专利名称：探针卡和包括探针卡的测试装置的制作方法
探针卡和包括探针卡的测试装置相关申请的交叉引用本申请要求2009年11月沈日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请 No. 10-2009-0115190的权益，其全部公开内容通过引用结合于此。
背景技术：
本发明的构思涉及一种探针卡和包括探针卡的测试装置，并且更具体地，涉及具 有微机电系统(MEMQ开关的探针卡和包括该探针卡的测试装置。在经由半导体制造工艺在晶片上形成了半导体器件之后，对半导体器件的每一个 执行用于测试缺陷的电特性测试。通过探针卡来执行电特性测试，所述探针卡将电信号施 加到晶片上的半导体器件、感测从施加的电信号传输的信号以及确定任何缺陷的存在。常 规的探针卡通常利用机械开关将电信号施加到半导体器件。当执行切换操作时，机械开关 所生成的电压可能对半导体器件造成损坏，劣化测量可靠性。

发明内容
根据本发明构思的一个示例性实施例，探针卡可以包括第一输入端子微机电系 统(MEMQ开关，所述第一输入端子微机电系统(MEMQ开关连接第一输入端子和第一输入 探针引脚，其中，所述第一输入端子MEMS开关包括接收操作信号的控制部分以及连接第一 输入端子与第一输入探针引脚的连接部分。该示例性实施例可以进一步包括第一输出端 子MEMS开关，所述第一输出端子MEMS开关连接第一输出端子和第一输出探针引脚，其中， 所述第一输出端子MEMS开关包括接收操作信号的控制部分以及连接第一输出端子与第一 输出探针引脚的连接部分。第一输入探针引脚和第一输入端子MEMS开关之间的距离以及第一输出探针引脚 和第一输出端子MEMS开关之间的距离可以不大于约50cm。第一输入端子MEMS开关的控制部分和第一输出端子MEMS开关的控制部分可以被 配置为接收相同的操作信号。探针卡可以进一步包括连接第一输入端子MEMS开关和第一输出探针引脚的第 一输入探针MEMS开关以及连接第一输出端子MEMS开关和第一输出探针引脚的第一输出探 针MEMS开关。探针卡可以进一步包括第二输入端子MEMS开关和第二输出端子MEMS开关，所述 第二输入端子MEMS开关连接第二输入端子和第二输入探针引脚，其中，第二输入端子MEMS 开关包括接收操作信号的控制部分以及连接第二输入端子和第二输入探针引脚的连接部 分，所述第二输出端子MEMS开关连接第二输出端子和第二输出探针引脚，其中，所述第二 输出端子MEMS开关包括接收操作信号的控制部分以及连接第二输出端子和第二输出探针 引脚的连接部分，其中，所述第一输入端子是接收脉冲输入信号的脉冲输入端子，所述第二 输入端子是接收DC输入信号的直流(DC)输入端子，所述第一输出端子是传输脉冲输出信 号的脉冲输出端子，并且第二输出端子是传输DC输出信号的DC输出端子。
探针卡可以进一步包括第一传输线和第二传输线，所述第一传输线连接第一输入 端子MEMS开关的控制部分和第一输出端子MEMS开关的控制部分，所述第二传输线连接第 二输入端子MEMS开关的控制部分和第二输出端子MEMS开关的控制部分，其中，经由第一传 输线和第二传输线传输的操作信号执行下述中的一个同时导通第一输入端子MEMS开关 和第一输出端子MEMS开关并且断开第二输入端子MEMS开关和第二输出端子MEMS开关； 或者，同时导通第二输入端子MEMS开关和第二输出端子MEMS开关并且断开第一输入端子 MEMS开关和第一输出端子MEMS开关。探针卡可以进一步包括连接到第一传输线和第二传输线的电源开关，所述电源开 关向第一传输线或第二传输线中的一个传输操作信号。电源开关可以是根据时钟信号向第一传输线或第二传输线中的一个传输操作信 号的解多路复用器(demultiplexer)。根据本发明构思的另一个示例性实施例，一种探针卡，可以包括配置成接收多个 输入信号的多个输入端子、配置成向晶片的多个输入垫传输多个输入信号的输入探针引脚 以及连接多个输入端子和多个输入探针MEMS开关的多个微机电系统(MEMS)开关，其中，多 个输入端子MEMS开关中的每一个包括接收操作信号的控制部分以及连接多个输入端子和 多个输入探针MEMS开关的连接部分，并且多个输入探针MEMS开关中的每一个包括接收操 作信号的控制部分以及连接多个输入端子MEMS开关和多个输入探针引脚的连接部分。探针卡可以进一步包括配置成传输多个输出信号的多个输出端子、配置成从晶 片的多个输出垫接收多个输出信号的多个输出探针引脚以及连接多个输出端子和多个输 出探针引脚的多个输出端子MEMS开关，其中，多个输出端子MEMS开关中的每一个包括接收 操作信号的控制部分以及连接多个输出端子和多个输出探针引脚的连接部分。探针卡可以进一步包括配置成连接多个输入端子MEMS开关的每个控制部分和 多个输出端子MEMS开关的每个控制部分的多个传输线，其中，多个传输线中的每一个向多 个输入端子MEMS开关的每个控制部分和多个输出端子MEMS开关的每个控制部分同时传输 操作信号。探针卡可以进一步包括配置成传输多个输出信号的多个输出端子、配置成从晶 片的多个输出垫接收多个输出信号的多个输出探针引脚以及连接多个输出端子和多个输 出探针MEMS开关的多个输出端子MEMS开关，其中，多个输出端子MEMS开关中的每一个包 括接收操作信号的控制部分以及连接多个输出端子和多个输出探针MEMS开关的连接部 分，并且多个输出探针MEMS开关中的每一个包括接收操作信号的控制部分和连接多个输 出端子MEMS开关和多个输出探针引脚的连接部分。探针卡可以进一步包括配置成连接多个输入探针MEMS开关的每个控制部分和 多个输出探针MEMS开关的每个控制部分的多个探针传输线，其中，多个探针传输线的每一 个向多个输入探针MEMS开关的每一个控制部分和多个输出探针MEMS开关的每个控制部分 同时传输操作信号。探针卡可以进一步包括配置成连接多个输入端子MEMS开关的每个控制部分和 多个输出端子MEMS开关的每个控制部分的多个传输线，其中，多个传输线的每一个向多个 输入端子MEMS开关的每个控制部分和多个输出端子MEMS开关的每个控制部分同时传输操
作信号。
根据本发明构思的另一个示例性实施例，一个测试装置，包括探针卡，并且所述探 针卡包括连接第一输入端子和第一输入探针引脚的第一输入端子微机电系统(MEMS)开 关、连接第一输出端子和第一输出探针引脚的第一输出端子MSMS开关、连接第二输入端子 和第二输入探针引脚的第二输入端子MEMS开关以及连接第二输出端子和第二输出探针引 脚的第二输出端子MEMS开关。测试装置可以进一步包括配置成将脉冲输入信号施加到第一输入端子的脉冲生 成器、配置成将直流(DC)输入信号施加到第二输入端子的源测量单元(SMU)、配置成从第 一输出端子接收脉冲输出信号的示波器以及配置成从第二输出端子接收DC输出信号的接 地连接。测试装置可以进一步包括配置成将第一操作信号同时施加到第一输入端子 MEMS开关的控制部分和第一输出端子MEMS开关的控制部分的第一电源、配置成将第二操 作信号同时施加到第二输入端子MEMS开关的控制部分和第二输出端子MEMS开关的控制部 分的第二电源以及配置成控制第一电源和第二电源的电源控制器，其中，在第二输入端子 MEMS开关和第二输出端子MEMS开关被断开的同时，第一输入端子MEMS开关和第二输出端 子MEMS开关被导通，并且在第一输入端子MEMS开关和第一输出端子MEMS开关被断开的同 时，第二输入端子MEMS开关和第二输出端子MEMS开关被导通。


