专利名称：小当量石英挠性加速度传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及加速度传感器，具体是一种小当量力反馈式电容传感器。
背景技术：
加速度传感器是用来将加速度这一物理信号转变成便于测量的电信号的 测试仪 器，它是工业、国防等许多领域中进行冲击、振动测量常用的测试仪器。如图1、图2所示， 石英挠性加速度传感器的机械结构主要包括安装有磁极片5的上、下磁钢4组成的力矩器 1和2和摆片3，上、下磁钢4作为传感器的固定部分，磁极片5分别采用粘接的方式固定在 上、下磁钢4上，摆片3上安装有磁感应线圈，上、下两侧面沉积有金属(铜)电极，形成电 容的活动极板并用作电容中间极的质量块。当外界有加速度信号时，会引起加速度传感器内部摆片3的摆动，使其偏离平衡 位置，产生微小位移，后续电路通过对位移的检测，输出一个对应的电压值，由此即可以求 得加速度值；同时，将放大电路的输出电流引入到摆片3上的磁感应线圈，在力矩器的磁场 中产生电磁力形成力反馈，使摆片3回到没有加速度时的位置，该自动电流在美国霍尼韦 尔公司所制定的QA3000标准中随加速度变化的比例因子为1. 2士0. 15mA/g，通过减少该自 动电流的比例因子可进一步减少能耗，在航天领域有着更加重要的意义。

实用新型内容本实用新型的目的是提供一种具有新的力矩器结构的小当量石英挠性加速度传 感器，具有更强的磁场，可有效减小回馈的自动电流，起到节能的作用。本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现一种小当量石英挠性加速度传感器，包括摆片和力矩器，所述力矩器的磁钢嵌入 磁极片并与之粘接。所述磁钢为稀土永磁材料制成。本实用新型所述的小当量石英挠性加速度传感器，采用稀土永磁材料制成磁钢 的同时，力矩器的磁极片和磁钢之间改用嵌入式粘接方式，这样的粘接方式可以很大程度 的减少漏磁，同时也增长了永磁体的长度，使得剩磁增加，此外这种结构还可以减小磁轭气 隙，使磁感线尽量少的穿过磁阻较大的空气，这样的结构改进减小了加速度传感器总体的 磁阻，提高了整体结构的导磁性。使得传感器针对同样的加速度产生的摆片位移，需要较小 的自动电流即可形成反馈，可有效减少加速度传感器自身的能耗，起到节能的作用。

下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。图1是加速度传感器常用的机械结构纵向剖视图；图2是加速度传感器目前采用的下力矩器结构图；图3是本实用新型所述加速度传感器所采用的下力矩器结构图。图中[0013]1、下力矩器；2、上力矩器；3、摆片；4、磁钢；5、磁极片；6、轭铁。
具体实施方式
如图3所示，给出了本实用新型所述的小当量石英挠性加速度传感器所采用的下力矩器的机械结构图，其力矩器的磁钢4嵌入磁极片5中并与之粘接，磁钢4与轭铁6固 定连接在一起；本结构可以很大程度的减少漏磁，同时也增长了永磁体的长度，使得剩磁增 力口，此外这种结构还可以减小磁轭气隙，使磁感线尽量少的穿过磁阻较大的空气，减小了加 速度传感器总体的磁阻，提高了整体结构的导磁性。磁钢4采用稀土永磁材料制成，其磁能积高，是常用的铝镍钴材料的50倍以上，同 时它的矫顽力可以达到SOOKoe以上，也远远大出铝镍钴材料的2000oe。永磁体矫顽力和磁 能积的提高可以最大限度的提高它的磁性能，而且还可以提高其稳定性，降低其磁感的不 可逆损失。通过结构和材料的改进，可提高力矩器的磁场强度，使得本实用新型所述的小当 量石英挠性加速度传感器针对同样的加速度产生的摆片位移，需要较小的自动电流即可形 成反馈，可有效减少加速度传感器自身的能耗，起到节能的作用。
权利要求一种小当量石英挠性加速度传感器，包括摆片和力矩器，其特征在于，所述力矩器的磁钢嵌入磁极片并与之粘接。
2.根据权利要求1所述的小当量石英挠性加速度传感器，其特征在于，所述磁钢为稀 土永磁材料制成。
专利摘要本实用新型公开了一种小当量石英挠性加速度传感器，包括摆片和力矩器，其特征在于，所述力矩器的磁钢嵌入磁极片并与之粘接，磁钢为稀土永磁材料制成。采用稀土永磁材料制成磁钢的同时，力矩器的磁极片和磁钢之间改用嵌入式粘接方式，可以很大程度的减少漏磁，同时也增长了永磁体的长度，使得剩磁增加，此外这种结构还可以减小磁轭气隙，使磁感线尽量少的穿过磁阻较大的空气，这样的结构改进减小了加速度传感器总体的磁阻，提高了整体结构的导磁性，使得传感器针对同样的加速度产生的摆片位移，需要较小的自动电流即可形成反馈，可有效减少加速度传感器自身的能耗，起到节能的作用。
文档编号G01P15/125GK201576005SQ20092027596
公开日2010年9月8日 申请日期2009年12月22日 优先权日2009年12月22日
发明者任勇芳 申请人:北京华航航宇科技有限公司