专利名称：提高探针卡上探针寿命的装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体测试装置，特别是涉及一种用于半导体测试中探针卡 的装置。
背景技术：
目前，随着先进的集成电路(IC)设计方法和高密度生产技术的使用，集成电路设 计从晶体管的集成发展到逻辑门的集成，现在又发展到IP的集成，半导体厂商能够把不同 的数字和模拟电路集成在极小芯片上，即系统级芯片SoC(SyStem on Chip)设计技术。SoC 可以有效地降低电子/信息系统产品的开发成本，缩短开发周期，提高产品的竞争力，是未 来工业界将采用的最主要的产品开发方式。SoC是在一个芯片上由于广泛使用预定制模块 IP (Intellectual Property)而得以快速开发的集成电路。其包含了设计和测试等更多技 术的一项新的设计技术。系统芯片尽管具有先进的设计和制造能力，可是IC厂商在对这些多元器件进行 快速而又低成本地批量生产时，面对空前的挑战当把若干功能单元结合在一个单独器件上 时，今天的SoC器件为减少批量生产时间和测试成本，向传统的测试方法发起挑战结果是， 厂商们将更广泛地研究新方法，这些新方法通过在设计和测试之间的有效平衡，提供了一 个更有效地从事SoC设计、生产和测试的方案，并能够同时做到减少其生产时间和测试费 用。随着SOC芯片集成度的日益提高，芯片的功耗日益增大，IOOmA以上的芯片日趋 增多。在现有芯片的晶圆级测试过程中，因为这种较大的电流的存在，而导致了某些特殊情 况下探针卡的探针容易烧坏。导致探针卡的使用寿命减少，在发生故障时往往需要停止测 试，对探针卡进行维修，甚至需要重新制作探针卡，无法保证测试的顺利进行，这样会浪费 大量的测试时间，增加测试成本。

实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种提高探针卡上探针寿命的装置，其可以 在原有探针发生故障的时候保证探针卡仍然可是使用，有效提高探针卡的使用寿命，减少 探针卡的维修和重新制作，保证测试的顺利进行。为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种提高探针卡上探针寿命的装置，包 括探针卡上的多根探针，分别为探针1、探针2……探针N ；每根探针通过各自连接的继电 器1、继电器2……继电器N连接到测试仪的信号产生端；测试时，同一时间只有一个继电 器闭合，其对应的探针工作；其他继电器断开，其相应的探针不工作；控制器分别连接每一 根探针和继电器，控制器测试探针状态，并控制继电器的开关，当目前工作的探针状态异常 时，控制器控制工作探针相应的继电器断开，并控制其他的某一继电器闭合，其相应的探针 开始工作。本实用新型的有益效果在于其可以在原有探针发生故障的时候启用备用探针，保证探针卡仍然可是使用，有效提高探针卡的使用寿命，减少探针卡的维修和重新制作，保 证测试的顺利进行。
以下结合附图和实施例对本实用新型做进一步的详细说明。

图1是本实用新型实施例所述的装置的示意图。
具体实施方式
本实用新型要解决的技术问题是提供一种提高探针卡上探针寿命的装置，其可以 在原有探针发生故障的时候保证探针卡仍然可是使用，有效提高探针卡的使用寿命，减少 探针卡的维修和重新制作，保证测试的顺利进行。实用新型所述的提高探针卡上探针寿命的装置，可以包括探针卡8上的多根探 针，分别为探针1、探针2……探针N;每根探针通过各自连接的继电器1、继电器2……继电 器N连接到测试仪的信号产生端5，如器件电源DPS;测试时，同一时间只有一个继电器闭 合，其对应的探针工作；其他继电器断开，其相应的探针不工作；控制器分别连接每一根探 针和继电器，用于测试探针状态，并控制继电器的开关，当目前工作的探针状态异常时，控 制器控制工作探针相应的继电器断开，并控制其他的某一继电器闭合，其相应的探针开始 工作。所述测试仪的信号产生端为器件电源。所述的控制器可以是处理器等能够进行测试和控制的装置。例如，如图1所示的本实用新型的一个实施例中，是对被测芯片6上的电源7进行 测试，对测试过程中比较容易烧坏的探针在探针卡8进行设计时，制作2根探针探针1和 探针2，该2根探针各通过继电器1(图中PC0N1)和继电器2(图中PC0N2)连接到测试仪的 信号产生端5。在本实施例中，信号产生端可以是器件电源DSP。在正式测试时，闭合继电器1，断开继电器2，仅仅让探针1在工作，探针2作为备用。当探针1被烧，特性变差时，控制器通过测试程序控制，让继电器1断开，继电器2 闭合，从而探针2继续完成后面的测试。本实用新型并不限于上文讨论的实施方式。以上对具体实施方式
的描述旨在于为 了描述和说明本实用新型涉及的技术方案。基于本实用新型启示的显而易见的变换或替代 也应当被认为落入本实用新型的保护范围。以上的具体实施方式
用来揭示本实用新型的最 佳实施方法，以使得本领域的普通技术人员能够应用本实用新型的多种实施方式以及多种 替代方式来达到本实用新型的目的。
权利要求一种提高探针卡上探针寿命的装置，其特征在于，包括探针卡上的多根探针，分别为探针1、探针2……探针N；每根探针通过各自连接的继电器1、继电器2……继电器N连接到测试仪的信号产生端；测试时，同一时间只有一个继电器闭合，其对应的探针工作；其他继电器断开，其相应的探针不工作；控制器分别连接每一根探针和继电器，控制器测试探针状态，并控制继电器的开关。
2.如权利要求1所述的提高探针卡上探针寿命的装置，其特征在于，所述探针数量为 两根；每根探针通过各自连接的继电器1、继电器2连接到测试仪的信号产生端，测试时，继 电器1闭合，其对应的探针1工作；另继电器2断开，其对应的探针2不工作；控制器分别连接每一根探针和继电器，控制器测试探针状态，并控制继电器的开关。
3.如权利要求1所述的提高探针卡上探针寿命的装置，其特征在于，所述测试仪的信 号产生端为器件电源。
专利摘要本实用新型公开了一种提高探针卡上探针寿命的装置，包括探针卡上的多根探针，分别为探针1、探针2……探针N；每根探针通过各自连接的继电器1、继电器2……继电器N连接到测试仪的信号产生端；测试时，同一时间只有一个继电器闭合，其对应的探针工作；其他继电器断开，其相应的探针不工作；控制器分别连接每一根探针和继电器，控制器测试探针状态，并控制继电器的开关，当目前工作的探针状态异常时，控制器控制工作探针相应的继电器断开，并控制其他的某一继电器闭合，其相应的探针开始工作。本实用新型可以在原有探针发生故障的时候启用备用探针，保证测试的顺利进行。
文档编号G01R1/067GK201666899SQ20092007463
公开日2010年12月8日 申请日期2009年10月22日 优先权日2009年10月22日
发明者桑浚之, 辛吉升 申请人:上海华虹Nec电子有限公司