专利名称：微力传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种测量毫克级微力的传感器，属于测力传感器技术领域。
为实现以上目的，本实用新型的技术方案是提供一种微力传感器，其特点是一种复合结构，由悬臂梁、壳体、压板、输出插座、电缆、盖板、敏感元件组成，壳体、盖板是悬臂梁、敏感元件的支撑系统，压板压在悬臂梁的根部用螺钉与壳体紧固，敏感元件安装在靠近悬臂梁自由端的下方，用螺钉紧固在盖板上，电缆连接输出插座与敏感元件便于输出被测信号。
本实用新型的优点是量程小，范围为0-1克；0-2克；0-5克，分辨率为0.1毫克，测量性能稳定，可靠。
如图2所示，悬臂梁1是使用高弹性合金，用线切割成一块超薄合金片，它的长约50-60毫米、寬约15-20毫米、厚约0.1-0.3毫米，悬臂梁1的一端具有两个插螺钉的小孔，另一端为凸形并带有刀口，是被测力作用的自由端。
敏感元件7是一种非接触式距离测微元件，可以是电感式、电磁式、霍尔效应式等。
在工作时，悬臂梁1的自由端仅受被测力的作用，在该力的作用下，悬臂梁1产生弯曲变形，因此在悬臂梁1和敏感元件7之间产生一个与被测力成正比的间隙变化量，用敏感元件7将间隙的变化量转变为电压变化量，这样就把被测力与传感器的输出电压直接联系起来，在实际应用中，当被测力作用于悬臂梁1的自由端时，可用数字电压表测出此刻的输出电压值，再根据标定的结果即可得知该力的量值。
权利要求1.一种微力传感器，其特征在于它是一种复合结构，由悬臂梁(1)、壳体(2)、压板(3)、输出插座(4)、电缆(5)、盖板(6)、敏感元件(7)组成，壳体(2)、盖板(6)是悬臂梁(1)、敏感元件(7)的支撑系统，压板(3)压在悬臂梁(1)的根部用螺钉与壳体(2)紧固，敏感元件(7)安装在靠近悬臂梁(1)自由端的下方，用螺钉紧固在盖板(6)上，电缆(5)连接输出插座(4)与敏感元件(7)便于输出被测信号。
2.根据权利要求1所述的微力传感器，其特征在于所述的悬臂梁(1)是一块高弹性超薄型合金片，悬臂梁(1)的一端具有两个插螺钉的小孔，另一端为凸形并带有刀口，是被测力作用的自由端。
3.根据权利要求1所述的微力传感器，其特征在于所述的敏感元件(7)是一种非接触式距离测微元件。
专利摘要本实用新型涉及一种微力传感器，其特点是一种复合结构，由悬臂梁、壳体、压板、输出插座、电缆、盖板、敏感元件组成，壳体、盖板均是悬臂梁、敏感元件的支撑系统，压板压在悬臂梁的根部用螺钉与壳体紧固，敏感元件安装在靠近悬臂梁自由端的下方，用螺钉紧固在盖板上，电缆连接输出插座与敏感元件便于输出被测信号。优点是量程小，范围为0－1克0－2克；0－5克，分辨率为0.1毫克，测量性能稳定、可靠。
文档编号G01L1/20GK2524233SQ0221526
公开日2002年12月4日 申请日期2002年1月21日 优先权日2002年1月21日
发明者张淑美, 韩长安 申请人:张淑美, 韩长安