从下面结合附图的详细描述将清楚地理解本发明构思的一个示例性实施例，在附 图中图1是根据本发明构思的一个示例性实施例的探针卡和包括探针卡的测试装置 的示意图；图2是根据本发明构思的另一个示例性实施例的探针卡和包括探针卡的测试装 置的示意图；图3是根据本发明构思的另一个示例性实施例的探针卡和包括探针卡的测试装 置的示意图；图4是根据本发明构思的另一个示例性实施例的探针卡和包括探针卡的测试装 置的示意图；图5是根据本发明构思的一个示例性实施例的用于使用包括探针卡的测试装置 来测试半导体器件的方法的流程图；图6是根据本发明构思的另一个示例性实施例的使用包括探针卡的测试装置来 测试半导体器件的方法的流程图；图7是根据本发明构思的另一个示例性实施例的使用包括探针卡的测试装置来 测试半导体器件的方法流程图；图8是根据本发明的另一个示例性实施例的使用包括探针卡的测试装置来测试 半导体器件的方法的流程图；图9A是示出使用常规测试装置测量的半导体器件的电流-电阻特性的图示；图9B是示出根据本发明构思的一个示例性实施例的使用包括探针卡的测试装置 测量的半导体器件的电流-电阻特性的图示；
图IOA是根据本发明构思的一个示例性实施例的探针卡中的微机电系统(MEMS) 开关的示意图；以及图IOB是根据本发明构思的一个示例性实施例的探针卡中的MEMS开关的示意图。
具体实施例方式在下文参考附图来更充分地描述本发明构思的一个示例性实施例。然而，本发明 构思可以以许多不同的形式来实施，并且不应当被理解为限于这里阐述的一个示例性实施 例。此外，这里列举的所有实例和条件式语言应被理解为不限于这样特定列举的示例 和条件。在说明书中，单数形式可以包括复数形式。诸如“包括”或“包含”的术语用于指 定列举的形式、数目、过程、操作、组件和/或其的组的存在，而不排除一个或多个其他列举 的形式、一个或多个其他数目、一个或多个其他过程、一个或多个其他操作、一个或多个其 他组件和/或其的组的存在。尽管使用“第一”和“第二”来描述各种组件和部件，但是组件和部件不限于术语 “第一”和“第二”。术语“第一”和“第二”仅用于在组件和部分中的每一个之间进行区分。 因此，第一组件或部件可以指示第二组件或部件。下文中，将通过参考附图解释本发明构思的一个示例性实施例来详细描述本发明 构思。对于附图，可以根据制造技术和/或容限来修改附图中的形状。因此，用于示出本发 明构思的一个示例性实施例的附图被称为，为了获得本发明构思的充分的理解、本发明构 思的优点以及本发明构思的实施方式所实现的目标。在附图中相同的附图标记表示相同的元素。图1是根据本发明构思的一个示例性实施例的探针卡IA和包括探针卡IA的测试 装置2A的示意图。参考图1，探针卡IA可以包括第一输入端子IOa和第二输入端子10b、第一输入端 子微机电系统(MEMS)开关20a和第二输入端子微机电系统(MEMS)开关20b、输入探针引脚 50、输出探针引脚60、第一输出端子MEMS开关90a和第二输出端子MEMS开关90b、第一输 出端子IOOa和第二输出端子IOOb以及第一传输线IlOa和第二传输线110b。输入探针引 脚50、输出探针引脚60、第一输入端子MEMS开关20a和第二输入端子MEMS开关20b以及 第一输出端子MEMS开关90a和第二输出端子MEMS开关90b可以位于探针卡IA内。然而， 这些器件的位置不限于此，并且因此，输入探针引脚、输出探针引脚60、第一输入端子MEMS 开关20a和第二输入端子MEMS开关20b以及第一输出端子MEMS开关90a和第二输出端子 MEMS开关90b可以位于其他探针卡(未示出)内。为了说明性目的，这里描述的示例性实施例包括两个输入端子、两个输入端子 MEMS开关、两个输出端子MEMS开关以及两个输出端子，然而，本领域技术人员将意识到，这 些单元的数目不限于此。第一输入端子IOa和第二输入端子IOb可以接收单个输入信号，或者可以分别接 收分离的输入信号，如图1中的示例性实施例中所示。例如，第一输入端子IOa可以接收第 一输入信号，并且第二输入端子IOb可以接收第二输入信号。在一个示例性实施例中，第一 输入端子IOa可以是脉冲输入端子，并且第一输入信号可以是脉冲输入信号，并且第二输入端子IOb可以是直流(DC)输入端子并且第二输入信号可以是DC输入信号。然而，第一 输入端子IOa和第二输入端子IOb以及第一输入信号和第二输入信号不限于此。第一输入 信号和第二输入信号可以被输入到第一输入端子IOa和第二输入端子10b。第一输入端子MEMS开关20a可以被安置在第一输入端子IOa和输入探针引脚50 之间，并且第二输入端子MEMS开关20b可以被安置在第二输入端子IOb和输入探针引脚50 之间。第一输入端子MEMS开关20a和第二输入端子20b可以分别电连接第一输入端子IOa 和输入探针引脚50，以及第二输入端子IOb和输入探针引脚50。第一输入端子MEMS开关 20a和第二输入端子MEMS开关20b可以包括用于接收操作信号的控制部分5以及用于将第 一输入端子IOa和第二输入端子IOb电连接到输入探针引脚50的连接部分6。输入探针引脚50可以包括电连接到第一输入端子MEMS开关20a的第一端以及电 连接到第二输入端子MEMS开关20b的第二端。第一端和第二端进一步电连接到晶片500 的输入垫510。根据本发明构思的不同实施例，输入探针引脚50的端的数目可以基于输入 端子MEMS开关存在的数目而变化。输入探针引脚50可以从第一输入端子IOa和第二输入 端子IOb接收第一输入信号和第二输入信号，并且可以向晶片500的输入垫传输接收到的 第一输入信号和第二输入信号。输入探针引脚50与第一和第二输入端子MEMS开关20a和 20b之间的距离可以是，例如，大约0. l-50cm，但是该距离不限于此。第一输出端子IOOa和第二输出端子IOOb可以传输单个输出信号，或者可以分别 传输分离的输出信号，如图1的示例性实施例中所示。例如，第一输出端子IOOa可以传输 第一输出信号，并且第二输出端子IOOb可以传输第二输出信号。在一个示例性实施例中， 第一输出端子IOOa可以是脉冲输出端子，并且第一输出信号可以是脉冲输出信号，并且第 二输出端子IOOb可以是DC输出端子，并且第二输出信号可以是DC输出信号。然而，第一 输出端子IOOa和第二输出端子IOOb以及第一输出信号和第二输出信号不限于此。第一输出端子MEMS开关90a可以被安置在第一输出端子IOOa和输出探针引脚60 之间，并且第二输出端子MEMS开关90b可以被安置第二输出端子IOOb和输出探针引脚60 之间。第一输出端子MEMS开关90a和第二输出端子MEMS开关90b可以分别电连接第一输 出端子IOOa和输出探针引脚60以及第二输出端子IOOb和输出探针引脚60。第一输出端 子MEMS开关90a和第二输出端子MEMS开关90b可以包括用于接收操作信号的控制部分5 以及将第一输出端子IOOa和第二输出端子IOOb电连接到输出探针引脚60的连接部分6。输出探针引脚60可以包括电连接到第一输出端子MEMS开关90a的第一端以及 电连接到第二输出端子MEMS开关90b的第二端。第一端和第二端被进一步电连接到晶片 500的输出垫520。根据本发明构思的不同实施例，输出探针引脚60上的端的数目可以基 于输出端子MEMS开关存在的数目而变化。输出探针引脚60可以从输出垫520接收输出信 号，并且可以分别向第一输出端子IOOa和第二输出端子IOOb传输接收到的输出信号。