专利名称：用于拾取元件图像的设备和方法以及元件安装设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于要安装在例如印刷电路板上的电子元件的图像拾取方法、执行图像拾取方法的元件图像拾取设备以及采用该元件图像拾取设备的元件安装设备。
背景技术：
近年来，为了提高电子元件安装过程的生产率，非常需要提高工作流程的可靠性并缩短周期(cycle time)。通常，在用于将诸如芯片元件和IC元件之类电子元件安装到电路板的安装设备中，使用诸如CCD相机之类的图象拾取设备来拾取吸持电子元件并将该元件安装到电路板上的泵嘴上的电子元件的吸取姿态。基于拾取的图像可以对吸取状态、吸取位置之类进行识别，并根据识别信息来校正泵嘴以及具有泵嘴的头的位置，以致能够将电子元件正确地安装到电路板上。元件就是按这种方式安装的(例如，参照未审查的日本专利申请No.60-1900的公开)。
最近，为了进一步提高生产率，有这样一个想法，设置多个用来吸取电子元件泵嘴，因此每一次安装多个电子元件时，将多个电子元件传送到安装区域。在这种结构中，当象上述一样拾取元件图像时，在有必要拾取每一个由多个泵嘴吸取的电子元件的吸取状态图像时，应当在每一个电子元件的照明条件下借助照明来拾取各个电子元件，这是因为由泵嘴吸取的电子元件的类型不同。
作为一种拾取图像的方法，有可能使用一架照相机和一个照明设备逐幅地拾取图像，不幸地是这需要很长时间。例如，设一个阵列上排列了间距为10.75mm的5个泵嘴，移动一个间距需要10ms且传送得到的图像需要33ms，则总共需要205ms。
另一方面，如果每次使用多个照相机及预备多个照明设备来完成图像拾取，在这种情况下，例如对于泵嘴的间隔短至10.75mm间距的设置，则来自各个照明设备的光会彼此干扰，因此妨碍了正常的成像。
本发明解决了这一问题，本发明的目的是提供一种用于分别地拾取多个元件吸持姿态的图像而不会减小周期的元件图像拾取设备、一种由该元件图像拾取设备执行的元件图像拾取方法以及一种使用该元件图像拾取设备的元件安装设备。

发明内容
为了实现上述目的，本发明的结构如下所述。
特别地，根据本发明的第一方面，这里提供了一种元件图像拾取设备，包括具有多个元件吸持部件的元件吸持头，用于在移动方向上移动；以及用于拾取由元件吸持部件吸持的各个元件的图像的图像拾取照相机，该图像拾取照相机包括分别对应于元件吸持部件沿移动方向移动通过的多个路径所设置的多个图像拾取装置，用于拾取由元件吸持部件吸持的元件的图像；为多个图像拾取装置设置的单一照明设备，用于对各个图像拾取装置执行的图像拾取操作进行照明；以及图像拾取控制器，用于根据与各个图像拾取装置相关的、针对每个元件设置的图像拾取条件，以及与照明设备相关的照明条件来控制各个图像拾取装置的图像拾取操作和照明设备。
根据第一方面的元件图像拾取设备，该元件图像拾取设备进一步包括与图像拾取装置相连的识别器，用于在元件吸持头到达图像拾取照相机上方之前，向图像拾取控制器提供图像拾取条件和照明条件，控制各个图像拾取装置的图像拾取操作和照明设备，并在成像之后接收来自各个图像拾取装置的图像信息。
根据第一方面的元件图像拾取设备，该图像拾取装置被设置在各自的设置位置处，在所述的设置位置处该图像拾取装置根据元件吸持部件在移动方向上的移动以一时间差逐个拾取元件的图像。
根据第一方面的元件图像拾取设备，第一图像拾取装置和与所述第一图像拾取装置相邻的用于成像的第二图像拾取装置的设置位置，被设置在被至少分开了通过把元件吸持头沿移动方向的移动速率与第一图像拾取装置的曝光时间相乘得到距离的位置。
根据第一方面的元件图像拾取设备，当移动方向平行于圆周直径方向并通过两个等间隔设置的元件吸持部件时，元件吸持部件沿着圆周等间隔排列。
进一步，根据本发明的第二方面，这里提供的元件图像拾取方法包括当具有多个元件吸持部件的元件吸持头移动到具有多个用于对元件吸持部件吸持的各元件进行成像的图像拾取装置和单一照明设备的图像拾取照相机之上时，将各个元件的成像所需的、针对各个元件所设置的图像拾取条件和照明条件提供给元件拾取照相机；在提供步骤之后，使元件吸持头沿移动方向通过图像拾取照相机的上方而无需停下；以及在通过过程中，各图像拾取装置以适当的定时顺序地对元件成像，由此避免了照明装置中用于成像的光的影响。
