专利名称：平板玻璃表面的异物检测装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种平板玻璃(flat glass plate)表面的异物检测装置，更具体而 言，涉及一种可对蒸镀着微电路(micro-circuit)的图案的面的异物进行准确检测的平板 玻璃表面的异物检测装置。
背景技术：
用于平板显示器(plat display)的平板玻璃，只在一面上蒸镀着微电路的图案， 玻璃业界将该面称作“A面”，而另一面上并未蒸镀着微电路的图案，且玻璃业界将该另一面 称作“B面”。在平板玻璃的A面的表面有异物的情况下，如果将微电路的图案蒸镀在此异物之 上，则容易引起微电路的图案不良。因此，必须在蒸镀微电路的图案之前，准确检查出玻璃 基板(特别是应蒸镀着电路的A面)上是否有异物。图1是现有的平板玻璃表面的异物检测装置的示意图。现有的平板玻璃表面的异 物检测装置使用激光束(laser beam)照射部20将具有较小厚度的激光束从倾斜方向射入 至平板玻璃。所射入的激光束31的一部分在通过平板玻璃后会透过该平板玻璃而形成一 种透过激光束35，而所射入的激光束31的剩余部分则被平板玻璃所反射，从而形成反射激 光束33。如图1所示，当使激光束以与平板玻璃的面形成较大角度的方式而从倾斜方向射 入时，所射入的激光束31到达平板玻璃的A面的部位与投射激光束3 5到达平板玻璃的B 面的部位之间会存在SL程度的水平距离上的差异。当在A面的上部使用A面摄像装置11来对异物进行拍摄时，能够对只存在于平面 玻璃的A面上的异物进行拍摄。此时的原理中利用了如下现象，即，当A面摄像装置11进 行拍摄时，仅到达平板玻璃的A面的激光束因A面的异物81而产生散射并朝向透镜(lens) 射入，而到达平板玻璃的B面的激光束在偏离了 δ L程度的位置处到达平板玻璃的B面，因 此不会射入至A面摄像装置11的透镜中。然而，图1的现有的平板玻璃表面的异物检测装 置中存在如下问题如果所使用的激光束的厚度不是非常薄，则无法只对平板玻璃的A面 的异物进行检测，而根据现实中能够使用的激光束的厚度，存在于平板玻璃的B面上的一 部分异物91也会一同被检测到。因平板玻璃的A面与平板玻璃的B面上附着有异物不过是普通的现象，所以在如 图1所示的现有的异物检测装置中会检测到位于平板玻璃的B面上的一部分异物，因而如 果使用该检测结果，则无法获取与平板玻璃的A面上的异物相关的准确信息。此外，目前的 现状为，如果平板玻璃的厚度越薄，则射入激光束31到达平板玻璃的A面的部位与投射激 光束35到达平板玻璃的B面部位之间的水平距离上的差异即δ L减少，从而检测结果更不 准确。另一问题则为当平板玻璃的移送装置上下振动时，准确地区分A面的异物与B面 的异物将变得更加困难。因而存在如下问题，即为了解决如上所述的问题，必须在现有的平板玻璃的异物检测装置中使用高价的精密搬送设备。

发明内容
本发明是为了解决所述问题而完成的，其目的在于提供一种平板玻璃表面的异物 检测装置，其即便使用上下振动的相对廉价的搬送装备，也能够对附着于蒸镀着微电路的 图案的平板玻璃的表面的A面上的异物进行准确检测。本发明的所述目的可通过平板玻璃表面的异物检测装置而达成，所述平板玻璃表 面的异物检测装置对附着于平板玻璃的表面上的异物进行检测，所述平板玻璃包括由A面 与B面构成的两面，其特征在于包括A面激光束照射装置，从平板玻璃的A面的上部朝向 所述A面，以A面的法线向量(normalvector)为基准且以第一角度照射已向S方向偏光的 第1波长的激光束；A面摄像装置，对将激光束照射至平板玻璃的A面上的部位进行拍摄， 所述激光束是从A面激光束照射装置而照射；B面激光束照射装置，从平板玻璃的A面的上 部，以A面的法线向量为基准且以比第一角度更小的第二角度朝向所述A面而照射第2波 长的激光束，所述第2波长的激光束是被照射的激光束的大部分在平板玻璃的厚度方向上 透过后所得；B面摄像装置，对将激光束照射至平板玻璃的B面上的部位进行拍摄，所述激 光束是从B面激光束照射装置而照射；以及检测信号处理部，对从A面摄像装置及B面摄像 装置所输入的影像图像进行分析，通过对哪个摄像装置更清晰地输出异物来进行判别，而 对附着异物的面进行判别。