输 出探针引脚60与第一和第二输出端子MEMS开关90a和90b之间的距离可以是，例如，大约 0. l-50cm，但是该距离不限于此。如图1中所示，第一传输线IlOa和第二传输线1 IOb可以分别电连接到第一输入 端子MEMS开关20a和第二输入端子MEMS开关20b的控制部分5以及第一输出端子MEMS开 关90a和第二输出端子MEMS开关90b的控制部分5。在一个示例性实施例中，第一输入端 子MEMS开关20a和第二输入端子MEMS开关20b的控制部分5以及第一输出端子MEMS开关90a和第二输出端子MEMS开关90b的控制部分5可以接收相同的操作信号。结果，操作 信号可以分别同时导通/断开第一输入端子MEMS开关20a和第一输出端子MEMS开关90a， 以及第二输入端子MEMS开关20b和第二输出端子MEMS开关90b。例如，第一输入端子MEMS开关20a的控制部分5和第一输出端子MEMS开关90a 的控制部分5可以例如经由第一传输线IlOa被电连接。第一传输线IlOa可以向第一输入 端子MEMS开关20a的控制部分5和第一输出端子MEMS开关90a的控制部分5同时传输操 作信号。结果，第一输入端子MEMS开关20a和第一输出端子MEMS开关90a可以被同时导 通或者被同时断开。类似地，第二输入端子MEMS开关20b的控制部分5和第二输出端子MEMS开关90b 的控制部分5可以例如经由第二传输线IlOb被电连接。第二传输线IlOb可以向第二输入 端子MEMS开关20b的控制部分5和第二输出端子MEMS开关90b的控制部分5同时传输操 作信号。结果，第二输入端子MEMS开关20b和第二输出端子MEMS开关90b可以被同时导 通或者被同时断开。根据图1中示出的示例性实施例，测试装置2A可以包括探针卡1A，并且可以进一 步包括第一输入信号施加单元210a和第二输入信号施加单元210b、第一输出信号接收单 元220a和第二输出信号接收单元220b、第一电源230a和第二电源230b以及第一电源控制 器 240ao第一输入信号施加单元210a可以将第一输入信号施加到第一输入端子10a，并且 第二输入信号施加单元210b可以将第二输入信号施加到第二输入端子10b。第一输入信 号施加单元210a可以是，例如，脉冲生成器，并且第一输入端子IOa可以是，例如，脉冲输入 端子。第二输入信号施加单元210可以是，例如，源测量单元(SMU)，并且第二输入端子IOb 可以是，例如，DC输入端子。第一输入信号可以是，例如，脉冲输入信号，并且第二输入信号 可以是，例如，DC输入信号。在一个示例性实施例中，第一输入信号施加单元210a可以被 电连接到探测卡IA中的脉冲输入端子10a，并且可以将脉冲输入信号施加到脉冲输入端子 IOa0 SMU 210b可以被电连接到探针卡IA中的DC输入端子10b，并且可以将DC输入信号 施加到DC输入端子10b。虽然在该示例性实施例中，输入信号施加单元210a和210b分别 包括脉冲生成器和SMU，但是输入信号施加单元210a和210b不限于此。第一输出信号接收单元220a可以从第一输出端子IOOa接收第一输出信号，并且 第二输出信号接收单元220b可以从第二输出端子IOOb接收第二输出信号。第一输出信号 接收单元220a可以是，例如，示波器，并且第一输出端子IOOa可以是，例如，脉冲输出端子。 第二输出信号接收单元220b可以是，例如，接地连接，并且第二输出端子IOOb可以是，例 如，DC输出端子。第一输出信号可以是，例如，脉冲输出信号，并且第二输出信号可以是，例 如，DC输出信号。在一个示例性实施例中，示波器220a可以被电连接到探针卡IA中的脉 冲输出端子100a，并且可以接收从脉冲输出端子IOOa传输的脉冲输出信号。接地220b可 以被电连接到探针卡IA中的DC输出端子100b，并且可以接收从DC输出端子IOOb传输的 DC输出信号。虽然在该示例性实施例中第一输出信号接收单元220a和第二输出信号接收 220b分别包括示波器和接地连接，但是输出信号接收单元220a和220b不限于此。在一个示例性实施例中，第一电源230a和第二电源230b可以将操作信号同时施 加到第一和第二输入端子MEMS开关20a和20b的控制部分5以及第一和第二输出端子MEMS开关90a和90b的控制部分5。例如，第一电源230a和第二电源230b可以被电连接到探针 卡IA中的第一传输线IlOa和第二传输线110b。结果，第一电源230a和第二电源230b可 以将操作信号同时施加到第一和第二输入端子MEMS开关20a和20b的控制部分5以及第 一和第二输出端子MEMS开关90a和90b的控制部分5。例如，第一电源230a可以电连接到第一传输线110a，并且可以将第一操作信号同 时施加到第一输入端子MEMS开关20a的控制部分5和第一输出端子MEMS开关90a的控制 部分5。因此，第一输入端子MEMS开关20a和第一输出端子MEMS开关90a可以被同时导通 或者被同时断开。类似地，第二电源230b可以电连接到第二传输线110b，并且可以将第二操作信号 同时施加到第二输入端子MEMS开关20b的控制部分5以及第二输出端子MEMS开关90b的 控制部分5。因此，第二输入端子MEMS开关20b和第二输出端子MEMS开关90b可以被同时 导通或者被同时断开。第一电源控制器MOa可以电连接到第一电源230a和第二电源230b，并且可以控 制第一电源230a和第二电源230b以交替的方式来操作。例如，第一电源控制器MOa可以 使得第一输入端子MEMS开关20a和第一输出端子MEMS开关90a由第一电源230a来同时 导通，并且使第二输入端子MEMS开关20b和第二输出端子MEMS开关90b由第二电源230b 来同时断开。类似地，第一电源控制器MOa可以使得第二输入端子MEMS开关20b和第二输 出端子MEMS开关90b由第二电源230b来同时导通，并且使得第一输入端子MEMS开关20a 和第一输出端子MEMS开关90a由第一电源230a来同时断开。图2是根据本发明构思的另一个示例性实施例的探针卡IB和包括探针卡IB的测 试装置2B的示意图。根据该示例性实施例的探针卡IB和测试装置2B可以包括根据图1 中示出的示例性实施例的探针卡IA和测试装置2A的修改实施例。因此，在下文中，在此省 略了其相同描述。参考图2，探针卡IB可以进一步包括电源开关250。电源开关250可以被连接到第 一传输线IlOa和第二传输线IlOb以及电源230。电源开关250可以被连接到电源230，并 且可以将来自电源230的操作信号传输到第一传输线IlOa和第二传输线IlOb中的一个。 在图2中示出的示例性实施例中，电源开关250位于探针卡IB内，然而，电源开关250的位 置不限于此。在一个示例性实施例中，电源开关250可以被实施为解多路复用器。解多路复用 器250可以接收来自电源230的操作信号，并且可以基于时钟信号CLK将该操作信号传输 到第一传输线IlOa和第二传输线IlOb中的一个。例如，当由解多路复用器250接收到的时 钟信号CLK指示“1”或“高”时，可以将该操作信号施加到第一传输线110a，并且当由解多 路复用器250接收到的时钟信号CLK指示“0”或“低”时，可以将该操作信号施加到第二传 输线110b。虽然在该示例性实施例中电源开关250包括解多路复用器，但是电源开关250 不限于此。图3是根据本发明构思的另一个示例性实施例的探针卡IC和包括探针卡IC的测 试装置2C的示意图。根据该示例性实施例的探针卡IC和测试装置2C可以包括根据图1 中示出的示例性实施例的探针卡IA和测试装置2A的修改实施例。因此，在下文中，这里省 略了其相同描述。
