专利名称：一种批量化洁净度检测方法
技术领域：
本发明涉及一种属于半导体相关技术领域，涉及一种单抛蓝宝石平片衬底表面洁净度的检测方法。
背景技术：
现今，随着LED技术的发展以及节能减排等新能源战略的实施，整个LED产业链得到了突飞猛进的成长。近年来LED外延厂装机量一直在攀升，而作为目前LED芯片外延生长的重要衬底蓝宝石，其需求量也在稳步增加。全球范围内的蓝宝石厂商都相继进行了一些扩产，尤其国内出现了许多蓝宝石衬底加工的企业，然而蓝宝石被加工出来后需要清洗干净并包装好才能卖给客户，也恰恰是在清洗这段工序，清洗后衬底干净与否的检测始终没能找到简单经济的做法。蓝宝石衬底在LED产业链中是必需材料，尤其现在采用的图案化蓝宝石衬底技术在LED提高亮度方面的作用，也愈加促使蓝宝石衬底表面洁净度检测成为了产线上的必须工序。图案化蓝宝石衬底是以平片蓝宝石为基础，通过光刻、刻蚀在其表面形成一层规则的图案，为了提高生产效率，降低生产成本，必须保证每片蓝宝石平片表面洁净度，因此加工前会对蓝宝石平片进行批量化洁净度检测，保证检测准确、简单、高效成为目前图案化蓝宝石衬底加工中降低成本的必要环节。

发明内容
本发明要解决的技术问题是:提出一种批量化洁净度检测方法，该方法成本低，操作方便，适合批量化蓝宝石平片洁净度的检验。本发明所采用的技术方案为:一种批量化洁净度检测该方法，用于检测蓝宝石衬底表面洁净度，其特征在于包括以下步骤:I)将待测样品置于一定高度，斜上方放置一盏白光灯，前方放置可以产生去离子水蒸汽的发生装置；2)通电待去离子水蒸汽发生装置加热至沸腾可以看见明显的水蒸汽冒出，将所需要测试的样品按照要求放置在片盒中，开启白光灯；3)手持去离子水蒸汽发生装置的喷头将其移至待测样品前面，将蒸汽喷到待测样品表面，当水蒸汽接触到蓝宝石平片表面时遇冷会形成一层薄薄的水膜，借助白光灯照射能清晰看到待测样品出现的反射图像；4)如果待测样品表面状态一致则会形成均匀水膜，光照射过来后会统一形成反射光；相反若表面存在油脂，或者其它未清洗干净污溃，平片表面会局部形成水膜，由此在白光照射下脏污部分会将白光分解成七色光，看见七彩纹路；或灯管虚像。本发明的有益效果是:方法中利用简单的光在介质中传播性能以及薄膜形成机制设计出蓝宝石平片表面洁净度测试方案；方法中得到的现象明显，且易于区分，易于理解可以在诸多相关领域推广应用。
具体实施例方式现在结合实施例对本发明作进一步详细的说明。实施例1本实例中水蒸汽产生装置为外购烫衣服的装置改装而成，白光源为普通白光台灯。首先将水蒸汽装置按照容量要求盛一定的去离子水，连接电源进行加热，待装置喷头能明显看到水蒸汽冒出即可进行相关测试；然后将待测试样品用塑料镊子取出，移动单抛蓝宝石光滑表面略微靠近水蒸汽冒出方向，随机移开样品至白光下观察，依次操作，将待测试样品一一在水蒸汽下进行测试。最后可以看到两种表面情况:一种在样品表面出现七彩的纹路，另一种在样品表面出现台灯灯管的虚像，将样品进行相关光刻工艺，发现样品出现脱胶现象；因此可以判定表面出现七彩纹路的样品表面洁净度欠佳，不适合后续对洁净度要求高的生产线使用。实施例2本实例的流程将依照实例I进行，测试过程与实例I相同，不同在于本实例中将采用本发明中介绍的方法进行批量测试。在进行本实例前，仍然需要将水蒸汽装置通电加热，另外需要将所有测试的样品放置于敞开式片盒中，样品光滑面朝外；待水蒸汽开始从装置中冒出来后，将喷头移到待测样品上方，进行大面积喷水蒸汽操作，此时借助放置在斜上方的白光源就可以清晰地看到片盒中所有样品的表面状态，并记录结果即可。实例中将本发明介绍的方法应用于实际批量生产中，可以节约检测时间，及时判断该批次样品的表面状况。以上说明书中描述的只是本发明的具体实施方式
，各种举例说明不对本发明的实质内容构成限制，所属技术领域的普通技术人员在阅读了说明书后可以对以前所述的具体实施方式
做修改或变形，而不背离发明的实质和范围。
权利要求
1.一种批量化洁净度检测该方法，用于检测蓝宝石衬底表面洁净度，其特征在于包括以下步骤: 1)将待测样品置于一定高度，斜上方放置一盏白光灯，前方放置可以产生去离子水蒸汽的发生装置； 2)通电待去离子水蒸汽发生装置加热至沸腾可以看见明显的水蒸汽冒出，将所需要测试的样品按照要求放置在片盒中，开启白光灯； 3)手持去离子水蒸汽发生装置的喷头将其移至待测样品前面，将蒸汽喷到待测样品表面，当水蒸汽接触到蓝宝石平片表面时遇冷会形成一层薄薄的水膜，借助白光灯照射能清晰看到待测样品出现的反射图像； 4)如果待测样品表面状态一致则会形成均匀水膜，光照射过来后会统一形成反射光；相反若表面存在油脂，或者其它未清洗干净污溃，平片表面会局部形成水膜，由此在白光照射下脏污部分会将白光分解成七色光，看见七彩纹路；或灯管虚像。
全文摘要
本发明涉及一种批量化洁净度检测方法，利用简单的水蒸汽就可以进行单抛蓝宝石平片衬底表面洁净度检测将平片置于一定高度，斜上方放置一盏白光源，前方放置可以产生去离子水蒸汽的装置；装置中冒出的水蒸汽在平片表面遇冷成一层薄水雾，此时在平片侧面借助其前面的光源可以看到表面或是七彩纹路，或者白光源的虚像，这两种情形便可以说明平片表面洁净度状况。本发明介绍的方法成本低，操作方便，适合批量化蓝宝石平片洁净度的检验。
文档编号G01N21/55GK103163105SQ20131003941
公开日2013年6月19日 申请日期2013年1月31日 优先权日2013年1月31日
发明者盛建明, 江成龙, 涂亮亮, 石剑舫 申请人:常州同泰光电有限公司