[发明的效果]根据本发明的平板玻璃表面的异物检测装置，即便使用发生上下振动的精度低 的平板玻璃的移送装置，也可对存在于平板玻璃基板上的异物附着于A面与B面中的哪 一面进行准确检测，因此使用该异物检测装置，能够使生产液晶显示器(Liquid Crystal Display, LCD)、有机电致发光(electroluminescence，EL)等的平板显示器时有可能发生 的微图案的不良现象减少。上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段， 并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。


为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现 有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发 明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根 据这些附图获得其他的附图。图1是现有的平板玻璃表面的异物检测装置的示意图。图2是示意地表示本发明的平板玻璃表面的异物检测装置的较佳实施方式的结 构图。图3是图2的A-A'方向的局部剖面图。图4是表示相对于S偏光波对玻璃的射入角的透过率(transmittance)及反射率 (reflectance)的图表。图5是说明相对于激光束的射入角的反射角及透过角的波形图。
图6是表示相对于P偏光波对玻璃的射入角的透过率及反射率的图表。图7是用于说明P偏光及S偏光的波形图。图8是用于说明由A面激光照射装置所照射的激光束在因附着于玻璃基板上的异 物而产生散射后，由A面摄像装置进行检测的过程的说明图。图9是表示经由本发明的平板玻璃表面的异物检测装置来对附着于玻璃基板上 的异物进行检测，且视觉上显示出该检测结果的实施方式。图10是用于说明即便在玻璃基板的移送装置垂直移动的情况下，也可通过本发 明的平板玻璃表面的异物检测装置来准确进行异物的检测的说明图。图11是用于说明本发明中所使用的激光束的形状的说明图。[符号的说明]11 :A面摄像装置11-81、13-91 异物检测图像的画面11-91:图像的画面13 =B面摄像装置13-81 :A面异物的拍摄图像20 激光束照射部30 平板玻璃31 激光束32 玻璃基板33 反射激光束35 透过激光束50 =A面摄像装置照射至玻璃基板30的上部的区域51 :A面激光束照射装置53 =B面激光束照射装置53i、55:射入光53r、57 反射光53t、59 透过光59 激光束81:A 面异物90 检测信号处理部91 :B 面异物83 散射光100:平板玻璃移送方向G :A面的法线向量S 激光束照射至平面玻璃30的A面上的区域T 激光束59的厚度t 玻璃基板30的厚度w 玻璃基板30的宽度方向x、y、z:轴
φ 激光束59的宽度θ 1 第一角度θ 2 第二角度θ 2t、θ 2r 角度δ L 水平距离上的差异
具体实施例方式以下，参考附图来对本发明的平板玻璃表面的异物检测装置的较佳实施方式进行 详细说明。图2是示意地表示本发明的平板玻璃表面的异物检测装置的较佳实施方式的结 构图，图3是图2的A-A'方向的局部剖面图。在进行说明之前，将分别设置着A面激光束照射装置51与B面激光束照射装置53 的一侧面定义为如下含义形成为长方形的平板玻璃基板30的四个角部中的处于与平板 玻璃基板30的移送方向平行位置处的角部。参考图2及图3，本发明的平板玻璃表面的异物检测装置包括:Α面激光束照射装 置51，从平板玻璃基板30的上部的一侧面朝向A面，照射已向S方向偏光的第1波长的激 光束；A面摄像装置11，接收因存在于A面上的异物而产生散射的激光束；B面激光束照射 装置53，从平板玻璃基板30的侧面对B面照射第2波长的激光束；B面摄像装置13，接收 因存在于B面上的异物而产生散射的激光束；以及检测信号处理部90，根据从A面摄像装 置11及B面摄像装置13所输入的影像信号，而对该异物附着于A面或B面中的哪一面上 进行检测。玻璃基板30是用于如IXD这样的显示器装置的面板中的薄玻璃材质的基板，一般 来说，由0. 5mm至0. 