参考图3，探针卡IC可以包括第一输入端子IOa和第二输入端子10b、第一输入端 子MEMS开关20a和第二输入端子MEMS开关20b、第一连接节点30、第一至第三输入探针 MEMS开关40a、40b和40c、第一至第三输入探针引脚50a、50b和50c、第一至第三输出探针 引脚60a、60b和60c、第一至第三输出探针MEMS开关70a、70b和70c、第二连接节点80、第 一输出端子MEMS开关90a和第二输出端子MEMS开关90b、第一输出端子IOOa和第二输出 端子100b、第一传输线IlOa和第二传输线IlOb以及A至C探针传输线115a、115b和115c。 第一输入端子MEMS开关20a和第二输入端子MEMS开关20b、第一输出端子MEMS开关90a 和第二输出端子MEMS开关90b、第一至第三输入探针引脚50a、50b和50c、第一至第三输出 探针引脚60a、60b和60c、第一至第三输入探针MEMS开关40a、40b和40c以及第一至第三 输出探针MEMS开关70a、70b和70c可以位于探针卡IA内或者其他探针卡(未示出)内。为了说明的目的，这里描述的示例性实施例包括2个输入端子，两个输入端子 MEMS开关、两个输出端子MEMS开关和两个输出端子，然而，本领域的技术人员将认识到，这 些单元的数目不限于此。类似地，这里描述的示例性实施例包括三个输入探针MEMS开关、 三个输入探针引脚、三个输入垫、三个输出垫、三个输出探针引脚以及三个输出探针MEMS 开关，然而，本领域的技术人员将认识到，这些单元的数目不限于此。第一输入端子IOa和第二输入端子IOb可以接收单个输入信号，或者第一输入端 子IOa可以接收第一输入信号，并且第二输入端子IOb可以接收第二输入信号，如图3中所 示。在一个示例性实施例中，第一输入端子IOa可以是，例如，脉冲输入端子，并且第一输入 信号可以是，例如，脉冲输入信号，然而，第一输入端子IOa和第一输入信号不限于此。第二 输入端子IOb可以是，例如，DC输入端子，并且第二输入信号可以是，例如，DC输入信号，然 而，第二输入端子IOb和第二输入信号不限于此。第一输入信号和第二输入信号可以被输 入到第一输入端子IOa和第二输入端子10b。第一输入端子MEMS开关20a和第二输入端子MEMS开关20b可以分别被安置在 第一和第二输入端子IOa和IOb与第一连接节点30之间。例如，第一输入端子MEMS开关 20a可以被安置在第一输入端子IOa和第一连接节点30之间，并且第二输入端子MEMS开关 20b可以被安置在第二输入端子IOb和第一连接节点30之间。第一和第二输入端子MEMS 开关20a和20b与第一至第三输入探针引脚50a、50b和50c之间的距离分别可以是例如大 约0. l-50cm,但是该距离不限于此。第一输入端子MEMS开关20a和第二输入端子MEMS开 关20b可以包括用于接收操作信号的控制部分5以及用于电连接第一和第二输入端子IOa 和IOb与第一连接节点30的连接部分6。第一至第三输入探针引脚50a、50b和50c可以包括两个端，每个端可以分别被电 连接到第一至第三输入探针MEMS开关40a、40b和40c。两个端进一步分别被电连接到晶片 的第一至第三输入垫510a、510b和510c。第一至第三输入探针MEMS开关40a、40b和40c可以分别被安置在第一至第三输 入探针引脚50a、50b和50c与第一连接节点30之间。第一至第三输入探针MEMS开关40a、 40b和40c与第一至第三输入探针引脚50a、50b和50c之间的距离可以分别是，例如，大约 0. l-50cm，但是该距离不限于此。第一至第三输入探针MEMS开关40a、40b和40c可以包括用于接收操作信号的控 制部分5以及用于电连接第一至第三输入垫510a、510b和510c与第一连接节点30的连接部分6。第一输出端子IOOa和第二输出端子IOOb可以传输输出信号。例如，第一输出端 子IOOa可以传输第一输出信号，并且第二输出端子IOOb可以传输第二输出信号。在一个 示例性实施例中，第一输出端子IOOa可以是，例如，脉冲输出端子，并且第一输出信号可以 是，例如，脉冲输出信号，然而，第一输出端子IOOa和第一输出信号不限于此。第二输出端 子IOOb可以是，例如，DC输出端子，并且第二输出信号可以是例如，DC输出信号，然而，第二 输出端子IOOb和第二输出信号不限于此。可以将第一输出信号和第二输出信号输入到第 一输出端子IOOa和第二输出端子100b。第一输出端子MEMS开关90a和第二输出端子MEMS开关90b可以分别被安置在第 一和第二输出端子IOOa和IOOb与第二连接节点80之间。例如，第一输出端子MEMS开关 90a可以被安置在第一输出端子IOOa和第二连接节点80之间，并且第二输出端子MEMS开 关90b可以被安置在第二输出端子IOOb和第二连接节点80之间。第一和第二输出端子 MEMS开关90a和90b与第一至第三输出探针引脚60a、60b和60c之间的距离分别可以是， 例如，大约0. l-50cm，但是该距离不限于此。第一输出端子MEMS开关90a和第二输出端子 MEMS开关90b可以包括用于接收操作信号的控制部分5以及用于电连接第一和第二输出端 子IOOa和IOOb与第二连接节点80的连接部分6。第一至第三输出探针引脚60a、60b和60c可以包括两个端，一个端分别被电连接 到第一至第三输出探针MEMS开关70a、70b和70c，并且另一端分别被电连接到晶片500的 第一至第三输出垫520a、520b和520c。第一至第三输出节点MEMS开关70a、70b和70c可以分别被安置在第一至第三输 出探针引脚60a、60b和60c与第二连接节点之间。第一至第三输出探针MEMS开关70a、 70b和70c与第一至第三输出探针引脚60a、60b和60c之间的距离分别可以是，例如，大约 0. l-50cm，但是该距离不限于此。第一至第三输出探针MEMS开关70a、70b和70c可以包括 用于接收操作信号的控制部分5以及用于电连接第一至第三输出垫520a、520b和520c与 第二连接节点80的连接部分6。第一传输线IlOa和第二传输线IlOb可以分别被电连接到第一输入端子MEMS开 关20a和第二输入端子MEMS开关20b的控制部分5以及第一输出端子MEMS开关90a和第 二输出端子MEMS开关90b的控制部分5。例如，第一传输线IlOa可以被电连接到第一输入 端子MEMS开关20a和第一输出端子MEMS开关90a，并且第二传输线IlOb可以被电连接到 第二输入端子MEMD开关20b和第二输出端子MEMS开关90b。A至C探针传输线115a、lMb和115c可以分别被电连接到第一至第三输入探针 MEMS开关40a、40b和40c的控制部分5以及第一至第三输出探针MEMS开关70a、70b和70c 的控制部分5。例如，A探针传输线11 可以被电连接到第一输入探针MEMS开关40a的控 制部分5和第一输出探针MEMS开关70a的控制部分5，B探针传输线11 可以被电连接到 第二输入探针MEMS开关40b的控制部分5和第二输出探针MEMS开关70b的控制部分5，并 且C探针传输线115c可以被电连接到第三输入探针MEMS开关40c的控制部分5和第三输 出探针MEMS开关70c的控制部分5。