进一步，根据本发明的第三方面，这里提供的元件安装设备包括元件图像拾取设备；元件吸持头，具有多个分别用于吸持电子元件并将所吸持的电子元件安装到电路板上的元件吸持部件；用于沿移动方向移动元件的驱动单元；以及用于固定电路板的电路板固定单元，该元件图像拾取设备包括用于拾取由元件吸持部件吸持的各个元件的图像的图像拾取照相机，该图像拾取照相机具有分别对应于元件吸持部件沿移动方向移动通过的多个路径所设置的多个图像拾取装置，用于拾取由元件吸持部件吸持的元件的图像；为多个图像拾取装置设置的单一照明设备，用于对各个图像拾取装置执行的图像拾取操作进行照明；以及图像拾取控制器，用于根据与各个图像拾取装置相关的、针对每个元件设置的图像拾取条件，以及与照明设备相关的照明条件来控制各个图像拾取装置的图像拾取操作和照明设备。
根据第一方面的元件图像拾取设备、第二方面的元件图像提取方法以及第三方面的元件安装设备，其中包括图像拾取照相机，并且当多个元件通过元件拾取照相机上方时，各图像拾取装置适用于在适当时刻顺序地对多个元件成像，由此避免了用于成像的光影响其他图像拾取操作。能够分离地对多个元件的吸持姿态进行成像，而不会减小周期。
此外，由于在成像开始之前预先向图像拾取照相机提供了所有元件的图像拾取操作必需的图像拾取条件和照明条件，所以不需要在每一次对各个元件成像时传送图像拾取条件和照明条件，并避免了通信延迟。能够以更高的速度移动被成像的元件，并同样能够成像。
可以给图像拾取照相机安装识别器，根据这种设置可以减少图像拾取照相机的操作负载。


参考附图，下面结合了本发明优选实施例的说明会使本发明的这些和其他方面及特性更加清楚明了，其中图1所示为根据本发明实施例的元件图像拾取设备结构的方框图；图2所示为图1中的元件图像拾取照相机部分结构的透视图；图3所示为图1中元件图像拾取设备执行的图像拾取顺序的说明图；图4A、4B和4C所示为图1中元件图像拾取设备执行的图像拾取时序的说明图；图5所示为图1中元件图像拾取设备执行的图像拾取中所需参数数据例子的图；图6所示为图1中元件图像拾取设备执行的图像拾取的状态过渡说明图；图7所示为图1中元件图像拾取设备执行的具体图像拾取的时序图；图8所示为安装了图1中元件图像拾取设备的电子元件安装设备的透视图。
具体实施例方式
作为本发明的实施例，下面将参考附图对元件图像拾取设备、元件图像拾取方法以及元件安装设备进行说明。元件图像拾取方法是一种由元件图像拾取设备执行的方法，且元件安装设备包括元件图像拾取设备。在附图中，相同的部分始终用相同的参考号表示。
如图1和图2所示，元件图像拾取设备包括安装有多个图像拾取装置111、单照明设备112以及具有定序器(sequencer)113和存储器114的图像拾取控制器115的图像拾取照相机110等，作为基本组成部分。元件图像拾取设备可以包括与图像拾取照相机110相连的识别器150。图像拾取照相机110的接口116构成了与识别器150的连接部分。
如图2所示，元件图像拾取设备100是一个用于在元件吸持头210沿移动方向250移动时拾取每一个由各个吸取泵嘴211吸持的元件251的图像的装置。元件吸持头210有6个作为元件吸持部件例子的吸取泵嘴211，即吸取泵嘴211-1到211-6，这些吸取泵嘴211在圆周上按照每60度的圆心角等间隔排列。
根据上述的实施例，元件吸持头210有6个在圆周上等间隔排列的吸取泵嘴211。所以，如图3所示，在圆周的直径方向上和与移动方向250平行的方向上可以形成各通过两个吸取泵嘴211的三条路径252-1到252-3(通常在某些情况下用252表示)。例如，吸取泵嘴211-1和211-6通过路径252-1、吸取泵嘴211-2和211-5通过路径252-2并且吸取泵嘴211-3和211-4通过路径252-3。分别对应路径252-1到252-3设置图像拾取装置111。更明确地，图像拾取装置111-1、111-2和111-3分别设置在路径252-1下面、路径252-2下面以及路径252-3下面。此外，将图像拾取装置111-1和111-2设置在沿着与移动方向250正交的正交方向253的同一条轴255上。以距离图像拾取装置111-3的距离254沿移动方向250的平移或移位来设置图像拾取装置111-1和111-2。