7mm的厚度构成，A面是指蒸镀形成着微电路的图案的面，B面是指未形 成着微电路的图案的面。参考编号“ 100，，表示玻璃基板30的移送方向，符号S表示将由A 面的激光照射部51与B面的激光照射部53所照射的激光束照射至平面玻璃30的A面上 的区域。由激光束照射装置51、53照射至玻璃基板的A面及B面的激光束优选具有大致 IOOmm的宽度及0. 65mm至0. 95mm的厚度。此时，激光束的宽度尺寸(约100mm)适合于具 有大致Im宽的玻璃基板30，而如果玻璃基板大型化，则也必须随之使用宽度相应变大的激 光束。例如，如果工序中的玻璃基板30是具有大于等于Im的宽度的玻璃基板30，则激光束 优选具有大于等于IOOmm的宽度，而如果工序中的玻璃基板30具有小于等于Im的宽度，则 所述激光束优选具有小于等于IOOmm的宽度。A面激光束照射装置51是用于对附着于玻璃基板30的A面上的异物进行检测的 装置，优选使从A面激光束照射装置51输出的激光束尽可能不透过平板玻璃基板30以便 产生反射。其理由在于当将从A面激光束照射装置51照射的激光束与平板玻璃30的A 面的法线向量G所成的角度定义为“第一角度”(图3的Θ1)时，第一角度θ 1较佳为尽可 能维持为接近90度。图4是表示S偏光波相对于玻璃的射入角的透过率及反射率的图表。如图4所示 可知当从A面激光束照射装置51照射的激光束与A面的法线向量形成75度(也就是，θ 1=75度)而射入时，射入光的约45%会被反射。在大气中，从A面激光束照射装置51照射 至A面的光会在包括如下的边界面在内的两个边界面发生反射，即，所述光到达A面的边界 面及已透过A面的光到达B面的边界面。因此，理论上可知，如果第一角度θ 1达到75度， 则射入光的约65%左右的光会被反射，本申请案的发明人发现当可达成此种程度的反射 率时，便可适用于实际的A面的异物检测。更优选为，若将第一角度θ 1维持为大于等于80 度且小于等于90度之间，则可将反射率维持为大于等于85%，因此能够更有效地进行A面 的异物检测。B面激光束照射装置53是用于对附着于玻璃基板30的B面上的异物进行检测而 照射激光束的装置。如图5所示，从B面激光束照射装置53照射的激光束，如果作为射入光 53i而以θ 2的角度射入，则射入光53i中的一部分会以Θ2 的角度而形成透过光53t，其 剩余部分会以Θ2γ的角度形成反射光53r。更严格来说，还存在被玻璃基板30吸收的光， 但由于该光量非常少所以可忽视。与图2相同，当从A面的上部的侧面使用B面激光束照射 装置53进行照射时，优选从B面激光束照射装置53输出的激光束尽可能在平板玻璃基板 30的厚度方向上透过。根据所述理由，在将从B面激光束照射装置53照射的激光束与平板 玻璃30的A面的法线向量G所成的角度定义为“第二角度”(图3的Θ2)的情况下，优选 将第二角度θ 2尽可能维持为接近0度。当并未使用偏光的光来作为B面激光束时，根据 实验，第二角度θ 2尽可能小于等于40度较佳，更优选小于等于10度。当将未偏光的激光 束照射至玻璃时，相对于射入角的透过率及反射率表示在与图4相同的图表中，从而可知 当第二角度θ 2为40度时，射入光中的85%左右得以透过，而当第二角度θ 2为10度时， 射入光中的97%左右得以透过。图6是表示相对于P偏光波相对于玻璃的射入角的透过率及反射率的图表。如图 6所示可知在使用P偏光波来作为从B面激光束照射装置53照射的激光束的情况下，如 果与A面的法线向量形成70度(也就是，Θ2 = 70度)而射入，则射入光的约90%得以 透过。因此，理论上说，在使用P偏光的激光束来作为B面激光的情况下，如果将第二角度 θ 2维持为小于等于70度，则可使射入光的约大于等于90%的光透过，本申请案的发明人 发现当可达成此种程度的透过率时，便可适用于实际的B面的异物检测。更优选为，使从B面激光束照射装置53射出的激光束作为已向P方向偏光的第 2波长的激光束而形成，且优选使该激光束以布儒斯特角(Brewsterangle)射入。如果已 向P方向偏光的光在玻璃基板30上形成布儒斯特角而射入，则不会产生反射波，而是能够 100%透过，参考图6，可知布儒斯特角在约55度附近成立。此外，优选A面摄像装置11与B面摄像装置13分别包括仅使第1波长通过的滤 光片(filter)、及仅使第2波长透过的滤光片。