根据图3中示出的示例性实施例，测试装置2C可以包括探针卡1C，并且可以进一 步包括第一输入信号施加单元210a和第二输入信号施加单元210b、第一输出信号接收单元220a和第二输出信号接收单元220b、第一电源230a和第二电源230b、A至C电源23fe、 235b和235c以及第一电源控制器MOa和第二电源控制器MOb。第一输入信号施加单元210a和第二输入信号施加单元210b可以将输入信号施加 到第一输入端子IOa和第二输入端子10b。第一输入信号施加单元210a可以是，例如，脉 冲生成器，并且第二输入信号施加单元210b可以是，例如，SMU，然而，第一输入信号施加单 元210a和第二输入信号施加单元210b不限于此。在图3中示出的示例性实施例中，脉冲 生成器210a可以将脉冲输入信号施加到脉冲输入端子10a，并且SMU 210b可以将DC输入 信号施加到DC输入端子10b。第一输出信号接收单元220a和第二输出信号接收单元220b可以接收来自第一输 出端子IOOa和第二输出端子IOOb的信号。例如，第一输出信号接收单元220a可以是，例 如，示波器，并且第二输出信号接收单元220b可以是，例如，接地连接，然而，第一输出信号 接收单元2 和第二输出信号接收单元220b不限于此。在图3中示出的示例性实施例中， 示波器220a可以接收来自脉冲输出端子IOOa的脉冲输出信号，并且接地连接220b可以接 收来自DC输出端子IOOb的DC输出信号。第一电源230a和第二电源230b可以被电连接到第一传输线IlOa和第二传输线 IlOb,并且可以将操作信号分别施加到第一输入端子MEMS开关20a和第二输入端子MEMS 开关20b的控制部分5并且施加到第一输出端子MEMS开关90a和第二输出端子MEMS开关 90b的控制部分5。例如，第一电源230a可以经由第一传输线IlOa将操作信号施加到第一 输入端子MEMS开关20a的控制部分5并且施加到第一输出端子MEMS开关90a的控制部分 5。类似地，第二电源230b可以及经由第二传输线IlOb将操作信号施加到第二输入端子 MEMS开关20b的控制部分5并且施加到第二输出端子MEMS开关90b的控制部分5。A至C电源23fe、235b和235c可以被电连接到A至C探针传输线115a、115b和 115c,并且可以将操作信号分别施加到第一至第三输入探针MEMS开关40a、40b和40c的控 制部分5，并且施加到第一至第三输出探针MEMS开关70a、70b和70c的控制部分5。例如， A电源23 可以经由A探针传输线11 将操作信号施加到第一输入探针MEMS开关40a的 控制部分5并且施加到第一输出探针MEMS开关70a的控制部分5，B电源23 可以经由B 探针传输线11 将操作信号施加到第二输入探针MEMS开关40b的控制部分5并且施加到 第二输出探针MEMS开关70b的控制部分5，并且C电源235c可以经由C探针传输线115c将 操作信号施加到第三输入探针MEMS开关40c的控制部分5并且施加到第三输出探针MEMS 开关70c的控制部分5。第一电源控制器MOa可以被电连接到第一电源230a和第二电源230b，并且可以 控制第一电源230a和第二电源230b以交替的方式来进行操作。例如，第一电源控制器140a 可以使得第一输入端子MEMS开关20a和第一输出端子MEMS开关90a由第一电源230a来 同时导通，并且使得第二输入端子MEMS开关20b和第二输出端子MEMS开关90b由第二电 源230b来同时断开。类似地，第一电源控制器MOa可以使得第二输入端子MEMS开关20b 和第二输出端子MEMS开关90b由第二电源230b来同时导通，并且使得第一输入端子MEMS 开关20a和第一输出端子MEMS开关90a由第一电源230a来同时断开。 第二电源控制MOb可以电连接到A至C电源23fe、235b和235c。第二电源控制 器MOb可以控制A至C电源23^1、23恥和235c，从而以交替的方式来进行操作。例如，当第一输入探针MEMS开关40a和第一输出探针MEMS开关70a被同时导通时，第二和第三输 入探针MEMS开关40b和40c以及第二和第三输出探针MEMS开关70b和70c可以被同时断 开。类似地，当第二输入探针MEMS开关40b和第二输出探针MEMS开关70b被同时导通时， 第一和第三输入探针MEMS开关40a和40c以及第一和第三输出探针MEMS开关70a和70c 可以被同时断开。类似地，当第三输入探针MEMS开关40c和第三输出探针MEMS开关70c被 同时导通时，第一和第二输入探针MEMS开关40a和40b以及第一和第二输出探针MEMS开 关70a和70b可以被同时断开。虽然图3中没有示出，但是如图2中所示的第一电源开关(250)可以位于探针卡 IC或测试装置2C内。第一电源开关允许操作信号经由一个电源而不是两个电源(例如， 图3中所示的第一电源230a和第二电源230b)被交替地施加到第一传输线IlOa和第二传 输线110b。第一电源开关可以包括第一解多路复用器(例如，1至log2N解多路复用器)。 类似地，第二电源开关(未示出)可以位于探针卡IC或测试装置2C内，允许操作信号经由 一个电源而不是三个电源(例如，图3中所示的A至C电源23^1、23恥和235c)被交替地 施加到A至C探针传输线115a、lMb和115c。第二电源开关可以包括第二解多路复用器 (例如，1至log2M解多路复用器)。图4是根据本发明构思的另一个示例性实施例的探针卡ID和包括探针卡ID的测 试装置2D的示意图。根据本示例性实施例的探针卡ID和测试装置2D可以包括根据图3 中示出的示例性实施例的探针卡IC和测试装置2C的修改实施例。因此，在下文中，这里省 略其相同的描述。参考图4，晶片500可以包括，例如，第一至第三输入垫510a、510b和510c以及公 共输出垫520，然而，输入垫和输出垫的数目不限于此。探针卡ID可以包括第一至第三输入 探针50a、50b和50c以及输出探针60，然而，输入探针和输出探针的数目不限于此。输出 探针引脚60可以包括两个端，两个端中的每一个分别被电连接到第一输出端子MEMS开关 90a和第二输出端子MEMS开关90b，并且被电连接到晶片500的公共输出垫520。A至C探针传输线115a、lMb和115c可以分别被电连接到第一至第三输入探针 MEMS开关40a、40b和40c的控制部分5。例如，A探针传输线11 可以被电连接到第一输 入探针MEMS开关40a的控制部分5，B探针传输线11 可以被电连接到第二输入探针MEMS 开关40b的控制部分5，并且C探针传输线115c可以被电连接到第三输入探针MEMS开关 40c的控制部分5。A至C电源23fe、235b和235c可以被电连接到A至C探测传输线115a、115b和 115c，并且可以将操作信号分别施加到第一至第三输入探针MEMS开关40a、40b和40c的控 制部分5。例如，A电源23 可以将操作信号经由A探针传输线11 施加到第一输入探针 MEMS开关40a的控制部分5，B电源23 可以将操作信号经由B探针传输线11 施加到 第二输入探针MEMS开关40b的控制部分5，并且C电源235c可以将操作信号经由C探针传 输线115c施加到第三输入探针MEMS开关40c的控制部分5。第二电源控制器MOb可以电连接到A至C电源23fe、235b和235c。第二电源控 制器MOb可以控制A至C电源23fe、23 和235c从而以交替的方式进行操作。例如，当第 一输入探针MEMS开关40a被导通时，第二输入探针MEMS开关40b和第三输入探针MEMS开 关40c可以被断开。