专利名称：压电驱动装置的制作方法
压电驱动装置本发明涉及一种压电驱动装置特别是如权利要求1的前序部分所述的用于地形或坐标测量机器中的压电驱动装置。在许多精确装置例如地形测量机器中，需要多个元件或整个机器的移动。此时，需要精确实现移动，而在动态应用的情况下，还需要满意的速度，经常假设启动和/或重复是高精度的。此外，适于野外的机器从根本上来讲要求驱动装置的鲁棒性、低能耗和宽温度范围内的可靠操作性。这种测量机器的例子为经纬仪或准距仪，其-与集成的自动目标获取和目标跟踪装置相结合-用于多种测量任务，对于数据采集和纯管理，如建筑管理中，都需要考虑。另外的测量机器是，例如扫描系统，其使用扫描方法以三维点阵来记录表面的地形，或者是例如用于包括接触或无接触的高精度表面测量的坐标测量机器的测量机器。在现有技术目前已知的解决方案中，用于这些目的的是压电系统，其提供使元件枢转或移位的驱动装置。这种微型马达以具有接触元件的空间作用压电振动器作为驱动元件，该驱动元件作用在适当成型的运转面(running surface)或摩擦轨上，因而通过调节压电振动器和调节运转面来允许得到优化的移动。通过调节设置来得到空间振动或振荡移动，并且通过合适的控制得到了接触元件作用在运转面上的压电材料的相互连接，从而进行驱动，如椭圆移动。当运转面被设计成调节为对应于地形测量机器的需求的形式时，以振动形式工作的这种压电系统可以作为用于多种移动的微型马达而用在测量机器中。通常，测量机器既需要高速的快速移动模式，又需要采用低速的高精度定位模式。因此，例如W02006/008318公开了一种展现这种驱动概念的地形测量机器。该测量机器具有用于定位测量机器的支架(holder)，以及具有用于测量对象的光束路径的测量元件，该测量元件被支承在可相对于支架移动的对准元件中，并且能够相对于对准元件移动。通过至少一个压电驱动装置来改变光束路径，所述至少一个压电驱动装置作为具有被馈送的接触元件的驱动元件以及连接到将被调整的驱动元件的运转面的组合。此时，接触元件与运转面之间的相互作用产生了基本线性的移动，由受压而与运转面接触的接触元件产生馈送。这种耦合传输了一个向前的驱动力，其允许由后冲自由移动产生的直接定位。该线性馈送还可以通过对运转面的适当成型而转换为转动或旋转移动。这种具有共振操作压电超声波马达的线性或旋转驱动装置已经是现有技术了，商业上可获得共振频率范围为50-200kHz的驱动装置。然而，由于振荡行为，在与相应的运转面几何形状结合时，可能产生问题。此外，假设具有自由端的有限的运转面，其能够以浮动和减振的方式支承，没有产生能够影响马达的驻波。这与具有环形运转面的旋转驱动装置， 或者具有固定端的振动运转面几何形状的情况不同，有可能由不足或不存在的减振造成的缺陷影响而进一步增加。在旋转驱动结构的情况下，通常是一个由硬金属制成的环，其作为运转面元件，结果是减少了磨损。然而，同时还需要产生高水平的摩擦力，从而得到一个好的馈送效果。此时的常用材料是具有硬层的金属或陶瓷元件。元件的高精度移动和对准，需要相对于旋转中心对运转面正确定心，即典型的具有0. 01到0. 3mm之间的偏差，从而保证均勻的运转行为。此时的目标是为环和环悬挂物不会随着温度而改变它们的特性，或者仅在特定范围内改变。在测地仪器中，目前有效的典型环境条件是操作温度为-20到+60°C，存储温度为-40 到80°C，湿度为温度范围内0-95%相对空气湿度。高度要求尤其来自于陶瓷元件必须以一种稳定的，精确的以及不随时间和温度条件改变的方式与悬挂相连接的事实。然而，由于两个元件-悬挂物和环-具有不同的热膨胀行为的事实，将会出现问题。此外，陶瓷环仅有一个弱的、并且统计上强烈分散的抗拉强度，虽然它们相对于强度占有优势。而且，能量损耗和噪声的产生和/或振动，可以从压电振动器和运转面元件的相互作用而产生，对于运转面元件的几何形状有依赖性。本发明的一个目的在于提供一种改进的压电驱动装置，特别用于例如侧地仪器的高精度机器。