另外，对P偏光方向与S偏光方向进行如下说明。前进的光在与前进方向垂直的 方向上形成着具有正弦波形状的电场及磁场，但一般来说，将形成着电场的方向规定为偏 光方向。以下参考图7来对偏光方向进行说明。具有固定宽度及厚度的激光束朝向进入地 面的方向前进，当将与地面接触的面设为S面时，如果所述激光束在y轴方向上形成电场， 则将该现象称作P偏光，而如果在χ轴方向上形成电场，则将该现象称作S偏光。参考图2 进行说明，如果从A面激光束照射装置51所照射的激光束在与照射至平板玻璃30的A面上 的区域S平行的面上形成着电场，则将该现象称作P偏光，而如果在垂直的面上形成电场，则将该现象称作S偏光。图8是用于说明由A面激光照射装置所照射的激光束在因附着于玻璃基板上的异 物而产生散射后，由A面摄像装置进行检测的过程的说明图。图9是表示经由本发明的平 板玻璃表面的异物检测装置来对附着于玻璃基板上的异物进行检测，且视觉上显示出该检 测结果的实施方式。在进行说明之前，假设在玻璃基板30的A面与B面上分别附着有A面 异物81与B面异物91，对本发明的平板玻璃表面的异物检测装置的作用进行说明。由A面 激光束而照射至玻璃基板30的A面的射入光55在到达A面之后，大部分被反射而形成反 射光57，而少量的剩余部分则形成可透过该玻璃基板30的透过光59。以下参考图8及图9，对存在于玻璃基板上的异物的检测、及用于掌握所检测的异 物存在于玻璃基板中的哪一面上的具体方法进行说明。当将由A面激光束的照射装置所照 射的激光束照射至A面异物81上时，A面激光束的射入光55或反射光57中的一部分会因 A面异物81而以任意的角度产生散射，且被配设于玻璃基板30的上部的A面摄像装置11 所接收。图9的“11-81”表示异物检测图像的画面，该画面是在A面摄像装置11对因所述 玻璃基板30的A面异物81而被散射反射的A面激光束进行感知后所显示者。如图8及图 9所示，被散射反射的光越多，则所检测到的图像得以更清晰地显示，从而将玻璃基板30的 A面上存在异物81的情况显示给作业人员看。即便一部分被透过的A面激光束到达B面异物91，也会因A面激光束的大部分已 被A面所反射，而到达B面异物91上的A面激光束的量相对较少，因此其影响(也就是，散 射及反射)较少。因此，根据由A面摄像装置11所检测到的影像信号生成而提供的图像的 画面(图9的“11-91”)整体显示为较暗的空白状态，或者被检测到的异物的影像的分辨率 被显示成非常低且不清晰的图像形态。实际上，A面摄像装置11拍摄出一张影像图像，该 影像的图像中同时显示出清晰拍摄到的A面异物、及以相对较少的光量进行拍摄而模糊拍 摄到的B面异物。另一方面，对附着于玻璃基板30的B面上的B面异物91进行以下说明。当由B面 激光束照射装置53所照射的B面激光束到达A面异物81时，会相对于所射入的所有光产 生散射及反射，因此由B面摄像装置13拍摄到的A面异物的拍摄图像(图9的“13-81”) 以清晰的图像形态来显示。另一方面，当附着于玻璃基板30的B面上的B面异物91被照 射了由B面激光束的照射装置53所照射的激光束时，B面激光束的大部分会因B面异物91 而以任意的角度产生散射，且被配设于玻璃基板30的上部的B面摄像装置13所接收。图 9的“13-91”表示异物检测图像的画面，该画面是B面检测装置13对因附着于玻璃基板30 的B面上的异物91而被散射反射的B面激光束进行感知后所显示者。实际上，B面摄像装 置13拍摄出一张影像图像，因而该影像图像中显示了清晰拍摄到的A面异物与清晰拍摄到 的B面异物。本发明的检测信号处理部可利用由A面摄像装置所拍摄的影像图像及由B面摄像 装置所拍摄的影像图像中所表示的各异物的清晰度，而检测出该异物附着于哪个面上。以下，假设如下情况，即，利用A面激光束照射装置51使S方向偏光的第一频率激 光束维持为与A面的法线向量成80度而射入，且利用B面激光束照射装置53使P方向偏 光的第二频率激光束维持为与A面的法线向量成布儒斯特角而射入，从而对本发明的A面 异物81与B面异物91的检测方法进行定量说明。此时，假设为如下情况A面激光束及B面激光束具有100程度的射入量，A面激光束在大气中被反射的反射率为85%，且B面激光 束可100%透过，而且，照射至异物的光产生100%的散射。表 1
