专利名称：探针台测试监控装置的制作方法
技术领域：
探针台测试监控装置
技术领域：
本实用新型涉及半导体工业中的测试技术，特别是涉及一种探针台测试监控装置。
背景技术：
在晶圆测试的过程中，使用的设备或部件(如测试仪、探针卡、探针台等)会因各 种因素出现故障，从而导致测试异常。例如提供测试机和晶圆电气连接的探针卡与晶圆接 触不良时，会引起测试机对被测芯片是否为不良品的误判。在这种情况下测试结果就会显 示为大量芯片被连续判定为不良品。在实际生产中，如果操作人员无法实时地发现并处理 这种异常，测试就会出现连续的误判，最终导致测试的准确度及效率的下降。由于新型号的探针台较为昂贵，国内外的许多厂商仍在使用一些比较老旧的探针 台。这些探针台有些不具备监控故障导致的连续性误判的功能，有些虽然具备、但却不完 善。例如ELECTR0GLAS公司生产的EG2001系列探针台，只能实现单芯片测试(探针卡每扎 一次只测试晶圆上的一块芯片)下的连续坏芯片报警，而无法实现多芯片测试(探针卡每 扎一次测试多块芯片)下的连续坏芯片报警。虽然可以通过更换功能更强大的新型号探针台来解决这一问题，但这大大增加了 成本，还会造成现有设备的浪费。

实用新型内容为了解决旧型号的探针台不具备误判的监控功能的问题，有必要提供一种可以在 不更换探针台情况下，实时、自动地对测试中的连续性误判进行监控，并发出指令、暂停测 试的探针台测试监控装置。一种探针台测试监控装置，接收探针台发送的测试结果，该装置包括存储器，存 储所述测试结果和误判阈值；误判计数模块，根据所述测试结果记录连续不良品数量；判 断模块，与误判计数模块和存储器相连，通过判断误判计数模块记录的连续不良品数量是 否大于所述误判阈值，决定是否向探针台发送停止测试的指令。优选的，还包括与所述存储器连接的输入模块，所述存储器存储的误判阈值是通 过输入模块输入的。优选的，还包括与所述误判计数模块连接的显示模块，接收所述误判计数模块记 录的连续不良品数量并进行显示。优选的，所述显示模块还与所述存储器连接，显示误判阈值。优选的，所述显示模块采用数码管进行显示。优选的，还包括与所述判断模块连接的报警器；所述判断模块向探针台发送停止 测试的指令的同时，还向报警器发送报警指令，指示报警器报警。优选的，还包括与所述判断模块连接的报警器；所述判断模块向探针台发送停止 测试的指令的同时，还向报警器发送报警指令，指示报警器报警；所述输入模块包括按键，所述按键包括报警取消键。优选的，所述报警取消键是输入模块的按键的任意一个或多个。优选的，还包括串口数据计数模块，所述串口数据计数模块与存储器及误判计数 模块连接，记录存储器接收到的具有固定字节数的所述测试结果的数据，每收到测试结果 的一个字节数据就加1 ；串口数据计数模块根据记录的值判断所述存储器是否接收到了一 份完整的测试结果的数据，当判定接收到了一份完整的测试结果的数据时，将记录的值清 零并指示误判计数模块读取所述完整的测试结果的数据。优选的，所述误判计数模块收到表示测试的产品为不良品的测试结果时加1，收到 表示测试的产品为良品测试结果时清零。上述探针台测试监控装置能够实时、自动地对探针台的连续性误判进行监控，在 判断产生了误判时，向探针台发出停止测试的指令。提高了测试的准确度及测试效率。并 且不需要更换现有的探针台设备，节省了成本、避免了浪费。

图1是探针台测试监控装置的连接示意图；图2是一个实施例中探针台测试监控装置的结构的示意图；图3是另一个实施例中探针台测试监控装置的结构的示意图。
具体实施方式如图1所示，本实用新型为探针台100外接一个探针台测试监控装置200，在巧妙 分析控制信号数据的基础上，实现了包括多芯片测试和单芯片测试在内的各种模式下的连 续坏芯片(即不良品)误判监控。图2是一个实施例中探针台测试监控装置的结构的示意图。探针台测试监控装置 200包括存储器210、误判计数模块230以及判断模块240。存储器210和误判计数模块230 以及判断模块240相连接。存储器210与探针台100上的串口 110相连接，接收探针台100发送的芯片的测 试结果(芯片为良品或者不良品)。