进一步的目的在于减少压电驱动装置中的不气温的振动和噪声产生。进一步的目的在于在压电驱动装置中增加能量，和/或减少能量损耗。这些目的通过权利要求1或从属权利要求的主题和/或解决方案的改进而获得。本发明基于以下认知，由于驱动元件作为驱动压电振动器和与之接触的运转面之间相互作用的系统，问题主要是受驱动元件的动态特性的影响而产生的。尤其是，运转面元件的固有振动的激励，导致了能量的损耗和噪声的产生。这里所显现出来的作为决定性的变化是运转面元件和相关的容器的几何形状，并且还有这两部分的连接设置。根据本发明，元件和它们的连接现在被设计成，在运转面元件和相关容器中的潜在的干扰共振被设置在或置换为其位于压电振动器和/或压电驱动装置的操作窗口的频率之外。运转面元件固有共振的间隔被尽可能地相互远离地设置，并且处于最低可能的数量级。这里的目的是保证这些能够适于所有的操作状态并横跨整个环境条件。上述的基础是对运转面元件和相关的容器，通过机械解耦合和减振，对振动行为施加优化影响。为此，运转面元件和容器优选通过至少一个中间层连接，例如以接合层的形式，其具有解耦合和/或减振特性，具有弹性特征的接合连接的结构，特别是，根据本发明而使用从而优化驱动行为。除了选择合适的接合剂之外，接合间隙和运转面几何形状被特别调节为相互配合，并且如果合适，通过加入填充材料来优化接合，从而使共振不落在操作窗口内。为了使系统保持便于计算，运转面元件的固有频率尽可能小地被接合影响，并且频率尽可能少地被传输。这通过接合剂来实现，其尽可能地柔软，例如Siore-A硬度大约为30。由于接合剂的强度影响接合后的运转面元件的固有频率，所以这些可以通过填充材料的混合物来适应。此时，选择接合间隙的厚度、接合间隙的宽度和数量和填充材料的类型，使得系统的固有频率不与马达的共振频率重叠。此处，在接合操作中，系统元件可以精确地相互调整。除了被其固有频率激励之外，作为振动系统，运转面元件还会受到压电马达的影响。当运转面元件的这些振幅变得过大时，将相当大地降低马达的效率，或者导致相当大的噪声。为了防止这些，环的振幅应当减小，并且可以通过在后部使用用于接合或定位的相同的柔软接合剂来获得。此外，它还显现出额外的阻尼层或中间层的减振动作，还增大了温度范围，位于其中的干扰和/或能量损耗被减少。此时，所需的减振和相关的固定特性依赖于马达的传输能量-并不期望它减小-和系统元件的减振。下面仅以附图中示意描述的示意性实施方式为例，更详细地描述或解释本发明的压电驱动装置。具体而言，

图1是压电微型马达所提供的旋转驱动的示意图；图比喻和示意性地表示了一个经纬仪，作为本发明的压电驱动装置的第一实施例；图3表示一个旋转压电驱动装置的基本原理的示意图；图4表示现有技术的压电驱动装置的第一实施方式的示意图；图5表示现有技术的压电驱动装置的第二实施方式的示意图；图6表示本发明的压电驱动装置的系统元件的示意图；图7表示本发明的压电驱动装置所基于的原理的示意图；图8表示用于旋转移动的本发明的压电驱动装置的第一实施方式的示意图；图9表示用于旋转移动的本发明的压电驱动装置的第二实施方式的示意图；图IOa-IOc表示用于线性移动的本发明的压电驱动装置的第三、第四和第五实施方式的示意图；图11表示用于旋转移动的具有夹紧连接的本发明的压电驱动装置的第六实施方式的示意图；图12表示用于旋转移动的具有收缩连接(shrink-on connection)的本发明的压电驱动装置的第七实施方式的示意图。图1示意性地表示一个压电驱动装置，其具有转子1，转子1被驱动并且具有一个运转面la，该运转面与传输移动的压电马达2的接触元件加接触。当一个元件获得移动时，运转面Ia将接触元件加的移动转换为需要的移动，在该例子中，是转子1绕轴A的旋转。在该情况下，通过产生接触元件加的振荡移动的压电马达的压电陶瓷元件的共振组合来产生移动。该移动通过摩擦转移到运转面la，由此驱动转子1。此时通过单个压电马达2或多个这种驱动元件，都可以使驱动有效。