类似地，当第二输入探针MEMS开关40b被导通时，第一输入探针MEMS开关40a和第三输入探针MEMS开关40c可以被断开。此外，当第三输入探针MEMS开关40c 被导通时，第一输入探针MEMS开关40a和第二输入探针MEMS开关40b可以被断开。图5是示出根据本发明构思的一个示例性实施例的用于使用包括探针卡IA的测 试装置2A来测试电阻式半导体器件的方法600的流程图。参考图1和图5，测试装置2A的第一电源控制器MOa控制第一电源230a，使其生 成操作信号(S610)。将操作信号施加到第一传输线110a，使得第一输入端子MEMS开关20a 和第一输出端子MEMS开关90a同时被导通。因为第二电源230b的操作信号不是通过第一 电源控制MOa生成的，所以第二输入端子MEMS开关20b和第二输出端子MEMS开关90b保 持断开。脉冲生成器210a生成脉冲输入信号(S620)。输入探针引脚50向晶片500的输入 垫510传输脉冲输入信号(S630)。该脉冲输入信号由晶片500中的半导体器件(未示出) 变换成脉冲输出信号，并且被传输到晶片500的输出垫520。电连接到输出垫520的输出探 针引脚60将脉冲输出信号传输到示波器220a(S640)。示波器220a基于脉冲输入信号和脉 冲输出信号来测量电流(S650)。第一电源控制器MOa控制第二电源230b，使其生成操作信号(S660)。该操作信号 被施加到第二传输线1 IOb,使得第二输入端子MEMS开关20b和第二输出端子MEMS开关90b 被同时导通。因为第一电源230a的操作信号不是由第一电源控制器MOa生成的，所以第一 输入端子MEMS开关20a和第一输出端子MEMS开关90a保持断开。SMU 210b生成DC输入 信号(S670)。输入探针引脚50将DC输入信号传输到晶片500的输入垫510 (S680)。该DC 输入信号由晶片500中的半导体器件(未示出)变换成DC输出信号，并且被传输到输入垫 520。电连接到输出垫520的输出探针引脚60将DC输出信号传输到接地连接220b (S690)。 SMU 210b基于DC输入信号和DC输出信号来测量半导体器件的电阻(S700)。图6是示出用于根据本发明构思的另一个示例性实施例使用包括探针卡的测试 装置来测试半导体器件的方法700的流程图。本实施例更加详细地描述了图5的方法600。参考图5描述的方法600涉及用于通过将脉冲信号和DC信号施加到半导体器件 并且测量该器件的得到的电流和电阻特性来测试半导体器件的方法。参考图6描述的方法 700涉及用于通过测量在器件的“设定”过程之后的“设定”电流和“设定”电阻以及在该器 件的“复位”过程之后的“复位”电流和“复位”电阻来测试半导体器件的详细方法。参考图1、图5和图6，通过相对于高频信号来测量半导体器件的电流和电阻特性 来测试半导体器件。方法600可以包括“设定”过程之后的半导体器件的电流和电阻特性 的测量以及“复位”过程之后的半导体器件的电流和电阻特性的测量。该测试方法可以对用于采样的很多测量值执行。第一测量值(例如，K = 1)开始 于S610a。为了测量“设定”过程之后的电流，第一电源230a生成操作信号(S620a)。当 将操作信号施加到第一传输线IlOa时，脉冲生成器210a生成第一“设定”脉冲输入信号 (S630a)。如上所述，第一“设定”脉冲输入信号经由晶片500的输入垫510和输入探针引 脚50被传输到半导体器件(未示出)，其中，其被变换成第一“设定”脉冲输出信号并且经 由输出垫520和输出探针引脚60被传输到示波器220a。示波器220a基于第一“设定”脉 冲输入信号和第一“设定”脉冲输出信号来测量第一“设定”电流(S650a)。为了在“设定”过程之后测量电阻，第二电源230b生成操作信号(S660a)。当将操 作信号施加到第二传输线IlOb时，SMU 210b生成第一“设定” DC输入信号(例如，读取电压)(S670a)。如上所述，第一“设定”DC输入信号经由晶片的输入垫510和输入探针引脚 50被传输到半导体器件(未示出)，其中，其被变换成第一“设定”DC输出信号并且经由输 出垫520和输出探针引脚60被传输到接地连接220b。SMU210b基于第一“设定"DC输入信 号和第一 “设定” DC输出信号来测量第一 “设定”电阻(S700a)。为了测量“复位”过程之后的电流，第一电源230a生成操作信号(S610b)。当 将操作信号施加到第一传输线IlOa时，脉冲生成器210a生成第一“复位”脉冲输入信号 (S620b)。如上所述，第一“复位”脉冲输入信号经由晶片的输入垫510和输入探针引脚50 被传输到半导体器件(未示出)(S630b)，其中，其被变换成第一“复位”脉冲输出信号并且 经由输出垫520和输出探针引脚60被传输到示波器220a。示波器220a基于第一 “复位” 脉冲输入信号和第一“复位”脉冲输出信号来测量第一“复位”电流(S650b)。为了测量“复位”程序之后的电阻，第二电源230b生成操作信号(S660b)。当将 操作信号施加到第二传输线IlOb时，SMU 210b生成第一“复位”DC输入信号(例如，读取 电压)(S670b)。如上所述，第一“复位”DC输入信号经由晶片的输入垫510和输入探针引 脚50被传输到半导体器件(未示出)(S680b)，其中，其被变换成第一“复位”DC输出信号 并且经由输出垫520和输出探针引脚60被传输到接地连接220b。SMU 210b基于第一“复 位” DC输入信号和第一“复位” DC输出信号来测量第一 “复位”电阻(S700b)。如上所述，可以使用图6中示出的示例性实施例来测量第一“设定”电流、第一“设 定”电阻、第一“复位”电流和第一“复位”电阻。可以重复以上参考图6描述的步骤来测量 第二至第K “设定”电流、“设定”电阻、“复位”电流和“复位”电阻。图7是示出根据本发明构思的另一个示例性实施例的用于使用包括图3中示出的 探针卡IC的测试装置2C来测试半导体器件的方法800的流程图。参考图3和图7，第二电源控制器MOb控制A电源23 ，使其生成操作信号 (S810)。将该操作信号施加到A探针传输线115a，使得第一输入探针MEMS开关40a和第一 输出探针MEMS开关70a被同时导通。第一连接节点30和第一输入探针引脚50a以及第二 连接节点80和第一输出探针引脚60a被分别电连接。测量在第一输入垫510a和第一输出垫520a之间连接的半导体器件(未示出)的 电流和电阻特性(S820)。例如，第一电源230a将操作信号施加到第一传输线110a，并且可 以使用脉冲生成器210a和示波器220a来测量第一输入垫510a和第一输出垫520a之间的 半导体器件(未示出)的第一至第K “设定”电流和“复位”电流。第二电源230b将操作 信号施加到第二传输线110b，并且可以使用SMU 210b来测量第一输入垫510a和第一输出 垫520a之间的半导体器件(未示出)的“设定”电阻和“复位”电阻。第二电源控制器MOb控制B电源23 ，使其生成操作信号(S830)。将该操作信 号施加到B探针传输线115b，使得第二输入探针MEMS开关40b和第二输出探针MEMS开关 70b被同时导通。第一连接节点30和第二输入探针引脚50b以及第二连接节点80和第二 输出探针引脚60b被分别电连接。测量在第二输入垫510b和第二输出垫520b之间连接的半导体器件(未示出)的 电流和电阻特性(S840)。