专利名称：测试机的制作方法
技术领域：
测试机
技术领域：
本实用新型涉及半导体工业中的测试技术，特别是涉及一种测试机。背景技术：
测试机(Automatic Test Equipment, ATE)是用于晶圆和其他成品测试的一种专 用设备，可以实现各种电参数的测量，和探针台配合可以完成晶圆电参数的测试。其有多个 与探针台连接的接口。探针台(prober)是半导体生产过程中用于晶圆测试的一种设备，主要完成晶圆 测试中探针卡与晶圆的可靠接触、晶圆的固定步距移动、以及探针台与测试机的信号连接 等功能。测试头是测试机上的一种测试转换装置，通过该装置，可以将测试机的信号分配 给不同的测试单元，以便提高测试的效率。传统的测试机只有一个测试头，与探针台配合对晶圆进行测试时，只能进行单芯 片测试，即晶圆每次移位并与探针卡接触只能测试一个芯片，测试效率较低。为了提高测试效率，有的测试机，如JUNOTeseter公司生产的DTS-1000，配备有两 个测试头，可以连接两台探针台实现乒乓测试，如图1所示。测试机100包括第一测试头 110和第二测试头120，分别连接探针台200和探针台300。第一测试头110测试一个探针 台200承载的晶圆的一个芯片后，得到测试结果；在探针台200对晶圆移位并与探针卡接触 的过程中，第二测试头120测试探针台300承载的晶圆的一个芯片，并得到测试结果。这样 就可以省下移位和与探针卡接触的时间。这样虽然提高了测试速度，但需要一台测试机和两台探针台配合测试，需要的设 备较多，因此提高了测试成本。

实用新型内容基于此，有必要提供一种只需要和一台探针机配合测试，但仍能保证较快的测试 速度的测试机。一种测试机，包括多个测试头，还包括通过数据接口与所述多个测试头连接的控 制模块，所述控制模块接收测试信号，通过数据接口指示所述多个测试头顺次开始测试，每 个测试头测试完成后将测试结果通过数据接口发送给控制模块，待所有测试头均完成了一 次测试后，将所有的测试结果通过控制模块集中输出。优选的，所述多个测试头是两个测试头。 优选的，所述数据接口是并口。优选的，所述控制模块包括复杂可编程逻辑器件。优选的，所述控制模块还包括串口，通过串口接收所述测试信号或输出测试结果。优选的，所述控制模块还包括向复杂可编程逻辑器件提供工作电源的电源模块。优选的，所述控制模块还包括向复杂可编程逻辑器件提供工作时钟的时钟模块。[0016]上述测试机配备有多个测试头，所有测试头均完成了一次测试后，将测试结果集 中输出，因此晶圆每移动并与探针卡接触一次，可以测试与测试头数量相等的芯片，相对于 每移动并与探针卡接触一次只能测试一个芯片的传统单芯片测试的测试机，大大提高了测 试速度和效率。且只需要与一台探针台配合进行测试，相对于需要与两台探针台配合进行 乒乓测试的测试机，能够节省成本。

图1是传统的有两个测试头的测试机的结构示意图；图2是一个实施例中本实用新型测试机的结构示意图；图3是另一个实施例中本实用新型测试机的结构示意图；图4是一个实施例中控制模块的结构示意图。
具体实施方式图2是一个实施例中本实用新型测试机的结构示意图。与探针台200连接的测试 机100包括多个测试头及控制模块130。控制模块130接收并通过数据接口(图未示)转发 探针台200发送的开始测试信号，指示所述多个测试头顺次开始测试，每个测试头测试完 成后将测试结果通过数据接口发送给控制模块。待所有测试头均完成了一次测试后，将所 有的测试结果转换成探针台能够识别的形式，然后集中输出给探针台200 ；同时测试机100 指示探针台200将晶圆移动到下一个位置并与探针卡接触，开始进行下一轮测试。图3是另一个实施例中本实用新型测试机的结构示意图，该实施例是测试机配备 有两个测试头的情况。与探针台200连接的测试机100包括第一测试头110、第二测试头 120以及控制模块130。控制模块130接收并通过数据接口(图未示)转发探针台200发送的开始测试信 号，指示第一测试头110开始测试。测试机100的第一测试头110测试完一个芯片(DIE) 后，将测试结果发送给控制模块130，同时第二测试头120开始对另一个芯片进行测试，测 试完后再通过数据接口(图未示)将测试结果发送给控制模块130，由控制模块130将两次 收到的结果转换成探针台能够识别的形式后，一并反馈给探针台200。