专利名称：四轴驱动器的制作方法
技术领域：
四轴驱动器
一、 技术领域
本实用新型涉及超高真空设备。
二、 背景技术
超高真空技术是新材料合成，材料的物理化学性质分析和宇宙开 发的基本环境。为了实现在超高真空环境中的各种分析研究，离不开 对样品的传输和操纵，但是要求在大气侧操作控制真空环境样品，特 别是样品需要做三维操纵时，目前尚无成型的一体设备可以实现。
三、 发明内容
本实用新型的目的是克服上述不足问题，提供一种四轴驱动器，
结构简单，操作简单，实现超高真空环境中的XYZ三维和一个倾角的 四维立体驱动。
本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是四轴驱动器，
X向位移板与Y向位移板之间滑动连接，X向位移板或Y向位移板与 底板之间滑动连接，并分别装有X向和Y向调整装置，X向位移板或 Y向位移板与波纹管底部法兰焊接，波纹管底部法兰与X向位移板或 Y向位移板四个角上分别安装支撑微分头，波纹管上端法兰盘与Z向 螺旋棒固定连接，Z向螺旋棒通过圆锥齿轮副连接Z向调整把手。
所述Z向调整把手通过轴承安装在导向板上，导向板通过导轨台 与波纹管上部法兰滑动连接，导向板平行于Z向螺旋棒，Z向螺旋棒 通过轴承转动安装在导向板两端。
3所述X向和Y向调整装置为微分头旋钮轴套装在限位块轴孔中。 所述X向位移板、Y向位移板和底板之间带有导向滑槽滑动连接。 所述z向导向板上装有平行于螺旋棒的标尺。
本实用新型实现超高真空环境中的XYZ三维和一个倾角偏转的
四维立体驱动。实现超高真空环境中样品精确直线驱动和外部信号导
入的重要手段。z向采用焊接波纹管密封，达到放出气体少的要求，
中空构造，可向超高真空中导入各种要素，比如样品架，电流和气体
等，Z轴驱动通过梯型螺旋棒来实现，保证直线驱动的目的，又实现 同心驱动的诱导，X、 Y向采用直线滑轨，使得X、 Y向驱动顺畅，X、 Y、 Z三个方向的驱动位置可精确控制，法兰采用金属刀口法兰，适 合超高真空密封，和真空接触的部件，全部采用不锈钢部件，有利于 维持超高真空。XY驱动在下，Z轴驱动在上方，XY驱动部分依托四 个微分头把手(微分头2)支撑，旋转微分头把手可以调节XY水平 驱动机构的倾角，水平方向的驱动采用微分头，实现0.02mm的驱动 精度；坐落在XY水平驱动机构上端的Z轴驱动和安装在Z轴驱动机 构上端的样品架自然也跟着实现倾角运动。
四、

图1为本实用新型立体图。
图2为本实用新型四轴驱动器结构主视图3为本实用新型四轴驱动器结构侧视五具体实施方式
如图l、 2、 3所示的四轴驱动器，X向位移板1与Y向位移板2 之间通过导轨3滑动连接，Y向位移板2与底板4之间通过导向滑 槽滑动连接，并分别装有X向调整装置5和Y向调整装置6， X向调整装置和Y向调整装置为微分头旋钮轴套装在限位块7轴孔中，X向
位移板1与波纹管底部法兰8焊接，波纹管底部法兰8与X向位移板 1四个角上分别安装支撑微分头10，波纹管上部法兰11与z向螺旋 棒12固定连接，Z向螺旋棒12通过圆锥齿轮副13连接Z向调整把 手14， Z向调整把手14通过轴承15安装在导向板16上，导向板通 过导轨台17与波纹管上部法兰滑动连接，导向板16平行于Z向螺旋 棒12， Z向螺旋棒通过轴承转动安装在导向板两端，Z向导向板上装 有平行于Z向螺旋棒的标尺18。波纹管9分别和底部法兰及上部法 兰焊接，隔绝超高真空环境和大气压环境，底部法兰和超高真空设备 连接，上部法兰和样品架连接。通过X向调整装置5和Y向调整装置 6的驱动，实现XY的水平驱动，驱动精度可达0.02mm。
使用时，旋转调整把手，带动螺旋棒旋转，从而实现Z方向的直 线驱动，螺旋棒上装有两个直线诱导用导轨台，导轨台与导向板滑动 连接，实现Z向直线驱动时的同心运动。XY驱动部分依托四个支撑 微分头把手，旋转支撑微分头把手可以调节XY水平驱动机构的倾角， 坐落在XY水平驱动机构上端的Z轴驱动和安装在Z轴驱动机构上端 的样品架自然也跟着实现倾角运动，驱动器的倾角驱动需要Z轴驱动 部分整体进行偏转。
权利要求1、四轴驱动器，其特征是X向位移板与Y向位移板之间滑动连接，X向位移板或Y向位移板与底板之间滑动连接，并分别装有X向调整装置和Y向调整装置，X向位移板或Y向位移板与波纹管底部法兰焊接，波纹管底部法兰与X向位移板或Y向位移板四个角上分别安装支撑微分头，波纹管上端法兰盘与Z向螺旋棒固定连接，Z向螺旋棒通过圆锥齿轮副连接Z向调整把手。
2、 根据权利要求1所述的四轴驱动器，其特征是Z向调整把 手通过轴承安装在导向板上，导向板通过导轨台与波纹管上部法兰滑 动连接，导向板平行于Z向螺旋棒，Z向螺旋棒通过轴承转动安装在 导向板两端。
3、 根据权利要求1所述的四轴驱动器，其特征是X向调整装 置和Y向调整装置为微分头旋钮轴套装在限位块轴孔中。
4、 根据权利要求l所述的四轴驱动器，其特征是X向位移板、 Y向位移板和底板之间带有导向滑槽滑动连接。
5、 根据权利要求1所述的四轴驱动器，其特征是Z向导向板上装有平行于Z向螺旋棒的标尺。
专利摘要本实用新型涉及真空设备。四轴驱动器，X向位移板与Y向位移板之间滑动连接，X向位移板或Y向位移板与底板之间滑动连接，并分别装有X向和Y向调整装置，X向位移板或Y向位移板与波纹管底部法兰焊接，波纹管底部法兰与X向位移板或Y向位移板四个角上分别安装支撑微分头，波纹管上端法兰盘与Z向螺旋棒固定连接，Z向螺旋棒通过圆锥齿轮副连接Z向调整把手。本实用新型实现超高真空环境中的XYZ三维和一个倾角偏转的四维立体驱动。实现超高真空环境中样品精确直线驱动和外部信号导入的重要手段。
文档编号G01N35/10GK201413331SQ20092001436
公开日2010年2月24日 申请日期2009年6月3日 优先权日2009年6月3日
发明者郭方准 申请人:大连齐维科技发展有限公司