专利名称：扫描电镜电子背散射衍射用样品台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种扫描电镜样品台，具体的说是一种扫描电镜电子背散射衍射用样品台。
背景技术：
EBSD(Electron Backscattered Diffraction)作为装配在扫描电镜上的一个重要配件，在20世纪90年代以来取得了较大的发展，在世界范围内，EBSD已用于钢铁材料、 陶瓷复合材料、薄膜和岩石样品的分析，并已在材料微观组织结构及微织构表征中广泛应用。它的主要特点是在保留扫描电子显微镜的常规特点的同时进行空间分辨率亚微米级的衍射，提供样品表面某一点的晶体学取向数据，用以研究材料的基本性能及特征，如织构和取向差分析、晶粒尺寸及形状分布分析、相分布、相鉴别、晶界、亚晶及孪晶界性质分析、 应变和再结晶的分析等，为快速高效的定量统计研究材料的微观组织结构和织构奠定了基础，因此已成为材料研究中一种有效的分析手段。由于扫描电子束的能量较低，所以产生的EBSD信号也较弱，根据电子背散射衍射理论，在应用EBSD进行测量时，为了得到较强的信号，相对于入射电子束，样品需要倾斜 70°，以便背散射(即衍射)的信号被充分强化到能被荧光屏接收，荧光屏与一个CCD相机相连，衍射花样能直接或经放大储存图象后在荧光屏上观察到。由于试样的倾斜会增加与电子枪的极靴和EBSD探头碰撞的危险，我们目前用的样品座是在原来扫描电镜的样品座上增加一个倾斜70°的专用样品座，但该倾斜用的样品座体积太小，接触底面圆的直径只有10_，当固定较大样品时很不方便，体积稍大一点在测试过程中易造成滑移而影响实验数据的精度，当更换试样时需要转动样品台至另一个方向，重新进行定位，降低工作效率。

实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺点，提供一种扫描电镜电子背散射衍射用样品台，可测量大样品或同时测量多个样品，稳定性好，不易滑移，确保结果精确度，操作方便，极大地提高了工作效率。本实用新型解决以上技术问题的技术方案是扫描电镜电子背散射衍射用样品台，包括放置于扫描电镜样品台内的带凹槽的底座和插于凹槽内并可在凹槽内前后移动的倾斜样品台；带凹槽的底座为圆形，其外圆与扫描电镜的底座内圆相吻合；倾斜样品台呈平行四边形结构，其与水平面所成的锐角为 70°，倾斜样品上下两面均与带凹槽的底座互相平行；倾斜样品台的一侧设有用于放置试样的侧凹槽。本实用新型进一步限定的技术方案是前述的扫描电镜电子背散射衍射用样品台，带凹槽的底座侧面设有一个用于固定倾斜样品台的底座螺孔。前述的扫描电镜电子背散射衍射用样品台，倾斜样品台设有底座，底座插于凹槽内。前述的扫描电镜电子背散射衍射用样品台，倾斜样品台的侧面设有两个与侧凹槽连通用于固定试样的样品台螺孔。本实用新型的有益效果是本实用新型与现有的扫描电镜电子背散射衍射用的样品台相比，具有以下优点⑴能够测量较大样品，尺寸宽度可达35mm ;⑵能够同时测量多个小样品，只需稍微平移扫描电镜样品台即可，测试条件稳定，对比性强，结果精确度高；⑶根据试样的厚度大小，倾斜样品台可以前后滑移，确保试样测试面不超出扫描电镜样品底座边缘；⑷样品座稳定性好，并且试样固定的稳定性也高，不易滑移，确保结果精确度；(5)操作方便，极大地提高了工作效率。

图I是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
