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高功率激光系统测试用椭球镜的制作方法

时间:2025-06-21    作者: 管理员

专利名称:高功率激光系统测试用椭球镜的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种高功率激光系统测试用椭球镜。
背景技术
高功率激光系统一般均配置有测试系统,用以测量系统的时空、能量、光谱等参 数,其中椭球镜是进行光束质量测量的一种基本元件而在高功率激光测试系统中得到应 用,尤其是在对光束质量要求高的测试系统中,例如由于椭球镜在理论上能够完善成像而 用以进行远场焦斑的形态成像测量,作为测试核心器件,椭球镜的加工质量、产生的杂光、 抗激光阈值等均关系到测试能否成功及系统能否可靠运行,本实用新型主要给出一种二元 光学结构设计的椭球镜,能够在以上指标上较普通椭球镜有所提高。

实用新型内容本实用新型为了解决高功率激光测试系统用椭球镜的表面质量、杂光管理、抗激 光阈值等问题,提供了一种按照二元光学结构进行设计的椭球镜。本实用新型的技术解决方案是本实用新型为一种高功率激光系统测试用椭球 镜,其特殊之处在于该椭球镜的整体结构形状为楔形。上述椭球镜前表面为成像工作的椭球面,后表面为球面,前、后表面形成二元光学 结构。上述椭球镜的后表面无增透膜。上述椭球镜的前表面和后表面均无增透膜。上述椭球镜周边设置有工艺台阶。本实用新型具有以下优点1、由于本实用新型的整体结构形状为楔形,后表面的剩余反射光不能馈入成像光 束;同时球面形状的后表面可以将剩余反射光汇聚而方便进行吸收管理,提高了信噪比;2、本实用新型的后表面的剩余反射光被吸收管理后,其后表面可以不必镀制增透 膜(应用在高功率激光系统中前表面也不镀膜,起光强衰减作用),这样整个椭球镜元件不 需要镀膜,避免了镀膜过程引起的椭球镜元件质量降低,能够获得高质量的表面质量;3、本实用新型由于不镀膜,其抗激光阈值能力较镀膜元件高。

图1是本实用新型的结构示意图;图2是本实用新型的构造示意图。
具体实施方式
参见图1,本实用新型所述的高功率激光系统测试用椭球镜,其整体结构形状为楔 形,其前表面1为成像工作的椭球面,后表面2为球面,前、后表面形成二元光学结构。
3[0016]后表面的剩余反射光被管理后,其后表面可以不必镀制增透膜(应用在高功率激 光系统中前表面也不镀膜,起光强衰减作用),这样整个椭球镜元件不需要镀膜,避免了镀 膜过程引起的椭球镜元件质量降低,能够获得高质量的表面质量;整个元件(椭球镜的前表面和后表面均不镀膜)不镀膜,其抗激光阈值能力较镀 膜元件高。参见图2,~、A2为椭球镜的焦点,和A2P为椭球镜成像的物距和像距,这些参 数根据系统成像的要求由几何光学方法确定;倾角a (如图1所示)的大小和方向以使后表面的反射光叉开入射光和出射光为 准,即回反光要么在图2中的上面,要么在图2中A2P的下面,以结构上吸收管理杂光方 便考虑;后表面球面半径也主要根据反射光的汇聚点位置进行设计确定;元件的厚度根据其口径和厚度的比例结合加工方便性考虑,为方便加工和夹持, 可在周遍留出工艺台阶3(如图1所示)。
权利要求一种高功率激光系统测试用椭球镜,其特征在于该椭球镜的整体结构形状为楔形。
2.根据权利要求1所述的高功率激光系统测试用椭球镜,其特征在于所述椭球镜前 表面为成像工作的椭球面,后表面为球面,前、后表面形成二元光学结构。
3.根据权利要求1或2所述的高功率激光系统测试用椭球镜,其特征在于所述椭球 镜的后表面无增透膜。
4.根据权利要求3所述的高功率激光系统测试用椭球镜,其特征在于所述椭球镜的 前表面和后表面均无增透膜。
5.根据权利要求4所述的高功率激光系统测试用椭球镜,其特征在于所述椭球镜周 边设置有工艺台阶。
专利摘要本实用新型涉及一种高功率激光系统测试用椭球镜,其整体结构形状为楔形,因此,其后表面的剩余反射光不能馈入成像光束;同时球面形状的后表面可以将剩余反射光汇聚而方便进行吸收管理,提高了信噪比;后表面的剩余反射光被吸收管理后,其后表面可以不必镀制增透膜(应用在高功率激光系统中前表面也不镀膜,起光强衰减作用),这样整个椭球镜元件不需要镀膜,避免了镀膜过程引起的椭球镜元件质量降低,能够获得高质量的表面质量;由于不镀膜,其抗激光阈值能力较镀膜元件高。
文档编号G01J3/02GK201589870SQ20092024598
公开日2010年9月22日 申请日期2009年12月25日 优先权日2009年12月25日
发明者孙策, 李红光, 董晓娜, 达争尚 申请人:中国科学院西安光学精密机械研究所

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