存储器210还存储有误判阈值，在优选的实施例中，该 阈值是预先记录在存储器210中的。误判计数模块230用于记录测试过程中芯片的连续不良品数量。具体是读取存储 器210存储的测试结果，若为表示不良品的测试结果则加1 ；若为表示良品的测试结果，则 表明先前的连续的不良品结果不是由于故障导致的误判，而是确实出现了不良品，因此误 判计数模块230清零。判断模块240用于判断误判计数模块230记录的连续不良品数量是否大于误判阈 值，大于阈值说明连续不良品的数量达到了一个异常大的值，因此判定是故障导致的误判， 向串口 110发送让探针台100停止测试晶圆的指令。图3是另一个实施例中探针台测试监控装置的结构的示意图。探针台测试监控装 置200包括存储器210、串口数据计数模块220、误判计数模块230、判断模块240、显示模块 250、报警器260以及输入模块270。存储器210与探针台100上的串口 110相连接，接收探针台100发送的芯片的测试结果(芯片为良品或者不良品)。存储器210还存储有误判阈值。串口数据计数模块220与存储器210、误判计数模块230及输入模块270连接，记 录存储器210接收到的具有固定字节数的所述测试结果的数据。由于串口 110—次只能通过一个字节的数据，而每个芯片的测试结果是多个字节 的数据，例如ELECTR0GLAS公司生产的EG2001系列探针台的每个芯片的测试结果是4个字 节的数据，误判计数模块230需要根据完整的4个字节数据来记录探针台100的晶圆测试 结果的连续不良品芯片数量。存储器210每收到串口 110的发来的测试结果的一个字节数 据，串口数据计数模块220就加1。当串口数据计数模块220的值达到4，表明收到了一份 完整的测试结果数据，串口数据计数模块220就清零，并指示误判计数模块230读取存储在 存储器210中的该测试结果。串口数据计数模块220根据记录的值判断存储器210是否接收到了一份完整的测 试结果的数据，当判定数据为完整时，才指示误判计数模块230对测试结果进行读取。由于 测试结果是包含固定字节数的数据，因此采用串口数据计数模块220可以保证读取的测试 结果的数据的完整性，不会因为读取了不完整的数据导致出错。另外，将探针台测试监控 装置200应用于测试结果的数据长度不同的探针台时，亦可以相应地对串口数据计数模块 220为何值时指示误判计数模块230读取测试结果进行设定。设定可以通过输入模块270 进行。误判计数模块230与存储器210、串口数据计数模块220、判断模块240及显示模 块250连接，从存储器210中读取并记录晶圆测试结果的连续不良品芯片数量，若是表示不 良品的测试结果则加1 ；若是表示良品的测试结果则表明先前的连续的不良品结果不是故 障导致的误判，而是确实出现了不良品，因此进行清零。误判计数模块230还将记录的值传 送给显示模块250进行显示。判断模块240与存储器210、误判计数模块230、报警器260及串口 110连接。判 断模块240获取存储器210中存储的误判阈值和误判计数模块230记录的值(芯片的连续 不良品数量)，并判断连续不良品数量是否大于误判阈值。若大于，则向串口 110发送停止 测试的指令，同时向报警器260发送报警指令，指示报警器260报警。显示模块250与误判计数模块230和存储器210连接。显示模块250接收并显示 误判计数模块230记录的连续不良品数量。显示模块250还用于显示误判阈值。在优选的 实施例中，显示模块采用数码管进行显示，成本低、显示效果较好(适应光强不同的各种环 境)，并且出现故障时易于更换；在其他实施例中亦可以采用液晶或其他方式进行显示。报警器260接收判断模块240的报警指令并报警。报警器260是一个蜂鸣器。在 优选的实施例中，报警器260还用于接收输入模块270的报警取消信号，在接到该信号后停 止报警。输入模块270与存储器210、串口数据计数模块220及报警器260连接。输入模块 270包括按键，通过按键设定误判阈值并传送给存储器210。在优选的实施例中，还可以通 过按键对串口数据计数模块220为何值时指示误判计数模块230读取测试结果进行设定。 输入模块270的按键包括报警取消键。