从图3可以清楚看到能够将图像拾取装置111-1和111-2排列在同一条轴255上的原因，这是因为本实施例中吸取泵嘴211排列在圆周上等间隔的6个点上，由于这种排列，可以将吸取泵嘴211-1和211-2沿移动方向250排列在移位位置上，因此就允许图像拾取装置111-1和111-2在不同时刻拾取图像。与此形成对比的是，吸取泵嘴211-1和211-3被安排沿移动方向250的同一位置，所以基于下述原因将图像拾取装置111-3被设置在到图像拾取装置111-1和111-2为距离254的位置。
上述通过移位进行设置的原因在于图像拾取装置111-1至111-3需要逐个拾取图像，这样在一次图像拾取操作中，来自图像拾取装置111其中一个用于拾取图像的光照就不会影响其余拾取设备11中其他的图像拾取操作。
例如，在图像拾取装置111-1执行图像拾取操作，接着由图像拾取装置111-3执行图像拾取操作的情况下，可以将元件吸持头210沿移动方向250的移动速率和图像拾取装置111-1曝光时间相乘得到上述涉及到的图像拾取装置111-1和图像拾取装置111-3之间距离254的值。通过至少将移位设置为上述距离254，可以防止在两个相继执行图像拾取操作的图像拾取装置111发生每一个曝光彼此重叠。
当按照上述说明设置吸取泵嘴211和图像拾取装置111时，图像拾取装置111-1到111-3能够分别在不同时刻拾取元件251的图像而不会相互重叠曝光。换句话说，如图4所示，根据元件吸持头210在移动方向250上不停地移动，如图4A所示，首先图像拾取装置111-2拾取吸取泵嘴211-2吸持的元件251的图像，然后如图4B所示，图像拾取装置111-1拾取吸取泵嘴211-1吸持的元件251的图像，接着如图4C所示，图像拾取装置111-3拾取吸取泵嘴211-3吸持的元件251的图像。
从尽可能减少图像拾取装置111数目的角度出发，尽管如这里的实施例所述，图像拾取装置111对应于多个泵嘴211共同通过的路径252而设置，如果考虑到没有必要减少图像拾取设备的数目或类似，可以沿移动方向250对应于各个吸取泵嘴211的路径来设置图像拾取装置111。
仍然从减少图像拾取装置数目的角度出发，如本实施例所示，在圆周上设置了六个吸取泵嘴211。然而，本发明并不局限于该实施例。吸取泵嘴211的数目没有限制。而且，吸取泵嘴211的排列方向也并不限于圆周，例如，可以将吸取泵嘴沿吸持部件的排列方向设置在阵列上。
如图2所示，安装了用于图像拾取装置111-1至111-3的单一照明设备，该单一照明设备是一种为每一个图像拾取装置111的图像拾取操作中的图像拾取提供照明的设备。在本实施例中，照明设备112有三个作为光源的LED 112s，即沿与移动方向250和正交方向253正交的上下方向256的高、中、低三级。
根据各个用于每一个元件251成像的图像拾取装置111的图像拾取条件和照明设备112的照明条件，图像拾取控制器115控制各个图像拾取装置111和照明设备112执行图像拾取操作。
如图5所示，构成图像拾取控制器115中的存储器114部分用于存储从识别器150发送的参数数据160。在本实施例中，参数数据160对应于上述图像拾取条件和照明条件。根据拾取每一个元件251的各自顺序来设置这些图像拾取条件和照明条件。图像拾取条件是用于指出图像拾取装置111是大视场成像还是小视场成像的信息，而照明条件则指出照明设备112亮度的条件。由于根据本实施例，如上所述照明设备112有三级设置的LED 112a，则照明条件信息用于指出LED 112a的三级中哪一级或几级发光。至少在三级中有一级适用于发光。