图1中表示了两个压电马达2对称作用设置，是纯粹的示意形式。在该例子中，两个压电马达2作为具有用作运转面Ia的圆形陶瓷表面的转子1的循环驱动。通过举例，所述元件的旋转能够导致测量元件的光束路径以能够移动和固定的方式来形成。图2a_2b表示一个经纬仪，象征性地和示意性地作为使用本发明的压电驱动装置的例子。图加中表示了整体的，地形测量结构3具有对准元件6和测量元件4。测量元件 4具有物镜5，通过其定义到被测目标的光束路径。对准元件6可以相对于支承件(这里没有描述)而绕垂直轴转动。通过将测量元件4安装到对准元件6中，测量元件4可以关于水平倾斜轴移动。关于垂直和倾斜轴的移动，允许获得大的固定角度范围，大的固定角度范围允许对周围空间的完全采用，给出了具有经纬仪测量元件4的设计。图2b是相同的测量机构3的简化示意图。具有物镜5的测量元件4，通过一个轴支承，从而可以相对于对准元件6旋转。当元件被驱动时，轴包括具有弯曲运转面的转子1， 其指定压电马达作为驱动装置，后者径向地与运转面即外表面接触，并且产生绕倾斜轴的旋转。用于测量目标的半径的发散，可以通过物镜5来实现，或者还可以通过额外的光束路径，该光束路径与物镜的光轴平行并且具有发射激光辐射的距离测量单元和指定的镜子，从而通过移动测量元件4来扫描环境。对准元件6绕垂直轴的旋转，通过作为对准马达的第二压电马达2来实现，其与设置在支承件7中的内运转面1’接触，进行同样的轴向移动或具有一个端面。该对准马达可以使对准元件6相对于支承件7旋转，该设置作为一种循环驱动。由于两个压电马达的合作，光束路径可以关于两个轴移动和对准，并且因此被修改。轴向接触或端面接触和/或相应的驱动元件的对准，在这里并不限制于所述轴，还可以应用于各自其他的轴或多轴。旋转压电驱动装置的基本原理在图3中借助穿过转子7的横截面图进行了解释。 在该例子中，转子7由陶瓷整体形成，并且它的外表面与压电马达径向接触，从而在激励后它将关于轴A旋转。然而，从现有技术中还可以得到如图4和5中所述的合成驱动元件。这里，图4是现有技术中的压电驱动装置的第一实施方式的示意图，其具有作为运转面元件IOA接合到作为容器9A的支承转子的周缘上的陶瓷环。此时，中间层被形成为在运转面元件IOA和容器9A之间的粘合层11A，粘合层将导致固化状态到固定的、非弹性的连接。这里，陶瓷环或由陶瓷环和容器9A组成的整个系统构成了一个振动系统，其固有频率被压电马达2激发，并且干扰压电马达2的共振频率。当两个共振源施加负的相互影响时，运转面IOA的固有共振对压电马达2产生的影响能够导致马达或它的激励动作完全失效。例如，当悬挂振动(pending vibrations)和振荡激励移动表现为反相时就是这样，即在接触元件馈送移动期间，陶瓷环IOA的表面在接触点向内弯曲，因而远离接触元件从而减少或者完全抵消了摩擦锁定(friction lock)。除了单纯的激励频率外，如果给定足够的减振，在运转面元件IOA的驱动元件2中或容器9A中还可以激发得到额外共振。这些频率的不适宜重叠可能还会导致机械连接到运转面元件IOA的其他元件或其他元件在音频下振动，或依据频率产生噪声，从而对使用者和居住区域而言驱动装置无法使用。一个复杂的因素是，环形系统的固有共振可以通过温度而改变，其意味着噪声的产生表现出了温度依赖性。此外，根据现有技术的结构存在以下缺点，即运转面元件IOA和容器9A的不同热膨胀性能无法被粘合层IlA所补偿，因为后者事实上不可压缩，和在该层中巨大的压缩力。由于这些压电的温度依赖性，振动行为与温度依赖性相似，结果表现为强烈的热条件下共振位移。压电驱动装置的进一步的质量特性是同步性，即同心度波动的范围。根据压电马达的设计，陶瓷环的同心度对于此是决定性条件。在装配程序期间，陶瓷环的可调节性在此是有优点的。图5是另一个与运转面元件和容器连接的示意图。这里，作为运转面元件10B，陶瓷环相对于容器9A被夹紧环9B’机械固定，从而平行粘合成为可能。关于温度依赖性和/ 或热膨胀，该设置与图4中描述的例子有类似的缺点，并且没有减振效果。