实施例I本实施例提供一种扫描电镜电子背散射衍射用样品台，结构如图I所示，包括放置于扫描电镜样品台内的带凹槽的底座4和插于凹槽6内并可在凹槽6内前后移动的倾斜样品台I ;带凹槽的底座4为圆形，其外圆与扫描电镜的底座内圆相吻合；倾斜样品台I呈平行四边形结构，其与水平面所成的锐角为70°，倾斜样品I上下两面均与带凹槽的底座4 互相平行；倾斜样品台I的一侧设有用于放置试样的侧凹槽7。带凹槽的底座4侧面设有一个用于固定倾斜样品台I的底座螺孔5。倾斜样品台I设有底座3，倾斜样品台I通过底座3插于凹槽6内。倾斜样品台I的侧面设有两个与侧凹槽7连通用于固定试样的样品台螺孔2。在测量大样品时，将倾斜样品台电子束扫描的一面和大试样一起倒置于一平面上，确保试样表面与扫描电镜底座呈70°，通过样品台螺孔2将试样固定于倾斜样品台I的侧凹槽7内，根据试样厚度大小在凹槽6内可以对试样前后滑移定位，确定位置后用底座螺孔5将倾斜样品台I的底座3固定在带凹槽的底座4上。测量多个小样品时，将多个小样品根据分析位置的需要排列好，将倾斜样品台 I电子束扫描的一面和多个试样一起倒置于一平面上，确保试样表面与扫描电镜底座呈 70°，通过样品台螺孔2将试样固定于倾斜样品台I的侧凹槽7内，根据试样厚度大小在凹槽6内可以对试样前后滑移定位，确定位置后用底座螺孔5将倾斜样品台I的底座3固定在带凹槽的底座4上。本实用新型能测量大样品(样品大小可达35mm左右)或同时测量多个小样品的样品座，固定试样时样品座可在扫描电镜样品底座上根据试样大小进行前后滑移并旋转， 试样在样品座内也可以根据试样表面平整度进行角度倾斜调节，确保被测样品表面倾斜 70°，也可以同时测量多个尺寸较小的样品，对于钢厂常规分析所用的大试样。本实用新型样品台装置方便实用，节省时间，能够确保测试精度要求。除上述实施例外，本实用新型还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本实用新型要求的保护范围。
权利要求1.扫描电镜电子背散射衍射用样品台，其特征在于包括放置于扫描电镜样品台内的带凹槽的底座和插于所述凹槽内并可在所述凹槽内前后移动的倾斜样品台；所述带凹槽的底座为圆形，其外圆与扫描电镜的底座内圆相吻合；所述倾斜样品台呈平行四边形结构，其与水平面所成的锐角为70°，所述倾斜样品上下两面均与所述带凹槽的底座互相平行；所述倾斜样品台的一侧设有用于放置试样的侧凹槽。
2.如权利要求I所述的扫描电镜电子背散射衍射用样品台，其特征在于所述带凹槽的底座侧面设有一个用于固定所述倾斜样品台的底座螺孔。
3.如权利要求I所述的扫描电镜电子背散射衍射用样品台，其特征在于所述倾斜样品台设有底座，所述底座插于所述凹槽内。
4.如权利要求I所述的扫描电镜电子背散射衍射用样品台，其特征在于所述倾斜样品台的侧面设有两个与所述侧凹槽连通用于固定试样的样品台螺孔。
专利摘要本实用新型涉及一种扫描电镜样品台，是一种扫描电镜电子背散射衍射用样品台，包括放置于扫描电镜样品台内的带凹槽的底座和插于凹槽内并可在凹槽内前后移动的倾斜样品台；带凹槽的底座为圆形，其外圆与扫描电镜的底座内圆相吻合；倾斜样品台呈平行四边形结构，其与水平面所成的锐角为70°，倾斜样品上下两面均与带凹槽的底座互相平行；倾斜样品台的一侧设有用于放置试样的侧凹槽。本实用新型可根据试样厚度大小进行前后滑移并旋转，可测量大样品或同时测量多个样品，试样在倾斜样品座内也可以根据试样表面平整度进行角度倾斜调节，确保被测样品表面倾斜70°。本实用新型稳定性好，不易滑移，确保结果精确度，操作方便，极大地提高了工作效率。
文档编号G01N23/203GK202351191SQ201120465500
公开日2012年7月25日 申请日期2011年11月22日 优先权日2011年11月22日
发明者李平和, 李建宾, 杨建平, 田力, 赵亚娟, 高兵 申请人:南京钢铁股份有限公司