构成图像拾取控制器115的定序器113从存储器114中读取参数数据160并将各个顺序的图像拾取条件和照明条件发送到图像拾取装置111和照明设备112。在下文对图像拾取操作的说明中将详细介绍图像拾取控制器115的操作。
识别器150将参数数据160发送到上述图像拾取照相机110，此外还产生一个触发信号用于启动图像拾取装置111和照明设备112进行图像拾取，并将该触发信号发送到图像拾取装置111和照明设备112。而且，在图像拾取之后，识别器150从图像拾取照相机110接收拾取的图像信息并进行图像处理以分析吸取泵嘴211所吸持的元件251的吸持姿态。
可以将如上述组成的元件图像拾取设备100安装到例如图8所示的电子元件安装设备200中。除了元件图像拾取设备100之外，电子元件安装设备200还包括元件吸持头210、用于在移动方向250和正交方向253上移动元件的驱动单元230以及用于固定电路板70的电路板固定单元220，其中，吸取泵嘴211吸持的电子元件251被安装在该电路板70上。除此之外，电子元件安装设备200还可以包括用于供给电子元件251的元件供给单元240、用于传送电路板70的传送单元260以及用于电子元件安装设备200的控制器280。
下文中将选择由上述电子元件安装设备200执行的元件安装操作的例子，来介绍上述结构的元件图像拾取设备100中的操作，即元件图像拾取方法。设吸取泵嘴211已经吸持住了元件251，下面的介绍将只集中在图像拾取操作。如前所述，最初由图像拾取控制器115控制和执行图像拾取操作。
基于驱动装置230发送的信号，将元件吸持头210的当前位置提供给图像拾取控制器115，即各个吸取泵嘴211-1到211-6的当前位置信息。同时，预先检测到各个图像拾取装置111-1到111-3的设置位置。所以，识别器150可以检测到哪一个吸取泵嘴211设置在图像拾取装置111之上。另外，控制器280还有用于安装提供的元件所必需的安装相关信息的例如NC数据等。遵循控制器280的控制，按照安装顺序，元件吸持头210由各个确定的吸取泵嘴211吸持确定的元件251。由于控制器280还将安装相关信息发送给了识别器150，所以在识别器150同样还检测到了每一个吸取泵嘴和其所吸持的元件251之间的关系，换句话说，即哪一个吸取泵嘴211吸持哪一个元件251。
由于遵循了安装相关信息，每一个吸取泵嘴211都不能始终吸持元件251。在某些情况下，一个或多个吸取泵嘴22没有吸持元件251。
如图7所示，在吸取泵嘴211吸持电子元件251之后，当元件吸持头210移向图像拾取照相机110时，识别器150将对应于此时被吸住的所有电子元件251的参数数据160发送到图像拾取照相机110的图像拾取控制器115。图像拾取照相机110的存储器114存储参数数据160。参数数据160还包括与成像顺序相关的次序数据。
进一步参考图6，在将参数数据160传送到图像拾取照相机110之后而第一次图像拾取操作开始之前，定序器113从存储器114读取与第一次成像(SEQ1)相关的图像拾取条件和照明条件；将图像拾取条件发送到执行第一次成像的图像拾取装置111，并将照明条件发送到照明设备112。用于第一次成像的图像拾取装置111根据图像拾取条件将成像视场切换为大或小。
如上所述，由于识别器150获得了图像拾取装置111和吸取泵嘴211之间对应关系并掌握了各个图像拾取装置111的位置信息，所以定序器113知道成像次序。如图4A所示，执行第一次成像的是图像拾取装置111-2。
元件吸持头210在移动方向250上移动时，当吸取泵嘴211-2吸住的电子元件251进入了图像拾取装置111-2的视场，定序器113根据识别器150产生的触发信号，命令图像拾取装置111-2和照明设备112拾取图像。照明设备112按照遵循了照明条件的亮度发出光且图像拾取装置111-2使光照下的电子元件曝光。