图6是本发明的压电驱动装置的系统元件的示意图。厚度为Ii1和宽度为Cl1的运转面元件10通过第一中间层(其设计成厚度为Ii2的接合层11)与容器9连接。此外，另一个中间层，其设计成厚度为113和宽度为(13的阻尼层12，可以在运转面元件10和容器9中间被引入。在该设置中，接合层11和阻尼层12被设置在运转面元件10的两个不同的面上。然而，基本上，两个层或中间层仍然还可以适合于其他的设置，例如设置在相同侧边上。此外，两个层的功能可以集成到一个层中，例如，在接合层 11中混合填充材料，如，能够同时起到间隔物和增加粘性的作用，并且对中间层产生指标加强(targeted reinforcement)的作用。图7是解释本发明的压电驱动装置所基于的原理的示意图。示出了压电马达的频带作为马达操作窗口 FM，和运转面元件的固有共振的两个示意性的频带!^和 ^Β2。根据本发明，运转面元件和容器被设定尺寸，并且相互连接，从而运转面元件的固有共振位于马达操作窗口之外，也即是说与之没有重叠。此外或另选地，运转面元件和容器可以按照分散的连接点连接，它们的数量不等于在马达操作窗口中的运转面元件的弯曲模式的数量。这种通过分散的连接点的连接方式，可以不仅通过接合方式有效，还可以不需要接合，如夹紧连接。图8是用于旋转移动的本发明的压电驱动装置的第一实施方式的示意图。该压电驱动装置具有至少一个具有馈送元件2Α的压电马达元件2，用于与馈送元件2Α接触的运转面元件10C，和用于容纳运转面元件IOC的容器9C，用于连接到被驱动的元件。运转面元件IOC设计成具有弯曲运转面的陶瓷环，尤其是由Al2O3制成，以及一个接合层IlC和用于减少运转面元件IOC振动的阻尼层12C，其设置在运转面元件和容器之间，陶瓷环在它的端面与容器9C接合，阻尼层12C设置在陶瓷环的内部。这样具有陶瓷环浮在组件上部的接合层之上的优点，并因而易于调节同轴度。压电马达元件具有一个马达操作窗口，依赖于温度和驱动装置，由于馈送元件的移动的频率范围，运转面元件IOC和容器9C的被设定尺寸并且相互连接，从而便于习惯的操作温度，如在-40°摄氏度和+50°摄氏度之间，运转面元件IOC的固有共振位于马达操作窗口之外。接合层IlC和/或阻尼层12C应当表现为粘弹性的构成形式，并且S1OreA硬度在25和35之间，特别是30。部分结晶聚合物，如聚芳酰胺树脂，特别是带纤维增强，二元多硫化物或环氧树脂可以用作合适的减振手段或接合层。此时，两层都可以有填充材料，特别是矿物颗粒、玻璃、塑料和/或陶瓷珠。依赖于尺寸和材料，这些填充材料可以增加内部摩擦并因此增大消散。为了用于测地装置中，陶瓷环可以具有40到150mm之间的直径，以及1. 5到IOmm 之间的运转层宽度、0. 05到0. 2mm之间的接合层厚度，在IkHz到15kHz之间，特别是6到 8kHz之间的音频范围内避免了固有模式。用于减少或避免共振效果的进一步的本发明的可能性，在于将运转面元件设计为非对称元件或非对称环或具有多个部分，也即是说中断运转面。图9是用于旋转移动的本发明的压电驱动装置的第二实施方式的示意图。具有作为运转面元件IOD的陶瓷环和容器9D的设计，对应于图8中所述的第一实施方式。然而， 没有设计使用单独的和不同的层用于接合和减振。这两个效果现在通过一个作为接合层 13D的单独的中间层来实现，此外，还包括阻尼层的某些可以通过例如使用填充材料来实现的特性。在该实施例中，运转面元件IOD和容器9D之间的接合接触不仅在一个端面，而且在陶瓷环的侧段上都实现。用于产生线性移动或轴向接触的旋转移动的驱动设置例如如图2b中借助于本发明的第三、第四和第五实施方式在图IOa-IOc中解释。图IOa表示拉长的运转面元件10E，其窄边通过接合层IlE与设计为有角的容器 9E的分支连接。具有粘性的阻尼层13E设置在运转面元件的宽面上，从而导致还与容器在其侧面连接。由于有角的设计和阻尼层13E的类似的固定作用，运转面IOE可以以在两个轴方向上对准和设定的形式被固定。