例如，第一电源230a将操作信号施加到第一传输线110a，并且第 二输入垫510b和第二输出垫520b之间的半导体器件(未示出)的第一至第K “设定”电 流和“复位”电流可以使用脉冲生成器210a和示波器220a来测量。第二电源230b将操作信号施加到第二传输线110b，并且可以使用SMU 210b来测量第二输入垫510b和第二输出 垫520b之间的半导体器件(未示出)的“设定”电阻和“复位”电路。第二电源控制器MOb控制C电源235c，使其生成操作信号(S850)。将操作信号施 加到C探针传输线115c，使得第三输入探针MEMS开关40c和第三输出探针MEMS开关70c 被同时导通。第一连接节点30和第三输入探针引脚50以及第二连接节点80和第三输出 探针引脚60c分别被电连接。测量第三输入垫510c和第三输出垫520c之间连接的半导体器件(未示出)的电 流和电阻特性(S860)。例如，第一电源230a将操作信号施加到第一传输线110a，并且可以 使用脉冲生成器210a和示波器220a来测量第三输入垫510c和第三输出垫520c之间的半 导体器件(未示出)的第一至第K “设定”电流和“复位”电流。第二电源230b将操作信 号施加到第二传输新110b，并且可以使用SMU 210b来测量第三输入垫510c和第三输出垫 520c之间的半导体器件(未示出)的“设定”电阻和“复位”电阻。图8是示出根据本发明构思的另一个示例性实施例的用于使用包括图3中示出的 探针卡IC的测试装置2C来测试半导体器件的方法900的流程图。参考图3和图8，第一电源控制器MOa控制第一电源230a，使其生成操作信号 (S910)。将该操作信号施加到第一传输线110a，使得第一输入端子MEMS开关20a和第一输 出端子MEMS开关90a被同时导通。第一连接节点30和第一输入端子IOa以及第二连接节 点80和第一输出端子IOOa分别被电连接。测量第一至第三输入垫510a、510b和510b与第一至第三输出垫520a、520b和 520c之间连接的半导体器件(未示出)的电流和电阻特性(S920)。例如，A电源23 将操 作信号施加到A探针传输线115a，并且可以使用脉冲生成器210a和示波器220a测量在第 一输入垫510a和第一输出垫520a之间的半导体器件(未示出)的第一至第K “设定”电 流和“复位”电流。B电源23 将操作信号施加到B探针传输线115b，并且可以使用脉冲 生成器210a和示波器220a来测量在第二输入垫510b和第二输出垫520b之间的半导体器 件(未示出)的第一至第K “设定”电流和“复位”电流。类似地，C电源235c将操作信号 施加到C探针传输线115c，并且可以使用脉冲生成器210a和示波器220a来测量第三输入 垫510c和第三输出垫520c之间的半导体器件(未示出)的第一至第K “设定”电流和“复 位”电流。第一电源控制器MOa控制第二电源230b，使其生成操作信号(S930)。将操作信号 施加到第二传输线110b，使得第二输入端子MEMS开关20b和第二输出端子MEMS开关90b 被同时导通。第一连接节点30和DC输入端子IOb以及第二连接节点80和DC输出端子 IOOb被分别电连接。例如，A电源23 将操作信号施加到A探针传输线115a，并且可以使用SMU 210b 来测量第一输入垫510a和第一输出垫520a之间的半导体器件(未示出)的第一至第K“设 定”电阻和“复位”电阻。B电源23 将操作信号施加到B探针传输线115b，并且可以使用 SMU 210b来测量第二输入垫510b和第二输出垫520b之间的半导体器件(未示出)的第一 至第K “设定”电阻和“复位”电阻。类似地，C电源235c将操作信号施加到C探针传输线 115c,并且可以使用SMU 210b来测量第三输入垫510c和第三输出垫520c之间的半导体器 件(未示出)的第一至第K “设定”电阻和“复位”电阻。
分离的探针引脚可以被连接到被测试的半导体器件中的每一个，允许多个半导体 器件经由与探针引脚中的每一个分别连接的探针MEMS开关来顺序地测试。结果，在不改变 探针卡的情况下，可以测试多个半导体器件中的每一个的“设定”电阻、“复位”电阻、“设定” 电流和“复位”电流。图9A是示出使用常规测试装置测量的半导体器件的电流-电阻特性的图示。图 9B是示出根据本发明构思的一个或多个示例性实施例的使用包括探针卡的测试装置测量 的半导体器件的电流-电阻特性的图示。参考图9A和图9B，测量相对于“设定”电流改变的第一至第K “设定”电阻以及相 对于“复位”电流改变的第一至第K电阻。参考图9A，在常规测试装置中使用机械开关。在 常规测试装置中，垫和探针引脚之间的距离大约为lm，这要求在执行切换操作时生成的等 于或大于1.5V的电压。该电压可以对半导体器件造成损坏，劣化测量可靠性。参考图9B， 在根据本发明构思的一个或多个示例性实施例的测试装置中，用MEMS开关来替代机械开 关，并且垫和探针引脚之间的距离不大于约50cm。因此，当执行切换操作时生成不大于约 0. 5V的电压，并且防止了对半导体器件的损坏，改善了测量可靠性。图IOA和图IOB是在根据本发明构思的另一个示例性实施例的探针卡中的MEMS 开关的示意图。在图IOA中，MEMS开关包括压电元件7。在图IOB中，MEMS开关包括线圈 4。参考图IOA和图10B，MEMS开关中的每一个可以包括用于接收操作信号的控制部 分5以及用于电连接第一端子8和第二端子9的连接部分6。在图IOA中，当将操作信号施加到MEMS开关的控制部分5时，压电元件7的物理 特性的改变使得压电元件7向下弯曲。因此，第一端子8向下弯曲，并且被电连接到连接部 分6，如图IOA中所示。在图IOB中，当将操作信号施加到MEMS开关的控制部分5时，连接到控制部分5 的线圈4生成磁力。作为磁力的结果，第一端子8和第二端子9向下弯曲并且被电连接到 连接部分6。尽管已经具体示出并且参考以上一个示例性实施例描述了本发明的构思，但是应 当理解，本发明构思不限于这些实施例，而是在不背离如所附权利所限定的本发明构思的 精神和范围的情况下，本领域的技术人员可以进行修改。
权利要求
1.一种探针卡，包括第一输入端子微机电系统MEMS开关，所述第一输入端子微机电系统MEMS开关连接第 一输入端子和第一输入探针引脚，其中，所述第一输入端子MEMS开关包括用于接收操作信 号的控制部分和用于连接所述第一输入端子和所述第一输入探针引脚的连接部分；以及第一输出端子MEMS开关，所述第一输出端子MEMS开关连接第一输出端子和第一输出 探针引脚，其中，所述第一输出端子MEMS开关包括用于接收所述操作信号的控制部分和用 于连接所述第一输出端子和所述第一输出探针引脚的连接部分。
2.根据权利要求1所述的探针卡，其中，所述第一输入探针引脚和所述第一输入端子 MEMS开关之间的距离以及所述第一输出探针引脚和所述第一输出端子MEMS开关之间的距 离不大于约50cm。
3.根据权利要求1所述的探针卡，其中，所述第一输入端子MEMS开关的所述控制部分 和所述第一输出端子MEMS开关的所述控制部分被配置成接收相同的操作信号。
4.根据权利要求1所述的探针卡，进一步包括第一输入探针MEMS开关，所述第一输入探针MEMS开关连接所述第一输入端子MEMS开 关和所述第一输入探针引脚；以及第一输出探针MEMS开关，所述第一输出探针MEMS开关连接所述第一输出端子MEMS开 关和所述第一输出探针引脚。
