专利名称:一种滑轨机构的改进的制作方法
技术领域:
本实用新型涉及一种老化测试试验中的装载卸载设备,具体是一种在老化测试板进入XY工作台时起限位导向作用的滑轨机构的改进。
背景技术:
在半导体行业中,产品零器件都需要进行老化测试,具体如下老化测试板是用于承载待测试产品的部件,老化测试板首先通过一个滑轨机构进入XY工作台上,滑轨机构起限位导向作用;然后待测试产品通过配套的设备放置到老化测试板上;最后老化测试板连同待测试产品一起送入老化测试设备内,进行老化测试。但现有的滑轨机构只是通过限位导轨来导向,老化测试板进入时,其边缘直接与限位导轨接触,由于它们二者之间是摩擦接触,存在摩擦力,老化测试板在进入XY工作台的过程中容易出现位置上的偏差,从而影响待检测产品的检测精度,严重时甚至导致设备停机,大大影响设备的工作效率。
发明内容本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的不足,对现有的滑轨机构进行了合理的改进,改进后的滑轨机构可以使老化测试板平顺、稳定、精确地进入XY工作台,确保待检测产品的检测精度,保证设备高效工作。按照本实用新型提供的技术方案一种滑轨机构的改进,包括两个滑轨支架,两个滑轨支架对称设置在老化测试板进入通道的两侧,每个滑轨支架上分别安装有一限位滑轨,其特征在于每个滑轨支架的两端均设置有一个轴承组件;所述轴承组件包括支架、侧轴承和下轴承,支架安装在滑轨支架端部的下部,侧轴承竖直安装在支架上,侧轴承用于对老化测试板的两侧边缘限位,侧轴承表面与限位滑轨的内侧面在同一平面上,下轴承水平安装在支架上,下轴承用于从底部支托住老化测试板。作为本实用新型的进一步改进,所述侧轴承和下轴承均采用带螺栓轴滚轮轴承。本实用新型与现有技术相比,优点在于通过对现有的滑轨机构进行合理改进,即在滑轨支架的两端分别设置轴承组件,可以使老化测试板平顺、稳定、精确地进入XY工作台,确保待检测产品的检测精度,提高了工作效率;整体结构简单且持久耐用,减少了操作人员维修维护的工作量。
图1为本实用新型的结构主视图。图2为图1的俯视图。图3为图2的后视图。
具体实施方式
[0011]下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。如图广图3所示,本实用新型涉及滑轨机构的改进。所述滑轨机构包括两个滑轨支架1,两个滑轨支架1对称设置在老化测试板进入通道的两侧,每个滑轨支架1上分别安装有一限位滑轨2 ;本实用新型的改进点是在每个滑轨支架1的两端均设置了一个轴承组件;所述轴承组件主要由支架5、侧轴承3和下轴承4组成,支架5安装在滑轨支架1端部的下部,侧轴承3竖直安装在支架5上,侧轴承3用于对老化测试板的两侧边缘限位,侧轴承3表面与限位滑轨2的内侧面在同一平面上,下轴承4水平安装在支架5上,下轴承4用于从底部支托住老化测试板。在具体应用中,老化测试板进入滑轨机构时,轴承组件中的侧轴承3以滚动的形式对老化测试板的两侧边缘进行限位导向,轴承组件中的下轴承4以滚动的形式支托住老化测试板的底部,从而可以使老化测试板的平顺、稳定、精确地进入到XY工作台上,确保待检测产品的检测精度,保证设备高效工作。如图广图3所示,本实用新型中的侧轴承3和下轴承4均采用带螺栓轴滚轮轴承。 图示实施例中,滑轨支架1前端的下轴承4采用THK公司的CF6UU轴承,其余的下轴承4以及侧轴承3均采用THK公司的CF4UU轴承。
权利要求1.一种滑轨机构的改进,包括两个滑轨支架(1 ),两个滑轨支架(1)对称设置在老化测试板进入通道的两侧,每个滑轨支架(1)上分别安装有一限位滑轨(2),其特征在于每个滑轨支架(1)的两端均设置有一个轴承组件;所述轴承组件包括支架(5)、侧轴承(3)和下轴承(4),支架(5)安装在滑轨支架(1)端部的下部,侧轴承(3)竖直安装在支架(5)上,侧轴承(3 )用于对老化测试板的两侧边缘限位,侧轴承(3 )表面与限位滑轨(2 )的内侧面在同一平面上,下轴承(4)水平安装在支架(5)上,下轴承(4)用于从底部支托住老化测试板。
2.如权利要求1所述的滑轨机构的改进,其特征在于所述侧轴承(3)和下轴承(4)均采用带螺栓轴滚轮轴承。
专利摘要本实用新型涉及一种滑轨机构的改进。滑轨机构包括两个滑轨支架,两个滑轨支架对称设置在老化测试板进入通道的两侧,每个滑轨支架上分别安装有一限位滑轨,其特征在于每个滑轨支架的两端均设置有一个轴承组件;所述轴承组件包括支架、侧轴承和下轴承,支架安装在滑轨支架端部的下部,侧轴承竖直安装在支架上,侧轴承用于对老化测试板的两侧边缘限位,侧轴承表面与限位滑轨的内侧面在同一平面上,下轴承水平安装在支架上,下轴承用于从底部支托住老化测试板。本实用新型在滑轨支架的两端分别设置轴承组件,可以使老化测试板平顺、稳定、精确地进入XY工作台,确保待检测产品的检测精度,提高了工作效率,减少了操作人员维修维护的工作量。
文档编号G01R31/00GK202119798SQ20112011632
公开日2012年1月18日 申请日期2011年4月20日 优先权日2011年4月20日
发明者朱磊 申请人:海太半导体(无锡)有限公司