A面异物B面异物A面激光束10015B面激光束100100相对于各面的异物 的合计光量200115此时，如表1所示，利用由A面激光束照射装置所照射的A面激光束，A面异物产生 了 100程度的散射，而另一方面，对于B面异物而言只产生了 15程度的散射。与其相比，如 果假设B面摄像装置的焦点在A面与B面被同等识别出，则由B面激光束照射装置所照射的 B面激光束在照射至A面后会100%透过B面，因此对于A面异物与B面异物双方均产生了 100程度的散射。因此，由A面摄像装置及B面摄像装置所检测到的、相对于A面异物而散 射的光量总计为200，与此相对，由A面摄像装置及B面摄像装置所检测到的、相对于B面异 物而散射的整体的光量为115。如果检测信号处理部对由A面摄像装置所拍摄到的影像图 像、与由B面摄像装置所拍摄到的影像图像加以比较，则能够检测出各自的异物是存在于A 面上的异物、还是存在于B面上的异物。根据表1的比较，当难以进行异物的检测时，如果将A面激光束的强度设定为比B 面激光束的强度大2倍，则能够更容易地进行检测。如果假设为如下情况则所述表1的数 值变为如表2所示A面激光束具有射入量200，B面激光束具有射入量100，A面激光束在 大气中被反射的反射率为85%，B面激光束100%透过，此外，照射至异物的光产生100%的散射。表2
A面异物B面异物A面激光束20030B面激光束100100相对于各面的异物 的合计光量300130 如以上的表2所示，在使A面激光束照射装置与B面激光束照射装置的输出不同 的情况下，更可靠地示出由异物的位置所引起的光量的差，因此检测信号处理部可使用从A 面摄像装置及B面摄像装置接收到的该异物的合计散射光量，而更容易地检测出该异物附着于哪个面上。图10是用于说明即便在玻璃基板30的移送装置垂直移动的情况下，也可通过本 发明的平板玻璃表面的异物检测装置来准确进行异物的检测的说明图。图10(a)表示移送 中的玻璃基板30水平地在正常位置进行移送的过程的图，图10(b)所示的玻璃基板32是 因移送装置的垂直偏差而其平坦度(flatness)发生改变的玻璃基板32，且表示了在从正 常的位置30向上部侧平坦度改变了“ Δ ”的状态下进行移送的过程。图10中，将A面摄像 装置照射至玻璃基板30的上部的区域表示为参考编号“50”。以前，玻璃表面的异物检测装置如所述般，无法适当应对移送中所产生的玻璃基 板30的平坦度改变，从而存在附着于玻璃基板30上的异物的检测精度降低的问题。然而， 本发明的平板玻璃表面的异物检测装置即便在玻璃基板30的平坦度发生改变的情况下， 也能够利用从与玻璃基板30的移送方向垂直的方向照射而来的激光束，而将由基板30的 平坦度改变所引起的影响最小化。如果参考图10(a)及(b)来对A面异物的检测过程进行讨论，则即便已到达被照 射着A面激光束59的区域的玻璃基板30从完全的平面位置(也就是，玻璃基板“30”的位 置)向上部方向移动“ Δ ”而位于更高的地点(也就是，玻璃基板“32”的位置)，玻璃基板 32的上表面也可维持成依然包含于上部激光束59的内部的状态。因此，能够产生由附着于 玻璃基板30的A面的异物所引起的散射反射，从而能够可靠进行异物的检测。其原因在于本发明的平板玻璃表面的异物检测装置通过以如下方式而构成从 与玻璃基板30的移送方向垂直的方向照射A面激光束59，同时将上部激光束59从玻璃基 板30的上表面以形成规定的倾斜角而从斜方向射入，从而即便在处于移送中的玻璃基板 30上发生平坦度改变了 “ Δ，，的情况下，玻璃基板32的上表面也总是能够包含在所述激光 束的宽度方向的内表面。图11是用于说明本发明中所使用的激光束的形状的图。图11 (a)是表示从移送中 的玻璃基板30的A面的侧面照射激光束59至纸面的近前侧的图，图11(b)是表示图11(a) 的B-B'剖面的图。如图11(b)所示，激光束59具有如下的椭圆形状在玻璃基板30的宽 度方向w上具有较小的厚度T，在玻璃基板30的厚度t方向上具有较宽的宽度Φ。通过使 用此种激光形状，即便在使用了平坦度不固定且相对廉价的移送装置的情况下也能够准确 检测出玻璃基板30上的异物。