在图IOB中描述的本发明的压电驱动装置的第四实施方式的情况下，运转面元件 IOF和容器9F通过接合层11F，以其间引入了阻尼层13F的两条带的形式而连接。如果作为阻尼层13F的中间层在接合状态下被设计成厚度超过接合层IlF的厚度的层，则阻尼层 13F还有可能预压缩和/或预加压。类似于图9的第二实施方式，并且具有均勻层的方法如图IOc所示，其为线性移动情况下的第五实施方式。这里，同样地，接合和减振功能被集成到一个均勻接合层13G中， 其以全部区域接触的方式设置在运转面元件IOG和容器9G之间。因而设计结果是简单的
夹层状态。图11是用于旋转移动的本发明的压电驱动装置的第六实施方式的示意图，其具有夹紧连接，上半部分所示为对应的平面图，下半部分所示为沿着线CC的截面图。这里，同样地，运转面元件IOH为环形设计，它与容器9H的连接是通过轴向的夹紧来实现的。为了该目的，夹紧元件14用作支承件，其夹着作为中间层的软弹性层对运转面元件IOH施压，依次安装到容器9H上。此外，另一个中间层设置为容器9H与运转面元件IOH之间的阻尼层 12H。通过示例，塑料或金属可以用作夹紧元件14的材料，抗蠕变弹性效果对于产生弹性支承是有益的。即使预计会超过期望温度和湿度范围的工作条件下，夹紧元件14产生的接触压力在这里仍能保持足够的常量。此外，在组装过程中，夹紧元件14在运转面元件IOH上施加了一个向心效果。为了抑制或阻止共振效应的出现，在该例子中，夹紧元件14被设计成非对称几何形状并且具有离散的数个接触面。图12是用于旋转移动的本发明的压电驱动装置的第七实施方式的示意图，在该情况下，运转面元件101为环形设计，例如为陶瓷环，并且通过在径向上作用的收缩连接 (shrink-on connection)与容器91连接。为了该目的，在运转面元件101和容器91之间引入中间层作为阻尼层121，例如通过在容器91收缩配合(shurnk fit)之前进行挤压或硫化而成。在该情况下，中间层至少为几微米厚，并且由抗蠕变材料制成，如塑料或人造橡胶。 容器91和阻尼层121的相互影响还允许在陶瓷环的运转面元件不圆的情况下能弹性吸收和补偿。收缩配合过程包括加热容器91随后插入运转面元件101并冷却。容器91的基本材料应当具有与陶瓷环接近的膨胀系数。在该实施方式的情况下，容器91可以设计成所述的圆盘形，从而是对称的，也可以设计成替代的与图11类似的方式，具有非对称几何形状。对于本领域技术人员显而易见的是，根据应用和移动的效果，多个元件可以具有不同的几何形状，因此也具有偏离的连接特性。此外，除了硬金属和陶瓷，还有可能在运转面使用其他适合于不同应用领域的材料。粘性连接和阻尼层通常描述为连续的和平面的。 然而，根据本发明，也可以使用中断连接，例如在层上单独的网或产生剪切的形式，其不同于均勻的和连续的。
权利要求
1.一种压电驱动装置，特别是用于地形或坐标测量机器，该压电驱动装置包括 至少一个具有馈送元件(2a)的压电马达元件(2)；运转面元件(1，1’，10，10C-I)，其特别由陶瓷制成，用于与所述馈送元件(2a)产生接触；以及所述运转面元件(1，1’，10，10C-I)的容器，其用于连接至要被驱动的元件； 所述压电马达元件(2)以马达操作窗口(Fm)作为所述馈送元件(2a)的移动的频率范围，该压电驱动装置的特征在于，所述运转面元件(1，1’，10，10C-I)和所述容器(9，9C-I)被设定尺寸并且相互连接，从而所述运转面元件(1，1’，10，10C-I)的固有共振(Fbi和Fb2)位于所述马达操作窗口(Fm) 之外，特别是在-20°C到60°C的温度范围内。
2.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，所述运转面元件(101)为环形设计，并且通过在径向方向作用的收缩连接与所述容器 (91)连接。
