专利名称：一种复合磁传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及磁传感领域，尤其是涉及到一种利用磁性材料和压阻材料的复合磁传感器。
背景技术：
利用材料的物理性质在磁场的作用下发生变化的现象制备了磁敏传感器。磁敏传感器在一些电、磁学量和力学量的测量中有着广泛的应用。磁敏传感器包扩霍尔效应传感器、各向异性磁电阻传感器、磁敏三极管、巨磁电阻磁传感器、隧穿磁电阻磁传感器。这些磁传感的特点是，当磁场变化时，材料本身的电阻发生变化，通过探测材料电阻的变化即可感知磁场的变化。随着科技的发展，复合材料越来越引起人们的关注。

发明内容本实用新型提供一种复合磁传感器，包括固定端、柔性支撑层、压阻材料层、上永磁体、下永磁体，其中，柔性支撑层的一段固定于固定端，压阻材料位于柔性支撑层上面，上永磁体、下永磁体对称的放于柔性支撑层的上下端。压阻材料可以为金属、半导体，上永磁体、下永磁体采用磁性强的永磁材料，包括钕铁硼、Co基永磁材料。本实用新型提供的一种复合磁传感器，当外界有磁场时，磁场与永磁材料相互作用，引起柔性支撑层的弯曲，柔性支撑层弯曲的应力传递给压阻材料层，引起电阻的变化，进而探知磁场的大小。本实用新型材料永磁材料、柔性支撑层、压阻材料进行复合，通过优化各材料、结构可以达到很高的检测灵敏度。

图为本实用新型的结构示意图。图中1、固定端，2、压阻材料，3、柔性支撑层，4、上永磁体；5、下永磁体
具体实施方式
以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。图I为本实用新型的结构示意图，其中，固定端1，压阻材料2，、柔性支撑层3，上永磁体4 ;下永磁体5。其中，柔性支撑层3的一段固定于固定端1，压阻材料2位于柔性支撑层3上面，上永磁体4、下永磁体5对称的放于柔性支撑层3的上下端。压阻材料2可以为金属、半导体，上永磁体4、下永磁体5米用磁性强的永磁材料,包括钕铁硼、Co基永磁材料。当外界有磁场时，磁场与永磁材料相互作用，引起柔性支撑层3的弯曲，柔性支撑层3弯曲的应力传递给压阻材料层2，引起电阻的变化，进而探知磁场的大小。本实用新型材料永磁材料5、柔性支撑层3、压阻材料2进行复合，通过优化各材料、结构可以达到很高的检测灵敏度。以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化 和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
权利要求1.一种复合磁传感器，包括固定端、柔性支撑层、压阻材料层、上永磁体、下永磁体，其特征在于所述的柔性支撑层的一段固定于固定端，压阻材料位于柔性支撑层上面，上永磁体、下永磁体对称的放于柔性支撑层的上下端。
2.根据权利要求I所述的一种复合磁传感器，其特征在于所述的压阻材料为金属、半导体。
3.根据权利要求I所述的一种复合磁传感器，其特征在于所述的上永磁体、下永磁体采用永磁材料，包括钕铁硼、Co基永磁材料。
专利摘要本实用新型提供一种复合磁传感器，包括固定端、柔性支撑层、压阻材料层、上永磁体、下永磁体，其中，柔性支撑层的一段固定于固定端，压阻材料位于柔性支撑层上面，上永磁体、下永磁体对称的放于柔性支撑层的上下端。当外界有磁场时，磁场与永磁材料相互作用，引起柔性支撑层的弯曲，柔性支撑层弯曲的应力传递给压阻材料层，引起电阻的变化，进而探知磁场的大小。本实用新型材料永磁材料、柔性支撑层、压阻材料进行复合，通过优化各材料、结构可以达到很高的检测灵敏度。
文档编号G01R33/09GK202383274SQ201120489888
公开日2012年8月15日 申请日期2011年11月24日 优先权日2011年11月24日
发明者胡雨航 申请人:胡雨航