专利名称：多相传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种传感器，特别是一种灵敏度高、选择性好、体积小、测量速度 快、测量精度高、使用寿命长的多相传感器。
背景技术：
传感器就是能感知外界信息并能按一定规律将这些信息转换成可用信号的装置； 简单说传感器是将外界信号转换为电信号的装置。而多相传感器可以对不同的气体及气体 混合物从PPm到体积百分比的浓度范围进行精确测量。相对于二相传感器，多相传感器具 有灵敏度高、选择性好、体积小、测量速度快、测量精度高、使用寿命长等诸多优点。多相传 感器特别适合应用于气体检测领域，可具体应用于谷物生长分析、食品香气分析、环境质量 监测、危险气体预警、矿井下有毒气体的监测、汽车内及室内空气质量的监测等领域。

实用新型内容针对上述特性，本实用新型的目的在于提供一种灵敏度高、选择性好、体积小、测 量速度快、测量精度高、使用寿命长的多相传感器。为实现上述功能，本实用新型所述多相传感器具有如下结构本多相传感器由外 壳、基座、A引脚、B引脚、C引脚、D引脚、传感器芯片组成，其中传感器芯片是三个敏感层 (A敏感层，B敏感层，C敏感层)集成在一块加热基片上的集成芯片；外壳扣接在基座上，起 到保护传感器芯片的作用；基座上设有四个孔，起到分别固定四个引脚的作用；A引脚、B引 脚、C引脚和D引脚分别穿过基座上的孔与传感器芯片相连，使传感器芯片与引脚构成电连 接；传感器芯片上的加热基片层与A引脚和D引脚相连，并与二者构成电连接，其加热电阻 的固有值设为Rh ；传感器芯片上的A敏感层与C引脚与D引脚相连，并与二者构成电连接， 其敏感电阻的初始值设为Rsi ；传感器芯片上的B敏感层于B引脚和C引脚相连，并与二者 构成电连接；传感器芯片上的C敏感层与A引脚和B引脚相连，并与二者构成电连接。所述外壳是一种顶部具有网面结构的钢制外壳。所述A引脚和D引脚为加热引脚。本实用新型的积极效果本实用新型所述多相传感器主要用于气体检测领域，可 具体应用于谷物生长分析、食品香气分析、环境质量监测、危险气体预警、矿井下有毒气体 的监测、汽车内及室内空气质量的监测等领域，其灵敏度高、选择性好、体积小、测量速度 快、测量精度高、使用寿命长的特点，有利于大范围推广。

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例 或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅 是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造劳动性的前提下，还 可以根据这些附图获得其他的附图。[O009] 图l和图2分别为本实用新型多相传感器的内部结构以及外部结构示意图；[OO10] 图3为本实用新型多相传感器的原理示意图[OO11] 图中，l外壳2基座3A引脚[0012]4B弓!肚05C弓!肚06D弓!肚0[OO13]7加热基片层 8A敏感层9B敏感层[OO14]loC敏感层11传感器芯片 12L电阻[OO15]13R真，电阻15R真，电阻16R真，电阻具体实施方式
[OO16] 为了使本实用新型的目的1技术方案和优点更加清楚明白，下面结合具体实施方式
和附图，对本实用新型做进一步详细说明。在此，本实用新型的示意性实施方式及其说明用于解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。[OO17] 如图l和图2所示，本实用新型所述多相传感器由外壳l1基座21A引脚31B引脚41C引脚51D引脚61传感器芯片11组成；外壳l扣接在基座2上，基座2上设有四个孔，A引脚31B引脚41C引脚5和D引脚6分别固定贯穿连接于相应的孔；传感器芯片11由加热基片层71A敏感层81B敏感层91C敏感层lo组成；加热基片层71A敏感层81B敏感层9和C敏感层lo依层次结构设于传感器芯片11上，并与二者构成电连接；传感器芯片11上的加热基片层7上设有L电阻12，并设于A引脚3与D引脚6之间，并与二者构成电连接；传感器芯片11上的A敏感层8上设有凡1电阻13，并设于C引脚5与D引脚6之间，并与二者构成电连接；传感器芯片11上的B敏感层9上设有R一，电阻14，并设于B引脚4与C引脚5之间，并与二者构成电连接；传感器芯片11上的C敏感层lo上设有凡，电阻15，并设于A引脚3与B引脚4之间，并与二者构成电连接。[OO18] 所述外壳l是一种顶部具有网面结构的钢制外壳。[OO19] 所述A引脚3和D引脚6为加热引脚。
权利要求一种多相传感器，其特征在于其由外壳(1)、基座(2)、A引脚(3)、B引脚(4)、C引脚(5)、D引脚(6)、传感器芯片(11)组成；外壳(1)扣接在基座(2)上，基座(2)上设有四个孔，A引脚(3)、B引脚(4)、C引脚(5)和D引脚(6)分别固定贯穿连接于相应的孔；传感器芯片(11)由加热基片层(7)、A敏感层(8)、B敏感层(9、C敏感层(10)组成；加热基片层(7)、A敏感层(8)、B敏感层(9)和C敏感层(10)依层次结构设于传感器芯片(11)上，并与二者构成电连接；传感器芯片(11)上的加热基片层(7)上设有RH电阻(12)，并设于A引脚(3)与D引脚(6)之间，并与二者构成电连接；传感器芯片(11)上的A敏感层(8)上设有RS1电阻(13)，并设于C引脚(5)与D引脚(6)之间，并与二者构成电连接；传感器芯片(11)上的B敏感层(9)上设有RS2电阻(14)，并设于B引脚(4)与C引脚(5)之间，并与二者构成电连接；传感器芯片(11)上的C敏感层(10)上设有RS3电阻(15)，并设于A引脚(3)与B引脚(4)之间，并与二者构成电连接。
2.根据权利要求1所述多相传感器，其特征在于所述外壳(1)是一种顶部具有网面 结构的钢制外壳。
3.根据权利要求1所述多相传感器，其特征在于所述A引脚(3)和D引脚(6)为加 热引脚。
专利摘要本实用新型涉及一种传感器，特别是一种灵敏度高、选择性好、体积小、测量速度快、测量精度高、使用寿命长的多相传感器。其由外壳、基座、A引脚、B引脚、C引脚、D引脚、传感器芯片组成；本实用新型所述多相传感器主要用于气体检测领域，可具体应用于谷物生长分析、食品香气分析、环境质量监测、危险气体预警、矿井下有毒气体的监测、汽车内及室内空气质量的监测等领域，其灵敏度高、选择性好、体积小、测量速度快、测量精度高、使用寿命长的特点，有利于大范围推广。
文档编号G01N27/16GK201681060SQ201020147350
公开日2010年12月22日 申请日期2010年4月1日 优先权日2010年4月1日
发明者张伟 申请人:张伟