图像拾取结束后，定序器113从存储器114读取与第二次成像相关的图像拾取条件和照明条件SEQ2、将图像拾取条件发送到执行第二次成像的图像拾取装置111，即如图4B所示的图像拾取装置111-1，并将照明条件发送到照明设备112。图像拾取装置111-1根据图像拾取条件将成像视场切换为大或小。当吸取泵嘴211-1吸住的电子元件251进入了图像拾取装置111-1的视场，定序器113根据识别器150产生的触发信号，命令图像拾取装置111-1和照明设备112拾取图像。照明设备112按照遵循了照明条件的亮度发出光且图像拾取装置111-1使光照下的电子元件曝光。
参考图3和图4可以清楚看到，通过重复上述操作，在第三次成像时的图像拾取装置111-3、在第四次成像时的图像拾取装置111-1、在第五次成像时的图像拾取装置111-3以及在最后一次成像时的图像拾取装置111-2分别连续地对吸取泵嘴211-3吸持的元件251、吸取泵嘴211-6吸持的元件251、吸取泵嘴211-4吸持的元件251以及吸取泵嘴211-5吸持的元件251进行成像，即元件吸持头210沿移动方向250无间歇地常速移动。
在这一次图像拾取操作结束之后下一次图像拾取操作开始之前，各个图像拾取装置111将当时获得的图像信息发送到识别器150。
根据本实施例的元件图像拾取设备100，多个图像拾取装置111适用于通过移动图像拾取定时来逐个进行图像拾取，此外，将图像拾取定时的移动设置为可以避免上一次图像拾取操作的照明光影响的数值。由于这种设置，在移动方向250上，图像拾取照相机110上的一次简单扫描就可以对所有的电子元件251成像。可以分离地对多个元件的吸持姿态成像而不会减小周期。
在一系列图像拾取操作开始之前，预先向图像拾取照相机110传送包括图像拾取条件和照明条件的参数数据160，这些条件与图像拾取操作的顺序相关。所以，当每一个图像拾取装置111执行图像拾取操作时，不需要在识别器150和各个图像拾取装置111以及照明设备112之间设置图像拾取条件和照明条件。这就避免了识别器150和各个图像拾取装置111及照明设备112之间的通信延迟，使元件吸持头210能够以更高的速度移动并能够执行图像拾取操作。
在上述实施例中，图像拾取装置111逐个进行成像。这就避免了由于成像的电子元件251之间的距离过短引起的用于成像的光射到其他图像拾取操作上这一在常规技术中固有的问题。本发明的技术概念在于对于出现在成像的光会影响其他图像拾取操作的范围内的图像拾取装置，可以通过移动图像拾取定时来避免上述影响。所以，如果按照避免该影响的程度将成像元件分离，就可能同时在多个图像拾取装置拾取图像。不过，由于如前所述，对于每一个元件来说图像拾取条件是不同的，所以不可能无条件地指定可以避免影响的范围。至少在对相临的元件成像时要移动拾取定时。
尽管在本实施例中以电子元件为例进行成像，不过成像的元件不限于此。
尽管本发明的说明全部与优选实施例及其中的参考附图有关，应注意到对于那些本领域的技术人员来说，各种改变和修改都是很明显的。如果没有脱离发明，就可以认为这些改变和调整包括在由所附的权利要求确定的本发明的范围之内。
权利要求
1.一种元件图像拾取设备，包括具有多个元件吸持部件(211)的元件吸持头(210)，用于沿移动方向(250)移动；以及用于拾取由元件吸持部件吸持的各个元件(251)的图像的图像拾取照相机(110)，该图像拾取照相机包括分别对应于元件吸持部件沿移动方向移动通过的多个路径所设置的多个图像拾取装置(111)，用于拾取由元件吸持部件吸持的元件的图像；为多个图像拾取装置设置的单一照明设备(112)，用于为由每一个图像拾取装置进行的图像拾取操作提供光照；以及图像拾取控制器(115)，用于根据与各个图像拾取装置相关的、针对每个元件设置的图像拾取条件，以及与照明设备相关的照明条件来控制各个图像拾取装置的图像拾取操作和照明设备。
2.根据权利要求1所述的元件图像拾取设备，进一步包括与图像拾取装置相连的识别器(150)，用于在元件吸持头到达图像拾取照相机上方之前，向图像拾取控制器提供图像拾取条件和照明条件，控制各个图像拾取装置的图像拾取操作和照明设备，并在成像之后接收来自各个图像拾取装置的图像信息。
3.根据权利要求1所述的元件图像拾取设备，其特征在于，所述图像拾取装置被设置在各自的设置位置处(255，254)，在所述的设置位置处所述图像拾取装置根据元件吸持部件在移动方向上的移动以一时间差逐个拾取元件的图像。