以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽 然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人 员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的结构及技术内容作出些许的更 动或修饰为等同变化的等效实施例，但是凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明 的技术实质来对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术 方案的范围内。
权利要求
1.一种平板玻璃表面的异物检测装置，对附着于平板玻璃的表面上的异物进行检测， 所述平板玻璃包括由A面与B面构成的两面，其特征在于包括A面激光束照射装置，从所述平板玻璃的A面的上部朝向所述A面，以A面的法线向量 为基准且以第一角度照射已向S方向偏光的第1波长的激光束；A面摄像装置，对将激光束照射至所述平板玻璃的A面上的部位进行拍摄，所述激光束 是从所述A面激光束照射装置而照射；B面激光束照射装置，从所述平板玻璃的A面的上部，以A面的法线向量为基准且以比 所述第一角度更小的第二角度朝向所述A面而照射第2波长的激光束，所述第2波长的激 光束是被照射的激光束的大部分在平板玻璃的厚度方向上透过后所得；B面摄像装置，对将激光束照射至所述平板玻璃的B面上的部位进行拍摄，所述激光束 是从所述B面激光束照射装置而照射；以及检测信号处理部，对从所述A面摄像装置及所述B面摄像装置所输入的影像图像进行 分析，而对附着所述异物的面进行判别。
2.根据权利要求1所述的平板玻璃表面的异物检测装置，其特征在于所述A面摄像装置中设置着可选择性地透过所述第一波长的滤光片，在所述B面摄像 装置中设置着可选择性地透过所述第二波长的滤光片。
3.根据权利要求1所述的平板玻璃表面的异物检测装置，其特征在于 所述第一角度大于等于75度。
4.根据权利要求3所述的平板玻璃表面的异物检测装置，其特征在于 所述第一角度大于等于80度。
5.根据权利要求1所述的平板玻璃表面的异物检测装置，其特征在于 所述B面激光束照射装置照射已形成为P偏光的激光束。
6.根据权利要求5所述的平板玻璃表面的异物检测装置，其特征在于所述第二角度是角度维持为90度的布儒斯特角，所述角度是由所述B面激光束照射装 置照射的激光束被平板玻璃的A面所反射的反射波、与在所述平板玻璃的厚度方向上折射 的折射波而成的角度。
7.根据权利要求5所述的平板玻璃表面的异物检测装置，其特征在于 所述第二角度相对于所述A面的法线向量而小于等于70度。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的玻璃表面的异物检测装置，其特征在于 从所述A面激光束照射装置及B面激光束照射装置照射的激光束具有由所述玻璃基板的厚度方向而定义的宽度Φ、及由所述玻璃基板的宽度方向而定义的厚度T，所述激光束 为宽度Φ形成得比厚度T更大的椭圆形状。
9.根据权利要求1至5中任一项所述的玻璃表面的异物检测装置，其特征在于 所述第二角度为大于等于0度且小于等于40度之间的角度。
全文摘要
本发明涉及平板玻璃表面的异物检测装置，包括A面激光束照射装置，从平板玻璃的A面的上部朝向A面，以A面的法线向量为基准且以第一角度照射已向S方向偏光的第1波长的激光束；A面摄像装置，对将激光束照射至平板玻璃的A面上的部位进行拍摄，该激光束是从A面激光束照射装置而照射；B面激光束照射装置，从平板玻璃的A面的上部，以A面的法线向量为基准且以比第一角度更小的第二角度而朝向所述A面照射第2波长的激光束，所述第2波长的激光束是被照射的激光束的大部分在平板玻璃的厚度方向上透过后所得；B面摄像装置，对将激光束照射至平板玻璃的B面上的部位进行拍摄，该激光束是从B面激光束照射装置而照射；以及检测信号处理部。
文档编号G01N21/956GK102141526SQ20101014143
公开日2011年8月3日 申请日期2010年3月25日 优先权日2010年1月29日
发明者朴晋弘, 李昌夏, 金台皓, 金贤祐 申请人:三星康宁精密素材株式会社