3.根据权利要求1或2所述的压电驱动装置，其特征在于，所述运转面元件(IOH)为环形设计，并且夹在所述容器(9H)上，或者在径向方向上与所述容器(9H)弹性夹持。
4.根据前述任一权利要求所述的压电驱动装置，其特征在于包括位于运转面元件(1，1’，10，10C-I)和所述容器(9，9C-I)之间的至少一个中间层，所述中间层尤其表现出粘黏弹性形成特性。
5.根据权利要求4所述的压电驱动装置，其特征在于，所述中间层具有20到50之间，尤其是30的Shore-A硬度。
6.根据权利要求4和5中任一项所述的压电驱动装置，其特征在于， 所述中间层具有填充材料，特别是矿物颗粒、玻璃、塑料和/或陶瓷珠。
7.根据权利要求4-7中任一项所述的压电驱动装置，其特征在于， 所述中间层由以下材料形成2元多硫化物， 环氧树脂，特别是具有纤维增强的例如由聚丙烯酰胺形成的部分结晶聚合物。
8.根据权利要求4-7中任一项所述的压电驱动装置，其特征在于，所述中间层被设计为接合层(11，11C，11E-F，13D，13G)以连接所述运转面元件(1，1，， 10，10C-G)和所述容器(9，9C-G)。
9.根据权利要求4-8中任一项所述的压电驱动装置，其特征在于，所述中间层被设计为位于所述运转面元件(1，1’，10，10C-I)和所述容器(9，9C-I)之间的阻尼层(12，12C，12E-I)，从而所述运转面元件(1，1’，10，10C-I)的振动被抑制。
10.根据权利要求4-9中任一项所述的压电驱动装置，其特征在于，所述运转面元件(1，1’，10，10C-D，10H-I)具有弯曲的运转面，特别被设计成环形运转面元件(l,lM0,10C-D)o
11.根据权利要求10所述的压电驱动装置，其特征在于，所述运转面元件(1，1’，10，10C-D)被设计成陶瓷环，尤其是由Al2O3制成，并且在所述运转面元件(1，1’，10，10C-D)和所述容器(9，9C-D)之间，所述中间层被设置为阻尼层 (12，12C)，并且另一个中间层被设置为接合层(11，11C，13D)，所述陶瓷环的端面与所述容器(9，9C-D)接合，并且所述阻尼层(12，12C)设置在所述陶瓷环的内部。
12.根据权利要求11所述的压电驱动装置，其特征在于，所述陶瓷环的直径为40到150mm之间，运转层宽度在1. 5到IOmm之间，并且所述接合层(ILIIC, 13D)的厚度在0.05到0.3mm之间。
13.根据前述权利要求之一所述的压电驱动装置，其特征在于，所述运转面元件(1，1’，10，10C-I)和所述容器(9，9C-I)连接至离散的接触点，所述接触点的数量不等于所述马达操作窗口(Fm)中的所述运转面元件(1，1’，10，10C-I)的弯曲模式的数量。
14.根据前述权利要求之一所述的压电驱动装置，其特征在于，所述运转面元件(1，1’，10，10C-I)被设计成非对称环或具有多个部分、中断的运转面，或被具有非对称几何形状的支承件(14)或容器(9，9C-I)固定。
15.根据前述权利要求之一所述的压电驱动装置，其特征在于，所述运转面元件(1，1，，10，10C-I)在1到15kHz之间，特别是在6到SkHz之间的音频范围内没有固有共振(FbiJb2)。
全文摘要
本发明涉及一种压电驱动装置，特别是用于地形或坐标测量机器，该压电驱动装置具有至少一个具有前进元件的压电马达元件(2)；运转面元件(10C)；以及所述运转面元件(10C)的容器，其用于连接至要被驱动的元件；其中，所述压电马达元件(2)以马达操作窗口作为所述前进元件的移动的频率范围。所述运转面元件(10C)和所述容器(9C)被设定尺寸并且相互连接，从而所述运转面元件(10C)的固有共振位于所述马达操作窗口之外。
文档编号G01C1/02GK102369613SQ201080014291
公开日2012年3月7日 申请日期2010年3月17日 优先权日2009年4月3日
发明者C·艾斯利, M·特伦, 海因茨·伯恩哈德 申请人:莱卡地球系统公开股份有限公司