4.根据权利要求2所述的元件图像拾取设备，其特征在于，所述图像拾取装置被设置在各自的设置位置处(255，254)，在所述的设置位置处所述图像拾取装置根据元件吸持部件在移动方向上的移动以一时间差逐个拾取元件的图像。
5.根据权利要求3所述的元件图像拾取设备，其特征在于，第一图像拾取装置和与该第一图像拾取装置相邻的用于成像的第二图像拾取装置的设置位置，被设置在至少分开了通过把元件吸持头沿移动方向的移动速率与第一图像拾取装置的曝光时间相乘得到的距离的位置。
6.根据权利要求4所述的元件图像拾取设备，其特征在于，第一图像拾取装置和与该第一图像拾取装置相邻的用于成像的第二图像拾取装置的设置位置，被设置在至少分开了通过把元件吸持头沿移动方向的移动速率与第一图像拾取装置的曝光时间相乘得到距离的位置。
7.根据权利要求1所述的元件图像拾取设备，其特征在于，当移动方向平行于圆周直径方向并通过两个等间隔设置的元件吸持部件时，元件吸持部件沿着圆周等间隔排列。
8.根据权利要求2所述的元件图像拾取设备，其特征在于，当移动方向平行于圆周直径方向并通过两个等间隔排列的元件吸持部件时，元件吸持部件沿着圆周等间隔排列。
9.根据权利要求3所述的元件图像拾取设备，其特征在于，当移动方向平行于圆周直径方向并通过两个等间隔排列的元件吸持部件时，元件吸持部件沿着圆周等间隔排列。
10.根据权利要求4所述的元件图像拾取设备，其特征在于，当移动方向平行于圆周直径方向并通过两个等间隔排列的元件吸持部件时，元件吸持部件沿着圆周等间隔排列。
11.根据权利要求5所述的元件图像拾取设备，其特征在于，当移动方向平行于圆周直径方向并通过两个等间隔排列的元件吸持部件时，元件吸持部件沿着圆周等间隔排列。
12.根据权利要求6所述的元件图像拾取设备，其特征在于，当移动方向平行于圆周直径方向并通过两个等间隔排列的元件吸持部件时，元件吸持部件沿着圆周等间隔排列。
13.一种元件图像拾取方法，包括当具有多个元件吸持部件(211)的元件吸持头(210)移动到具有用于对由元件吸持部件吸持的各元件进行成像的多个图像拾取装置(111)和单一照明设备(112)的图像拾取照相机(110)之上时，向元件拾取照相机提供各个元件(251)的成像所需的、针对每个元件设置的图像拾取条件和照明条件；在提供步骤之后，使元件吸持头沿移动方向(250)通过图像拾取照相机的上方而无需停下；以及在通过过程中，各图像拾取装置以适当的定时顺序地对元件成像，由此避免了照明设备中用于成像的光的影响。
14.一种元件安装设备，包括元件图像拾取设备(100)；元件吸持头(210)，具有多个分别用于吸持电子元件(251)并将所吸持的电子元件安装到电路板(70)上元件吸持部件(211)；用于沿移动方向(250)移动元件的驱动单元(230)；以及用于固定电路板的电路板固定单元(220)，该元件图像拾取设备包括用于拾取由元件吸持部件吸持的各个元件(251)的图像的图像拾取照相机(110)，该图像拾取照相机包括分别对应于元件吸持部件沿移动方向移动通过的多个路径所设置的多个图像拾取装置(111)，用于拾取由元件吸持部件吸持的元件的图像；为多个图像拾取装置设置的单一照明设备(112)，用于为由每个图像拾取装置进行的图像拾取操作提供光照；以及图像拾取控制器(115)，用于根据与各个图像拾取装置相关的、针对每个元件设置的图像拾取条件以及与照明设备相关的照明条件来控制各个图像拾取装置的图像拾取操作和照明设备。
全文摘要
设置了图像拾取照相机10，以致多个元件251通过图像拾取照相机上方时，对应的图像拾取装置111以适当的定时顺序地对这些元件进行成像，由此避免了用于成像的光影响其他的图像拾取操作。可以分离地对多个元件中每一个的吸持姿态进行成像而不会缩短周期。
文档编号G01N21/956GK1505469SQ20031011862
公开日2004年6月16日 申请日期2003年11月27日 优先权日2002年11月29日
发明者王生和宏, 光本丰, 蜂谷荣一, 植田秀司, 一, 司 申请人:松下电器产业株式会社