5.根据权利要求1所述的探针卡，进一步包括第二输入端子MEMS开关，所述第二输入端子MEMS开关连接第二输入端子和第二输入 探针引脚，其中，所述第二输入端子MEMS开关包括用于接收所述操作信号的控制部分和用 于连接所述第二输入端子和所述第二输入探针引脚的连接部分；以及第二输出端子MEMS开关，所述第二输出端子MEMS开关连接第二输出端子和第二输出 探针引脚，其中，所述第二输出端子MEMS开关包括用于接收所述操作信号的控制部分以及 用于连接所述第二输出端子和所述第二输出探针引脚的连接部分，其中 所述第一输入端子是接收脉冲输入信号的脉冲输入端子， 所述第二输入端子是接收直流DC输入信号的DC输入端子， 所述第一输出端子是传输脉冲输出信号的脉冲输出端子，以及 所述第二输出端子是传输DC输出信号的DC输出端子。
6.根据权利要求5所述的探针卡，进一步包括第一传输线，所述第一传输线连接所述第一输入端子MEMS开关的所述控制部分和所 述第一输出端子MEMS开关的所述控制部分；以及第二传输线，所述第二传输线连接所述第二输入端子MEMS开关的所述控制部分和所 述第二输出端子MEMS开关的所述控制部分，其中经由所述第一传输线和所述第二传输线传输的操作信号执行下述中的一个 同时导通所述第一输入端子MEMS开关和所述第一输出端子MEMS开关并且断开所述第 二输入端子MEMS开关和所述第二输出端子MEMS开关，或者同时导通所述第二输入端子MEMS开关和所述第二输出端子MEMS开关并且断开所述第 一输入端子MEMS开关和所述第一输出端子MEMS开关。
7.根据权利要求6所述的探针卡，进一步包括电源开关，所述电源开关连接到所述第一传输线和所述第二传输线，所述电源开关向所述第一传输线或所述第二传输线中的一个 传输所述操作信号。
8.根据权利要求7所述的探针卡，其中，所述电源开关包括解多路复用器，所述解多路 复用器根据时钟信号向所述第一传输线或所述第二传输线中的一个传输所述操作信号。
9.一种探针卡，包括多个输入端子，所述多个输入端子被配置成接收多个输入信号； 多个输入探针引脚，所述多个输入探针引脚被配置成向晶片的多个输入垫传输所述多 个输入信号；以及多个输入端子微机电系统MEMS开关，所述多个输入端子微机电系统MEMS开关连接所 述多个输入端子和多个输入探针MEMS开关，其中，所述多个输入端子MEMS开关中的每一个包括用于接收操作信号的控制部分以及用于 连接所述多个输入端子和所述多个输入探针MEMS开关的连接部分，所述多个输入探针MEMS开关中的每一个包括用于接收所述操作信号的控制部分和用 于连接所述多个输入端子MEMS开关和所述多个输入探针引脚的连接部分。
10.根据权利要求9所述的探针卡，进一步包括多个输出端子，所述多个输出端子被配置成传输多个输出信号； 多个输出探针引脚，所述多个输出探针引脚被配置成接收来自所述晶片的多个输出垫 的所述多个输出信号；以及多个输出端子MEMS开关，所述多个输出端子MEMS开关连接所述多个输出端子和所述 多个输出探针引脚，其中所述多个输出端子MEMS开关中的每一个包括用于接收所述操作信号的控制部分以及 用于连接所述多个输出端子和所述多个输出探针引脚的连接部分。
11.根据权利要求10所述的探针卡，进一步包括多个传输线，所述多个传输线被配置 成连接所述多个输入端子MEMS开关的每个控制部分和所述多个输出端子MEMS开关的每个 控制部分，其中，所述多个传输线中的每一个将所述操作信号同时传输到所述多个输入端子MEMS 开关的每个控制部分和所述多个输出端子MEMS开关的每个控制部分。
12.根据权利要求9所述的探针卡，进一步包括多个输出端子，所述多个输出端子被配置成传输多个输出信号； 多个输出探针引脚，所述多个输出探针引脚被配置成接收来自所述晶片的多个输出垫 的多个输出信号；以及多个输出端子MEMS开关，所述多个输出端子MEMS开关连接所述多个输出端子和多个 输出探针MEMS开关，其中所述多个输出端子MEMS开关中的每一个包括用于接收操作信号的控制部分以及用于 连接所述多个输出端子和所述多个输出探针MEMS开关的连接部分，以及所述多个输出探针MEMS开关的每一个包括用于接收操作信号的控制部分以及用于连 接所述多个输出端子MEMS开关和所述多个输出探针引脚的连接部分。
13.根据权利要求12所述的探针卡，进一步包括多个探针传输线，所述多个探针传输 线被配置成连接所述多个输入探针MEMS开关的每个控制部分和所述多个输出探针MEMS开关的每个控制部分，其中，所述多个探针传输线中的每一个将所述操作信号同时传输到所述多个输入探针 MEMS开关的每个控制部分和所述多个输出探针MEMS开关的每个控制部分。
14.根据权利要求13所述的探针卡，进一步包括多个传输线，所述多个传输线被配置 成连接所述多个输入端子MEMS开关的每个控制部分和所述多个输出端子MEMS开关的每个 控制部分，其中，所述多个传输线中的每一个将操作信号同时传输到所述多个输入端子MEMS开 关的每个控制部分和所述多个输出端子MEMS开关的每个控制部分。
15.一种包括探针卡的测试装置，其中，所述探针卡包括第一输入端子微机电系统MEMS开关，所述第一输入端子微机电系统MEMS开关连接第 一输入端子和第一输入探针引脚；第一输出端子MEMS开关，所述第一输出端子MEMS开关连接第一输出端子和第一输出 探针引脚，第二输入端子MEMS开关，所述第二输入端子MEMS开关连接第二输入端子和第二输入 探针引脚；以及第二输出端子MEMS开关，所述第二输出端子MEMS开关连接第二输出端子和第二输出 探针引脚。
16.根据权利要求15所述的测试装置，进一步包括脉冲生成器，所述脉冲生成器被配置成将脉冲输入信号施加到所述第一输入端子；源测量单元SMU,所述源测量单元被配置成将直流DC输入信号施加到所述第二输入端子；示波器，所述示波器被配置成接收来自所述第一输出端子的脉冲输出信号；以及接地连接，所述接地连接被配置成接收来自所述第二输出端子的DC输出信号。
17.根据权利要求15所述的测试装置，进一步包括第一电源，所述第一电源被配置成将第一操作信号同时施加到所述第一输入端子MEMS 开关的控制部分和所述第一输出端子MEMS开关的控制部分；第二电源，所述第二电源被配置成将第二操作信号同时施加到所述第二输入端子MEMS 开关的控制部分和所述第二输出端子MEMS开关的控制部分；以及电源控制器，所述电源控制器配置成控制所述第一电源和所述第二电源，其中，在所述 第二输入端子MEMS开关和所述第二输出MEMS开关被断开的同时，所述第一输入端子MEMS 开关和所述第一输出端子MEMS开关被导通，并且在所述第一输入端子MEMS开关和所述第 一输出端子MEMS开关被断开的同时，所述第二输入端子MEMS开关和所述第二输出端子 MEMS开关被导通。
全文摘要
本发明提供一种探针卡和包括探针卡的测试装置。该探针卡和包括探针卡的测试装置用于提高测试可靠性。探针卡可以包括连接第一输入端子和第一输入探针引脚的第一输入端子微机电系统(MEMS)开关，其中，第一输入端子MEMS开关包括接收操作信号的控制部分以及连接第一输入端子和第一输入探针引脚的连接部分。探针卡可以进一步包括连接第一输出端子和第一输出探针引脚的第一输出端子MEMS开关，其中，第一输出端子MEMS开关包括接收操作信号的控制部分以及连接第一输出端子和第一输出探针引脚的连接部分。
文档编号G01R1/067GK102081109SQ201010566729
公开日2011年6月1日 申请日期2010年11月26日 优先权日2009年11月26日
发明者堀井秀树, 朴美林, 金荣国 申请人:三星电子株式会社