这个实施例中测试机在测试两个芯片后晶圆才需要移位并与探针卡接触一次，相 对于传统的单芯片测试，能在这个环节节省一半的时间。相对于需要连接两台探针台的乒 乓测试，能节省下一台探针台，大大降低了成本。图4是一个实施例中控制模块的结构示意图。控制模块130包括复杂可编程逻辑 器件(Complex Programmable Logic Device, CPLD) 132、电源模块 134、时钟模块 136 以及 串 口 138。复杂可编程逻辑器件132与电源模块134、时钟模块136、串口 138均相连接，通过 并口(图未示)向测试机100转发探针台200发送的开始测试信号并接收两个测试头发送 的测试结果，还用于将测试结果通过串口 138经过转换后发送给串口 138，通过串口 138反 馈给探针台200。电源模块134用于向复杂可编程逻辑器件132提供工作电源。时钟模块136用于向复杂可编程逻辑器件132提供工作时钟。
4[0029]串口 138是控制模块130与探针台200之间的通信接口，完成接收探针台200发 送的开始测试信号，以及向探针台200集中输出测试结果等信号交互功能。上述测试机配备有多个测试头，所有测试头均完成了一次测试后，将测试结果集 中输出，因此晶圆每移动并与探针卡接触一次，可以测试与测试头数量相等的芯片，相对于 每移动并与探针卡接触一次只能测试一个芯片的传统单芯片测试的测试机，大大提高了测 试速度和效率。且只需要与一台探针台配合进行测试，相对于需要与两台探针台配合进行 乒乓测试的测试机，能够节省成本。以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细， 但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通 技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属 于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
权利要求一种测试机，包括多个测试头，其特征在于，还包括通过数据接口与所述多个测试头连接的控制模块，所述控制模块接收测试信号，通过数据接口指示所述多个测试头顺次开始测试，每个测试头测试完成后将测试结果通过数据接口发送给控制模块，待所有测试头均完成了一次测试后，将所有的测试结果通过控制模块集中输出。
2.根据权利要求1所述的测试机，其特征在于，所述多个测试头是两个测试头。
3.根据权利要求1所述的测试机，其特征在于，所述数据接口是并口。
4.根据权利要求1所述的测试机，其特征在于，所述控制模块包括复杂可编程逻辑器件。
5.根据权利要求3所述的测试机，其特征在于，所述控制模块还包括串口，通过串口接 收所述测试信号或输出测试结果。
6.根据权利要求3所述的测试机，其特征在于，所述控制模块还包括向复杂可编程逻 辑器件提供工作电源的电源模块。
7.根据权利要求3所述的测试机，其特征在于，所述控制模块还包括向复杂可编程逻 辑器件提供工作时钟的时钟模块。
专利摘要本实用新型涉及一种测试机，包括多个测试头，还包括通过数据接口与多个测试头连接的控制模块，控制模块接收测试信号，通过数据接口指示多个测试头顺次开始测试，每个测试头测试完成后将测试结果通过数据接口发送给控制模块，待所有测试头均完成了一次测试后，将所有的测试结果通过控制模块集中输出。上述测试机配备有多个测试头，晶圆每移动并与探针卡接触一次，可以测试与测试头数量相等的芯片，相对于每移动并与探针卡接触一次只能测试一个芯片的传统单芯片测试的测试机，大大提高了测试速度和效率。且只需要与一台探针台配合进行测试，相对于需要与两台探针台配合进行乒乓测试的测试机，能够节省成本。
文档编号G01R31/00GK201637797SQ201020148259
公开日2010年11月17日 申请日期2010年3月24日 优先权日2010年3月24日
发明者顾汉玉 申请人:华润赛美科微电子(深圳)有限公司