括光学系统，设置为用第一偏振的入射光照射物体；和执行(a)多重反射光信号的基于偏振的滤波，每个多重反射光信号从物体的至少两个不同的倾斜侧面被反射，以及执行(b)附加光信号的基于偏振的滤波，每个附加光信号从物体的一个单独的元件被反射，从而抑制多重反射光信号和提供基于偏振的滤波光信号； 以及检测基于偏振的滤波光信号的传感器。
16.根据权利要求15所述的检验系统，其中，第一偏振是沿第一方向的线性偏振；其中，多重反射光信号是沿着与第一方向不同的第二方向的线性偏振的；以及其中，附加光信号具有沿着与第一方向和第二方向都不同的第三方向的线性偏振的性质。
17.根据权利要求16所述的检验系统，其中，执行基于偏振的滤波包括应用滤波功能来衰减光信号，所述光信号的偏振不同于沿着第三方向的线性偏振。
18.根据权利要求16所述的检验系统，其中，第二方向垂直于第三方向。
19.根据权利要求16所述的检验系统，其中，物体包括一个顶面和多个倾斜的侧面；其中，至少一个倾斜的侧面具有沿着倾斜侧面方向导向的顶棱；以及其中，至少一个倾斜侧面方向和第一方向之间的第一角度基本上等于45度。
20.根据权利要求15所述的检验系统，其中，在第一滤波元件之前有至少一个用于收集多重反射光信号和收集附加光信号的光学收集元件。
21.根据权利要求15所述的检验系统，其中，光学系统包括线性偏振元件，设置为对输入光进行偏振以提供偏振光；非偏振分束器，设置为从线性偏振元件接收偏振光，并将偏振光导向物体，以提供入射光；第一滤波元件，其设置为执行基于偏振的滤波；和用于收集多重反射光信号和收集附加光信号的光学收集元件。
22.根据权利要求21所述的检验系统，其中，光学收集元件位于传感器和第一滤波元件之间。
23.根据权利要求21所述的检验系统，其中，光学收集元件位于物体和第一滤波元件之间。
24.根据权利要求15所述的检验系统，包括至少一个光谱过滤器，设置为对输入光和基于偏振的滤波光中的至少之一进行光谱过滤。
25.根据权利要求15所述的检验系统，包括非偏振分束器，设置为接收输入光；和线性偏振元件；其中，非偏振分束器设置为将输入光导向线性偏振元件；其中，线性偏振元件设置为对输入光进行偏振以提供入射光和执行基于偏振的滤波。
26.根据权利要求25所述的检验系统，其中，线性偏振元件是最靠近物体的光学元件。
27.根据权利要求25所述的检验系统，其中，光学系统的至少一个光学元件位于线性偏振元件和物体之间。
28.根据权利要求15所述的检验系统，包括一个偏振调整元件，设置为将基于偏振的滤波光的偏振调整为传感器需要的偏振。
29.根据权利要求观所述的检验系统，其中，传感器需要的偏振是旋转偏振。
30.根据权利要求15所述的检验系统，其中，每个倾斜的侧面具有沿着倾斜侧面方向导向的顶棱；其中，每个倾斜侧面方向相对于第一方向定向。
全文摘要
一种检验系统和方法。该方法可以包括用第一偏振的入射光照射物体；执行(a)多重反射光信号的基于偏振的滤波，每个多重反射光信号从物体的至少两个不同的倾斜侧面被反射，以及执行(b)附加光信号的基于偏振的滤波，每个附加光信号从物体的一个单独的元件被反射，从而抑制多重反射光信号和提供基于偏振的滤波光信号；以及，检测基于偏振的滤波光信号。
文档编号G01N21/21GK102445418SQ20111029391
公开日2012年5月9日 申请日期2011年8月10日 优先权日2010年8月10日
发明者Z·本-埃泽尔 申请人:卡姆特有限公司