专利名称：Led晶圆显微定位测试装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及LED晶圆检测用装置。特别一种与定位测试结构有关，采用一体 化紧凑结构，是一种完成微晶片测试定位、探针调整、光电检测等工作的LED晶圆显微定位 测试装置。
背景技术：
中国专利文献在1996年5月31日公开了一种名称为"显微摄影即时定位测试结 构"的实用新型专利，专利号为200420088008. x，该专利技术是一种显微摄影即时定位测试 结构，它包含一光特性分析模组，其下方设一分析模组固定座，及相邻处设CCD (影像感知 原件)摄影机，其系含有一显微镜头、镜头固定座、CCD焦距微调座、CCD角度固定件，而其 下方则设有CCD x-y微调座，及一 CCD固定基座，而另一相对应处，设一 CCD摄影机光源，并 含有一光远固定座第一件、第二件及第三件，藉此，组装成整组系统结构，并设于检测机本 体上，可供测试LED、 LCD及其他晶圆之使用。所述的装置显微摄影即时定位测试机构该方 法造成运动机构行程大，结构不紧凑，定位及探针位置准确调整困难，操作无法达到快速要 求，有将其进一步改进的必要。

实用新型内容本实用新型的主要目的，根据上述现有技术的不足之处，提出一种显微定位测试 装置，达到操作快捷，人机交互好，提高工作效率的目的。 本实用新型目的实现由以下技术方案完成 本实用新型包括基座l，上方放置一平动组件，平动组件包括动力源20、固定座 21、第一滑座22、第二滑座23、滚子滑轨构成24，其中动力源为气缸，执行直线运动，平动组 件藉由第一滑座22与基座1相连，动力源20通过固定座21固定，并放置于第一滑座22的 顶面，第二滑座23置于第一滑座22顶面，且第一滑座22、第二滑座23之间设置滚子滑轨 24，第二滑座23端部设置通孔231，在通孔处有缺口 232，通孔231内放置CCD摄像机、CCD 摄像机由CCD，镜头31、光源32。 本实用新型的优点在于结构紧凑，操作方便，人机交互好，一CCD摄像头即完成定 位监视功能。本实用新型是放置于检测机上，供测试LED晶圆检测用

图1系本实用新型之立体分解示意图； 图2系本实用新型之组合立体示意图； 图3系本实用新型之第二滑座示意图。
具体实施方式如附图1、2、3示，图中标号分别表示如下[0011] 1-基座、20—动力源、21—固定座、22—第一滑座、23—第二滑座、231—通孔、 232—缺口 、24—滚子滑轨、30—CCD、31—镜头、32—光源。 参阅图1、图2，本实用新型一种显微定位测试结构，系包含一基座l，其上方相连 第一滑座22，动力源20通过固定座21固定，并一同放置于第一滑座22顶面，第二滑座23置 于第一滑座22顶面，且第一滑座22、第二滑座23间放置滚子滑轨24，第二滑座端部通孔， 且通孔231处开缺口 232，通孔231内容置由CCD30，镜头31，光源32组成的组件，藉此，组 装成整套系统。本实用新型一种显微定位测试结构，主要设于检测机上，用于检测机对晶粒 的识别定位及点测时监视，提高工作效率，简化系统结构。 虽然以上已经参照附图对按照本实用新型目的的构思和实施例作了详尽说明，但 本领域普通技术人员可以认识到，在没有脱离权利要求限定范围的前提条件下，仍然可以 对本实用新型作出各种改进和变换，而这种改进和变换仍然应当属于本实用新型的保护范 围。
权利要求LED晶圆显微定位测试装置，其特征在于它包括一基座(1)，上方放置一平动组件，平动组件包括动力源(20)、固定座(21)、第一滑座(22)、第二滑座(23)、滚子滑轨构成(24)，平动组件藉由第一滑座(22)与基座(1)相连，动力源(20)通过固定座(21)固定，并放置于第一滑座(22)的顶面，第二滑座(23)置于第一滑座(22)顶面，且第一滑座(22)、第二滑座(23)之间设置滚子滑轨(24)，第二滑座(23)端部设置通孔(231)，在通孔处有缺口(232)，通孔(231)内放置CCD摄像机、CCD摄像机由CCD，镜头(31)、光源(32)。
专利摘要本实用新型涉及LED晶圆检测用装置。特别是与定位测试结构有关，采用一体化紧凑结构，是一种完成微晶片测试定位、探针调整、光电检测等工作的LED晶圆显微定位测试装置。本实用新型包括基座1，上方放置一平动组件，平动组件包括动力源20、固定座21、第一滑座22、第二滑座23、滚子滑轨构成24，平动组件藉由第一滑座22与基座1相连，动力源20通过固定座21固定，并放置于第一滑座22的顶面，第二滑座23置于第一滑座22顶面，且第一滑座22、第二滑座23之间设置滚子滑轨24，第二滑座23端部设置通孔231，在通孔处有缺口232，通孔231内放置CCD摄像机、CCD摄像机由CCD，镜头31、光源32。本实用新型的优点在于结构紧凑，操作方便，人机交互好，一CCD摄像头即完成定位监视功能。本实用新型是放置于检测机上，供测试LED晶圆检测用。
文档编号G01N21/01GK201508323SQ200920311268
公开日2010年6月16日 申请日期2009年9月24日 优先权日2009年9月24日
发明者伊文君, 刘鸿飞, 孙梁, 孙红三, 徐杰, 田建明, 肖尧, 董占民, 贾侦华, 郭金源 申请人:清华大学;北京中拓机械有限责任公司