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膜厚测试及数据采集系统的制作方法

时间:2025-06-23    作者: 管理员

专利名称:膜厚测试及数据采集系统的制作方法
技术领域
本实用新型涉及元件表面镀膜的厚度检测装置,尤其涉及一种可以自动测试并采集膜厚度数据的采集系统。
背景技术
在对电子元件或其它工件进行电镀覆膜时,膜厚度是很重要的指标,现有技术中可以利用一些检测仪器进行测试,例如可以采用现有的膜厚测试仪(也称测厚仪,例如型号为130A,生产厂家keyence公司)。但存在的问题是膜厚测试仪的检测结果需要手动记录和整理,无法利用电脑进行自动采集。不仅在硬件上缺少必要的端口支持,软件上也缺少专门的程序来进行数据的采集和记录。另外,膜厚测试仪使用时,手动选定波峰波谷造成的误差及手动数据录入电脑的过程产生的失误,都会造成对检测结果无法进行正常评价。

实用新型内容本实用新型提供一种使用方便、可以对检测仪器的检测结果自动采集和记录的膜厚测试及数据采集系统。一种膜厚测试及数据采集系统,包括用于检测膜厚的膜厚测试仪,所述的膜厚测试仪设有数据输出端口,设有主机,该主机通过自带的数据输入端口与膜厚测试仪的数据输出端口相连接。所述的膜厚测试仪可以采用的型号为130A。膜厚测试仪带有检测端口,检测端口通过电路连接有夹具,该夹具用于在检测时夹持和固定待测产品。设有用于对主机中的数据进行显示的显示装置,该显示装置通过数据线接入主机,所述的显示装置可以是通用的显示器等。所述的膜厚测试仪的数据输出端口为RS232接口。所述的主机可以利用微电脑或具有数据处理功能的单片机、集成芯片等现有技术。所述的主机的数据输入端口为串行接口。主机内安装有采集和处理膜厚测试仪数据的软件。本实用新型膜厚测试及数据采集系统省去测试曲线打印,手动选定波峰波谷、膜厚计算及手动录入电脑的过程,膜厚测试仪采集的数据可直接导入主机预定的表格中,并直接导入管理系统。

图1为本实用新型膜厚测试及数据采集系统的结构框图。
具体实施方式
[0014]参见附图,本实用新型一种膜厚测试及数据采集系统,包括用于检测膜厚的膜厚测试仪,采用的型号为130A(生产厂家keyence公司)。膜厚测试仪设有数据输出端口,数据输出端口为RS232接口。设有主机,该主机通过自带的数据输入端口(串行接口)与膜厚测试仪的数据输出端口相连接。设有用于对主机中的数据进行显示的显示装置(图中未显示,可以利用通用的显示器),该显示装置通过数据线接入主机。主机内还安装有采集和处理膜厚测试仪数据的软件。本实用新型膜厚测试及数据采集系统在使用时,先利用夹具夹持和固定待测产品,然后膜厚测试仪通过检测端口采集数据,并将数据通过数据输出端口传送至主机。主机内安装有采集和处理数据的软件,可以对膜厚测试仪传送来的数据自动的进行保存和处理,或直接导入特定表格中,便于管理。也可以将得到的数据按照期望的格式进行输出,通过显示装置进行显示。
权利要求1.一种膜厚测试及数据采集系统,包括用于检测膜厚的膜厚测试仪,其特征在于,所述的膜厚测试仪设有数据输出端口,设有主机,该主机通过自带的数据输入端口与膜厚测试仪的数据输出端口相连接。
2.如权利要求1所述的膜厚测试及数据采集系统,其特征在于,设有用于对主机中的数据进行显示的显示装置,该显示装置通过数据线接入主机。
3.如权利要求2所述的膜厚测试及数据采集系统,其特征在于,所述的膜厚测试仪的数据输出端口为RS232接口。
4.如权利要求3所述的膜厚测试及数据采集系统,其特征在于,所述的主机的数据输入端口为串行接口。
5.如权利要求4所述的膜厚测试及数据采集系统,其特征在于,所述的膜厚测试仪带有检测端口,检测端口通过电路连接有夹具。
专利摘要本实用新型公开了一种膜厚测试及数据采集系统,包括用于检测膜厚的膜厚测试仪,所述的膜厚测试仪设有数据输出端口,设有主机,该主机通过自带的数据输入端口与膜厚测试仪的数据输出端口相连接。本实用新型膜厚测试及数据采集系统省去测试曲线打印,手动选定波峰波谷、膜厚计算及手动录入电脑的过程,膜厚测试仪采集的数据可直接导入主机定表格中,并直接导入管理系统。
文档编号G01B21/08GK202267469SQ20112033487
公开日2012年6月6日 申请日期2011年9月7日 优先权日2011年9月7日
发明者崔明虎, 李永峰, 郝明飞, 黄彩彩 申请人:天津三星电机有限公司

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