当报警器270报警时按下报警取消键，就会向报警 器240发送停止报警信号，让报警器240停止报警。报警取消键可以是一个专用的按键，也 可以设定为报警时按下输入模块270的任意按键都会发送停止报警信号。[0035]上述探针台测试监控装置能够实时、自动地对探针台的连续性误判进行监控，在 判断产生了误判时，向探针台发出停止测试的指令。提高了测试的准确度及测试效率。并 且不需要更换现有的探针台设备，节省了成本、避免了浪费。以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细， 但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通 技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属 于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
权利要求一种探针台测试监控装置，接收探针台发送的测试结果，其特征在于，该装置包括存储器，存储所述测试结果和误判阈值；误判计数模块，根据所述测试结果记录连续不良品数量；判断模块，与误判计数模块和存储器相连，通过判断误判计数模块记录的连续不良品数量是否大于所述误判阈值，决定是否向探针台发送停止测试的指令。
2.根据权利要求1所述的探针台测试监控装置，其特征在于，还包括与所述存储器连 接的输入模块，所述存储器存储的误判阈值是通过输入模块输入的。
3.根据权利要求1所述的探针台测试监控装置，其特征在于，还包括与所述误判计数 模块连接的显示模块，接收所述误判计数模块记录的连续不良品数量并进行显示。
4.根据权利要求3所述的探针台测试监控装置，其特征在于，所述显示模块还与所述 存储器连接，显示误判阈值。
5.根据权利要求3所述的探针台测试监控装置，其特征在于，所述显示模块采用数码 管进行显示。
6.根据权利要求1所述的探针台测试监控装置，其特征在于，还包括与所述判断模块 连接的报警器；所述判断模块向探针台发送停止测试的指令的同时，还向报警器发送报警 指令，指示报警器报警。
7.根据权利要求2所述的探针台测试监控装置，其特征在于，还包括与所述判断模块 连接的报警器；所述判断模块向探针台发送停止测试的指令的同时，还向报警器发送报警指令，指示 报警器报警；所述输入模块包括按键，所述按键包括报警取消键。
8.根据权利要求7所述的探针台测试监控装置，其特征在于，所述报警取消键是输入 模块的按键的任意一个或多个。
9.根据权利要求1-8中任意一项所述的探针台测试监控装置，其特征在于，还包括串 口数据计数模块，所述串口数据计数模块与存储器及误判计数模块连接，记录存储器接收 到的具有固定字节数的所述测试结果的数据，每收到测试结果的一个字节数据就加1 ；串 口数据计数模块根据记录的值判断所述存储器是否接收到了一份完整的测试结果的数据， 当判定接收到了一份完整的测试结果的数据时，将记录的值清零并指示误判计数模块读取 所述完整的测试结果的数据。
10.根据权利要求1-8中任意一项所述的探针台测试监控装置，其特征在于，所述误判 计数模块收到表示测试的产品为不良品的测试结果时加1，收到表示测试的产品为良品测 试结果时清零。
专利摘要本实用新型涉及一种探针台测试监控装置，接收探针台发送的测试结果，该装置包括存储器，存储所述测试结果和误判阈值；误判计数模块，根据所述测试结果记录连续不良品数量；判断模块，与误判计数模块和存储器相连，通过判断误判计数模块记录的连续不良品数量是否大于所述误判阈值，决定是否向探针台发送停止测试的指令。本实用新型能够实时、自动地对探针台的连续性误判进行监控，在判断产生了误判时，向探针台发出停止测试的指令。提高了测试的准确度及测试效率。并且不需要更换现有的探针台设备，节省了成本、避免了浪费。
文档编号G01R1/067GK201637843SQ20102014280
公开日2010年11月17日 申请日期2010年3月22日 优先权日2010年3月22日
发明者顾汉玉 申请人:华润赛美科微电子(深圳)有限公司